JP3055935B2 - 大きい角速度を測定するための電磁流体力学効果角速度センサ - Google Patents

大きい角速度を測定するための電磁流体力学効果角速度センサ

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JP3055935B2
JP3055935B2 JP2515639A JP51563990A JP3055935B2 JP 3055935 B2 JP3055935 B2 JP 3055935B2 JP 2515639 A JP2515639 A JP 2515639A JP 51563990 A JP51563990 A JP 51563990A JP 3055935 B2 JP3055935 B2 JP 3055935B2
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    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は角速度センサ技術、特に帯域幅が広く、大
きな衝撃環境において大きな角速度を測定するように設
計された電子角速度センサに関する。
背景技術 この発明は本発明者の米国特許第4,718,276号に開示
されている角速度センサを更に発展させたものである。
この米国特許では回転軸を中心とする角速度を測定する
ことが述べられている。その角速度センサは中心軸を中
心とする導電性流体の環状チャンネルを有し、それによ
って角速度が測定される。その導電性流体に磁場を印加
し、抗慣性質量として機能させている。その流体に対す
る容器の回転は電磁流体力学効果により隣接する電極片
に電流変化として検出される。この電極片はまたトラン
スの１次巻線を構成している。このトランスの２次巻線
はトランスデューサの感応軸を中心とする角速度に比例
する増幅された電圧を出力する。この米国特許に開示さ
れた装置は非常に遅い角速度を測定する場合に有利であ
る。
しかしながらこの米国特許で述べられている装置には
いくつかの欠点がある。その１つはセンサの衝撃により
生じる磁界の変化に対する感度である。容器のわずかな
変形によりトランスの２次巻線に生じる好ましくない電
圧のようなEMFの変化が生じる。
これらの外来電圧は角速度測定には無関係であり、正
確な角速度測定を損なう。
更に、この装置においてはセンサの外部の関係ない電
磁界が不要な電圧をトランス巻線に誘起させて測定精度
を損なわないようにすることが困難である。
この発明はこのような問題を解決するものである。こ
の発明は衝撃測定、特に自動車の衝突試験のように人間
を模擬したダミー（模擬試験装置）を使って自動車の衝
突により受ける負傷を予測するために使用され、特に衝
撃時のダミーの頭部の角速度を測定するのに使用され
る。
この発明の目的は２次巻線を持たず外部の浮遊電磁界
に対し高い不感応性を有する電子角速度センサを提供す
ることである。
この発明の更に特定な目的は大きな加速度に対し感応
する２次巻線あるいはトランスコアを使用しないことに
よりセンサの精度に対する大きな衝撃の影響をなくすこ
とである。
発明の開示 この発明の目的は高磁束密度を有する金属容器中に形
成された電子角速度センサによって達成される。この金
属容器はセンサに対し外部磁界の影響をほとんど遮断す
る。この金属容器の中に測定軸を中心とする環状チャン
ネルが配置されている。環状チャンネル内には好ましく
は水銀のような導電性流体が封入されており、その導電
性流体はチャンネル内でセンサの加速及び減速時に慣性
的静止状態に保持される。
チャンネルの下にマグネットが設けられ、導電性流体
を貫通する一定の磁束が形成されている。測定軸上に導
電性流体と接触して導電性の中央棒が設けられている。
流体及び中央棒はマグネットと電気的に絶縁されてい
る。
チャンネルの上側にはチャンネルキャップが設けら
れ、チャンネルの上端縁で流体を封止している。チャン
ネルの上に増幅回路が配置され、その増幅回路の正及び
負入力は金属容器と中央棒に接続され、チャンネルは中
央棒電極と電気的に接触している。測定軸を中心として
装置に加速度が与えられている間、その装置の角速度を
表わす電磁流体力学効果により容器と中央棒との間に電
位が生じる。
装置全体として必要な接続数は最小となるようにされ
ている。装置の一端に止め金具か又はネジ穴が設けられ
角速度を測定する試験物体に取り付けできるようにされ
ている。
この発明によれば、金属容器内の環状チャンネルに導
電性流体が封入され、その導電性流体を通る磁束をマグ
ネットに与えると共に環状チャンネルの中心軸に導電性
流体と接触して設けた導電性の中央棒と金属容器との間
に角速度に応じて生じる電圧を直接増幅回路に与えて角
速度信号を得るように構成しているため、角速度信号に
加わる角速度以外による外来電圧を小さくすることがで
きる。
図面の簡単な説明 図１はこの発明の好ましい実施例の断面図である。
図２は図１のセンサの接続端子を示すセンサの上面図
である。
図３は図１のセンサの増幅回路を示す図である。
図４は図１のセンサの振幅応答を示す図である。
図５は図１のセンサの位相応答を示す図である。
図６は図１のセンサの製造における第１段階を説明す
るための図である。
図７は図１のセンサの製造における第２段階を説明す
るための図である。
図８は図１のセンサのチャンネルに水銀を充填する段
階を説明するための図である。
発明を実施するための最良の形態 図１はこの発明の好ましい実施例によるセンサ10の断
面を示す。容器11は外部からの磁気的影響からセンサを
遮断すると共に異物が入らないようにする。
容器11は高い飽和磁束密度を有する材料により、直径
20.3mm、高さ19.1mmの円筒状に形成される。この材料は
バナジウムパーメンデュア合金のような鉄コバルト合金
でよいし、又はニッケル鉄合金でもよい。この材料によ
りセンサの内部は角速度測定精度を低下させる外部から
の磁気的影響から実質的に遮断される。容器はまた永久
磁石に対し閉磁気回路として機能する。
容器11の下端面にネジ穴12が形成されている。ネジ穴
12により角速度を測定すべき物体にセンサ10を簡単に取
り付けることができる。ネジ穴12の軸９はセンサ10の測
定軸と一致しているので軸９を中心とする角速度の測定
に都合がよい。もちろんネジ穴以外の方法によって図１
のセンサを取り付けるようにしてもよい。例えば容器11
に雄ネジを固定して取り付け、その雄ネジを測定物体に
設けたネジ穴にネジ込むようにしてもよい。
容器11内の空洞の底に永久磁石28が配置される。永久
磁石28のN/S極の方向はセンサ10の軸に沿っている。永
久磁石28はＳ極が空洞の底に対接するように反転して取
り付けてもよい。その場合、出力電圧の極性が反転し、
ある場合には都合がよい。
磁石28は円盤状であり、例えばNdFeBで形成される。
好ましい実施例で使用される磁石28は30MGOe（メガエル
ステッド）以上のエネルギ積を有している。エポキシの
絶縁カバー24が磁石28の上に覆ぶせられ、水銀23を入れ
る流体室を含むチャンネル20から磁石を分離する。
チャンネル20は環状であり、その中心軸はセンサの軸
９と一致している。中央棒21が絶縁部材24の上に設けら
れている。
水銀23で満たされたチャンネル20はポリカーボネイト
のキャップ25により蓋がされる。好ましい実施例を製造
する方法の説明で明らかにするが、このキャップ25は例
えば注入成形エポキシ材で作られ、中央棒21と共にチャ
ンネル20を封止する。
内蓋26の外周にはネジが切られており、容器11内の空
洞内周に形成された雌ネジに螺合されている。その状態
で内蓋26はキャップ25と中央棒21をそれらの位置に保持
すると共にチャンネル20の頂面を封止する。
内蓋26の上には正、負入力を有する増幅器を含む増幅
回路29と、±15Vを供給するための電源端子が設けられ
ている。増幅回路29は例えば厚膜ハイブリッド回路であ
り、エレクトロニクスヘッダ27に取り付けられている。
ヘッダ27はその外周面に形成されたネジにより容器11の
空洞の中に螺合されている。ヘッダはセンサの接続端子
となるピン14〜19を有しそれらは絶縁体17によりヘッダ
27及び容器11からガラス絶縁されている。これらのピン
のうちの１つのピン15は中央棒21に形成した孔に挿入さ
れている。ヘッダ27が所定の深さにねじ込まれると、中
央棒21とピン15が電気的に接続される。
増幅回路のための外部接続を図２に示す。これらの接
続は中央ピン15、増幅器のための２つの端子14,16及び
２つの電源供給ピン18,19によって行なわれる。中央ピ
ン15は容器11に対し中央棒21に生じた電位を直接測定で
きるように導出されており、テストポイントとして使用
される。２つの穴８はヘッダ27の外周にネジを切る時に
ヘッダを保持するために使用され、またヘッダ27を容器
11内にネジ込む時にも使用される。
動作時に角加速度が軸９を中心に与えられると、環状
チャンネル20内の水銀23は感応軸を中心とし静止慣性状
態を保持しようとする。したがって水銀に対する容器11
の相対角速度により中央棒21と容器11との間に電位が
発生する。この電位は次の周波数速度式で表わすことが
できる。
ここでKa/（RCS＋１）は増幅回路又はヘッダ27の伝達
関数であり、B0は水銀中の磁束密度であり、ｒは水銀チ
ャンネル23の２乗平均平方根半径であり、ｗは水銀チャ
ンネルの有効幅である。またτは次式 で表わされ、νは水銀の運動粘性度であり、ｈは水銀チ
ャンネルの有効高さであり、Ｍはハートマン数であり、
Kaは増幅器利得であり、ｓはラプラス変数であり、φ
（ｓ）は入力角速度である。
上述の式で表わしたようにセンサは磁束がチャンネル
を通って発生されることが要求される。いわゆるハーマ
ン数Ｍは次のように定義される。
ここでηは水銀の比抵抗、ρは水銀の密度、νは水銀
の運動粘性度、φ（ｓ）は入力角速度である。
増幅回路の具体例を図３に示す。増幅器の２つの入力
のうち負極入力は容器11に接続され、正極入力は中央ピ
ン21に接続される。容器11は増幅器16のための共通接続
点となる。
図４及び図５は図１の装置の振幅及び位相周波数応答
を示す。図４からわかるように装置の全帯域は前述の米
国特許におけるセンサのものより広い。トランスを使用
しないことにより装置の分解能が損われる代りに帯域幅
を増大することができる。この発明による装置のコーナ
ー周波数は低く、全帯域幅、特に低い周波数角速度の領
域で改善されている。
図５の位相応答が示すように10Hzから数100Hzの帯域
内の角速度はほとんど位相遅延を受けない。このことは
図１のセンサ装置からの出力信号を測定するために使用
する測定器において、位相オフセットについての補正は
非常に小さくてすむ点で利点となっている。
上述のセンサは前述の米国特許に示されたセンサに比
べて非常に小形であり、かつ外部磁場の影響が小さい。
自動車の衝突試験におけるセンサの衝突で容器11に対し
動的な力が加えられてもこの発明のセンサでは２次巻線
あるいはトランスを使用してないので前述の米国特許の
装置で生じたようなトランス巻線を通る磁束の変化は生
じない。このようにトランス巻線を通る磁束の変化がな
いので、動的荷重による容器11のわずかな変形があって
も電流誤差は生じない。
図１のセンサの製造は図6,7及び８に示す段階に従っ
て行われる。
図６は図１によるセンサを製造する最初の段階であ
る。容器11はネジ穴12が形成され、また内側に空洞31が
形成されている。空洞はその底に近い段部33で下部の内
周径が小さくなっている。空洞は30にネジが切られてお
り、内蓋26及びエレクトロニクスヘッダ27をねじ込んで
空洞を閉じることができる。
空洞31の底に磁石28が配置される。磁石28のN/S軸は
センサの測定軸方向に向いており、Ｎ極が空洞31の底に
対向している。エポキシを磁石28の上に注入し、切削加
工して磁石28上にエポキシカバー24を形成する。エポキ
シカバー24の上面は円形チャンネルの底面を構成し、チ
ャンネルの外周面は空洞内周壁32で規定されている。
図７に示すように中央棒21はエポキシカバー24の上に
配置され、ポリカーボネイトの蓋25により位置決め保持
されている。ポリカーボネイト蓋は中央に挿通穴が形成
されており、そこに中央棒21が圧入されている。空洞の
狭くなっている部分と関係している段部は蓋25を保持
し、蓋25の周縁部はエポキシで段部に接着される。内蓋
26は容器11と同じ材料で形成され、チャンネル20に導電
性流体を封入してから空洞31の上部内周壁のネジ穴30に
螺合される。中央棒21にはピン15が挿入されるピン穴が
形成されている。
センサ内に構成された円形チャンネル20に導電性流体
が充満される。図８に示すようにポリカーボネイトの蓋
25に細孔が開けられており、それを通して水銀をチャン
ネル20に注入する。内蓋26を外した状態でセンサ10を真
空室に入れ、約1Torrの真空に引く。細い管を使って外
部水銀源からカーボネイト蓋25の細孔35の中に水銀を供
給する。チャンネル20が満たされると、水銀を供給する
細管を細孔35から引き離す。再びセンサを真空室に入れ
て真空に引くことによりチャンネル内に残っている空気
を細孔35から排出する。残留空気が完全に排出されると
水銀表面はチャンネル20の上側で凸面を形成する。残留
空気を除去することは直交軸方向の加速度成分を除去す
る上で重要である。エポキシで細孔35を塞ぎ、それによ
ってチャンネル20を封止する。
図１の装置を製造する残りの製造工程で図３に示すチ
ャンネルをエレクトロニクスヘッダ27の中央凹部に接着
する。ヘッダ27の外周面には容器11のネジ穴30と螺合す
るネジが切られている。ヘッダ27は好ましくは高透磁率
材料により形成され、外部へ浮遊磁場からセンサを遮断
する。ヘッダは図２に示すように５本の端子ピンを有し
ている。ピン14,16,18及び19は図３に示すように増幅器
の出力端子、増幅器の共通接続端子、及び増幅器の正、
負電源供給端子に接続されている。ピン15はヘッダ27を
貫通して突出し、ヘッダ27が空洞31内に螺合されると中
央コンタクト21のピン穴に挿入接触され、電気的に接続
される。
産業上の利用可能性 以上説明したようにこの発明の角速度センサはトラン
スを使用せず、従って巻線を使用してないので、外部磁
界により不要な電圧が誘起されない。従って精度の高い
角速度の測定が可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 3/42 - 3/44 G01P 15/02 G01P 15/11

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】内部に空洞を有し高い飽和磁束密度を有す
    る金属容器と、 上記空洞の軸方向にN,S極が向いて上記空洞の底に配置
    された磁石と、 上記磁石をカバーし、上記空洞の他の部分から上記磁石
    を封止する絶縁部材と、 上記空洞の軸に沿って延び、一端が上記絶縁部材上に支
    持された導電性の中央棒と、 上記空洞内に上記絶縁部材と間隔をおいて配され、上記
    絶縁部材と共にチャンネルを形成し、中央に上記中央棒
    が挿入された穴を有するチャンネルキャップと、 上記チャンネル内に封じられた導電性流体と、及び 上記空洞を閉じて、浮遊磁場からセンサを遮断する筐体
    を形成する、高透磁率材料のヘッダに取り付けられ、上
    記金属容器と上記中央棒にそれぞれ接続された第１及び
    第２入力を有し、上記空洞の中心軸を中心とする上記金
    属容器の角速度に比例した増幅した電圧を発生する電子
    増幅回路、 とを含む電子角速度センサ。
  2. 【請求項２】請求項１記載の角速度センサにおいて、上
    記容器と一体に上記空洞の中心軸と共通の軸を有する取
    付けネジ手段が設けられている。
  3. 【請求項３】請求項１記載の角速度センサにおいて、上
    記容器はバナジウムパーメンデュア合金である。
  4. 【請求項４】請求項１記載の角速度センサにおいて、上
    記導電性流体は水銀である。
  5. 【請求項５】請求項４記載の角速度センサにおいて、上
    記増幅回路の出力電圧の周波数応答は次式 で与えられ、上記Ka/（RCS＋１）は上記増幅回路の周波
    数応答関数であり、上記B0は上記水銀チャンネル中の上
    記水銀を通る磁束蜜度であり、上記ｒは上記水銀チャン
    ネルの２乗平均平方根半径であり、上記ｗは上記水銀チ
    ャンネルの有効幅であり上記τは で表わされる変換時定数であり、上記νは水銀の運動粘
    性度であり、上記ｈは上記水銀チャンネルの有効高さで
    あり、上記Ｍはハートマン数であり、Kaは増幅器利得で
    あり、ｓはラプラス変数であり、φ（ｓ）は入力角速度
    である。
  6. 【請求項６】内部に空洞を有し、高い飽和磁束密度を有
    する円筒状金属容器と、 上記空洞の軸方向にN,S極が向いて上記空洞の底に配置
    された永久磁石と、 上記永久磁石の上に絶縁されて配置され、上記空洞の内
    周面によって側面が規定され、蓋により上面が規定さ
    れ、水銀が満たされた水銀チャンネルと、 上記蓋を通り上記水銀チャンネル中に延びて測定電極を
    構成する中央棒と、及び 上記空洞内でヘッダに支持され、上記中央棒と上記容器
    にそれぞれ接続された入力を有する増幅回路、 とを含み、上記ヘッダは上記空洞を閉じ、かつ外側に上
    記増幅回路のための複数の電気接続端子を保持している
    電子角速度センサ。
  7. 【請求項７】請求項６記載の角速度センサにおいて、上
    記ヘッダを貫通し、上記中央棒と接触する中央端子ピン
    が設けられている。
  8. 【請求項８】請求項６記載の角速度センサにおいて、上
    記永久磁石を上記水銀から絶縁するエポキシカバーが設
    けられており、上記永久磁石はそのＮ極が上記空洞の底
    に対向している。
JP2515639A 1989-10-25 1990-10-25 大きい角速度を測定するための電磁流体力学効果角速度センサ Expired - Lifetime JP3055935B2 (ja)

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US426,254 1989-10-25
US07/426,254 US5067351A (en) 1989-10-25 1989-10-25 Magnetohydrodynamic angular rate sensor for measuring large angular rates

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JPH05502941A JPH05502941A (ja) 1993-05-20
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EP (1) EP0497872B1 (ja)
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AT (1) ATE120011T1 (ja)
CA (1) CA2070628C (ja)
DE (1) DE69017914T2 (ja)
WO (1) WO1991006869A1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5461919A (en) * 1993-10-22 1995-10-31 Maxtor Corporation Low-profile magnetohydrodynamic motion sensor for an electronic system
US5389850A (en) * 1994-02-04 1995-02-14 Maxtor Corporation Rotational shock sensor
US5665912A (en) * 1996-07-03 1997-09-09 A-Tech Corporation Active magnetohydrodynamic rate sensor
US6173611B1 (en) 1999-04-30 2001-01-16 A-Tech Corporation MHD sensor for measuring microradian angular rates and displacements
US7227111B2 (en) * 2003-12-24 2007-06-05 A-Tech Corporation Optical inertial reference unit for kilohertz bandwidth submicroradian optical pointing and jitter control
US7171853B1 (en) 2005-09-30 2007-02-06 Applied Technology Associates Magnetohydrodynamic (MHD) actuator sensor
US7663269B2 (en) * 2006-12-13 2010-02-16 A-Tech Corporation High bandwidth linear actuator for steering mirror applications
JP4552955B2 (ja) * 2007-03-13 2010-09-29 株式会社デンソー スタータ
WO2010040007A2 (en) * 2008-10-01 2010-04-08 A-Tech Corporation Method and apparatus for precision azimuth measurement
US20120227303A1 (en) * 2008-10-14 2012-09-13 Krenzel Arthur E Magnetohydrodynamic Sensor System
US8166818B2 (en) * 2009-03-26 2012-05-01 Honeywell International Inc. Using pole pieces to guide magnetic flux through a MEMS device and method of making

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2850652A (en) * 1953-12-11 1958-09-02 Austin N Stanton Conductive fluid type electromagnetic device
US2753469A (en) * 1954-06-01 1956-07-03 Statham Lab Inc Accelerometers
US3176520A (en) * 1960-09-12 1965-04-06 Honeywell Inc Angular accelerometer
US3238787A (en) * 1960-12-01 1966-03-08 Gen Precision Inc Angular accelerometer equipped with mercury filled rotor
US3306113A (en) * 1963-10-03 1967-02-28 Thomas E Tuccinardi Transducer providing alternating-current output in response to rotation of transducer body relative to inertial conductive fluid contained therein
US3771371A (en) * 1971-11-26 1973-11-13 Singer Co Accelerometer having a liquid proof mass
US4232554A (en) * 1978-11-30 1980-11-11 Grumman Aerospace Corporation Thermal emission flaw detection method
US4232553A (en) * 1979-01-12 1980-11-11 Kbg Corporation Angular acceleration sensing apparatus
US4443724A (en) * 1982-02-19 1984-04-17 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Shaft transducer having DC output proportional to angular velocity
US4764908A (en) * 1982-11-29 1988-08-16 Greer Jr Sedley J Magnetohydrodynamic fluid transducer
DE3341800C2 (de) * 1983-11-19 1985-09-19 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Drehbewegungsmeßgerät
US4726227A (en) * 1984-10-22 1988-02-23 United Technologies Corporation Angular velocity sensor having low temperature sensitivity
US4716763A (en) * 1984-10-22 1988-01-05 United Technologies Corporation Jet flow in an angular velocity sensor
US4718276A (en) * 1986-04-10 1988-01-12 Applied Technology Associates, Inc. Angular motion sensor

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