JPH05119137A - 強磁性薄膜抵抗素子 - Google Patents
強磁性薄膜抵抗素子Info
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- JPH05119137A JPH05119137A JP3008924A JP892491A JPH05119137A JP H05119137 A JPH05119137 A JP H05119137A JP 3008924 A JP3008924 A JP 3008924A JP 892491 A JP892491 A JP 892491A JP H05119137 A JPH05119137 A JP H05119137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- insertion hole
- resistance element
- film resistance
- ferromagnetic thin
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 モータ類の回転を制御する感磁センサーとし
て使用される強磁性薄膜抵抗素子において、バイアス磁
石を固定する構造として、リブ付磁石挿入穴と磁石を組
合す方法を発明し、接着剤を使用せずにしかも複雑な操
作もせずに磁石挿入穴の中央に磁石を確実に固定し異常
音の発生の原因を取り除くことを目的とする。 【構成】 保持台6に設けられたリブ9付の磁石挿入穴
4にバイアス磁石3を挿入する。この場合リブ9を有し
ているため、バイアス磁石3はかならずリブ9を押しつ
ぶしながら挿入される、とともにバイアス磁石3は側壁
より中央へ押されて最終的には、リブ9の作用で接着剤
も不要で中央に確実に固定される。
て使用される強磁性薄膜抵抗素子において、バイアス磁
石を固定する構造として、リブ付磁石挿入穴と磁石を組
合す方法を発明し、接着剤を使用せずにしかも複雑な操
作もせずに磁石挿入穴の中央に磁石を確実に固定し異常
音の発生の原因を取り除くことを目的とする。 【構成】 保持台6に設けられたリブ9付の磁石挿入穴
4にバイアス磁石3を挿入する。この場合リブ9を有し
ているため、バイアス磁石3はかならずリブ9を押しつ
ぶしながら挿入される、とともにバイアス磁石3は側壁
より中央へ押されて最終的には、リブ9の作用で接着剤
も不要で中央に確実に固定される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はビデオテープレコーダに
使用されているキャプスタンモータ等モータ類の回転制
御の検知素子として利用される強磁性薄膜抵抗素子に関
するものである。
使用されているキャプスタンモータ等モータ類の回転制
御の検知素子として利用される強磁性薄膜抵抗素子に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、強磁性薄膜抵抗素子はモータ類の
回転制御に対して、従来より使われてきたFGパターン
方式,リングヘッド方式およびホール素子を利用する方
法に取って替わろうとしてきている。
回転制御に対して、従来より使われてきたFGパターン
方式,リングヘッド方式およびホール素子を利用する方
法に取って替わろうとしてきている。
【0003】以下に従来の強磁性薄膜抵抗素子について
説明する。図3は従来の強磁性薄膜抵抗素子の背面から
の概略斜視図を示すものである。図3において、1は感
磁部で、被検出体であるモータ側に取り付けられた一定
間隔に着磁されたリングの着磁部を検知する部分であ
る。2は上記着磁部の磁界により変化した感磁部の出力
電圧を取り出すための端子である。3は感磁部1の特性
を変えるためのバイアス磁石である。4はバイアス磁石
3を挿入固定する磁石挿入穴である。5は磁石挿入穴4
とバイアス磁石3の隙間である。6は前記感磁部1,バ
イアス磁石3を保持するとともに、モータ側の着磁リン
グと感磁部1との間隔を精度よく保つための保持台であ
る。7と8はこの保持台6を固定するためのネジ穴であ
る。
説明する。図3は従来の強磁性薄膜抵抗素子の背面から
の概略斜視図を示すものである。図3において、1は感
磁部で、被検出体であるモータ側に取り付けられた一定
間隔に着磁されたリングの着磁部を検知する部分であ
る。2は上記着磁部の磁界により変化した感磁部の出力
電圧を取り出すための端子である。3は感磁部1の特性
を変えるためのバイアス磁石である。4はバイアス磁石
3を挿入固定する磁石挿入穴である。5は磁石挿入穴4
とバイアス磁石3の隙間である。6は前記感磁部1,バ
イアス磁石3を保持するとともに、モータ側の着磁リン
グと感磁部1との間隔を精度よく保つための保持台であ
る。7と8はこの保持台6を固定するためのネジ穴であ
る。
【0004】以上のように構成された強磁性薄膜抵抗素
子について、磁石挿入穴4とバイアス磁石3(今後は磁
石と呼称する)の関係について説明する。まず磁石挿入
穴4に磁石3を挿入する場合、現在の技術力では磁石挿
入穴4および磁石3の双方とも寸法精度にバラツキが発
生し、隙間5が発生することなく磁石3を挿入すること
は困難である。それらの理由のため、磁石挿入穴の寸法
は磁石の寸法公差の最大寸法よりも大きくなるように設
計されている。
子について、磁石挿入穴4とバイアス磁石3(今後は磁
石と呼称する)の関係について説明する。まず磁石挿入
穴4に磁石3を挿入する場合、現在の技術力では磁石挿
入穴4および磁石3の双方とも寸法精度にバラツキが発
生し、隙間5が発生することなく磁石3を挿入すること
は困難である。それらの理由のため、磁石挿入穴の寸法
は磁石の寸法公差の最大寸法よりも大きくなるように設
計されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そして上記の従来の構
成では、磁石挿入穴4と磁石3の間に隙間5ができるた
めに、この隙間5に接着剤を流し込むか、または前もっ
て接着剤を磁石挿入穴4に入れておき後から磁石3を挿
入し固定する方法を採用している。これらの構成では、
磁石3は磁石挿入穴4の中央に固定されにくく、また接
着剤を前もって磁石挿入穴に入れておく方法は接着剤の
量のバラツキにより感磁部と磁石の間隔にバラツキが発
生し感磁特性にバラツキが生じる。場合によっては接着
不良が発生し、磁石が磁石挿入穴より抜け落ちたり、ま
た磁石と磁石挿入穴とのわずかの隙間のためにモータ回
転時の動作時にモータ側の着磁リングの磁界の影響を受
け、磁石挿入穴の中の磁石が振動し、異常音を発生させ
るとともに感磁特性に異常を発生させるという問題点を
有していた。
成では、磁石挿入穴4と磁石3の間に隙間5ができるた
めに、この隙間5に接着剤を流し込むか、または前もっ
て接着剤を磁石挿入穴4に入れておき後から磁石3を挿
入し固定する方法を採用している。これらの構成では、
磁石3は磁石挿入穴4の中央に固定されにくく、また接
着剤を前もって磁石挿入穴に入れておく方法は接着剤の
量のバラツキにより感磁部と磁石の間隔にバラツキが発
生し感磁特性にバラツキが生じる。場合によっては接着
不良が発生し、磁石が磁石挿入穴より抜け落ちたり、ま
た磁石と磁石挿入穴とのわずかの隙間のためにモータ回
転時の動作時にモータ側の着磁リングの磁界の影響を受
け、磁石挿入穴の中の磁石が振動し、異常音を発生させ
るとともに感磁特性に異常を発生させるという問題点を
有していた。
【0006】例えば、図2(a)に示すような磁石挿入
穴4に磁石3を入れた場合、同図(b)のように隙間5
が生じ接着剤10が流し込まれている。しかしながら磁
石挿入穴4の4面の側壁より磁石3までの隙間5が均一
にならず大部分の磁石3が図2(b)に示すように一辺
ないし二辺の側壁に寄り中央に固定されたものはほとん
どなかった。また従来例1000個をモータの回転制御
の感磁実験を実施したところ、3個異常音が発生し、調
査の結果接着不良のため、磁石挿入穴4側壁と磁石3の
間に微小な隙間5が発生し磁石が振動し異常音を発生し
ていることが判明した。
穴4に磁石3を入れた場合、同図(b)のように隙間5
が生じ接着剤10が流し込まれている。しかしながら磁
石挿入穴4の4面の側壁より磁石3までの隙間5が均一
にならず大部分の磁石3が図2(b)に示すように一辺
ないし二辺の側壁に寄り中央に固定されたものはほとん
どなかった。また従来例1000個をモータの回転制御
の感磁実験を実施したところ、3個異常音が発生し、調
査の結果接着不良のため、磁石挿入穴4側壁と磁石3の
間に微小な隙間5が発生し磁石が振動し異常音を発生し
ていることが判明した。
【0007】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、磁石挿入穴と磁石の寸法バラツキを吸収し、しかも
接着剤を使用せず磁石を磁石挿入穴の中央に固定した強
磁性薄膜抵抗素子を提供することを目的とする。
で、磁石挿入穴と磁石の寸法バラツキを吸収し、しかも
接着剤を使用せず磁石を磁石挿入穴の中央に固定した強
磁性薄膜抵抗素子を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の強磁性薄膜抵抗素子は、感磁部と、この感磁
部の特性を決定するバイアス磁石と、前記感磁部の出力
を電気的に取り出す端子と、前記感磁石とバイアス磁石
と端子を保持する保持台とから構成され、保持台は前記
バイアス磁石を挿着する挿入穴を有し、この挿入穴は側
面に挿入口より穴の底部に向って形成された細長い突起
部を複数備え、この突起部を押しつぶすようにバイアス
磁石を固定したことを特徴とするものである。
に本発明の強磁性薄膜抵抗素子は、感磁部と、この感磁
部の特性を決定するバイアス磁石と、前記感磁部の出力
を電気的に取り出す端子と、前記感磁石とバイアス磁石
と端子を保持する保持台とから構成され、保持台は前記
バイアス磁石を挿着する挿入穴を有し、この挿入穴は側
面に挿入口より穴の底部に向って形成された細長い突起
部を複数備え、この突起部を押しつぶすようにバイアス
磁石を固定したことを特徴とするものである。
【0009】
【作用】本発明によれば、バイアス磁石は突起部に保持
された形で挿入穴に固定されるもので、磁石は挿入穴の
中央の位置に固定される。従って磁石が振動することは
なく異常音が発生する原因が取り除かれて、感磁特性も
バラツキが少ないものとなる。また接着剤も不要なもの
となる。
された形で挿入穴に固定されるもので、磁石は挿入穴の
中央の位置に固定される。従って磁石が振動することは
なく異常音が発生する原因が取り除かれて、感磁特性も
バラツキが少ないものとなる。また接着剤も不要なもの
となる。
【0010】
(実施例1)以下、本発明の一実施例の強磁性薄膜抵抗
素子について、図面を参照しながら説明する。図1
(a),(b)は本発明の第1の実施例における強磁性
薄膜抵抗素子の磁石挿入穴側面のリブの状態とそこへ磁
石を挿入した状態を示すものである。図1(a)は、本
発明の未磁石挿入時の磁石挿入穴の正面概略図、図1
(b)は本発明の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面概略
図である。図1(a)において、4は磁石挿入穴、6は
保持台の一部分、9は磁石挿入穴側面に設けられたリ
ブ、図1(b)において、3は挿入されたバイアス磁
石、5は磁石挿入後の隙間、9は押しつぶされたリブで
ある。
素子について、図面を参照しながら説明する。図1
(a),(b)は本発明の第1の実施例における強磁性
薄膜抵抗素子の磁石挿入穴側面のリブの状態とそこへ磁
石を挿入した状態を示すものである。図1(a)は、本
発明の未磁石挿入時の磁石挿入穴の正面概略図、図1
(b)は本発明の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面概略
図である。図1(a)において、4は磁石挿入穴、6は
保持台の一部分、9は磁石挿入穴側面に設けられたリ
ブ、図1(b)において、3は挿入されたバイアス磁
石、5は磁石挿入後の隙間、9は押しつぶされたリブで
ある。
【0011】以上のように構成された強磁性薄膜抵抗素
子について、図1(a),(b)を用いて説明する。
子について、図1(a),(b)を用いて説明する。
【0012】本実施例においては、バイアス磁石3の寸
法公差の最大寸法が磁石挿入穴4の寸法公差の最小寸法
を越えないよう設計に考慮し、それらのものを組合せ
る。その際の磁石挿入穴4の側面のリブ9の高さ寸法
は、磁石挿入穴4の寸法公差の最大寸法からバイアス磁
石3の寸法公差の最小寸法を減じた値の1/2の値に決
定する。またリブ9の形状はリブの高さ方向へ磁石挿入
穴4の底面より上方へ向かって細くするよう設計すれ
ば、バイアス磁石3挿入時滑らかな作業ができるもので
ある。保持台6は成型樹脂製であり、磁石挿入穴4とし
て一辺が3.1±0.05mmの正方形、深さ2.2mm、
バイアス磁石3は1辺が3.0±0.05mm、高さ2.
0mmのものを設計した。この組合せであれば、図1
(a)に示すように磁石挿入穴4の4辺それぞれに設け
たリブの高さは、磁石挿入穴4の最大寸法よりバイアス
磁石3の最小寸法を減じた値すなわち0.2mmの1/2
の値であるから0.1mmとなる。
法公差の最大寸法が磁石挿入穴4の寸法公差の最小寸法
を越えないよう設計に考慮し、それらのものを組合せ
る。その際の磁石挿入穴4の側面のリブ9の高さ寸法
は、磁石挿入穴4の寸法公差の最大寸法からバイアス磁
石3の寸法公差の最小寸法を減じた値の1/2の値に決
定する。またリブ9の形状はリブの高さ方向へ磁石挿入
穴4の底面より上方へ向かって細くするよう設計すれ
ば、バイアス磁石3挿入時滑らかな作業ができるもので
ある。保持台6は成型樹脂製であり、磁石挿入穴4とし
て一辺が3.1±0.05mmの正方形、深さ2.2mm、
バイアス磁石3は1辺が3.0±0.05mm、高さ2.
0mmのものを設計した。この組合せであれば、図1
(a)に示すように磁石挿入穴4の4辺それぞれに設け
たリブの高さは、磁石挿入穴4の最大寸法よりバイアス
磁石3の最小寸法を減じた値すなわち0.2mmの1/2
の値であるから0.1mmとなる。
【0013】以上のように構成された保持台6とバイア
ス磁石3を準備し、その磁石挿入穴4に挿入した。バイ
アス磁石3を挿入すると、周囲のリブ9が必ずバイアス
磁石3に当り、しかもバイアス磁石3がリブ9の突端を
均一に押しつぶしながら挿入される。その結果、バイア
ス磁石3はリブ9のために中央へ寄せられながら挿入さ
れていき、底に到達したときには周囲よりリブ9により
押し付けられて固定される。したがって、接着剤は不必
要で、バイアス磁石3は磁石挿入穴4の4側壁との隙間
が均一で中央に自然に位置し、確実に固定され磁石も抜
けるようなこともなくなるため、感磁特性も従来のもの
に比較してバラツキの少ないものにすることができる。
本実施例100000個についてモータの回転制御の感
磁実験をしたところ異常音発生の製品は皆無であった。
ス磁石3を準備し、その磁石挿入穴4に挿入した。バイ
アス磁石3を挿入すると、周囲のリブ9が必ずバイアス
磁石3に当り、しかもバイアス磁石3がリブ9の突端を
均一に押しつぶしながら挿入される。その結果、バイア
ス磁石3はリブ9のために中央へ寄せられながら挿入さ
れていき、底に到達したときには周囲よりリブ9により
押し付けられて固定される。したがって、接着剤は不必
要で、バイアス磁石3は磁石挿入穴4の4側壁との隙間
が均一で中央に自然に位置し、確実に固定され磁石も抜
けるようなこともなくなるため、感磁特性も従来のもの
に比較してバラツキの少ないものにすることができる。
本実施例100000個についてモータの回転制御の感
磁実験をしたところ異常音発生の製品は皆無であった。
【0014】以上のように本実施例によれば、磁石挿入
穴4の側壁にリブ9を設けることにより、複雑な操作も
必要とせず、接着剤も不要でバイアス磁石3を磁石挿入
穴4の中央に確実に固定することができる。そして異常
音の発生もなく、感磁特性のバラツキもない。
穴4の側壁にリブ9を設けることにより、複雑な操作も
必要とせず、接着剤も不要でバイアス磁石3を磁石挿入
穴4の中央に確実に固定することができる。そして異常
音の発生もなく、感磁特性のバラツキもない。
【0015】(実施例2)以下、本発明の第2の実施例
について図面を参照しながら説明する。以下に説明する
ネジ穴8以外については、第1の実施例と同様である。
について図面を参照しながら説明する。以下に説明する
ネジ穴8以外については、第1の実施例と同様である。
【0016】図3において、ネジ穴8は円形であり、感
磁素子として使用する場合の保持台6の固定用ネジ穴で
ある。このネジ穴8は強磁性薄膜抵抗素子を生産する場
合にも、保持台6の搬送用として、ピンを通す穴として
も使用している。その搬送時のピンは円柱型をしてお
り、外径はネジ穴8に近い寸法を選んでも、ネジ穴8と
ピン外径に公差があり、ネジ穴8がピンに入らなかった
り、また公差が大きすぎ、ガタが出たりあるいは抜けて
しまうことがある。それを解決するために、ネジ穴8内
径寸法0.8mmに対し、内壁に角度120度毎3ヶ所に
高さ0.1mmの三角形のリブをネジ穴と平行に設けたも
のである。またそれに対するピンの外径を0.65±
0.05mmに設計し、実験した。結果は、ネジ穴にリブ
なしで生産したときの上記に関係するトラブルは0.1
%〜0.5%程度であったが、リブ付のものを生産した
ときには0.01%〜0.02%とトラブル率が約1桁
減少した。
磁素子として使用する場合の保持台6の固定用ネジ穴で
ある。このネジ穴8は強磁性薄膜抵抗素子を生産する場
合にも、保持台6の搬送用として、ピンを通す穴として
も使用している。その搬送時のピンは円柱型をしてお
り、外径はネジ穴8に近い寸法を選んでも、ネジ穴8と
ピン外径に公差があり、ネジ穴8がピンに入らなかった
り、また公差が大きすぎ、ガタが出たりあるいは抜けて
しまうことがある。それを解決するために、ネジ穴8内
径寸法0.8mmに対し、内壁に角度120度毎3ヶ所に
高さ0.1mmの三角形のリブをネジ穴と平行に設けたも
のである。またそれに対するピンの外径を0.65±
0.05mmに設計し、実験した。結果は、ネジ穴にリブ
なしで生産したときの上記に関係するトラブルは0.1
%〜0.5%程度であったが、リブ付のものを生産した
ときには0.01%〜0.02%とトラブル率が約1桁
減少した。
【0017】なお、磁石挿入穴4が円形の場合は、内面
に穴と平行に少なくとも3ヶ所のリブを設けることによ
り、本実施例と同様の効果が得られる。
に穴と平行に少なくとも3ヶ所のリブを設けることによ
り、本実施例と同様の効果が得られる。
【0018】このように、本実施例の強磁性薄膜抵抗素
子によれば、第1の実施例の効果に加えて生産上のトラ
ブルを減少させることができるという効果も得られる。
子によれば、第1の実施例の効果に加えて生産上のトラ
ブルを減少させることができるという効果も得られる。
【0019】
【発明の効果】以上のように本発明は、磁石挿入穴の内
面側壁に穴と平行に突起部を設け、しかもこの突起部を
押しつぶしながら磁石を挿入し固定させた強磁性薄膜抵
抗素子は、次のような効果を得られる。(1)接着剤を
必要とせず磁石を固定させることができる。(2)磁石
挿入穴と磁石の寸法バラツキはある程度まで吸収し固定
させることが可能。(3)角形挿入穴,円形挿入穴双方
に応用が可能。(4)特別な操作,治具,設備を必要と
せずに挿入穴の中央に挿入することができる。(5)以
上のようにして生産した強磁性薄膜抵抗素子は感磁部と
磁石の位置関係が精度良く確保できるため、感磁特性の
バラツキが小になる。
面側壁に穴と平行に突起部を設け、しかもこの突起部を
押しつぶしながら磁石を挿入し固定させた強磁性薄膜抵
抗素子は、次のような効果を得られる。(1)接着剤を
必要とせず磁石を固定させることができる。(2)磁石
挿入穴と磁石の寸法バラツキはある程度まで吸収し固定
させることが可能。(3)角形挿入穴,円形挿入穴双方
に応用が可能。(4)特別な操作,治具,設備を必要と
せずに挿入穴の中央に挿入することができる。(5)以
上のようにして生産した強磁性薄膜抵抗素子は感磁部と
磁石の位置関係が精度良く確保できるため、感磁特性の
バラツキが小になる。
【図1】(a)は本発明の一実施例の強磁性薄膜抵抗素
子の未磁石挿入時の磁石挿入穴の正面図 (b)は同実施例の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面図
子の未磁石挿入時の磁石挿入穴の正面図 (b)は同実施例の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面図
【図2】(a)は従来の未磁石挿入時の磁石挿入穴の正
面図 (b)は従来の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面図
面図 (b)は従来の磁石挿入時の磁石挿入穴部の正面図
【図3】従来の強磁性薄膜抵抗素子の背面からみた斜視
図
図
1 感磁部 2 端子 3 バイアス磁石 4 磁石挿入穴 5 隙間 6 保持台 8 ネジ穴 9 リブ
Claims (4)
- 【請求項1】感磁部と、この感磁部の特性を決定するバ
イアス磁石と、前記感磁部の出力を電気的に取り出す端
子と、前記感磁石とバイアス磁石と端子を保持する保持
台とから構成され、保持台は前記バイアス磁石を挿着す
る挿入穴を有し、この挿入穴は側面に挿入口より穴の底
部に向って形成された細長い突起部を複数備え、この突
起部を押しつぶすようにバイアス磁石を固定したことを
特徴とする強磁性薄膜抵抗素子。 - 【請求項2】磁石挿入穴が円型の場合は突起部を3本以
上備えたことを特徴とする請求項1記載の強磁性薄膜抵
抗素子。 - 【請求項3】磁石挿入穴が角型の場合はそれぞれの辺に
1本以上の突起部を備えたことを特徴とする請求項1記
載の強磁性薄膜抵抗素子。 - 【請求項4】保持台に形成したネジ穴の内壁に深さ方向
に細長い突起部を設けた請求項1記載の強磁性薄膜抵抗
素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3008924A JPH05119137A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 強磁性薄膜抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3008924A JPH05119137A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 強磁性薄膜抵抗素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05119137A true JPH05119137A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=11706206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3008924A Pending JPH05119137A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 強磁性薄膜抵抗素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05119137A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009175073A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Yaskawa Electric Corp | 磁気式エンコーダ |
JP2010014649A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Tamagawa Seiki Co Ltd | インナジンバルの回転角度検出方法及び装置 |
JP2010527445A (ja) * | 2007-05-18 | 2010-08-12 | コアクティヴ・テクノロジーズ・インコーポレイティッド | 一つの軸の周りに回転可能な要素の作動角度を検出するための装置 |
JP2011002392A (ja) * | 2009-06-20 | 2011-01-06 | Tdk Corp | 移動体検出装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH034509A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Tokin Corp | 磁界発生素子、並びにその製造方法 |
-
1991
- 1991-01-29 JP JP3008924A patent/JPH05119137A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH034509A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Tokin Corp | 磁界発生素子、並びにその製造方法 |
Cited By (4)
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JP2009175073A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Yaskawa Electric Corp | 磁気式エンコーダ |
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