JPH0513004A

JPH0513004A - 直流型放電表示管およびその陰極の製造方法

Info

Publication number: JPH0513004A
Application number: JP18395491A
Authority: JP
Inventors: Akira Kani; 章可児; Sumuto Sago; 澄人左合; Motoi Iijima; 基飯島; Tatsumasa Yokoi; 達政横井; Magonori Kamiya; 孫典神谷; Hideyuki Asai; 秀之浅井; Tatsuji Nakano; 竜次中野; Naoya Kikuchi; 直哉菊地
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 1991-06-28
Filing date: 1991-06-28
Publication date: 1993-01-22

Abstract

(57)【要約】【目的】特性の高い導電性酸化物を陰極材料に用い、
かつ透光性を付与することによって、輝度およびコント
ラストを増加させた直流型放電表示管およびその安価な
陰極の製造方法を提供する。【構成】（１）陰極が元素周期律表のＩａ，IIａ，II
Iａ族から選ばれる少なくとも１種の元素を含有する導
電性酸化物で形成され、該陰極の厚みが１μｍ以下で透
光性を有することを特徴とする直流型放電表示管。（２）元素周期律表のＩａ，IIａ，IIIａ族から選ば
れる少なくとも１種の元素を含有する有機金属化合物の
１種以上を溶剤で溶解して基体に塗布し、乾燥後、焼成
し、導電性酸化物を基体に被着させることを特徴とする
直流型放電表示管用陰極の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は陰極が透光性を有する導
電性酸化物で形成される直流型放電表示管およびその陰
極の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】直流型放電表示管の陰極形成材料に要求
される条件としては以下のようなことが挙げられる。す
なわち、仕事関数が低く、二次電子放射効率が高い
こと、イオン衝撃に強く、飛散しにくいこと、
導電性であること、放電ガス吸蔵が少ないこと、
製造が容易であること、構造が複雑にならないこ
と、等である。

【０００３】これらの条件を満足すべく、従来から多く
の陰極材料が検討されてきた。それらのなかで、上記条
件に適合し、従来汎用されているニッケル系金属よりも
効率のよい陰極材料が提案されている（特願平２−２１
８９４７号、“「第４回マイクロエレクトロニクスシン
ポジウム論文集」、ｐ．８１〜８４”等）。

【０００４】また、表示管特性として、輝度およびコン
トラストが高いことも重要である。

【０００５】高輝度を得る方法として、陰極、放電ガス
や蛍光体等の放電発光に関する材料特性を改善する他
に、単位面積当りの発光面積、表示部の透過率や表示部
以外の反射率を大きくすることも有用である。

【０００６】高コントラストを得るには、逆に表示部の
透過率や表示部以外の反射率を小さくすることが有効で
ある。この方法として、発光部と観視方向の間にフィル
ターを設置するのがよいが高コストになる。

【０００７】薄型の放電表示管構造は、通常、前面（ガ
ラス板）および背面（ガラス板）とで隔壁を挾んで構成
される。陰極形成場所は、次の場所が可能である。

【０００８】（１）前面板に形成この場合、陰極を大きくすると表示部が小さくなり、陰
極を小さくすると発光面積が小さくなったり、電流密度
が過大になってスパッタが増える。

【０００９】（２）背面板に形成この場合、陰極の反射率を大きくするとコントラストが
低下し、反射率を小さくすると輝度増加も小さい。ま
た、蛍光体を用いる放電表示管では、蛍光体が前面板に
形成されることとなり、これは発光を蛍光体を透過して
見ることになるので輝度が小さい。

【００１０】（３）隔壁に形成この場合、上記した（１），（２）の難点は解消される
ものの、その形成には微細化が必要であり、繁雑で高コ
ストになる。

【００１１】一方、導電性酸化物を安価に製造する方法
として、厚膜技術を用いることが提案されている。

【００１２】しかしながら、厚膜技術で用いる印刷ペー
ストには、粘結成分が必要なことが多く、この粘結成分
は通常は低融点物質であってその量も相当多い。これら
粘結成分は、低融点ゆえに導電性酸化物と反応し易く、
その特性に悪影響を与えたり、またスパッタによる飛散
量も多くなる。さらに、厚膜印刷ペーストに使用する導
電性酸化物は粉体なので、エージング時間は相当長いも
のである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、これら従来
技術の課題に鑑みなされたもので、特性の高い導電性酸
化物を陰極材料に用い、かつ透光性を付与することによ
って、輝度およびコントラストを増加させた直流型放電
表示管およびその陰極の安価な製造方法を提供すること
を目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記した
従来技術の課題を解決すべく鋭意検討した結果、陰極形
成材料として元素周期律表Ｉａ，IIａ，IIIａ族から選
ばれる少なくとも１種の元素を含有する導電性酸化物を
１μｍ以下に形成し、透光性を付与することによって、
上記目的が達成されることを知見し、本発明を完成する
に至った。

【００１５】すなわち、本発明の直流型放電表示管は、
陰極が元素周期律表のＩａ，IIａ，IIIａ族から選ばれ
る少なくとも１種の元素を含有する導電性酸化物で形成
され、該陰極の厚みが１μｍ以下で透光性を有すること
を特徴とする。

【００１６】以下、本発明の直流型放電表示管について
さらに詳しく説明する。

【００１７】本発明の直流型放電表示管においては、陰
極形成材料としては、上述のように元素周期律表のＩ
ａ，IIａ，IIIａ族から選ばれる少なくとも１種の元素
を含む導電性酸化物を使用する。

【００１８】ここで、元素周期律表Ｉａ族元素はリチウ
ム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、フ
ランシウムであり、IIａ族元素はベリリウム、マグネシ
ウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、ラジウ
ムであり、またIIIａ族元素はスカンジウム、イットリ
ウム、ランタン、セリウム、ブラセオジウム、ネオジウ
ム、プロメチウム、サマリウム、ユウロビウム、ガドリ
ニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エ
ルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム、ア
クチニウム、トリウム、プロトアクチニウム、ウラン、
ネプツニウム、プルトニウム、アメリシウム、キュリウ
ム、バークリウム、カリホルニウム、アインスタイニウ
ム、フェルミウム、メンデレビウム、ノーベリウム、ロ
ーレンシウムである。

【００１９】本発明において使用する放電可能物質とし
ての導電性酸化物は、上記元素周期律表のＩａ，IIａ，
IIIａ族から選ばれる少なくとも１種の元素を含み、か
つ導電性を有する酸化物であればよい。上述のＩａ，II
ａ，IIIａ族から選ばれる少なくとも１種の元素を含有
しないと、低仕事関数および高二次電子放射効率が得ら
れず、動作電圧の低減が達成されない。本発明に係る導
電性酸化物は、上述のＩａ，IIａ，IIIａ族から選ばれ
る少なくとも１種の元素を含む複合酸化物か、それらの
混合物が好ましい。また、低仕事関数および高二次電子
放射効率を達成する点に関しては、Ｉａ，IIａ，IIIａ
族元素のモル分率の大きな導電性酸化物を用いると一般
に有利である。

【００２０】また、この導電性酸化物の結晶構造は特に
制限されず、広汎なものが適用できる。例えばスピネル
型、ＲｅＯ₃型、ペロブスカイト型、Ｋ₂ＮｉＦ₄型、パ
イロクロア型これらと類似の型、あるいは急冷等で非晶
質化したものが適用できる。

【００２１】本発明の直流型表示管における陰極は、本
発明の効果に悪影響を及ぼさない範囲で粘結成分や導電
性を補う金属成分等の他の成分を含有してもよい。ま
た、本発明に係る陰極形状は任意である。

【００２２】しかしながら、本発明における陰極は厚み
が１μｍ以下の膜状であることが必要である。導電性酸
化物で形成される陰極の厚みが薄ければ薄いほど透光性
を有する。この厚みが１μｍを超えると光透過率は著し
く小さくなる。厚みの下限は、その材質や膜質によって
変わり、適宜簡単な実験により放電特性、耐スパッタ
性、や光透過率を考慮して決められる。

【００２３】さらに、例えば陰極が長く電極抵抗が高い
と、両端での放電特性やエージング特性に差があって都
合が悪い。このような場合、比抵抗の小さな導電性酸化
物を使用することが好ましい。

【００２４】また、本発明においては上記陰極の下に金
属を形成することも有効である。放電特性は主に表面で
決定されるので下地金属は任意のものが選択でき、また
金属は充分低抵抗であるので、その上の陰極部分は厚み
方向の抵抗のみ考えればよい。従って、比抵抗が１０⁰
Ω・ｃｍ程度の導電性酸化物でも充分使用でき、無機絶
縁物量の混合範囲も広く取れる。この方法の他の利点と
しては、陰極を外部回路と接続する場合、金属を用いか
つその一部を露出しておけば、通常のハンダ性、溶接
性、ボンディング性、メッキ性等に問題がないパターン
を一括して形成できることである。また、金属の光沢面
は反射率が大きいので、その上の導電性酸化物によって
コントラストを低下させず輝度を増加できる。

【００２５】また、本発明の放電表示管にあっては、導
電性酸化物および無機絶縁物がイオン衝撃に強いことか
ら管内封入ガスに有毒な水銀を含ませる必要がなく、従
って水銀を含有しない封入ガスを使用することが好まし
い。

【００２６】本発明における陰極は、前面ガラス板に形
成するのが好ましい。その理由は、本発明で使用される
陰極が透光性を有するので、発光面積を大きくしても表
示の妨げとならないためである。また、本発明に係る陰
極を構成する導電性酸化物膜は透光性と共に濃色系の着
色を有するので、グレイフィルターとしての機能も有す
ることとなる。

【００２７】次に、本発明に係る陰極の好ましい製造方
法について説明する。

【００２８】導電性酸化物薄膜の形成は一般のセラミッ
ク薄膜の形成と同じものが使用できる。例えば蒸着法、
スパッタ法、ＣＶＤ法等であり、パターニングには一般
の薄膜技術が適用できる。下地金属と本発明における陰
極との接合も公知のものが使用できる。

【００２９】ところで、一般に直流型放電表示管はフラ
ット型に形成する場合、その陰極は低コストのガラス板
（基体）上に形成される。低コストのガラスは耐熱性が
低く、適用できる温度は６００℃位である。従って、本
発明に係る陰極構成材料の膜を加熱のみによって固着す
ることは困難である。この場合、スパッタや蒸着が一般
に適用されるが、これらの装置は一般に高価であり、し
かも量産性に優れたものとはいい難い。成膜されたもの
をエッチング等でパターニングする方法も同様である。

【００３０】本発明者等は、以下に詳述する陰極の製造
方法によると、通常の厚膜技術で使用される印刷技術等
によって、上記陰極を容易に製造できることを知見し
た。

【００３１】すなわち、本発明の陰極の製造方法は、元
素周期律表のＩａ，IIａ，IIIａ族から選ばれる少なく
とも１種の元素を含有する有機金属化合物の１種以上を
溶剤で溶解して基体に塗布し、乾燥後、焼成し、導電性
酸化物を基体に被着させることを特徴とするものであ
る。

【００３２】上記有機金属化合物としては、金属アルコ
キシド、金属アセチルアセトナート等多くのものが使用
可能である。

【００３３】この有機金属化合物を溶剤により溶解する
際に、必要により膜形成用樹脂も併せて溶解してもよ
い。膜形成用樹脂としては、エチルセルロース、ニトロ
セルロース等のセルロース系やアクリル系の樹脂が使用
できる。また、溶剤としては広範なものが使用できる
が、印刷用としてはベンジルアルコール、ジプロピレン
グリコール等のアルコール類、ベンジルアセテート、カ
ルビトールアセテート等のエステル類、ブチルセロソル
ブ等のエーテル類等の高沸点溶剤が好ましい。

【００３４】上記有機金属化合物またはこれに加えて膜
形成用樹脂は、溶剤に相溶するものを選択すべきであ
る。しかし、焼成による熱分解過程の加熱により相溶す
る場合、成膜時に相溶している必要はない。また、膜形
成に阻害とならない範囲で、非溶解物である微粒子を懸
濁させてもよい。

【００３５】このような有機金属化合物等からなる塗布
溶液の粘度は、５０００〜５００００センチポイズが好
適に使用できる。粘度が５０００ポイズより小さいと、
膜厚が薄すぎて放電特性が劣化したり、塗布に印刷を適
用する場合に、細かなパターンが形成できなくなる。５
００００センチポイズより大きいと、塗布膜厚みが大き
くなり、焼成過程で亀裂が発生し、剥離も起こる。

【００３６】本発明においては、塗布溶液を基体に塗
布、乾燥後、焼成して基体に導電性酸化物を被着させる
が、この際の焼成温度は４５０〜６００℃が好適であ
る。この温度範囲で溶剤および膜形成用の樹脂は充分に
飛散し、有機金属化合物は熱分解して導電性酸化物に変
換され基体に被着される。温度が低すぎると、これら反
応が充分でなく、また温度が高すぎると導電性酸化物と
下地金属や基体と余分な反応をして特性劣化を起こした
り、基体そのものの変形を招く危険がある。

【００３７】本発明で用いる塗布溶液は、その成分中に
粘結成分を添加しなくても基体に被着できる。また、例
え粘結成分が必要でも、その量は有機金属化合物に対し
て１重量％以下で十分な効果を挙げることができる。従
って、本発明の製造方法により、スパッタされる量が少
なくてすむ。また、形成される陰極薄膜は充分に均質で
あるので、エージングが短くてよく、しかも放電特性も
良好である。

【００３８】上記説明から判るように、本発明の直流型
放電表示管にあっては、本発明にかかる陰極構成とする
以外は特に制限されず、他の構造は従来既知の直流型放
電表示管と同様であってもよい。例えば、下面に陽極を
有する陽極基体（例えば前面ガラス）と、上面に陰極を
有する陰極基体（例えば背面ガラス）と、両基体の間を
封止して両極の間に放電セルを形成するための隔壁とを
具備し、かつ該放電セルにペニングガス等のガスを封入
した直流型放電表示管が挙げられる。

【００３９】

【作用】本発明で使用する陰極材料である特定の導電性
酸化物は、放電特性が良好な上、濃色系に着色された透
光性を有する薄膜である。従って、この陰極を前面ガラ
スに形成すれば、発光部を邪魔することなく発光面積を
大きくすることができる。また、これをフィルターとし
て作用させることも可能なので、コントラストの高い放
電表示管を安価に製造することができる。発光がガスに
よるタイプの場合、陰極グローが前面にきて視野角が改
善できる。蛍光体を用いるタイプでは、蛍光体を背面板
に形成でき、発光を直接見るので輝度が高い。

【００４０】陰極を背面板に形成しても、その下地に反
射率の高い金属を形成すれば、コントラストを良好に保
つたまま輝度を高くできる。

【００４１】このような直流型放電表示管は製造が容易
であり、また、本発明の製造方法によれば、印刷技術が
適用できるので陰極を安価に製造することができる。

【００４２】

【実施例】以下、本発明を実施例および比較例に基づい
てさらに詳しく説明する。

【００４３】［パネルの作成］下記に示す実施例および
比較例に用いたパネルの材質等の詳細について表１に示
す。

【００４４】

【表１】

【００４５】また、図１に作成したパネルの表示面から
の模式平面図、図２に図１のパネルの模式断面図をそれ
ぞれ示す。図１〜２において、１は前面ガラス板、２は
背面ガラス板、３は線条電極群、３ｋは陰極、３ａは陽
極、３ｕは下地金属、４は端子部、５は封止ガラス、６
は隔壁、７は蛍光体をそれぞれ示す。

【００４６】図１において、前面ガラス板１および背面
ガラス板２の相対する面には、陰極あるいは陽極の線条
電極群３とこれらに接続する端子部４が形成され、各線
条の電極群３は隔壁６を介して直交する向きに重ね合わ
され、周囲を封止ガラス５でシール後、放電ガスが封入
されている。電極群が直交する交点が放電セルを形成す
る。

【００４７】図２において、陰極３ｋが下地金属３ｕ上
に形成され、隔壁６で隔てられて陽極３ａが形成され
る。蛍光体７は陽極上に形成される。但し、次に示す実
施例および比較例では、下地金属や蛍光体を用いないも
の、あるいは陽極と陰極の上下が反対のものもある。

【００４８】実施例１前面ガラス板上に、ピッチ０．５ｍｍ、線幅０．０５ｍ
ｍのＡｌからなる陰極下地を形成した。組成がＬａ_0.7
Ｓｒ_0.3ＭｎＯ₃の導電酸化物焼結体をスパッタリングタ
ーゲットとして使用し、下地金属上にスパッタ膜を形成
後、所定の形状にエッチングして陰極とした。この陰極
は厚み０．３μｍで茶褐色を呈し、光透過率は５０％で
あった。また、陽極として反射率７０％のＡｕを背面ガ
ラス板上に形成した。

【００４９】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、放電ガス
としてＮｅ−Ａｒガス（０．５％）、３５０Ｔｏｒｒを
用いた。

【００５０】パネルを作成後、放電電圧が充分に低下し
安定化するまでエージングし、放電電流を一定として、
駆動電圧、輝度、コントラストおよびエージング時間を
測定し、結果を表２に示した。

【００５１】比較例１前面ガラス板上に、平均粒径１μｍで組成がＬａ_0.7Ｓ
ｒ_0.3 ＭｎＯ₃の粉体１００容量部と低融点ガラス（ノ
リタケカンパニーリミテド社製：商品名Ｎｏ．ＮＰ
−７０９５）１５容量部とをエチルセルロースをブチル
セロソルブに溶解した液体ビヒクルと共に混練した印刷
ペーストを用い、下地金属上に線幅０．１５ｍｍに印刷
した後、５５０℃で焼成し、陰極を形成した。このよう
にして得られた陰極の厚みは１０μｍであった。

【００５２】この陰極を用い、上記の形状および材質等
からなるパネルを作成した。なお、使用した下地金属、
陽極および放電ガスは実施例１と同様のものとした。

【００５３】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００５４】実施例２背面ガラス板上に、ピッチ０．５ｍｍ、線幅０．２５ｍ
ｍのＡｌからなる陰極下地を形成した。Ｌａ，Ｓｒおよ
びＭｎの各金属アセチルアセトナート化合物を熱分解
後、組成がＬａ_0.7Ｓｒ_0.3ＭｎＯ₃となるように、ブチ
ルカルビトールアセテートに溶解混合した。さらにエチ
ルセルロースを添加溶解し、粘度１００００センチポイ
ズの塗布溶液を調製した。この塗布溶液を印刷、乾燥
後、５５０℃で焼成して陰極とした。この陰極は厚み
０．２μｍ、光透過率は６０％であった。また、陽極と
してＩＴＯ（インジウム−錫化合物）を背面ガラス板上
に形成した。

【００５５】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、使用した
放電ガスは実施例１と同様のものとした。

【００５６】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００５７】比較例２ニッケルを含有する印刷ペースト（デュポン社製：商品
名Ｎｏ．Ｎｏ．９５３５）を用い、前面ガラス板に線幅
０．１５ｍｍに印刷した後、５８５℃で焼成し、陰極を
形成した。このようにして得られた陰極の厚みは１０μ
ｍであった。なお、ここでは下地金属は使用しなかっ
た。

【００５８】この陰極を用い、上記の形状および材質等
からなるパネルを作成した。なお、使用した陽極は実施
例１と同様のものとし、放電ガスには水銀を封入した。

【００５９】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００６０】実施例３前面ガラス板に、ピッチ０．５ｍｍ、線幅０．０５ｍｍ
のＡｌからなる陰極下地を形成した。Ｌａ，Ｓｒおよび
Ｃｏの各金属アセチルアセトナート化合物を熱分解後、
組成がＬａ_0.5Ｓｒ_0.5ＣｏＯ₃となるように、ブチルカ
ルビトールアセテートに溶解混合した。さらにエチルセ
ルロースを添加溶解し、粘度１００００センチポイズの
塗布溶液を調製した。この塗布溶液を印刷、乾燥後、５
５０℃で焼成して陰極とした。この陰極は厚み０．３μ
ｍで黒灰色を呈し、光透過率は５０％であった。また、
陽極としてＩＴＯ（インジウム−錫化合物）を背面ガラ
ス板上に形成した。さらに、この陽極上に蛍光体を被着
した。

【００６１】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、使用した
放電ガスはＨｅ−Ｘｅガス（２％）、２５０Ｔｏｒｒで
あった。

【００６２】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００６３】実施例４陰極の組成がＬａ_0.8Ｃａ_0.2ＣｒＯ₃とした以外は実施
例３と同様にして前面ガラス板上に陰極を形成した。こ
の陰極は厚み０．３５μｍで黒緑色を呈し、光透過率は
５０％であった。また、陽極としてＩＴＯ（インジウム
−錫化合物）を背面ガラス板上に形成した。さらに、こ
の陽極上に蛍光体を被着した。

【００６４】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、使用した
放電ガスは実施例３と同様であった。

【００６５】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００６６】実施例５陰極の組成がＮｉ８０重量％、Ｌｉ₂Ｏ２０重量％とし
た以外は実施例３と同様にして洗面ガラス板上に陰極を
形成した。この陰極は厚み０．３μｍで黒灰色を呈し、
光透過率は４０％であった。また、陽極としてＩＴＯ
（インジウム−錫化合物）を背面ガラス板上に形成し
た。さらに、この陽極上に蛍光体を被着した。

【００６７】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、使用した
放電ガスは実施例３と同様であった。

【００６８】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００６９】比較例３背面ガラス板上に、平均粒径１μｍで組成がＬａ_0.5Ｓ
ｒ_0.5ＣｏＯ₃の粉体１００容量部と低融点ガラス（ノリ
タケカンパニーリミテド社製：商品名Ｎｏ．ＮＰ−
７０９５）１５容量部とをエチルセルロースをブチルセ
ロソルブに溶解した液体ビヒクルと共に混練した印刷ペ
ーストを用い、下地金属上に線幅０．１５ｍｍに印刷し
た後、５５０℃で焼成し、陰極を形成した。このように
して得られた陰極の厚みは１０μｍであった。また、陽
極としてＩＴＯ（インジウム−錫化合物）を背面ガラス
板上に形成した。さらに、この陽極上に蛍光体を被着し
た。

【００７０】この陰極および陽極を用い、上記の形状お
よび材質等からなるパネルを作成した。なお、使用した
下地金属は実施例１および放電ガスは実施例３と同様の
ものとした。

【００７１】パネルを作成後、実施例１と同様にエージ
ングし、放電電流を一定として、駆動電圧、輝度、コン
トラストおよびエージング時間を測定し、結果を表２に
示した。

【００７２】

【表２】

【００７３】表２に示された実施例と比較例との対比か
ら明らかなように、実施例１〜５は比較例１〜３に比較
して、低電圧で駆動でき、輝度およびコントラストを大
きくなり、また、エージング時間も短縮することができ
る。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の直流型放
電表示管においては、陰極自身が透光性を有するので、
低電圧で駆動でき高輝度および高コントラストを得るこ
とができる。また、陰極材料が耐スパッタに強いので、
水銀封入なしで駆動でき、環境衛生上も好ましい。

【００７５】また、本発明の製造方法によって、印刷技
術が適用でき安価に陰極を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】各実施例および比較例で作成したパネル構造
を説明する模式平面図。

【図２】図１の断面の一例を示す模式断面図。

【符号の説明】

１前面ガラス板、２背面ガラス板、３線条電極
群、３ｋ陰極、３ａ陽極、３ｕ下地金属、４端
子部、５封止ガラス、６隔壁、７蛍光体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者横井達政愛知県海部郡八開村大字鵜多須字中道74番地 (72)発明者神谷孫典愛知県豊田市上挙母１丁目５番地 (72)発明者浅井秀之愛知県愛知郡長久手町大字長湫字中池５番地 (72)発明者中野竜次愛知県名古屋市中川区富田町大字戸田字宮田30番地 (72)発明者菊地直哉愛知県西加茂郡三好町大字三好字東山300 番地

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】陰極が元素周期律表のＩａ，IIａ，III
ａ族から選ばれる少なくとも１種の元素を含有する導電
性酸化物で形成され、該陰極の厚みが１μｍ以下で透光
性を有することを特徴とする直流型放電表示管。
【請求項２】前記陰極が前面ガラス板に形成される請
求項１に記載の直流型放電表示管。
【請求項３】前記陰極の下地に金属を有する請求項１
または２に記載の直流型放電表示管。
【請求項４】管内封入ガスが水銀を含まないものであ
る請求項１〜３のいずれかに記載の直流型放電表示管。
【請求項５】元素周期律表のＩａ，IIａ, IIIａ族か
ら選ばれる少なくとも１種の元素を含有する有機金属化
合物の１種以上を溶剤で溶解して基体に塗布し、乾燥
後、焼成し、導電性酸化物を基体に被着させることを特
徴とする直流型放電表示管用陰極の製造方法。
【請求項６】前記有機金属化合物を膜成形用樹脂と共
に溶剤に溶解し、基体に塗布する請求項５に記載の陰極
の製造方法。
【請求項７】前記有機金属化合物の塗布が印刷よるも
のである請求項５または６に記載の陰極の製造方法。
【請求項８】前記焼成温度が４５０〜６００℃である
請求項５，６または７に記載の陰極の製造方法。