JPH05116757A - 搬送機構 - Google Patents
搬送機構Info
- Publication number
- JPH05116757A JPH05116757A JP27584491A JP27584491A JPH05116757A JP H05116757 A JPH05116757 A JP H05116757A JP 27584491 A JP27584491 A JP 27584491A JP 27584491 A JP27584491 A JP 27584491A JP H05116757 A JPH05116757 A JP H05116757A
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- JP
- Japan
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- horizontal
- moving element
- mover
- electrostatic
- vertical
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送物体の大きさや材質に限定されることな
く搬送することが可能で、作製プロセスも簡単な搬送機
構を提供する。 【構成】 ベースを設け、支持部２により支持されベー
スに対して垂直方向Ｖ及び水平方向Ｈに変位する移動子
１を設け、この移動子１の側面に位置し移動子１を静電
引力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力アクチ
ュエータ５を設け、移動子１の下方に位置し移動子１を
静電引力により垂直方向Ｖに駆動する垂直方向静電力ア
クチュエータ８を設け、この垂直方向静電力アクチュエ
ータ８と水平方向静電力アクチュエータ５とを同時に駆
動制御することにより移動子１上に置かれた搬送物体が
摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状態と慣
性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かない状態と
を作る水平方向搬送制御手段を設け、これらすべての構
造体をサーフェイスマイクロマシンニングにより作製し
た。
く搬送することが可能で、作製プロセスも簡単な搬送機
構を提供する。 【構成】 ベースを設け、支持部２により支持されベー
スに対して垂直方向Ｖ及び水平方向Ｈに変位する移動子
１を設け、この移動子１の側面に位置し移動子１を静電
引力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力アクチ
ュエータ５を設け、移動子１の下方に位置し移動子１を
静電引力により垂直方向Ｖに駆動する垂直方向静電力ア
クチュエータ８を設け、この垂直方向静電力アクチュエ
ータ８と水平方向静電力アクチュエータ５とを同時に駆
動制御することにより移動子１上に置かれた搬送物体が
摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状態と慣
性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かない状態と
を作る水平方向搬送制御手段を設け、これらすべての構
造体をサーフェイスマイクロマシンニングにより作製し
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紙送り装置やステージ
等においてアクチュエータとして利用される搬送機構に
関する。
等においてアクチュエータとして利用される搬送機構に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来における搬送機構のアクチュエータ
としては、例えば、「静電フィルムアクチュエータの特
性」というタイトルで、日本機械学会、ロボティクス・
メカトロニクス講演会’９０に開示されているものがあ
る。これを、今、図１１（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明
する。絶縁体１中に帯状電極２をもつ固定子３と、高抵
抗体４と絶縁体５とを有する移動子６とからなってい
る。これは、まず、（ａ）に示すように、帯状電極２に
−Ｖと＋Ｖとの電圧を印加する。これにより（ｂ）に示
すように、移動子６の高抵抗体４の側にはその帯状電極
２とは反対側の電荷が誘導され帯電される。この状態
で、（ｃ）に示すように、帯状電極２の電圧を逆転（−
Ｖを＋Ｖ、＋Ｖを−Ｖ）させる。これにより、（ｄ）に
示すように、上向きの反発力と横向きの駆動力とが発生
し、移動子６が矢印方向Ａに移動する。このような一連
の動作を繰り返して行うことにより、移動子６を水平方
向に移動させることができ、静電力を利用したアクチュ
エータを実現することが可能となる。
としては、例えば、「静電フィルムアクチュエータの特
性」というタイトルで、日本機械学会、ロボティクス・
メカトロニクス講演会’９０に開示されているものがあ
る。これを、今、図１１（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明
する。絶縁体１中に帯状電極２をもつ固定子３と、高抵
抗体４と絶縁体５とを有する移動子６とからなってい
る。これは、まず、（ａ）に示すように、帯状電極２に
−Ｖと＋Ｖとの電圧を印加する。これにより（ｂ）に示
すように、移動子６の高抵抗体４の側にはその帯状電極
２とは反対側の電荷が誘導され帯電される。この状態
で、（ｃ）に示すように、帯状電極２の電圧を逆転（−
Ｖを＋Ｖ、＋Ｖを−Ｖ）させる。これにより、（ｄ）に
示すように、上向きの反発力と横向きの駆動力とが発生
し、移動子６が矢印方向Ａに移動する。このような一連
の動作を繰り返して行うことにより、移動子６を水平方
向に移動させることができ、静電力を利用したアクチュ
エータを実現することが可能となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来例の場
合、フィルム状の移動子６を実現することができるが、
その移動子６の材質は限定されており、しかも、その大
きさも電極２の密度に依存した形となっているため、搬
送機構として応用した場合、必ずしもその汎用性が広い
ものとは言えない。
合、フィルム状の移動子６を実現することができるが、
その移動子６の材質は限定されており、しかも、その大
きさも電極２の密度に依存した形となっているため、搬
送機構として応用した場合、必ずしもその汎用性が広い
ものとは言えない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、ベースを設け、支持部により支持され前記ベースに
対して垂直及び水平方向に変位する移動子を設け、この
移動子の側面に位置し前記移動子を静電引力により水平
方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータを設け、
前記移動子の下方に位置し前記移動子を静電引力により
垂直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータを設
け、この垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向
静電力アクチュエータとを同時に駆動制御することによ
り前記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記
移動子と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移
動子と共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬
送制御手段を設け、これらすべての構造体をサーフェイ
スマイクロマシンニングにより作製した。
は、ベースを設け、支持部により支持され前記ベースに
対して垂直及び水平方向に変位する移動子を設け、この
移動子の側面に位置し前記移動子を静電引力により水平
方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータを設け、
前記移動子の下方に位置し前記移動子を静電引力により
垂直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータを設
け、この垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向
静電力アクチュエータとを同時に駆動制御することによ
り前記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記
移動子と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移
動子と共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬
送制御手段を設け、これらすべての構造体をサーフェイ
スマイクロマシンニングにより作製した。
【０００５】請求項２記載の発明では、ベースを設け、
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
【０００６】請求項３記載の発明では、ベースを設け、
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水
平方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方
に位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水
平方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方
に位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
【０００７】請求項４記載の発明では、ベースを設け、
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水
平方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方
に位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動
する垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方
向静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュ
エータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上
に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水
平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平
方向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水
平方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方
に位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動
する垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方
向静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュ
エータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上
に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水
平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平
方向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製した。
【０００８】請求項５記載の発明では、ベースを設け、
このベース上に作られた帯状電極を有する固定子を設
け、この固定子上に置かれ高抵抗体と絶縁体とを有し支
持部により支持された移動子を設け、前記固定子の前記
帯状電極に与える電圧を変化させることにより前記移動
子に垂直方向の動き及び水平方向の動きを発生させ前記
移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子
と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と
共に水平方向に動かない状態とを作り前記搬送物体を搬
送制御する水平方向搬送制御手段を設けた。
このベース上に作られた帯状電極を有する固定子を設
け、この固定子上に置かれ高抵抗体と絶縁体とを有し支
持部により支持された移動子を設け、前記固定子の前記
帯状電極に与える電圧を変化させることにより前記移動
子に垂直方向の動き及び水平方向の動きを発生させ前記
移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子
と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と
共に水平方向に動かない状態とを作り前記搬送物体を搬
送制御する水平方向搬送制御手段を設けた。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明においては、水平方向搬送
制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる
静電引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力とを駆動制御することによって、移動子上に置かれ
た搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平方向に
動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態とを作
ることができるためこれにより搬送物体を搬送制御する
ことが可能となり、また、このような構造体はサーフェ
イスマイクロマシンニングにより作製されるためその作
製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬送物体
の大きさや材質を限定されずに搬送することが可能とな
る。
制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる
静電引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力とを駆動制御することによって、移動子上に置かれ
た搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平方向に
動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態とを作
ることができるためこれにより搬送物体を搬送制御する
ことが可能となり、また、このような構造体はサーフェ
イスマイクロマシンニングにより作製されるためその作
製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬送物体
の大きさや材質を限定されずに搬送することが可能とな
る。
【００１０】請求項２記載の発明においては、水平方向
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる
静電反発力とを駆動制御することによって、移動子上に
置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平
方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態
とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送制
御することが可能となり、また、このような構造体はサ
ーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるため
その作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬
送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが可
能となり、さらに、静電反発力を利用しているためその
構造上垂直方向の絶縁破壊の恐れをなくすことが可能と
なる。
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる
静電反発力とを駆動制御することによって、移動子上に
置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平
方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態
とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送制
御することが可能となり、また、このような構造体はサ
ーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるため
その作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬
送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが可
能となり、さらに、静電反発力を利用しているためその
構造上垂直方向の絶縁破壊の恐れをなくすことが可能と
なる。
【００１１】請求項３記載の発明においては、水平方向
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じ
る静電引力とを駆動制御することによって、移動子上に
置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平
方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態
とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送制
御することが可能となり、また、このような構造体はサ
ーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるため
その作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬
送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが可
能となり、さらに、静電反発力を利用しているためその
構造上水平方向の絶縁破壊の恐れをなくすことが可能と
なる。
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じ
る静電引力とを駆動制御することによって、移動子上に
置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水平
方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状態
とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送制
御することが可能となり、また、このような構造体はサ
ーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるため
その作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で搬
送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが可
能となり、さらに、静電反発力を利用しているためその
構造上水平方向の絶縁破壊の恐れをなくすことが可能と
なる。
【００１２】請求項４記載の発明においては、水平方向
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じ
る静電反発力とを駆動制御することによって、移動子上
に置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水
平方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状
態とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送
制御することが可能となり、また、このような構造体は
サーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるた
めその作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で
搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが
可能となり、さらに、静電反発力を利用しているためそ
の構造上水平方向及び垂直方向の絶縁破壊の恐れをなく
すことが可能となる。
搬送制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生
じる静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じ
る静電反発力とを駆動制御することによって、移動子上
に置かれた搬送物体がその移動子と共に摩擦力により水
平方向に動く状態と慣性力により水平方向に動かない状
態とを作ることができるためこれにより搬送物体を搬送
制御することが可能となり、また、このような構造体は
サーフェイスマイクロマシンニングにより作製されるた
めその作製プロセスが簡単となり、移動子面の範囲内で
搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送することが
可能となり、さらに、静電反発力を利用しているためそ
の構造上水平方向及び垂直方向の絶縁破壊の恐れをなく
すことが可能となる。
【００１３】請求項５記載の発明においては、水平方向
搬送制御手段により固定子の帯状電極を駆動制御するこ
とによって、移動子上に置かれた搬送物体がその移動子
と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により
水平方向に動かない状態とを作ることができるためこれ
により搬送物体を搬送制御することが可能となり、ま
た、移動子の端面に水平方向移動のためのアクチュエー
タを必要としないため構造を一段と簡素化することがで
き、さらに、移動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材
質を限定されずに搬送することが可能となる。
搬送制御手段により固定子の帯状電極を駆動制御するこ
とによって、移動子上に置かれた搬送物体がその移動子
と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により
水平方向に動かない状態とを作ることができるためこれ
により搬送物体を搬送制御することが可能となり、ま
た、移動子の端面に水平方向移動のためのアクチュエー
タを必要としないため構造を一段と簡素化することがで
き、さらに、移動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材
質を限定されずに搬送することが可能となる。
【００１４】
【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１及び図
２に基づいて説明する。図示しないベース上には、平板
状の移動子１が設けられている。この移動子１は４つの
角に形成された支持部としての支え２により支持されて
おり、これによりベース面に対して垂直方向Ｖ及び水平
方向Ｈに変位することができる。この移動子１の側面に
はくし歯移動電極３が形成されており、このくし歯移動
電極３と噛み合う形でくし歯固定電極４が設けられてい
る。これらくし歯移動電極３とくし歯固定電極４とは、
前記移動子１を静電引力により水平方向Ｈに駆動する水
平方向静電力アクチュエータ５を形成している。また、
前記移動子１の下面には移動子電極６が取付けられてお
り、この移動子電極６と対向した前記ベース上には下部
固定電極７が配設されている。これら移動子電極６と下
部固定電極７とは、前記移動子１を静電引力により垂直
方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチュエータ８を形
成している。前記支え２は弾性があり、移動子１は水平
方向Ｈ及び垂直方向Ｖに移動することが可能である。
２に基づいて説明する。図示しないベース上には、平板
状の移動子１が設けられている。この移動子１は４つの
角に形成された支持部としての支え２により支持されて
おり、これによりベース面に対して垂直方向Ｖ及び水平
方向Ｈに変位することができる。この移動子１の側面に
はくし歯移動電極３が形成されており、このくし歯移動
電極３と噛み合う形でくし歯固定電極４が設けられてい
る。これらくし歯移動電極３とくし歯固定電極４とは、
前記移動子１を静電引力により水平方向Ｈに駆動する水
平方向静電力アクチュエータ５を形成している。また、
前記移動子１の下面には移動子電極６が取付けられてお
り、この移動子電極６と対向した前記ベース上には下部
固定電極７が配設されている。これら移動子電極６と下
部固定電極７とは、前記移動子１を静電引力により垂直
方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチュエータ８を形
成している。前記支え２は弾性があり、移動子１は水平
方向Ｈ及び垂直方向Ｖに移動することが可能である。
【００１５】また、ここでは、水平方向搬送制御手段１
０（図２参照）が設けられている。この水平方向搬送制
御手段１０は、前記水平方向静電力アクチュエータ５と
前記垂直方向静電力アクチュエータ８とを同時に駆動制
御することにより、前記移動子１上に置かれた搬送物体
９が摩擦力により前記移動子１と共に水平方向Ｈに動く
状態と、慣性力により前記移動子１と共に水平方向Ｈに
動かない状態とを作る働きがある。そして、これら図１
に示したような構造体は、周知のサーフェイスマイクロ
マシンニングにより作製することができる。
０（図２参照）が設けられている。この水平方向搬送制
御手段１０は、前記水平方向静電力アクチュエータ５と
前記垂直方向静電力アクチュエータ８とを同時に駆動制
御することにより、前記移動子１上に置かれた搬送物体
９が摩擦力により前記移動子１と共に水平方向Ｈに動く
状態と、慣性力により前記移動子１と共に水平方向Ｈに
動かない状態とを作る働きがある。そして、これら図１
に示したような構造体は、周知のサーフェイスマイクロ
マシンニングにより作製することができる。
【００１６】このような構成において、水平方向搬送制
御手段１０を用いて本装置の動作原理を図２（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、移動子電極６と下部
固定電極７との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を
発生させ、これにより移動子１を急速に下降させ、搬送
物体９と移動子１との間の摩擦力を軽減させる（ａ）。
次に、この状態で、くし歯移動電極３とくし歯固定電極
４との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生さ
せ、これにより移動子１をくし歯固定電極４の側に急速
に引き寄せる（ｂ）。この時、搬送物体９は慣性力のた
め水平方向Ｈには移動しない（ｂ）。次に、移動子電極
６と下部固定電極７との間の電圧ｖを除去し、移動子１
を上昇させる（ｃ）。最後に、くし歯移動電極３とくし
歯固定電極４との間の電圧ｖを徐々に取り除いていき、
移動子１を初めの位置に戻す。この時、搬送物体９は摩
擦力のため移動子１と共に水平方向Ｈに移動する
（ｄ）。
御手段１０を用いて本装置の動作原理を図２（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、移動子電極６と下部
固定電極７との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を
発生させ、これにより移動子１を急速に下降させ、搬送
物体９と移動子１との間の摩擦力を軽減させる（ａ）。
次に、この状態で、くし歯移動電極３とくし歯固定電極
４との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生さ
せ、これにより移動子１をくし歯固定電極４の側に急速
に引き寄せる（ｂ）。この時、搬送物体９は慣性力のた
め水平方向Ｈには移動しない（ｂ）。次に、移動子電極
６と下部固定電極７との間の電圧ｖを除去し、移動子１
を上昇させる（ｃ）。最後に、くし歯移動電極３とくし
歯固定電極４との間の電圧ｖを徐々に取り除いていき、
移動子１を初めの位置に戻す。この時、搬送物体９は摩
擦力のため移動子１と共に水平方向Ｈに移動する
（ｄ）。
【００１７】このように垂直方向静電力アクチュエータ
８による静電引力と水平方向静電力アクチュエータ５に
よる静電引力とを駆動制御することにより、搬送物体９
が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状態
と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かない
状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）を
１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送物
体９を水平方向Ｈに移動させることができる。しかも、
移動子１面の範囲内では、搬送物体９の大きさや材質を
限定されることなく搬送を行うことができる。
８による静電引力と水平方向静電力アクチュエータ５に
よる静電引力とを駆動制御することにより、搬送物体９
が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状態
と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かない
状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）を
１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送物
体９を水平方向Ｈに移動させることができる。しかも、
移動子１面の範囲内では、搬送物体９の大きさや材質を
限定されることなく搬送を行うことができる。
【００１８】また、本実施例では、図１に示すような搬
送機構の構造体はサーフェイスマイクロマシンニングに
より作製することができるため、その作製プロセスを簡
素化することができる。なお、電圧ｖの印加制御状態を
変えることにより、上述した場合とは逆方向の水平方向
Ｈに搬送物体９を移動させることも可能である。
送機構の構造体はサーフェイスマイクロマシンニングに
より作製することができるため、その作製プロセスを簡
素化することができる。なお、電圧ｖの印加制御状態を
変えることにより、上述した場合とは逆方向の水平方向
Ｈに搬送物体９を移動させることも可能である。
【００１９】次に、請求項２記載の発明の一実施例を図
３及び図４に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
３及び図４に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
【００２０】本実施例では、垂直方向静電力アクチュエ
ータ１１の構成を変えたものである。すなわち、移動子
１の下面には下面高誘電体層１２上に下面高抵抗体層１
３の張られたものが取付けられている。その下面高誘電
体層１２に対向したベース上に下部固定電極７が配設さ
れている。従って、これら下面高誘電体層１２と下面高
抵抗体層１３と下部固定電極７とは、移動子１を静電反
発力により垂直方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチ
ュエータ１１を形成している。
ータ１１の構成を変えたものである。すなわち、移動子
１の下面には下面高誘電体層１２上に下面高抵抗体層１
３の張られたものが取付けられている。その下面高誘電
体層１２に対向したベース上に下部固定電極７が配設さ
れている。従って、これら下面高誘電体層１２と下面高
抵抗体層１３と下部固定電極７とは、移動子１を静電反
発力により垂直方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチ
ュエータ１１を形成している。
【００２１】また、ここでは、前述した水平方向搬送制
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段１４（図４参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段１４
は、垂直方向静電力アクチュエータ１１と水平方向静電
力アクチュエータ５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段１４（図４参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段１４
は、垂直方向静電力アクチュエータ１１と水平方向静電
力アクチュエータ５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
【００２２】このような構成において、水平方向搬送制
御手段１４を用いて本装置の動作原理を図４（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、下部固定電極７に電
圧ｖを印加し、下面高抵抗体層１３に負（−）の電荷を
蓄積する（ａ）。次に、下部固定電極７の電圧ｖを急速
に逆転させて負の電荷間による静電反発力を発生させ、
これにより移動子１を上方に押し上げる（ｂ）。次に、
その直後、負の電荷が消滅して移動子１が下降する際、
搬送物体９と移動子１との間の摩擦力は軽減される。こ
の状態で、くし歯移動電極３とくし歯固定電極４との間
に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生させ、これに
より移動子１をくし歯固定電極４の側に引き寄せる。こ
の時、搬送物体９は慣性力のため水平方向Ｈには移動し
ない（ｃ）。最後に、くし歯移動電極３とくし歯固定電
極４との間の電圧をゆっくりと下げ、移動子１の位置を
元に戻す。この時、搬送物体９は、摩擦力のため移動子
１と共に水平方向Ｈに移動する（ｄ）。
御手段１４を用いて本装置の動作原理を図４（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、下部固定電極７に電
圧ｖを印加し、下面高抵抗体層１３に負（−）の電荷を
蓄積する（ａ）。次に、下部固定電極７の電圧ｖを急速
に逆転させて負の電荷間による静電反発力を発生させ、
これにより移動子１を上方に押し上げる（ｂ）。次に、
その直後、負の電荷が消滅して移動子１が下降する際、
搬送物体９と移動子１との間の摩擦力は軽減される。こ
の状態で、くし歯移動電極３とくし歯固定電極４との間
に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生させ、これに
より移動子１をくし歯固定電極４の側に引き寄せる。こ
の時、搬送物体９は慣性力のため水平方向Ｈには移動し
ない（ｃ）。最後に、くし歯移動電極３とくし歯固定電
極４との間の電圧をゆっくりと下げ、移動子１の位置を
元に戻す。この時、搬送物体９は、摩擦力のため移動子
１と共に水平方向Ｈに移動する（ｄ）。
【００２３】このように垂直方向静電力アクチュエータ
１４による静電反発力と水平方向静電力アクチュエータ
５による静電引力とを駆動制御することにより、搬送物
体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状
態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かな
い状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）
を１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送
物体９を水平方向Ｈに移動させることができる。また、
静電反発力を利用しているため、その構造上、垂直方向
Ｖの絶縁破壊の恐れをなくすことが可能となる。
１４による静電反発力と水平方向静電力アクチュエータ
５による静電引力とを駆動制御することにより、搬送物
体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状
態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かな
い状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）
を１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送
物体９を水平方向Ｈに移動させることができる。また、
静電反発力を利用しているため、その構造上、垂直方向
Ｖの絶縁破壊の恐れをなくすことが可能となる。
【００２４】次に、請求項３記載の発明の一実施例を図
５及び図６に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
５及び図６に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
【００２５】本実施例では、水平方向静電力アクチュエ
ータ１５の構成を変えたものである。すなわち、移動子
１の側面には端面高誘電体層１６上に端面高抵抗体層１
７の張られたものが取付けられている。その端面高誘電
体層１６に対向したベース上には端面固定電極１８が配
設されている。従って、これら端面高誘電体層１６と端
面高抵抗体層１７と端面固定電極１８とは、移動子１を
静電反発力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力
アクチュエータ１５を形成している。
ータ１５の構成を変えたものである。すなわち、移動子
１の側面には端面高誘電体層１６上に端面高抵抗体層１
７の張られたものが取付けられている。その端面高誘電
体層１６に対向したベース上には端面固定電極１８が配
設されている。従って、これら端面高誘電体層１６と端
面高抵抗体層１７と端面固定電極１８とは、移動子１を
静電反発力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力
アクチュエータ１５を形成している。
【００２６】また、ここでは、前述した水平方向搬送制
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段１９（図６参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段１９
は、垂直方向静電力アクチュエータ８と水平方向静電力
アクチュエータ１５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段１９（図６参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段１９
は、垂直方向静電力アクチュエータ８と水平方向静電力
アクチュエータ１５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
【００２７】このような構成において、水平方向搬送制
御手段１９を用いて本装置の動作原理を図６（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、端面固定電極１８に
電圧ｖを印加し、端面高抵抗体層１７に負（−）の電荷
を蓄積する（ａ）。次に、移動子電極６と下部固定電極
７との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生さ
せ、これにより急速に移動子１を下げ、搬送物体９と移
動子１との間の摩擦力を軽減させる（ｂ）。次に、端面
固定電極１８の電圧ｖを逆転させて静電反発力を作用さ
せ、これにより移動子１を水平方向Ｈに移動させる。こ
の時、搬送物体９は慣性力のため水平方向Ｈには移動し
ない（ｃ）。最後に、端面固定電極１８と下部固定電極
７との電圧ｖを０にすると、端面高抵抗体層１７に発生
していた電荷は時間をかけて消えていき、移動子１はゆ
っくりと戻る。この時、搬送物体９は、摩擦力のため移
動子１と共に水平方向Ｈに移動する（ｄ）。
御手段１９を用いて本装置の動作原理を図６（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、端面固定電極１８に
電圧ｖを印加し、端面高抵抗体層１７に負（−）の電荷
を蓄積する（ａ）。次に、移動子電極６と下部固定電極
７との間に急速に電圧ｖを印加して静電引力を発生さ
せ、これにより急速に移動子１を下げ、搬送物体９と移
動子１との間の摩擦力を軽減させる（ｂ）。次に、端面
固定電極１８の電圧ｖを逆転させて静電反発力を作用さ
せ、これにより移動子１を水平方向Ｈに移動させる。こ
の時、搬送物体９は慣性力のため水平方向Ｈには移動し
ない（ｃ）。最後に、端面固定電極１８と下部固定電極
７との電圧ｖを０にすると、端面高抵抗体層１７に発生
していた電荷は時間をかけて消えていき、移動子１はゆ
っくりと戻る。この時、搬送物体９は、摩擦力のため移
動子１と共に水平方向Ｈに移動する（ｄ）。
【００２８】このように垂直方向静電力アクチュエータ
８による静電引力と水平方向静電力アクチュエータ１５
による静電反発力とを駆動制御することにより、搬送物
体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状
態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かな
い状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）
を１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送
物体９を水平方向Ｈに移動させることができる。また、
静電反発力を利用しているため、その構造上、水平方向
Ｈの絶縁破壊の恐れをなくすことが可能となる。
８による静電引力と水平方向静電力アクチュエータ１５
による静電反発力とを駆動制御することにより、搬送物
体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動く状
態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動かな
い状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜（ｄ）
を１サイクルとして繰返し動作させることにより、搬送
物体９を水平方向Ｈに移動させることができる。また、
静電反発力を利用しているため、その構造上、水平方向
Ｈの絶縁破壊の恐れをなくすことが可能となる。
【００２９】次に、請求項４記載の発明の一実施例を図
７及び図８に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
７及び図８に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１記載の発明（図１参照）と同一部分についての説明は
省略し、その同一部分については同一符号を用いる。
【００３０】本実施例では、前述した図３の垂直方向静
電力アクチュエータ１１と、図５の水平方向静電力アク
チュエータ１５とを組み合わせて構成したものである。
すなわち、下面高誘電体層１２と下面高抵抗体層１３と
下部固定電極７とは、移動子１を静電反発力により垂直
方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチュエータ１１を
形成している。また、端面高誘電体層１６と端面高抵抗
体層１７と端面固定電極１８とは、移動子１を静電反発
力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力アクチュ
エータ１５を形成している。
電力アクチュエータ１１と、図５の水平方向静電力アク
チュエータ１５とを組み合わせて構成したものである。
すなわち、下面高誘電体層１２と下面高抵抗体層１３と
下部固定電極７とは、移動子１を静電反発力により垂直
方向Ｖに駆動する垂直方向静電力アクチュエータ１１を
形成している。また、端面高誘電体層１６と端面高抵抗
体層１７と端面固定電極１８とは、移動子１を静電反発
力により水平方向Ｈに駆動する水平方向静電力アクチュ
エータ１５を形成している。
【００３１】また、ここでは、前述した水平方向搬送制
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段２０（図８参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段２０
は、垂直方向静電力アクチュエータ１１と水平方向静電
力アクチュエータ１５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
御手段１０と同様な水平方向搬送制御手段２０（図８参
照）が設けられている。この水平方向搬送制御手段２０
は、垂直方向静電力アクチュエータ１１と水平方向静電
力アクチュエータ１５とを同時に駆動制御することによ
り、搬送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向
Ｈに動かない状態とを作る働きがある。
【００３２】このような構成において、水平方向搬送制
御手段２０を用いて本装置の動作原理を図８（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、下部固定電極７に電
圧Ｖを印加し、下面高抵抗体層１３に電荷（−）を蓄積
する。また、端面固定電極１８に電圧ｖを印加し、端面
高抵抗体層１７に電荷（−）を蓄える（ａ）。次に、下
部固定電極７の電圧を逆転させて静電反発力によって移
動子１を押し上げる（ｂ）。次に、その直後、電荷が消
えて移動子１が下がる時、搬送物体９と移動子１との間
の摩擦力は軽減される。この状態で、端面固定電極１８
の電圧を逆転させて静電反発力によって移動子１を水平
方向Ｈに移動させる。この時、搬送物体９は、慣性力の
ため水平方向には移動しない（ｃ）。次に、端面高抵抗
体層１７の電荷は消えていき、移動子１はゆっくり元の
位置に戻るが、この時、搬送物体９は移動子１と接触し
た状態にあるため、摩擦力によりその移動子１と共に移
動する（ｄ）。
御手段２０を用いて本装置の動作原理を図８（ａ）〜
（ｄ）に基づいて説明する。まず、下部固定電極７に電
圧Ｖを印加し、下面高抵抗体層１３に電荷（−）を蓄積
する。また、端面固定電極１８に電圧ｖを印加し、端面
高抵抗体層１７に電荷（−）を蓄える（ａ）。次に、下
部固定電極７の電圧を逆転させて静電反発力によって移
動子１を押し上げる（ｂ）。次に、その直後、電荷が消
えて移動子１が下がる時、搬送物体９と移動子１との間
の摩擦力は軽減される。この状態で、端面固定電極１８
の電圧を逆転させて静電反発力によって移動子１を水平
方向Ｈに移動させる。この時、搬送物体９は、慣性力の
ため水平方向には移動しない（ｃ）。次に、端面高抵抗
体層１７の電荷は消えていき、移動子１はゆっくり元の
位置に戻るが、この時、搬送物体９は移動子１と接触し
た状態にあるため、摩擦力によりその移動子１と共に移
動する（ｄ）。
【００３３】このように垂直方向静電力アクチュエータ
１１による静電反発力と水平方向静電力アクチュエータ
１５による静電反発力とを駆動制御することにより、搬
送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動
く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動
かない状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜
（ｄ）を１サイクルとして繰返し動作させることによ
り、搬送物体９を水平方向Ｈに移動させることができ
る。また、静電反発力を利用しているため、その構造
上、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖの絶縁破壊の恐れをなく
すことが可能となる。
１１による静電反発力と水平方向静電力アクチュエータ
１５による静電反発力とを駆動制御することにより、搬
送物体９が摩擦力により移動子１と共に水平方向Ｈに動
く状態と、慣性力により移動子１と共に水平方向Ｈに動
かない状態とを作ることができ、これにより（ａ）〜
（ｄ）を１サイクルとして繰返し動作させることによ
り、搬送物体９を水平方向Ｈに移動させることができ
る。また、静電反発力を利用しているため、その構造
上、水平方向Ｈ及び垂直方向Ｖの絶縁破壊の恐れをなく
すことが可能となる。
【００３４】次に、請求項５記載の発明の一実施例を図
９〜図１０に基づいて説明する。図示しないベース上に
は、帯状電極２１を有する固定子２２が設けられてい
る。この固定子２２上には、高抵抗体２３と絶縁体２４
とを有し、両側端を支持部２５により支持された移動子
２６が設けられている。また、ここでは、水平方向搬送
制御手段２７（図１０参照）が設けられている。この水
平方向搬送制御手段２７は、固定子２２の帯状電極２１
に与える電圧を変化させることにより、移動子２６に垂
直方向Ｖの動き及び水平方向Ｈの動きを発生させ、移動
子２６上に置かれた搬送物体９が摩擦力により移動子２
６と共に水平方向Ｈに動く状態と、慣性力により移動子
２６と共に水平方向Ｈに動かない状態とを作り、搬送物
体９を搬送制御する働きがある。
９〜図１０に基づいて説明する。図示しないベース上に
は、帯状電極２１を有する固定子２２が設けられてい
る。この固定子２２上には、高抵抗体２３と絶縁体２４
とを有し、両側端を支持部２５により支持された移動子
２６が設けられている。また、ここでは、水平方向搬送
制御手段２７（図１０参照）が設けられている。この水
平方向搬送制御手段２７は、固定子２２の帯状電極２１
に与える電圧を変化させることにより、移動子２６に垂
直方向Ｖの動き及び水平方向Ｈの動きを発生させ、移動
子２６上に置かれた搬送物体９が摩擦力により移動子２
６と共に水平方向Ｈに動く状態と、慣性力により移動子
２６と共に水平方向Ｈに動かない状態とを作り、搬送物
体９を搬送制御する働きがある。
【００３５】このような構成において、水平方向搬送制
御手段２７を用いて本装置の動作原理を図１０（ａ）〜
（ｇ）に基づいて説明する。まず、固定子２２の電極の
Ｐ点に−Ｖの電圧を印加し、Ｑ点に＋Ｖの電圧を印加
し、Ｒ点に０ｖの電圧を印加する（ａ）。次に、移動子
２６の高抵抗体２３の部分には、その高抵抗体２３と対
向する電極と正負逆の電荷が誘導される（ｂ）。次に、
固定子２２の電極の電圧の正負を逆転させ、移動子２６
側の電荷と固定子２２側の電荷との間に同符号同士によ
る反発力を発生させて移動子２６を押し上げ、これに伴
い搬送物体９も押し上げる。これにより、搬送物体９と
移動子２６、及び、移動子２６と固定子２２との間のそ
れぞれの摩擦力は小さくなる（ｃ）。次に、Ｒ点の電極
の電圧を０の状態から−Ｖの状態に変化させる（ｄ）。
これにより、移動子２６の負（−）の電荷と固定子２２
の正（＋）の電荷との間に吸引力が作用し、移動子２６
は水平方向Ｈの力が付与されて移動する（ｅ）。この
時、搬送物体９は浮き上がっておりその慣性力のため、
水平方向Ｈには移動しない。次に、固定子２２のＰ，
Ｑ，Ｒ点の電極の電圧を徐々に下げていき０の値に設定
する（ｆ）。これにより、支持部２５の復元力によって
移動子２６は元の場所に戻る。この時、搬送物体９は移
動子２６の上に落下した状態となっておりその摩擦力の
ため、そのまま移動子２６と共に移動する（ｇ）。
御手段２７を用いて本装置の動作原理を図１０（ａ）〜
（ｇ）に基づいて説明する。まず、固定子２２の電極の
Ｐ点に−Ｖの電圧を印加し、Ｑ点に＋Ｖの電圧を印加
し、Ｒ点に０ｖの電圧を印加する（ａ）。次に、移動子
２６の高抵抗体２３の部分には、その高抵抗体２３と対
向する電極と正負逆の電荷が誘導される（ｂ）。次に、
固定子２２の電極の電圧の正負を逆転させ、移動子２６
側の電荷と固定子２２側の電荷との間に同符号同士によ
る反発力を発生させて移動子２６を押し上げ、これに伴
い搬送物体９も押し上げる。これにより、搬送物体９と
移動子２６、及び、移動子２６と固定子２２との間のそ
れぞれの摩擦力は小さくなる（ｃ）。次に、Ｒ点の電極
の電圧を０の状態から−Ｖの状態に変化させる（ｄ）。
これにより、移動子２６の負（−）の電荷と固定子２２
の正（＋）の電荷との間に吸引力が作用し、移動子２６
は水平方向Ｈの力が付与されて移動する（ｅ）。この
時、搬送物体９は浮き上がっておりその慣性力のため、
水平方向Ｈには移動しない。次に、固定子２２のＰ，
Ｑ，Ｒ点の電極の電圧を徐々に下げていき０の値に設定
する（ｆ）。これにより、支持部２５の復元力によって
移動子２６は元の場所に戻る。この時、搬送物体９は移
動子２６の上に落下した状態となっておりその摩擦力の
ため、そのまま移動子２６と共に移動する（ｇ）。
【００３６】このように水平方向搬送制御手段２７を用
いて固定子２２のＰ，Ｑ，Ｒ点の電圧を駆動制御するこ
とにより、搬送物体９が摩擦力により移動子２６と共に
水平方向Ｈに動く状態と、慣性力により移動子２６と共
に水平方向Ｈに動かない状態とを作ることができ、これ
により（ａ）〜（ｇ）を１サイクルとして繰返し動作さ
せることにより、搬送物体９を水平方向Ｈに移動させる
ことができる。なお、本実施例の場合にも、前述した請
求項１〜４記載の発明と同様に、水平方向Ｈの反対方向
に搬送物体９を搬送させることも可能である。
いて固定子２２のＰ，Ｑ，Ｒ点の電圧を駆動制御するこ
とにより、搬送物体９が摩擦力により移動子２６と共に
水平方向Ｈに動く状態と、慣性力により移動子２６と共
に水平方向Ｈに動かない状態とを作ることができ、これ
により（ａ）〜（ｇ）を１サイクルとして繰返し動作さ
せることにより、搬送物体９を水平方向Ｈに移動させる
ことができる。なお、本実施例の場合にも、前述した請
求項１〜４記載の発明と同様に、水平方向Ｈの反対方向
に搬送物体９を搬送させることも可能である。
【００３７】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、ベースを設け、
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電引力
とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と共
に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水平
方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物体
を搬送制御することが可能となり、また、このような構
造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製さ
れるためその作製プロセスを簡単とすることができ、移
動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定せずに
搬送することができるものである。
支持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平
方向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置
し前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電引力
とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と共
に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水平
方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物体
を搬送制御することが可能となり、また、このような構
造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製さ
れるためその作製プロセスを簡単とすることができ、移
動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定せずに
搬送することができるものである。
【００３８】請求項２記載の発明は、ベースを設け、支
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平方
向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に位
置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電反発
力とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と
共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水
平方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物
体を搬送制御することが可能となり、また、このような
構造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製
されるためその作製プロセスが簡単となり、移動子面の
範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送す
ることが可能となり、さらに、静電反発力を利用してい
るためその構造上垂直方向の絶縁破壊の恐れをなくすこ
とができるものである。
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電引力により水平方向に駆動する水平方
向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に位
置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
引力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電反発
力とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と
共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水
平方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物
体を搬送制御することが可能となり、また、このような
構造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製
されるためその作製プロセスが簡単となり、移動子面の
範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送す
ることが可能となり、さらに、静電反発力を利用してい
るためその構造上垂直方向の絶縁破壊の恐れをなくすこ
とができるものである。
【００３９】請求項３記載の発明は、ベースを設け、支
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電引
力とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と
共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水
平方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物
体を搬送制御することが可能となり、また、このような
構造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製
されるためその作製プロセスが簡単となり、移動子面の
範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送す
ることが可能となり、さらに、静電反発力を利用してい
るためその構造上水平方向の絶縁破壊の恐れをなくすこ
とができるものである。
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電引力により垂直方向に駆動する
垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向静
電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエー
タとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に置
かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平方
向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方向
に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設け、
これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシンニ
ングにより作製したので、このように水平方向搬送制御
手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる静電
反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静電引
力とを駆動制御することによって、搬送物体が移動子と
共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力により水
平方向に動かない状態とを作ることができるため搬送物
体を搬送制御することが可能となり、また、このような
構造体はサーフェイスマイクロマシンニングにより作製
されるためその作製プロセスが簡単となり、移動子面の
範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに搬送す
ることが可能となり、さらに、静電反発力を利用してい
るためその構造上水平方向の絶縁破壊の恐れをなくすこ
とができるものである。
【００４０】請求項４記載の発明は、ベースを設け、支
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製したので、このように水平方向搬送
制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる
静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静
電反発力とを駆動制御することによって、搬送物体が移
動子と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力に
より水平方向に動かない状態とを作ることができるため
搬送物体を搬送制御することが可能となり、また、この
ような構造体はサーフェイスマイクロマシンニングによ
り作製されるためその作製プロセスが簡単となり、移動
子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに
搬送することが可能となり、さらに、静電反発力を利用
しているためその構造上水平方向及び垂直方向の絶縁破
壊の恐れをなくすことができるものである。
持部により支持され前記ベースに対して垂直及び水平方
向に変位する移動子を設け、この移動子の側面に位置し
前記移動子を静電反発力により水平方向に駆動する水平
方向静電力アクチュエータを設け、前記移動子の下方に
位置し前記移動子を静電反発力により垂直方向に駆動す
る垂直方向静電力アクチュエータを設け、この垂直方向
静電力アクチュエータと前記水平方向静電力アクチュエ
ータとを同時に駆動制御することにより前記移動子上に
置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共に水平
方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に水平方
向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御手段を設
け、これらすべての構造体をサーフェイスマイクロマシ
ンニングにより作製したので、このように水平方向搬送
制御手段により水平方向静電力アクチュエータに生じる
静電反発力と垂直方向静電力アクチュエータに生じる静
電反発力とを駆動制御することによって、搬送物体が移
動子と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性力に
より水平方向に動かない状態とを作ることができるため
搬送物体を搬送制御することが可能となり、また、この
ような構造体はサーフェイスマイクロマシンニングによ
り作製されるためその作製プロセスが簡単となり、移動
子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を限定されずに
搬送することが可能となり、さらに、静電反発力を利用
しているためその構造上水平方向及び垂直方向の絶縁破
壊の恐れをなくすことができるものである。
【００４１】請求項５記載の発明は、ベースを設け、こ
のベース上に作られた帯状電極を有する固定子を設け、
この固定子上に置かれ高抵抗体と絶縁体とを有し支持部
により支持された移動子を設け、前記固定子の前記帯状
電極に与える電圧を変化させることにより前記移動子に
垂直方向の動き及び水平方向の動きを発生させ前記移動
子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共
に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に
水平方向に動かない状態とを作り前記搬送物体を搬送制
御する水平方向搬送制御手段を設けたので、このように
水平方向搬送制御手段により固定子の帯状電極を駆動制
御することによって、移動子上に置かれた搬送物体がそ
の移動子と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性
力により水平方向に動かない状態とを作ることができる
ため搬送物体を搬送制御することが可能となり、また、
移動子の端面に水平方向移動のためのアクチュエータを
必要としないため構造を一段と簡素化することができ、
さらに、移動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を
限定されずに搬送することができるものである。
のベース上に作られた帯状電極を有する固定子を設け、
この固定子上に置かれ高抵抗体と絶縁体とを有し支持部
により支持された移動子を設け、前記固定子の前記帯状
電極に与える電圧を変化させることにより前記移動子に
垂直方向の動き及び水平方向の動きを発生させ前記移動
子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子と共
に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と共に
水平方向に動かない状態とを作り前記搬送物体を搬送制
御する水平方向搬送制御手段を設けたので、このように
水平方向搬送制御手段により固定子の帯状電極を駆動制
御することによって、移動子上に置かれた搬送物体がそ
の移動子と共に摩擦力により水平方向に動く状態と慣性
力により水平方向に動かない状態とを作ることができる
ため搬送物体を搬送制御することが可能となり、また、
移動子の端面に水平方向移動のためのアクチュエータを
必要としないため構造を一段と簡素化することができ、
さらに、移動子面の範囲内で搬送物体の大きさや材質を
限定されずに搬送することができるものである。
【図１】請求項１記載の発明の一実施例である搬送機構
の形状を示す斜視図である。
の形状を示す斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は水平方向搬送制御手段による
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
【図３】請求項２記載の発明の一実施例である搬送機構
の形状を示す斜視図である。
の形状を示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は水平方向搬送制御手段による
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
【図５】請求項３記載の発明の一実施例である搬送機構
の形状を示す斜視図である。
の形状を示す斜視図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は水平方向搬送制御手段による
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
【図７】請求項４記載の発明の一実施例である搬送機構
の形状を示す斜視図である。
の形状を示す斜視図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は水平方向搬送制御手段による
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
【図９】請求項４記載の発明の一実施例である搬送機構
の形状を示す斜視図である。
の形状を示す斜視図である。
【図１０】（ａ）〜（ｇ）は水平方向搬送制御手段によ
る搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
る搬送機構の搬送状態を示す動作説明図である。
【図１１】従来における搬送機構の搬送状態を示す動作
説明図である。
説明図である。
１ 移動子 ２ 支持部 ５ 水平方向静電力アクチュエータ ８ 垂直方向静電力アクチュエータ ９ 搬送物体 １０ 水平方向搬送制御手段 １１ 垂直方向静電力アクチュエータ １４ 水平方向搬送制御手段 １５ 水平方向静電力アクチュエータ １９ 水平方向搬送制御手段 ２０ 水平方向搬送制御手段 ２１ 帯状電極 ２２ 固定子 ２６ 移動子 ２７ 水平方向搬送制御手段 Ｖ 垂直方向 Ｈ 水平方向
Claims (5)
- 【請求項１】 ベースと、支持部により支持され前記ベ
ースに対して垂直及び水平方向に変位する移動子と、こ
の移動子の側面に位置し前記移動子を静電引力により水
平方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータと、前
記移動子の下方に位置し前記移動子を静電引力により垂
直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータと、こ
の垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向静電力
アクチュエータとを同時に駆動制御することにより前記
移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動子
と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子と
共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬送制御
手段とよりなり、これらすべての構造体をサーフェイス
マイクロマシンニングにより作製したことを特徴とする
搬送機構。 - 【請求項２】 ベースと、支持部により支持され前記ベ
ースに対して垂直及び水平方向に変位する移動子と、こ
の移動子の側面に位置し前記移動子を静電引力により水
平方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータと、前
記移動子の下方に位置し前記移動子を静電反発力により
垂直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータと、
この垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向静電
力アクチュエータとを同時に駆動制御することにより前
記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動
子と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子
と共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬送制
御手段とよりなり、これらすべての構造体をサーフェイ
スマイクロマシンニングにより作製したことを特徴とす
る搬送機構。 - 【請求項３】 ベースと、支持部により支持され前記ベ
ースに対して垂直及び水平方向に変位する移動子と、こ
の移動子の側面に位置し前記移動子を静電反発力により
水平方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータと、
前記移動子の下方に位置し前記移動子を静電引力により
垂直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータと、
この垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向静電
力アクチュエータとを同時に駆動制御することにより前
記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記移動
子と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移動子
と共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬送制
御手段とよりなり、これらすべての構造体をサーフェイ
スマイクロマシンニングにより作製したことを特徴とす
る搬送機構。 - 【請求項４】 ベースと、支持部により支持され前記ベ
ースに対して垂直及び水平方向に変位する移動子と、こ
の移動子の側面に位置し前記移動子を静電反発力により
水平方向に駆動する水平方向静電力アクチュエータと、
前記移動子の下方に位置し前記移動子を静電反発力によ
り垂直方向に駆動する垂直方向静電力アクチュエータ
と、この垂直方向静電力アクチュエータと前記水平方向
静電力アクチュエータとを同時に駆動制御することによ
り前記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力により前記
移動子と共に水平方向に動く状態と慣性力により前記移
動子と共に水平方向に動かない状態とを作る水平方向搬
送制御手段とよりなり、これらすべての構造体をサーフ
ェイスマイクロマシンニングにより作製したことを特徴
とする搬送機構。 - 【請求項５】 ベースと、このベース上に作られた帯状
電極を有する固定子と、この固定子上に置かれ高抵抗体
と絶縁体とを有し支持部により支持された移動子と、前
記固定子の前記帯状電極に与える電圧を変化させること
により前記移動子に垂直方向の動き及び水平方向の動き
を発生させ前記移動子上に置かれた搬送物体が摩擦力に
より前記移動子と共に水平方向に動く状態と慣性力によ
り前記移動子と共に水平方向に動かない状態とを作り前
記搬送物体を搬送制御する水平方向搬送制御手段とより
なることを特徴とする搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27584491A JPH05116757A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27584491A JPH05116757A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05116757A true JPH05116757A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17561224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27584491A Pending JPH05116757A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05116757A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0665590A2 (en) * | 1994-01-31 | 1995-08-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Microstructure, process for manufacturing thereof and devices incorporating the same |
| EP1195887A2 (en) * | 2000-10-05 | 2002-04-10 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Electrostatic actuator driven slider displacement direction conversion mechanism |
| US6509670B2 (en) * | 2000-07-19 | 2003-01-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Single stage microactuator for multidimensional actuation with multi-folded spring |
| JP2015142901A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-08-06 | パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッドＰａｌｏ Ａｌｔｏ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 静電結合した電極を有する直接静電組立体 |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP27584491A patent/JPH05116757A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0665590A2 (en) * | 1994-01-31 | 1995-08-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Microstructure, process for manufacturing thereof and devices incorporating the same |
| EP0665590A3 (en) * | 1994-01-31 | 1996-02-07 | Canon Kk | Micromechanical element, manufacturing method therefor and devices with this element. |
| US6509670B2 (en) * | 2000-07-19 | 2003-01-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Single stage microactuator for multidimensional actuation with multi-folded spring |
| EP1195887A2 (en) * | 2000-10-05 | 2002-04-10 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Electrostatic actuator driven slider displacement direction conversion mechanism |
| US6781280B2 (en) * | 2000-10-05 | 2004-08-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Slider displacement direction conversion mechanism in electrostatic actuator |
| EP1195887B1 (en) * | 2000-10-05 | 2008-08-06 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Electrostatic actuator driven slider displacement direction conversion mechanism |
| JP2015142901A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-08-06 | パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッドＰａｌｏ Ａｌｔｏ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 静電結合した電極を有する直接静電組立体 |
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