JPH05118811A - 測定子の位置測定方法 - Google Patents
測定子の位置測定方法Info
- Publication number
- JPH05118811A JPH05118811A JP27587691A JP27587691A JPH05118811A JP H05118811 A JPH05118811 A JP H05118811A JP 27587691 A JP27587691 A JP 27587691A JP 27587691 A JP27587691 A JP 27587691A JP H05118811 A JPH05118811 A JP H05118811A
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- Japan
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- camera
- probe
- lens
- stage
- measuring
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の特性を評価する試験機に用いられてい
る測定子の位置測定方法に関し、作業者の個人誤差の発
生を防止し、また、位置合わせの工数を削減することが
でき、かつ、裏側などに微細な測定端子のある測定子の
位置合わせを行うことを目的とする。 【構成】 ステージ７の下方にクロスマークのついたレ
ンズ１７を配置し、該レンズ１７の下方にカメラ１８を
配置して、測定子９〜１１の中心とレンズ１７のクロス
マークのずれ量をみて、前記ステージ７の移動により測
定子９〜１１の中心とクロスマークを一致させて、測定
子９〜１１の位置を測定するように構成する。
る測定子の位置測定方法に関し、作業者の個人誤差の発
生を防止し、また、位置合わせの工数を削減することが
でき、かつ、裏側などに微細な測定端子のある測定子の
位置合わせを行うことを目的とする。 【構成】 ステージ７の下方にクロスマークのついたレ
ンズ１７を配置し、該レンズ１７の下方にカメラ１８を
配置して、測定子９〜１１の中心とレンズ１７のクロス
マークのずれ量をみて、前記ステージ７の移動により測
定子９〜１１の中心とクロスマークを一致させて、測定
子９〜１１の位置を測定するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の特性を評価する
試験機に用いられている測定子の位置測定方法に関す
る。基板の特性試験を行う試験機においては、試験機の
目的によりプローブ、ハイトゲージ、カメラその他何種
類かの測定子が設置されている。これらの測定子が搭載
されているテーブルを自動で動かし、各測定子を位置決
めする場合、各測定子のテーブル原点からの距離が必要
である。
試験機に用いられている測定子の位置測定方法に関す
る。基板の特性試験を行う試験機においては、試験機の
目的によりプローブ、ハイトゲージ、カメラその他何種
類かの測定子が設置されている。これらの測定子が搭載
されているテーブルを自動で動かし、各測定子を位置決
めする場合、各測定子のテーブル原点からの距離が必要
である。
【０００２】部品の寸法を物理的に計算することにより
ある程度の値はでるが、実際には部品自体の寸法誤差や
組立誤差があり、複雑な機構になるほど正確な値が得ら
れない。試験機の使用目的にもよるが測定子の位置決め
精度が要求される試験機において、何らかの手段により
正確な位置を求める必要がある。
ある程度の値はでるが、実際には部品自体の寸法誤差や
組立誤差があり、複雑な機構になるほど正確な値が得ら
れない。試験機の使用目的にもよるが測定子の位置決め
精度が要求される試験機において、何らかの手段により
正確な位置を求める必要がある。
【０００３】
【従来の技術】従来の測定子の位置測定方法としては、
例えば部品の位置を物理的に計算することにより、測定
子のおおまかな位置を求め、対称物（基板の場合パッド
など）に位置決め後、測定子と対称物を接触させて、そ
の接触部を拡大鏡（ルーペ）などで見て位置合わせを行
っていた。
例えば部品の位置を物理的に計算することにより、測定
子のおおまかな位置を求め、対称物（基板の場合パッド
など）に位置決め後、測定子と対称物を接触させて、そ
の接触部を拡大鏡（ルーペ）などで見て位置合わせを行
っていた。
【０００４】また、カメラと測定子の位置測定は、ある
基準マークに測定子（プローブ）を接触させ、その後カ
メラを同じ基準マークまで移動し、カメラに接続されて
いるモニタの中心に基準マークを合わせ、その時の各テ
ーブルの位置をリニアスケールで測定し、相互の位置測
定を行っていた。
基準マークに測定子（プローブ）を接触させ、その後カ
メラを同じ基準マークまで移動し、カメラに接続されて
いるモニタの中心に基準マークを合わせ、その時の各テ
ーブルの位置をリニアスケールで測定し、相互の位置測
定を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の、試験機において測定子の位置を求めるの
に、部品を物理的に計算し、測定子を対称物のおおまか
な位置に移動させた後、拡大鏡などで最終的な位置合わ
せを行う方法は、部品の寸法誤差や組立誤差があり、測
定子と対称物が微小な形状の場合、位置合わせが困難で
ある。
うな従来の、試験機において測定子の位置を求めるの
に、部品を物理的に計算し、測定子を対称物のおおまか
な位置に移動させた後、拡大鏡などで最終的な位置合わ
せを行う方法は、部品の寸法誤差や組立誤差があり、測
定子と対称物が微小な形状の場合、位置合わせが困難で
ある。
【０００６】作業者が拡大鏡などを手に持ち覗きながら
位置合わせを行う場合、測定子を含む機構系が複雑にな
ると、物理的スペースから対称物と測定子がうまく見え
ない場合がある。また、作業者が、拡大鏡を手で持ちな
がら作業すると、作業者の手触れにより接触部が見えに
くい場合がある。更にこの操作は、工数がかかり、多少
の熟練が必要であり、個人差により設定位置の誤差が生
じる。
位置合わせを行う場合、測定子を含む機構系が複雑にな
ると、物理的スペースから対称物と測定子がうまく見え
ない場合がある。また、作業者が、拡大鏡を手で持ちな
がら作業すると、作業者の手触れにより接触部が見えに
くい場合がある。更にこの操作は、工数がかかり、多少
の熟練が必要であり、個人差により設定位置の誤差が生
じる。
【０００７】カメラと測定子の位置測定において、基準
マークに対してそれぞれ位置合わせし、その時の位置を
リニアスケールで読み取る方法だと、測定子の先端が上
あるいは横方向から確認できる場合はよいが、測定子の
先端が下方を向いている場合やユニットの下側に測定子
の先端がある場合、上方向からの確認では、測定子と対
称物がうまく見えない場合がある。このような先端形状
を持つ測定子は、下側からの確認でないと測定困難であ
る。
マークに対してそれぞれ位置合わせし、その時の位置を
リニアスケールで読み取る方法だと、測定子の先端が上
あるいは横方向から確認できる場合はよいが、測定子の
先端が下方を向いている場合やユニットの下側に測定子
の先端がある場合、上方向からの確認では、測定子と対
称物がうまく見えない場合がある。このような先端形状
を持つ測定子は、下側からの確認でないと測定困難であ
る。
【０００８】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、作業者の個人誤差の発生を防
止し、また、位置合わせの工数を削減することができ、
かつ、裏側などに微細な測定端子のある測定子の位置合
わせを行うことができる測定子の位置測定方法を提供す
ることを目的としている。
てなされたものであって、作業者の個人誤差の発生を防
止し、また、位置合わせの工数を削減することができ、
かつ、裏側などに微細な測定端子のある測定子の位置合
わせを行うことができる測定子の位置測定方法を提供す
ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、基板の特性を評価する試験機に用いら
れ、同一のステージ７上に配置された複数の測定子９〜
１１の位置を測定する測定子の位置測定方法において、
前記ステージ７の下方にクロスマークのついたレンズ１
７を配置し、該レンズ１７の下方にカメラ１８を配置し
て、測定子９〜１１の中心とレンズ１７のクロスマーク
のずれ量をみて、前記ステージ７の移動により測定子９
〜１１の中心とクロスマークを一致させて、測定子９〜
１１の位置を測定するものである。
に、本発明は、基板の特性を評価する試験機に用いら
れ、同一のステージ７上に配置された複数の測定子９〜
１１の位置を測定する測定子の位置測定方法において、
前記ステージ７の下方にクロスマークのついたレンズ１
７を配置し、該レンズ１７の下方にカメラ１８を配置し
て、測定子９〜１１の中心とレンズ１７のクロスマーク
のずれ量をみて、前記ステージ７の移動により測定子９
〜１１の中心とクロスマークを一致させて、測定子９〜
１１の位置を測定するものである。
【００１０】
【作用】本発明においては、各測定子をレンズの近傍に
移動し、下側のカメラにより各測定子の中心がレンズの
中心と一致するようにステージを移動させ、そのときの
位置をスケールにより読み取る。したがって、測定子の
位置決めを作業者の個人差に関係なく、正確に行うこと
ができる。
移動し、下側のカメラにより各測定子の中心がレンズの
中心と一致するようにステージを移動させ、そのときの
位置をスケールにより読み取る。したがって、測定子の
位置決めを作業者の個人差に関係なく、正確に行うこと
ができる。
【００１１】また、位置合わせの工数を削減することが
できる。さらに、裏側などに微細な測定端子のある測定
子の位置合わせが可能となる。
できる。さらに、裏側などに微細な測定端子のある測定
子の位置合わせが可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２〜図７は本発明を実施するための機構および
試験機を示す図である。図２〜図４は本発明を実施する
ための機構を示す。図２〜図４において、１は支持体で
あり、支持体１上には支持台２が設けられている。
する。図２〜図７は本発明を実施するための機構および
試験機を示す図である。図２〜図４は本発明を実施する
ための機構を示す。図２〜図４において、１は支持体で
あり、支持体１上には支持台２が設けられている。
【００１３】３は試験の対象となる基板であり、基板３
は支持台２上に設けられた保持板４上に配置される。ま
た、支持台２上には、テーブル５，６がＸ，Ｙ方向に移
動可能に設けられている。テーブル５，６はステージ
７，８がそれぞれ固定され、ステージ７には、測定子と
してのプローブ（タイムドメインリフレクトメータ、Ｔ
ＤＲ）９、プローブ（抵抗用）１０、ハイトゲージ１１
およびカメラ１２が取付アーム１３を介してそれぞれ取
り付けられ、また、ステージ８にはプローブ（抵抗用）
１４およびカメラ１５が取付アーム１６を介して取り付
けられている。
は支持台２上に設けられた保持板４上に配置される。ま
た、支持台２上には、テーブル５，６がＸ，Ｙ方向に移
動可能に設けられている。テーブル５，６はステージ
７，８がそれぞれ固定され、ステージ７には、測定子と
してのプローブ（タイムドメインリフレクトメータ、Ｔ
ＤＲ）９、プローブ（抵抗用）１０、ハイトゲージ１１
およびカメラ１２が取付アーム１３を介してそれぞれ取
り付けられ、また、ステージ８にはプローブ（抵抗用）
１４およびカメラ１５が取付アーム１６を介して取り付
けられている。
【００１４】ステージ７の下側にはクロスマークをつけ
たレンズ１７が配置される。すなわち、レンズ１７はア
ーム２０Ａに固定され、アーム２０Ａは支持台１に固定
される。レンズ１７の下側にはカメラ１８が配置され、
カメラ１８はアーム２０Ａに上下動自在に設けられる。
また、ステージ８の下側にもクロスマークをつけたレン
ズ１９が配置される。すなわち、レンズ１９はアーム２
０Ｂに固定され、アーム２０Ｂは支持台２に固定され
る。レンズ１９の下側にはカメラ２１が配置され、カメ
ラ２１はアーム２０Ｂに上下動自在に設けられる。
たレンズ１７が配置される。すなわち、レンズ１７はア
ーム２０Ａに固定され、アーム２０Ａは支持台１に固定
される。レンズ１７の下側にはカメラ１８が配置され、
カメラ１８はアーム２０Ａに上下動自在に設けられる。
また、ステージ８の下側にもクロスマークをつけたレン
ズ１９が配置される。すなわち、レンズ１９はアーム２
０Ｂに固定され、アーム２０Ｂは支持台２に固定され
る。レンズ１９の下側にはカメラ２１が配置され、カメ
ラ２１はアーム２０Ｂに上下動自在に設けられる。
【００１５】なお、２２はテーブル５を駆動するモー
タ、２３，２４はケーブルダクト、２５は測定子ユニッ
トである。次に、図５〜図７は前記機構を用いた試験機
を示す図である。図５〜図７において、２６，２７はリ
ニアスケールであり、リニアスケール２６，２７は、支
持台２上に設けられている。また、２８は安全センサで
あり、安全センサ２８も支持台２上に設けられている。
タ、２３，２４はケーブルダクト、２５は測定子ユニッ
トである。次に、図５〜図７は前記機構を用いた試験機
を示す図である。図５〜図７において、２６，２７はリ
ニアスケールであり、リニアスケール２６，２７は、支
持台２上に設けられている。また、２８は安全センサで
あり、安全センサ２８も支持台２上に設けられている。
【００１６】９，１０は前記プローブ、１２はカメラ、
１１はハイトゲージ、１７はステージ５の下側に設けら
れた、クロスマークをつけたレンズ、１８はレンズ１７
の下側に設けたカメラである。１４はプローブ、１５は
カメラ、１９はステージ８の下側に設けられたレンズ、
２１はレンズ１９の下側に設けられたカメラである。な
お、２９は光源である。
１１はハイトゲージ、１７はステージ５の下側に設けら
れた、クロスマークをつけたレンズ、１８はレンズ１７
の下側に設けたカメラである。１４はプローブ、１５は
カメラ、１９はステージ８の下側に設けられたレンズ、
２１はレンズ１９の下側に設けられたカメラである。な
お、２９は光源である。
【００１７】次に、測定子の位置測定方法を説明する。
まず、ステージ７上のカメラ１２と他の測定子の距離を
求める。ステージ７上のカメラ１２を物理的計算によ
り、レンズ１７の近傍まで移動し、このカメラ１２が接
続されているモニタの中心位置とレンズ１７の中心位置
が合うようにステージ５を動かす。
まず、ステージ７上のカメラ１２と他の測定子の距離を
求める。ステージ７上のカメラ１２を物理的計算によ
り、レンズ１７の近傍まで移動し、このカメラ１２が接
続されているモニタの中心位置とレンズ１７の中心位置
が合うようにステージ５を動かす。
【００１８】位置合わせ後、そのときの位置を支持台２
上に設けられているリニアスケール２６，２７により読
み取る。すなわち、カメラ１２の原点からのＸ，Ｙ方向
の距離を読み取る。なお、ステージ５上のカメラ１２に
接続されているモニタの中心は、画面上に任意にマーク
を付けるか、クロスライン発生機でつくる。
上に設けられているリニアスケール２６，２７により読
み取る。すなわち、カメラ１２の原点からのＸ，Ｙ方向
の距離を読み取る。なお、ステージ５上のカメラ１２に
接続されているモニタの中心は、画面上に任意にマーク
を付けるか、クロスライン発生機でつくる。
【００１９】次に、ハイトゲージ１１をレンズ１７の近
傍に移動し、今度は下側のカメラ１２によりハイトゲー
ジ１１の中心がレンズ１７の中心と一致するように、ス
テージ５を移動させ、そのときの位置をリニアスケール
２６，２７により読み取る。次に、プローブ９，１０を
レンズ１７の近傍に移動し、下側のカメラ１８により、
プローブ９，１０の中心がレンズ１７の中心と一致する
ように移動させ、そのときの位置をリニアスケール２
６，２７によりそれぞれ読み取る。こうして、カメラ１
２とハイトゲージ１１、プローブ９，１０の距離および
ハイトゲージ１１、プローブ９，１０間の各距離を求め
ることができる。なお、ステージ８上のプローブ１４お
よびカメラ１５の場合も同様の操作手順で測定すること
ができる。
傍に移動し、今度は下側のカメラ１２によりハイトゲー
ジ１１の中心がレンズ１７の中心と一致するように、ス
テージ５を移動させ、そのときの位置をリニアスケール
２６，２７により読み取る。次に、プローブ９，１０を
レンズ１７の近傍に移動し、下側のカメラ１８により、
プローブ９，１０の中心がレンズ１７の中心と一致する
ように移動させ、そのときの位置をリニアスケール２
６，２７によりそれぞれ読み取る。こうして、カメラ１
２とハイトゲージ１１、プローブ９，１０の距離および
ハイトゲージ１１、プローブ９，１０間の各距離を求め
ることができる。なお、ステージ８上のプローブ１４お
よびカメラ１５の場合も同様の操作手順で測定すること
ができる。
【００２０】このように、熟練が必要でなく、作業者の
個人差による誤差なく、測定子の位置決めを行うことが
できる。また、従来に比較して、位置合わせの工数を削
減することができる。また、プローブ（ＴＤＲ）９は、
プローブ本体の裏側に微細な測定端子があるため、従来
の上側からの位置合わせが困難であるが、下側にカメラ
１８を設置しため、プローブ９の位置合わせが可能とな
る。
個人差による誤差なく、測定子の位置決めを行うことが
できる。また、従来に比較して、位置合わせの工数を削
減することができる。また、プローブ（ＴＤＲ）９は、
プローブ本体の裏側に微細な測定端子があるため、従来
の上側からの位置合わせが困難であるが、下側にカメラ
１８を設置しため、プローブ９の位置合わせが可能とな
る。
【００２１】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、各測定子が搭載されているステージの下側にクロス
マークのついたレンズを設置し、その下側にカメラを配
置したため、作業者の個人誤差の発生をなくすことがで
き、また、位置合わせの工数を削減することができ、か
つ、裏側などに微細な測定端子のある測定子でも位置測
定することができる。
ば、各測定子が搭載されているステージの下側にクロス
マークのついたレンズを設置し、その下側にカメラを配
置したため、作業者の個人誤差の発生をなくすことがで
き、また、位置合わせの工数を削減することができ、か
つ、裏側などに微細な測定端子のある測定子でも位置測
定することができる。
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の一実施例を示す正面図
【図３】本発明の一実施例を示す側面図
【図４】本発明の一実施例を示す他の側面図
【図５】試験機の正面図
【図６】試験機の側面図
【図７】試験機の他の側面図
１：支持体 ２：支持台 ３：保持板 ４：基板 ５，６：テーブル ７，８：ステージ ９：プローブ（ＴＤＲ）（測定子） １０：プローブ（抵抗用）（測定子） １１：ハイトゲージ（測定子） １２：カメラ １３：取付アーム １４：プローブ（ＴＤＲ）（測定子） １５：カメラ（測定子） １６：取付アーム １７，１９：レンズ １８，２１：カメラ ２０Ａ，２０Ｂ：アーム ２２：モータ ２３，２４：ケーブルダクト ２５：測定子ユニット ２６，２７：リニアスケール ２８：安全センサ ２９：光源
Claims (2)
- 【請求項１】基板の特性を評価する試験機に用いられ、
同一のステージ（７）上に配置された複数の測定子（９
〜１１）の位置を測定する測定子の位置測定方法におい
て、前記ステージ（７）の下方にクロスマークのついた
レンズ（１７）を配置し、該レンズ（１７）の下方にカ
メラ（１８）を配置して、測定子（９〜１１）の中心と
レンズ（１７）のクロスマークのずれ量をみて、前記ス
テージ（７）の移動により測定子（９〜１１）の中心と
クロスマークを一致させて、測定子（９〜１１）の位置
を測定することを特徴とする測定子の位置測定方法。 - 【請求項２】前記同一のステージ（７）上の測定子の一
つとしてカメラ（１２）を載置した場合には、カメラ
（１２）の中心をカメラ（１２）に接続されているモニ
タの中心に合わせることにより、カメラ（１２）の位置
を測定することを特徴とする前記請求項１の測定子の位
置測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27587691A JPH05118811A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 測定子の位置測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27587691A JPH05118811A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 測定子の位置測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118811A true JPH05118811A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17561669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27587691A Pending JPH05118811A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 測定子の位置測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118811A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009294155A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Hioki Ee Corp | アームオフセット取得方法 |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP27587691A patent/JPH05118811A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009294155A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Hioki Ee Corp | アームオフセット取得方法 |
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