JP2001136759A - 浮上式静電アクチュエータ及びその制御方法並びに移動ステージ - Google Patents
浮上式静電アクチュエータ及びその制御方法並びに移動ステージInfo
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- JP2001136759A JP2001136759A JP32015099A JP32015099A JP2001136759A JP 2001136759 A JP2001136759 A JP 2001136759A JP 32015099 A JP32015099 A JP 32015099A JP 32015099 A JP32015099 A JP 32015099A JP 2001136759 A JP2001136759 A JP 2001136759A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機構が簡単で小型であり、移動子を任意の経
路に沿って２軸以上の方向に位置決めできる静電アクチ
ュエータを提供する。 【解決手段】 基板上に複数の駆動電極１０９を有する
固定子１０２と、駆動電極１０９に対して複数相の駆動
電圧を印加する電圧印加手段と、固定子１０２上を移動
する移動子１０１と、固定子１０２と移動子１０１を非
接触に保持する非接触保持手段とを有する静電アクチュ
エータにおいて、駆動電極１０９に印加される電圧の位
相の進行方向に沿った帯状の保持電極１０８を有し、保
持電極１０８に直流電圧を印加する電圧印加手段を有す
る。
路に沿って２軸以上の方向に位置決めできる静電アクチ
ュエータを提供する。 【解決手段】 基板上に複数の駆動電極１０９を有する
固定子１０２と、駆動電極１０９に対して複数相の駆動
電圧を印加する電圧印加手段と、固定子１０２上を移動
する移動子１０１と、固定子１０２と移動子１０１を非
接触に保持する非接触保持手段とを有する静電アクチュ
エータにおいて、駆動電極１０９に印加される電圧の位
相の進行方向に沿った帯状の保持電極１０８を有し、保
持電極１０８に直流電圧を印加する電圧印加手段を有す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密機器等に使用
される静電アクチュエータとその制御方法に関するもの
である。
される静電アクチュエータとその制御方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種の静電アクチュエータが提案
されてきている。静電アクチュエータは、電磁アクチュ
エータに比べて、（１）効率が高く、静止状態で損失が
生じない、（２）電極のみで構成できるため構造が単純
で小型化に適している、という特徴を有している。
されてきている。静電アクチュエータは、電磁アクチュ
エータに比べて、（１）効率が高く、静止状態で損失が
生じない、（２）電極のみで構成できるため構造が単純
で小型化に適している、という特徴を有している。
【０００３】図８は、特開平０６−２６１５５８におい
て提案されている、スクイズ膜効果で、移動子を固定子
に対して浮上させ、移動子と固定子に作用する摩擦力を
なくす静電アクチュエータである。
て提案されている、スクイズ膜効果で、移動子を固定子
に対して浮上させ、移動子と固定子に作用する摩擦力を
なくす静電アクチュエータである。
【０００４】図８において、第１の圧電素子３０１１
は、第１の圧電素子制御回路３０１３からの信号に基づ
いて駆動される。また、第２の圧電素子３０１２は、第
２の圧電素子制御回路３０１４からの信号に基づいて駆
動される。
は、第１の圧電素子制御回路３０１３からの信号に基づ
いて駆動される。また、第２の圧電素子３０１２は、第
２の圧電素子制御回路３０１４からの信号に基づいて駆
動される。
【０００５】この静電アクチュエータにおいては、第１
の圧電素子３０１１及び第２の圧電素子３０１２を駆動
することで、移動子３００３と固定子３００１の間にス
クイズ膜を生じさせ、固定子３００１に対して移動子３
００３を非接触支持することができる。
の圧電素子３０１１及び第２の圧電素子３０１２を駆動
することで、移動子３００３と固定子３００１の間にス
クイズ膜を生じさせ、固定子３００１に対して移動子３
００３を非接触支持することができる。
【０００６】そして、静電駆動回路３００４からの信号
に基づいて、駆動電極３００２に対して従来の静電アク
チュエータと同様の駆動電圧を印加することで、移動子
３００３を駆動することができる。なお、静電モータ制
御回路３００４から出力される駆動電圧は図９に示すよ
うな３相の交流電圧である。
に基づいて、駆動電極３００２に対して従来の静電アク
チュエータと同様の駆動電圧を印加することで、移動子
３００３を駆動することができる。なお、静電モータ制
御回路３００４から出力される駆動電圧は図９に示すよ
うな３相の交流電圧である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような静電アクチュエータには、以下のような問題点
があった。まず、上記の静電アクチュエータにおいて
は、駆動方向が１軸のみに限定され、その駆動が直線の
みであるという問題点があった。また、圧電素子を複数
有しているため、それを駆動するための圧電素子駆動回
路も複数必要であり、装置の構成が複雑になるという問
題点があった。
たような静電アクチュエータには、以下のような問題点
があった。まず、上記の静電アクチュエータにおいて
は、駆動方向が１軸のみに限定され、その駆動が直線の
みであるという問題点があった。また、圧電素子を複数
有しているため、それを駆動するための圧電素子駆動回
路も複数必要であり、装置の構成が複雑になるという問
題点があった。
【０００８】本発明の目的は、機構が簡単で小型であ
り、移動子を任意の経路に沿って２軸方向以上に駆動で
きる静電アクチュエータを提供することにある。
り、移動子を任意の経路に沿って２軸方向以上に駆動で
きる静電アクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の静電アクチュエ
ータは、基板上に複数の駆動電極を有する固定子と、前
記駆動電極に対して複数相の駆動電圧を印加する電圧印
加手段と、前記固定子上を移動する移動子と、前記固定
子と前記移動子を非接触に保持する非接触保持手段とを
有する静電アクチュエータにおいて、前記駆動電極に印
加される電圧の位相の進行方向に沿った帯状の保持電極
と、前記保持電極に直流電圧を印加する電圧印加手段と
を有することを特徴としている。前記保持電極の幅は等
幅（一定幅）であることが望ましい。
ータは、基板上に複数の駆動電極を有する固定子と、前
記駆動電極に対して複数相の駆動電圧を印加する電圧印
加手段と、前記固定子上を移動する移動子と、前記固定
子と前記移動子を非接触に保持する非接触保持手段とを
有する静電アクチュエータにおいて、前記駆動電極に印
加される電圧の位相の進行方向に沿った帯状の保持電極
と、前記保持電極に直流電圧を印加する電圧印加手段と
を有することを特徴としている。前記保持電極の幅は等
幅（一定幅）であることが望ましい。
【００１０】本発明の好ましい実施の形態では、前記保
持電極を複数有し、その保持電極は各々平行に設置さ
れ、その間隔は前記移動子の、前記駆動電極による駆動
方向に垂直な部分の長さより小さい。すなわち、保持電
極の間隔は移動子の一辺の長さより小さい。また、前記
駆動電極は複数の駆動方向に設置され、それらの駆動方
向のそれぞれに対して、前記保持電極が設置されてい
る。更に、前記固定子の下面には振動子があり、該振動
子に印加する交流電圧の振幅を制御して前記固定子と移
動子の間隔、すなわち移動子の浮上量を制御する手段を
有する。振動子は例えば圧電素子である。
持電極を複数有し、その保持電極は各々平行に設置さ
れ、その間隔は前記移動子の、前記駆動電極による駆動
方向に垂直な部分の長さより小さい。すなわち、保持電
極の間隔は移動子の一辺の長さより小さい。また、前記
駆動電極は複数の駆動方向に設置され、それらの駆動方
向のそれぞれに対して、前記保持電極が設置されてい
る。更に、前記固定子の下面には振動子があり、該振動
子に印加する交流電圧の振幅を制御して前記固定子と移
動子の間隔、すなわち移動子の浮上量を制御する手段を
有する。振動子は例えば圧電素子である。
【００１１】本発明の静電アクチュエータの制御方法
は、複数の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を移
動する移動子と、前記駆動電極に印加される電圧の位相
の進行方向に沿った保持電極を有する静電アクチュエー
タにおいて、前記駆動電極に対しては複数相の駆動電圧
を印加し、前記保持電極には直流電圧を印加することを
特徴とする。また、好ましくは、前記固定子の下面の前
記圧電素子に印加する交流電圧の振幅を制御することで
前記移動子の位置及び浮上量を制御する。
は、複数の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を移
動する移動子と、前記駆動電極に印加される電圧の位相
の進行方向に沿った保持電極を有する静電アクチュエー
タにおいて、前記駆動電極に対しては複数相の駆動電圧
を印加し、前記保持電極には直流電圧を印加することを
特徴とする。また、好ましくは、前記固定子の下面の前
記圧電素子に印加する交流電圧の振幅を制御することで
前記移動子の位置及び浮上量を制御する。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に静電アクチュエータの斜視
図を示す。固定子１０２の下部には振動子１０７が設置
され、上部には移動子１０１が配置されている。振動子
１０７に交流電圧を印加して微小振動させることで、移
動子１０１と固定子１０２の間にスクイズフィルムを生
じさせ、移動子１０１を固定子１０２に対して非接触に
支持する。Ｘ軸方向の駆動は移動子１０１上に発生させ
た誘導電荷に対して発生する静電力を用いて行う。
図を示す。固定子１０２の下部には振動子１０７が設置
され、上部には移動子１０１が配置されている。振動子
１０７に交流電圧を印加して微小振動させることで、移
動子１０１と固定子１０２の間にスクイズフィルムを生
じさせ、移動子１０１を固定子１０２に対して非接触に
支持する。Ｘ軸方向の駆動は移動子１０１上に発生させ
た誘導電荷に対して発生する静電力を用いて行う。
【００１３】図２（ａ）、（ｂ）の静電アクチュエータ
の断面図を用いて、本発明の静電アクチュエータの駆動
機構の原理を説明する。ここでは、移動子１０１を＋Ｘ
方向に駆動する場合について説明する。まず、図２
（ａ）のように、固定子１０２内に配置された静電駆動
用電極１０９（１）、（２）、（３）の電位をそれぞ
れ、０、＋、−とする。すると、浮上している移動子１
０１上に局所的に−の電荷と、＋の電荷が誘導される。
そこで、図２（ｂ）のように、静電駆動用電極１０９
（１）、（２）、（３）の電位をそれぞれ、−、０、
＋、と変化させれば、移動子１０１上に誘導されている
電荷と固定子１０２の電位に対して静電力が働き、移動
子１０１が＋Ｘ方向に移動する。この一連の電位の変化
を繰り返せば、移動子１０１を更に＋Ｘ方向に移動させ
ることができる。駆動電極１０９（１）〜（３）に印加
する電圧は図３（ａ）に示すような矩形波や、図３
（ｂ）に示すような３相交流等の時間的に変化する波形
を用いる。
の断面図を用いて、本発明の静電アクチュエータの駆動
機構の原理を説明する。ここでは、移動子１０１を＋Ｘ
方向に駆動する場合について説明する。まず、図２
（ａ）のように、固定子１０２内に配置された静電駆動
用電極１０９（１）、（２）、（３）の電位をそれぞ
れ、０、＋、−とする。すると、浮上している移動子１
０１上に局所的に−の電荷と、＋の電荷が誘導される。
そこで、図２（ｂ）のように、静電駆動用電極１０９
（１）、（２）、（３）の電位をそれぞれ、−、０、
＋、と変化させれば、移動子１０１上に誘導されている
電荷と固定子１０２の電位に対して静電力が働き、移動
子１０１が＋Ｘ方向に移動する。この一連の電位の変化
を繰り返せば、移動子１０１を更に＋Ｘ方向に移動させ
ることができる。駆動電極１０９（１）〜（３）に印加
する電圧は図３（ａ）に示すような矩形波や、図３
（ｂ）に示すような３相交流等の時間的に変化する波形
を用いる。
【００１４】Ｚ軸方向への駆動はスクイズフィルムの厚
さを変化させることによって行う。スクイズフィルムの
厚さは振動子１０７に印加する交流電圧の振幅を変化さ
せることにより容易に制御できる。
さを変化させることによって行う。スクイズフィルムの
厚さは振動子１０７に印加する交流電圧の振幅を変化さ
せることにより容易に制御できる。
【００１５】次に、この静電アクチュエータの移動子の
保持原理について図４（ａ）を用いて説明する。ここで
は、移動子１０１をＹ軸方向に拘束する場合について説
明する。移動子１０１の保持は移動子１０１上に発生さ
せた誘導電荷に対して発生する静電力を用いて行う。 保
持電極１０８に与える電位は図４（ｂ）のようなもので
ある。まず、移動子１０１がＹ軸方向に移動することを
防ぐ保持電極１０８の電位を正とする。すると、移動子
１０１上に局所的に負の電荷が誘導される。ここで、固
定子１０２が水平方向に対して傾いている等の原因で、
移動子１０１に対しＹ方向に何らかの外力が働いた時、
移動子１０１上の電荷と固定子１０２中の保持電極１０
８の間に静電力が働くため、移動子１０１がＹ軸方向に
拘束される。
保持原理について図４（ａ）を用いて説明する。ここで
は、移動子１０１をＹ軸方向に拘束する場合について説
明する。移動子１０１の保持は移動子１０１上に発生さ
せた誘導電荷に対して発生する静電力を用いて行う。 保
持電極１０８に与える電位は図４（ｂ）のようなもので
ある。まず、移動子１０１がＹ軸方向に移動することを
防ぐ保持電極１０８の電位を正とする。すると、移動子
１０１上に局所的に負の電荷が誘導される。ここで、固
定子１０２が水平方向に対して傾いている等の原因で、
移動子１０１に対しＹ方向に何らかの外力が働いた時、
移動子１０１上の電荷と固定子１０２中の保持電極１０
８の間に静電力が働くため、移動子１０１がＹ軸方向に
拘束される。
【００１６】以上のような駆動原理及び保持原理を用い
ることで、構造的なガイド無しで、移動子をＹ軸方向の
拘束し、かつＸ軸方向に対して駆動することができる。
また、移動子をＺ軸方向にも駆動することができる。
ることで、構造的なガイド無しで、移動子をＹ軸方向の
拘束し、かつＸ軸方向に対して駆動することができる。
また、移動子をＺ軸方向にも駆動することができる。
【００１７】この静電アクチュエータをＸＹ平面と平行
な複数の軸に対して組み合わせることで、ＸＹ平面と平
行な複数の方向に移動子を移動することができ、また、
複数の軸方向に拘束することができる。
な複数の軸に対して組み合わせることで、ＸＹ平面と平
行な複数の方向に移動子を移動することができ、また、
複数の軸方向に拘束することができる。
【００１８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。 ［実施例１］図５に、本実施例の概略図を示す。図６は
その断面図である。本実施例の静電アクチュエータは、
スクイズフィルムで浮上させた移動子５０１を固定子５
０２に対して相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向
に駆動するものである。本静電アクチュエータは移動子
５０１が浮上しており、固定子５０２との摩擦が無い。
従って、移動子５０１がＸ軸方向またはＹ軸方向に自由
度を有するため、それを制限するための保持電極５０８
（１）、（２）が設けられていることを特徴とする。但
し、移動子５０１の材料は誘電体である。Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向については移動子５０１上に発生させている誘
導電荷に作用する静電力によって駆動する。Ｚ軸方向に
ついてはスクイズフィルムを用いて駆動する。
て説明する。 ［実施例１］図５に、本実施例の概略図を示す。図６は
その断面図である。本実施例の静電アクチュエータは、
スクイズフィルムで浮上させた移動子５０１を固定子５
０２に対して相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向
に駆動するものである。本静電アクチュエータは移動子
５０１が浮上しており、固定子５０２との摩擦が無い。
従って、移動子５０１がＸ軸方向またはＹ軸方向に自由
度を有するため、それを制限するための保持電極５０８
（１）、（２）が設けられていることを特徴とする。但
し、移動子５０１の材料は誘電体である。Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向については移動子５０１上に発生させている誘
導電荷に作用する静電力によって駆動する。Ｚ軸方向に
ついてはスクイズフィルムを用いて駆動する。
【００１９】また、移動子５０１を任意の位置または任
意の軸上に保持するための保持電極５０８（１）、
（２）が固定子５０２中に設置されている。保持電極５
０８（１）は移動子５０１をＹ軸方向に拘束するための
ものであり、Ｘ軸に平行に設置されている。また、保持
電極５０８（２）は同様にＸ軸方向に拘束するためのも
のであり、Ｙ軸に平行に設置されている。ガラス製の基
板からなる固定子５０２中にはＸ軸方向及びＹ軸方向に
駆動するための３相の駆動電極５０３（１）〜５０３
（３）及び５０４（１）〜５０４（３）が、Ｘ軸方向及
びＹ軸方向に形成され、その表面を絶縁性薄膜５０５
（１）、（２）、（３）が覆っている。
意の軸上に保持するための保持電極５０８（１）、
（２）が固定子５０２中に設置されている。保持電極５
０８（１）は移動子５０１をＹ軸方向に拘束するための
ものであり、Ｘ軸に平行に設置されている。また、保持
電極５０８（２）は同様にＸ軸方向に拘束するためのも
のであり、Ｙ軸に平行に設置されている。ガラス製の基
板からなる固定子５０２中にはＸ軸方向及びＹ軸方向に
駆動するための３相の駆動電極５０３（１）〜５０３
（３）及び５０４（１）〜５０４（３）が、Ｘ軸方向及
びＹ軸方向に形成され、その表面を絶縁性薄膜５０５
（１）、（２）、（３）が覆っている。
【００２０】また、固定子５０２は、下面が振動子５０
７に接続されている。固定子５０２を振動子５０７を用
いて、図中でΖ方向に往復駆動すると、固定子５０２と
移動子５０１の間にスクイズフィルムが発生し、移動子
５０１は、固定子５０２に対して浮上する。振動子５０
７のＺ方向の変位を変化させることによりスクイズフィ
ルムの厚さを変化させて、Ｚ軸方向に移動子５０１を駆
動する。スクイズフィルムの厚さは振動子５０７の振幅
を変化させることにより、容易に制御できる。
７に接続されている。固定子５０２を振動子５０７を用
いて、図中でΖ方向に往復駆動すると、固定子５０２と
移動子５０１の間にスクイズフィルムが発生し、移動子
５０１は、固定子５０２に対して浮上する。振動子５０
７のＺ方向の変位を変化させることによりスクイズフィ
ルムの厚さを変化させて、Ｚ軸方向に移動子５０１を駆
動する。スクイズフィルムの厚さは振動子５０７の振幅
を変化させることにより、容易に制御できる。
【００２１】以上説明したように、本発明を適用するこ
とで、機構が簡単で小型で、移動子を固定子と非接触
で、３軸方向に位置決めすることができる静電アクチュ
エータを提供できる。非接触式のため、移動子と固定子
の摩擦による発熱、騒音の問題が無い。また、ボールベ
アリング等の構造的な支持機構と異なり、摩耗がなくメ
ンテナンスが容易であり、発塵しないため、クリーンル
ーム等の条件の厳しい環境下にも適する。
とで、機構が簡単で小型で、移動子を固定子と非接触
で、３軸方向に位置決めすることができる静電アクチュ
エータを提供できる。非接触式のため、移動子と固定子
の摩擦による発熱、騒音の問題が無い。また、ボールベ
アリング等の構造的な支持機構と異なり、摩耗がなくメ
ンテナンスが容易であり、発塵しないため、クリーンル
ーム等の条件の厳しい環境下にも適する。
【００２２】［実施例２］本実施例は本発明の静電アク
チュエータを用いた３軸方向に移動可能なステージであ
る。このようなステージは、例えば光学顕微鏡等に用い
られる。図７に本実施例の移動ステージの概略図を示
す。光学顕微鏡等の鏡筒２０８が−Ｚ方向に設置されて
いる。本実施例の３軸ステージは定盤２０９上に振動子
２０７が固定され、その上に固定子２０２が設置された
構造となっている。固定子２０２上には移動子２０１が
配置されている。移動子２０１上には被測定物２０６が
置かれている。
チュエータを用いた３軸方向に移動可能なステージであ
る。このようなステージは、例えば光学顕微鏡等に用い
られる。図７に本実施例の移動ステージの概略図を示
す。光学顕微鏡等の鏡筒２０８が−Ｚ方向に設置されて
いる。本実施例の３軸ステージは定盤２０９上に振動子
２０７が固定され、その上に固定子２０２が設置された
構造となっている。固定子２０２上には移動子２０１が
配置されている。移動子２０１上には被測定物２０６が
置かれている。
【００２３】振動子２０７に交流電圧を印加し、固定子
２０２と移動子２０１の間にスクイズフィルムを発生さ
せ、移動子２０１及び被測定物２０６を浮上させる。次
に、固定子２０２中に設置された駆動電極及び保持電極
に電圧を印加し、移動子２０１をＸ軸方向またはＹ軸方
向に駆動し、被測定物２０６全体を観察する。また、振
動子２０７への印加電圧を変化させ、Ｚ軸方向の制御を
行う。
２０２と移動子２０１の間にスクイズフィルムを発生さ
せ、移動子２０１及び被測定物２０６を浮上させる。次
に、固定子２０２中に設置された駆動電極及び保持電極
に電圧を印加し、移動子２０１をＸ軸方向またはＹ軸方
向に駆動し、被測定物２０６全体を観察する。また、振
動子２０７への印加電圧を変化させ、Ｚ軸方向の制御を
行う。
【００２４】以上説明したように、本発明を適用するこ
とで、機構が簡単で小型で、移動子を固定子と非接触で
３軸方向に位置決めすることができるステージを提供で
きる。
とで、機構が簡単で小型で、移動子を固定子と非接触で
３軸方向に位置決めすることができるステージを提供で
きる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によると、機構が簡単で小型で、
移動子を固定子と非接触で２軸以上の方向に位置決めで
きる静電アクチュエータを提供することができる。ま
た、光学顕微鏡等に利用可能な２軸以上に移動可能なス
テージを提供することができる。
移動子を固定子と非接触で２軸以上の方向に位置決めで
きる静電アクチュエータを提供することができる。ま
た、光学顕微鏡等に利用可能な２軸以上に移動可能なス
テージを提供することができる。
【図１】 本発明の実施の一形態に係る静電アクチュエ
ータの斜視図である。
ータの斜視図である。
【図２】 図１の静電アクチュエータの駆動原理を説明
する断面図である。
する断面図である。
【図３】 図１の静電アクチュエータにおける印加電圧
パターンを説明する図である。
パターンを説明する図である。
【図４】 図１の静電アクチュエータの保持原理を説明
する図（ａ）、及び印加電圧パターンを説明する図
（ｂ）である。
する図（ａ）、及び印加電圧パターンを説明する図
（ｂ）である。
【図５】 本発明の一実施例に係る静電アクチュエータ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図６】 図５の静電アクチュエータの断面図である。
【図７】 本発明の第２の実施例に係る移動ステージの
図である。
図である。
【図８】 従来技術を説明する図である。
【図９】 従来技術の印加電圧パターンを説明する図で
ある。
ある。
１０１，２０１，５０１，３００３：移動子、１０２，
２０２、 ５０２、 ３００１：固定子、５０３（１）〜
（３），５０４（１）〜（３），１０９（１）〜
（３），３００２：駆動電極、５０５（１）〜（３）：
絶縁性薄膜、１０７，２０７，５０７：振動子、１０
８，５０８（１），（２）：保持電極、２０６：被測定
物、２０８：鏡筒、２０９：定盤、３００４：静電駆動
回路、３０１１，３０１２：圧電素子、３０１３，３０
１４：圧電素子駆動回路。
２０２、 ５０２、 ３００１：固定子、５０３（１）〜
（３），５０４（１）〜（３），１０９（１）〜
（３），３００２：駆動電極、５０５（１）〜（３）：
絶縁性薄膜、１０７，２０７，５０７：振動子、１０
８，５０８（１），（２）：保持電極、２０６：被測定
物、２０８：鏡筒、２０９：定盤、３００４：静電駆動
回路、３０１１，３０１２：圧電素子、３０１３，３０
１４：圧電素子駆動回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木 隆行 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 Ｆターム(参考） 3F021 AA05 BA05 CA13 DA04
Claims (8)
- 【請求項１】 基板上に複数の駆動電極を有する固定子
と、前記駆動電極に対して複数相の駆動電圧を印加する
電圧印加手段と、前記固定子上を移動する移動子と、前
記固定子と前記移動子を非接触に保持する非接触保持手
段とを有する静電アクチュエータにおいて、 前記駆動電極に印加される電圧の位相の進行方向に沿っ
た帯状の保持電極と、前記保持電極に直流電圧を印加す
る電圧印加手段とを有することを特徴とする静電アクチ
ュエータ。 - 【請求項２】 前記保持電極を複数有し、前記保持電極
が互いに平行に設置されており、その間隔が前記移動子
の、前記駆動電極駆動方向に垂直な部分の長さより小さ
いことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエー
タ。 - 【請求項３】 前記駆動電極が複数の駆動方向に設置さ
れ、前記駆動方向のそれぞれに対して、前記保持電極が
設置されていることを特徴とする請求項１または２に記
載の静電アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記非接触保持手段が、前記固定子の下
面に配置された圧電素子を有することを特徴とする請求
項１〜３のいずれか一つに記載の静電アクチュエータ。 - 【請求項５】 前記圧電素子に印加する交流電圧の振幅
を制御する浮上量制御手段を有することを特徴とする請
求項４に記載の静電アクチュエータ。 - 【請求項６】 複数の駆動電極を有する固定子と、該固
定子上を移動する移動子と、前記駆動電極に印加される
電圧の位相の進行方向に沿った保持電極を有する静電ア
クチュエータの制御方法であって、 前記駆動電極に対しては複数相の駆動電圧を印加し、前
記保持電極には直流電圧を印加することで前記移動子の
位置を制御することを特徴とする静電アクチュエータの
制御方法。 - 【請求項７】 前記固定子の下面に振動子を設け、該振
動子に印加する交流電圧の振幅を制御することで、前記
移動子の浮上量を制御することを特徴とする請求項６に
記載の静電アクチュエータの制御方法。 - 【請求項８】 請求項１〜５の何れか一つに記載の静電
アクチュエータを有することを特徴とする移動ステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32015099A JP2001136759A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 浮上式静電アクチュエータ及びその制御方法並びに移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32015099A JP2001136759A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 浮上式静電アクチュエータ及びその制御方法並びに移動ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001136759A true JP2001136759A (ja) | 2001-05-18 |
Family
ID=18118274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32015099A Pending JP2001136759A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | 浮上式静電アクチュエータ及びその制御方法並びに移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001136759A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145452A1 (ja) * | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 大日本印刷株式会社 | ４線式静電アクチュエータおよび固定子 |
| CN104058256A (zh) * | 2013-03-18 | 2014-09-24 | 株式会社延原表 | 利用静电悬浮的基板移送装置 |
-
1999
- 1999-11-10 JP JP32015099A patent/JP2001136759A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145452A1 (ja) * | 2010-05-19 | 2011-11-24 | 大日本印刷株式会社 | ４線式静電アクチュエータおよび固定子 |
| JP2011244618A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Dainippon Printing Co Ltd | ４線式静電アクチュエータおよび固定子 |
| US9231495B2 (en) | 2010-05-19 | 2016-01-05 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Four-wire electrostatic actuator and stator |
| CN104058256A (zh) * | 2013-03-18 | 2014-09-24 | 株式会社延原表 | 利用静电悬浮的基板移送装置 |
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