JPH0510990A - 周波数測定方法とその装置並びに半導体テスタ - Google Patents
周波数測定方法とその装置並びに半導体テスタInfo
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- JPH0510990A JPH0510990A JP3161304A JP16130491A JPH0510990A JP H0510990 A JPH0510990 A JP H0510990A JP 3161304 A JP3161304 A JP 3161304A JP 16130491 A JP16130491 A JP 16130491A JP H0510990 A JPH0510990 A JP H0510990A
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- sampling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 周波数カウンタによることなく、測定対象と
しての信号の周波数を容易に、しかも経済的に測定する
こと。 【構成】 被試験素子１０からの出力信号はコンパレー
タ６で２値化された上、タイミング発生器３からのタイ
ミング信号１０４の周期毎にフェイルメモリ８にサンプ
リング値として取り込まれる。取り込まれたサンプリン
グ値を計算機９で解析することによって、被試験素子１
０からの出力信号の周波数が測定され得るものである。
しての信号の周波数を容易に、しかも経済的に測定する
こと。 【構成】 被試験素子１０からの出力信号はコンパレー
タ６で２値化された上、タイミング発生器３からのタイ
ミング信号１０４の周期毎にフェイルメモリ８にサンプ
リング値として取り込まれる。取り込まれたサンプリン
グ値を計算機９で解析することによって、被試験素子１
０からの出力信号の周波数が測定され得るものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被試験素子、特に半導
体素子から出力される信号の周波数を測定する方法とそ
の装置、更にはそのような周波数測定機能を具備してな
る半導体テスタに関するものである。
体素子から出力される信号の周波数を測定する方法とそ
の装置、更にはそのような周波数測定機能を具備してな
る半導体テスタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】これまで、周波数を測定するには、例え
ば「第３部門 電磁波基本測定」（電子情報通信ハンド
ブック 第一分冊：株式会社 オーム社 昭和６３年３
月３０日発行、第１５２頁）に記載されている周波数カ
ウンタによるものが知られている。この周波数カウンタ
によって被試験素子より出力される信号の周波数を測定
するには、図６に示すように、周辺にパターン発生器
２、タイミング発生器３およびフェイルメモリ８を配し
てなるＬＳＩテスタ（波形フォーマッタ４ａ、ドライバ
５ａ、デジタルコンパレータ７ａ、コンパレータ６ａお
よびリレー（接点）１２ａを内蔵）が被試験素子１０に
接続されるようになっているが、被試験素子１０の任意
ピンから出力される信号の周波数を測定する際には、リ
レー（接点）１２ａが切替えされた上、被測定信号がリ
レー（接点）１３を介し周波数カウンタ１１に入力され
ることによって、その被測定信号の周波数が測定される
ようになっている。
ば「第３部門 電磁波基本測定」（電子情報通信ハンド
ブック 第一分冊：株式会社 オーム社 昭和６３年３
月３０日発行、第１５２頁）に記載されている周波数カ
ウンタによるものが知られている。この周波数カウンタ
によって被試験素子より出力される信号の周波数を測定
するには、図６に示すように、周辺にパターン発生器
２、タイミング発生器３およびフェイルメモリ８を配し
てなるＬＳＩテスタ（波形フォーマッタ４ａ、ドライバ
５ａ、デジタルコンパレータ７ａ、コンパレータ６ａお
よびリレー（接点）１２ａを内蔵）が被試験素子１０に
接続されるようになっているが、被試験素子１０の任意
ピンから出力される信号の周波数を測定する際には、リ
レー（接点）１２ａが切替えされた上、被測定信号がリ
レー（接点）１３を介し周波数カウンタ１１に入力され
ることによって、その被測定信号の周波数が測定される
ようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術による場合には、被試験素子のピンを周波数カウンタ
に切替接続するためのリレーや、周波数カウンタまでの
信号伝送用ケーブルが必要となっている。一方、被試験
素子自体は近年の微細半導体加工技術の進歩によって、
その集積度が飛躍的に向上されており、これに伴い外部
との間で多数の入出力信号を授受すべく多ピン化の傾向
にあるばかりか、その動作速度も高速化されつつあるの
が現状である。したがって、このような状況からすれ
ば、これまでの周波数測定方法は被試験素子にそのまま
適用することは困難なものとなっているのが実情であ
る。周波数測定のためのリレーや信号伝送用ケーブル等
のハードウェアの増大化や、動作速度の高速化に伴う部
品コストの上昇については考慮されておらず、被試験素
子に対する試験を経済的に行ない得ないというものであ
る。
術による場合には、被試験素子のピンを周波数カウンタ
に切替接続するためのリレーや、周波数カウンタまでの
信号伝送用ケーブルが必要となっている。一方、被試験
素子自体は近年の微細半導体加工技術の進歩によって、
その集積度が飛躍的に向上されており、これに伴い外部
との間で多数の入出力信号を授受すべく多ピン化の傾向
にあるばかりか、その動作速度も高速化されつつあるの
が現状である。したがって、このような状況からすれ
ば、これまでの周波数測定方法は被試験素子にそのまま
適用することは困難なものとなっているのが実情であ
る。周波数測定のためのリレーや信号伝送用ケーブル等
のハードウェアの増大化や、動作速度の高速化に伴う部
品コストの上昇については考慮されておらず、被試験素
子に対する試験を経済的に行ない得ないというものであ
る。
【０００４】本発明の第１の目的は、周波数カウンタに
よることなく、測定対象としての信号の周波数を測定し
得る周波数測定方法を供するにある。本発明の第２の目
的は、その周波数測定方法を実施するのに好適とされた
周波数測定装置を供するにある。本発明の第３の目的
は、そのような周波数測定装置を周波数測定機能として
具備してなる半導体テスタを供するにある。
よることなく、測定対象としての信号の周波数を測定し
得る周波数測定方法を供するにある。本発明の第２の目
的は、その周波数測定方法を実施するのに好適とされた
周波数測定装置を供するにある。本発明の第３の目的
は、そのような周波数測定装置を周波数測定機能として
具備してなる半導体テスタを供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記各種目的は、基本的
には、半導体テスタ（ＬＳＩテスタ）のタイミング発生
器、パターン発生器、コンパレータ、デジタルコンパレ
ータ、フェイルメモリ、シンセサイザおよび計算機を用
いることによって、被測定対象としての信号の周波数を
測定することによって達成される。
には、半導体テスタ（ＬＳＩテスタ）のタイミング発生
器、パターン発生器、コンパレータ、デジタルコンパレ
ータ、フェイルメモリ、シンセサイザおよび計算機を用
いることによって、被測定対象としての信号の周波数を
測定することによって達成される。
【０００６】
【作用】パターン発生器はコンパレータの期待値を
“１”または“０”に固定し、タイミング発生器ではま
た、シンセサイザからの基準クロックを分周することに
よって、デジタルコンパレータへの比較タイミング信号
が作成されるようになっている。この比較タイミング信
号の周期で、被試験素子からの出力信号を期待値と比較
判定し、その比較判定結果はフェイルメモリに一旦格納
されるが、計算機ではフェイルメモリの内容を読み出し
計算することによって、被試験素子からの出力信号の周
波数が求められるものである。
“１”または“０”に固定し、タイミング発生器ではま
た、シンセサイザからの基準クロックを分周することに
よって、デジタルコンパレータへの比較タイミング信号
が作成されるようになっている。この比較タイミング信
号の周期で、被試験素子からの出力信号を期待値と比較
判定し、その比較判定結果はフェイルメモリに一旦格納
されるが、計算機ではフェイルメモリの内容を読み出し
計算することによって、被試験素子からの出力信号の周
波数が求められるものである。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図１から図５により説明す
る。先ず本発明による周波数測定装置について説明すれ
ば、図１は一例でのその構成を被試験素子とともに示し
たものである。また、図２は測定の結果得られる周波数
とサンプリング周波数の関係を、更に、図３は周波数測
定手順のフローをそれぞれ示したものである。本発明に
よる周波数測定装置は、図１に示すように、シンセサイ
ザ１、パターン発生器２、タイミング発生器３、波形フ
ォーマッタ４、ドライバ５、コンパレータ６、デジタル
コンパレータ７、フェイルメモリ８および計算機９より
構成されたものとなっている。
る。先ず本発明による周波数測定装置について説明すれ
ば、図１は一例でのその構成を被試験素子とともに示し
たものである。また、図２は測定の結果得られる周波数
とサンプリング周波数の関係を、更に、図３は周波数測
定手順のフローをそれぞれ示したものである。本発明に
よる周波数測定装置は、図１に示すように、シンセサイ
ザ１、パターン発生器２、タイミング発生器３、波形フ
ォーマッタ４、ドライバ５、コンパレータ６、デジタル
コンパレータ７、フェイルメモリ８および計算機９より
構成されたものとなっている。
【０００８】さて、実際に被試験素子１０から出力され
る信号の周波数を測定するに際しては、デジタルコンパ
レータ７への比較タイミング信号としてのストローブ信
号１０４の周期（以下、その周期の逆数をサンプリング
周波数ｆｓと称す）は、最高周波数期待値ｆｅmaxと最
小周波数期待値ｆｅminから以下のように設定される。
る信号の周波数を測定するに際しては、デジタルコンパ
レータ７への比較タイミング信号としてのストローブ信
号１０４の周期（以下、その周期の逆数をサンプリング
周波数ｆｓと称す）は、最高周波数期待値ｆｅmaxと最
小周波数期待値ｆｅminから以下のように設定される。
【０００９】
【数１】
【００１０】したがって、シンセサイザ１での発振周波
数ｆｏ１００とタイミング発生器３での分周数ｎは、サ
ンプリング周波数ｆｓとの間で以下の関係を満足するよ
うに設定される。
数ｆｏ１００とタイミング発生器３での分周数ｎは、サ
ンプリング周波数ｆｓとの間で以下の関係を満足するよ
うに設定される。
【００１１】
【数２】
【００１２】以上のようにサンプリング周波数ｆｓが設
定された状態で、パターン発生器２からデジタルコンパ
レータ７への期待値１０１は”０”、または”１”に固
定され、また、被試験素子１０からの応答信号（出力信
号）１０２はコンパレータ６を介しデジタルコンパレー
タ７で期待値１０１とストローブ信号１０４のタイミン
グで比較判定されるものとなっている。比較判定結果は
フェイルメモリ８にＷ回取り込まれた後は、計算機９に
読み出された上、その応答信号の周波数が計算によって
求められているものである。
定された状態で、パターン発生器２からデジタルコンパ
レータ７への期待値１０１は”０”、または”１”に固
定され、また、被試験素子１０からの応答信号（出力信
号）１０２はコンパレータ６を介しデジタルコンパレー
タ７で期待値１０１とストローブ信号１０４のタイミン
グで比較判定されるものとなっている。比較判定結果は
フェイルメモリ８にＷ回取り込まれた後は、計算機９に
読み出された上、その応答信号の周波数が計算によって
求められているものである。
【００１３】ここで、より具体的に図２，図３を用い周
波数の測定方法を詳細に説明すれば以下のようである。
即ち、フェイルメモリ８の内容は、サンプリング周波数
ｆｓで応答信号１０２をサンプリングした後、コンパレ
ータ６での比較判定レベル１０５により２値化されたデ
ータと同等である。この２値化されたデータの１サイク
ルのサンプルポイント数Ｎｓは以下のように求められ
る。
波数の測定方法を詳細に説明すれば以下のようである。
即ち、フェイルメモリ８の内容は、サンプリング周波数
ｆｓで応答信号１０２をサンプリングした後、コンパレ
ータ６での比較判定レベル１０５により２値化されたデ
ータと同等である。この２値化されたデータの１サイク
ルのサンプルポイント数Ｎｓは以下のように求められ
る。
【００１４】
【数３】
【００１５】ただし、Ｎｃはフェイルメモリ内のサイク
ル数を、ＮｓｐはＮｃサイクルのサンプルポイント数で
ある。このようにして求められたサンプルポイント数Ｎ
ｓから、被測定周波数候補ｆｉ(m)はサンプリング定理
より以下の２つの式の何れかで表わせるものである。
ル数を、ＮｓｐはＮｃサイクルのサンプルポイント数で
ある。このようにして求められたサンプルポイント数Ｎ
ｓから、被測定周波数候補ｆｉ(m)はサンプリング定理
より以下の２つの式の何れかで表わせるものである。
【００１６】
【数４】
【００１７】
【数５】
【００１８】この関係を図示すれば、図２（図２は４段
構成のものとして図示）中に最上段（第１段）のものと
して示したものとなる。これから判るように、多数の周
波数候補が存在しているが、本例では、実線表示の（１
＋１／Ｎｓ）ｆｓが真値であるとして、多数の周波数候
補の内から真値を検索する場合が想定されている。
構成のものとして図示）中に最上段（第１段）のものと
して示したものとなる。これから判るように、多数の周
波数候補が存在しているが、本例では、実線表示の（１
＋１／Ｎｓ）ｆｓが真値であるとして、多数の周波数候
補の内から真値を検索する場合が想定されている。
【００１９】多数の周波数候補の内から真値を検索する
には、被測定周波数候補ｆｉ(m)が求められた後、サン
プリング周波数ｆｓはΔｆ分だけ高いサンプリング周波
数ｆｓ′に更新設定されるようになっている。
には、被測定周波数候補ｆｉ(m)が求められた後、サン
プリング周波数ｆｓはΔｆ分だけ高いサンプリング周波
数ｆｓ′に更新設定されるようになっている。
【００２０】
【数６】
【００２１】サンプリング周波数ｆｓがサンプリング周
波数ｆｓ′に更新設定された状態で、再度Ｗ回サンプリ
ングしその結果をフェイルメモリに書き込むが、既述の
ようにして、１サイクルのサンプルポイント数Ｎｓ′を
求め、被測定周波数候補ｆｉ′（m）が既述の場合と同
様にして求められるが、求められた被測定周波数候補ｆ
ｉ′(m)を図２に第２段目のものとして示す。図２の第
１段目と第２段目では同一周波数が測定されていること
から、必ずｆｉ(m)とｆｉ′(n)が一致する周波数が存在
するが、一致した周波数が１個であれば一致した周波数
ｆｉｄ(m)が被測定周波数ｆｉとして求められるもので
ある。ただし、サンプリング数Ｗが有限であることか
ら、ｆｉ(m)とｆｉ′(n)は完全には一致しない。そこ
で、次式が成立するｆｉ(m)とｆｉ′(n)が検索される。
波数ｆｓ′に更新設定された状態で、再度Ｗ回サンプリ
ングしその結果をフェイルメモリに書き込むが、既述の
ようにして、１サイクルのサンプルポイント数Ｎｓ′を
求め、被測定周波数候補ｆｉ′（m）が既述の場合と同
様にして求められるが、求められた被測定周波数候補ｆ
ｉ′(m)を図２に第２段目のものとして示す。図２の第
１段目と第２段目では同一周波数が測定されていること
から、必ずｆｉ(m)とｆｉ′(n)が一致する周波数が存在
するが、一致した周波数が１個であれば一致した周波数
ｆｉｄ(m)が被測定周波数ｆｉとして求められるもので
ある。ただし、サンプリング数Ｗが有限であることか
ら、ｆｉ(m)とｆｉ′(n)は完全には一致しない。そこ
で、次式が成立するｆｉ(m)とｆｉ′(n)が検索される。
【００２２】
【数７】
【００２３】ただし、式中、Ａは任意の数である。とこ
ろで、図２に示す例では、真値（１＋１／Ｎｓ）ｆｓと
（１＋１／Ｎｓ）ｆｓ′とが一致している場合が示され
ているが、ここで、一致する周波数が多数個存在する場
合での判別法について説明すれば、一致した周波数ｆｉ
ｄ(m)に対してサンプリング周波数ｆｓ″(m)が以下のよ
うに設定されるようになっている。
ろで、図２に示す例では、真値（１＋１／Ｎｓ）ｆｓと
（１＋１／Ｎｓ）ｆｓ′とが一致している場合が示され
ているが、ここで、一致する周波数が多数個存在する場
合での判別法について説明すれば、一致した周波数ｆｉ
ｄ(m)に対してサンプリング周波数ｆｓ″(m)が以下のよ
うに設定されるようになっている。
【００２４】
【数８】
【００２５】ただし、数８中のＢは任意の数である。再
度Ｗ回サンプルしその結果をフェイルメモリに書き込む
が、その結果よりサンプルポイント数Ｎｓ″(m）を既述
の式より求め、以下の関係を満足するｆｉｄ(m)を被測
定周波数ｆｉとすればよいものである。
度Ｗ回サンプルしその結果をフェイルメモリに書き込む
が、その結果よりサンプルポイント数Ｎｓ″(m）を既述
の式より求め、以下の関係を満足するｆｉｄ(m)を被測
定周波数ｆｉとすればよいものである。
【００２６】
【数９】
【００２７】ただし、式中、Ｃは任意の数である。
【００２８】さて、図２における第３段目のものは周波
数候補（１＋１／Ｎｓ）ｆｓに対してサンプル周波数ｆ
ｓ″を求め、サンプリングした場合での結果を、また、
第４段目のものは周波数候補（ｎ−１／Ｎｓ）ｆｓに対
して同様にサンプリングした場合での結果を示したもの
である。周波数候補（１＋１／Ｎｓ）ｆｓに対するサン
プリング結果からは（１＋１／Ｎｓ）ｆｓが上式を満足
し、被測定周波数ｆｉであることが判明し、周波数候補
（ｎ−１／Ｎｓ）ｆｓに対するサンプリング結果は上式
を満たさないため、被測定周波数ｆｉでないことが判
る。
数候補（１＋１／Ｎｓ）ｆｓに対してサンプル周波数ｆ
ｓ″を求め、サンプリングした場合での結果を、また、
第４段目のものは周波数候補（ｎ−１／Ｎｓ）ｆｓに対
して同様にサンプリングした場合での結果を示したもの
である。周波数候補（１＋１／Ｎｓ）ｆｓに対するサン
プリング結果からは（１＋１／Ｎｓ）ｆｓが上式を満足
し、被測定周波数ｆｉであることが判明し、周波数候補
（ｎ−１／Ｎｓ）ｆｓに対するサンプリング結果は上式
を満たさないため、被測定周波数ｆｉでないことが判
る。
【００２９】図３は以上説明した測定手順をフローとし
て示したものであるが、これについては以上の説明より
明らかであるので、これ以上の説明は要しない。
て示したものであるが、これについては以上の説明より
明らかであるので、これ以上の説明は要しない。
【００３０】次に、本発明による周波数測定装置の他の
例を図４を用い説明する。図４は図１に示すＬＳＩテス
タの構成のうち、周波数測定に必要な要部部分を示した
ものである。本例でのものは図４に示すように、コンパ
レータ６、Ｄフリップフロップ１４、シンセサイザ１、
メモリ１５および計算機９よりなる。コンパレータ６で
は比較レベル１０５で入力信号１０６が２値化される
が、２値化後の入力信号１０６は更にＤフリップフロッ
プ１４でシンセサイザ１からのクロックによりサンプリ
ングされた上、サンプリング結果はメモリ１５に書き込
まれるようになっている。その後、計算機９によりサン
プリング結果を読み出され、周波数が計算によって求め
られているものである。したがって、図１に示すものと
同様にして、図３に示すフローチャートに従って周波数
が測定され得るものである。
例を図４を用い説明する。図４は図１に示すＬＳＩテス
タの構成のうち、周波数測定に必要な要部部分を示した
ものである。本例でのものは図４に示すように、コンパ
レータ６、Ｄフリップフロップ１４、シンセサイザ１、
メモリ１５および計算機９よりなる。コンパレータ６で
は比較レベル１０５で入力信号１０６が２値化される
が、２値化後の入力信号１０６は更にＤフリップフロッ
プ１４でシンセサイザ１からのクロックによりサンプリ
ングされた上、サンプリング結果はメモリ１５に書き込
まれるようになっている。その後、計算機９によりサン
プリング結果を読み出され、周波数が計算によって求め
られているものである。したがって、図１に示すものと
同様にして、図３に示すフローチャートに従って周波数
が測定され得るものである。
【００３１】以上、本発明をまとめると図５に示す構成
となる。入力信号１０６は２値化回路１７により２値化
された後は、サンプリングゲート１６でシンセサイザ１
からのサンプリング信号でサンプリングされた上、メモ
リ１３に記憶されるものとなっている。その後、メモリ
１３からはサンプリング結果が計算機９に読み出される
ことで、図３に示す手順で周波数が測定されるものであ
る。周波数の測定は何も被試験素子からの出力信号に限
定される必要はなく、図４、あるいは図５に示すよう
に、入力端子に任意に印加された信号の周波数を測定し
得るものである。以上の説明からも判るように、被試験
素子の出力信号を比較判定するタイミングを可変とし、
判定結果から出力信号の周波数を求めることが可能であ
る。また、この周波数測定では周波数カウンタを要する
ことなく、ＬＳＩテスタのハードウェアがそのまま使用
可能とされることから、被試験素子と周波数カウンタ間
を接続するためのリレーや信号伝送ケーブルが不要とさ
れたものとなっている。
となる。入力信号１０６は２値化回路１７により２値化
された後は、サンプリングゲート１６でシンセサイザ１
からのサンプリング信号でサンプリングされた上、メモ
リ１３に記憶されるものとなっている。その後、メモリ
１３からはサンプリング結果が計算機９に読み出される
ことで、図３に示す手順で周波数が測定されるものであ
る。周波数の測定は何も被試験素子からの出力信号に限
定される必要はなく、図４、あるいは図５に示すよう
に、入力端子に任意に印加された信号の周波数を測定し
得るものである。以上の説明からも判るように、被試験
素子の出力信号を比較判定するタイミングを可変とし、
判定結果から出力信号の周波数を求めることが可能であ
る。また、この周波数測定では周波数カウンタを要する
ことなく、ＬＳＩテスタのハードウェアがそのまま使用
可能とされることから、被試験素子と周波数カウンタ間
を接続するためのリレーや信号伝送ケーブルが不要とさ
れたものとなっている。
【００３２】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項１〜３に
よる場合は、周波数カウンタによることなく、測定対象
としての信号の周波数を容易に、しかも経済的に測定し
得る周波数測定装置が、また、請求項４による場合に
は、測定対象としての信号の周波数を容易に、しかも経
済的に測定し得る周波数測定方法が、更に請求項５によ
れば、そのような周波数測定装置を周波数測定機能とし
て具備してなる半導体テスタがそれぞれ得られるものと
なっている。
よる場合は、周波数カウンタによることなく、測定対象
としての信号の周波数を容易に、しかも経済的に測定し
得る周波数測定装置が、また、請求項４による場合に
は、測定対象としての信号の周波数を容易に、しかも経
済的に測定し得る周波数測定方法が、更に請求項５によ
れば、そのような周波数測定装置を周波数測定機能とし
て具備してなる半導体テスタがそれぞれ得られるものと
なっている。
【図１】図１は、本発明による周波数測定装置の一例で
のその構成を被試験素子とともに示す図
のその構成を被試験素子とともに示す図
【図２】図２は、本発明に係る周波数測定原理を説明す
るための周波数スペクトラムを示す図
るための周波数スペクトラムを示す図
【図３】図３は、本発明に係る周波数測定手順のフロー
を示す図
を示す図
【図４】図４は、図１に示すＬＳＩテスタの構成のう
ち、周波数測定に必要な要部部分を示す図
ち、周波数測定に必要な要部部分を示す図
【図５】図５は、図４に示す要部部分を一般的な構成と
して示す図
して示す図
【図６】図６は、従来技術に係る周波数測定方法を説明
するための図
するための図
１…シンセサイザ、２…パターン発生器、３…タイミン
グ発生器、４…波形フォーマッタ、５…ドライバ、６…
コンパレータ、７…デジタルコンパレータ、８…フェイ
ルメモリ、９…計算機、１０…被試験素子、１３，１５
…メモリ、１４…Ｄフリップフロップ、１６…サンプリ
ングゲート、１７…２値化回路。
グ発生器、４…波形フォーマッタ、５…ドライバ、６…
コンパレータ、７…デジタルコンパレータ、８…フェイ
ルメモリ、９…計算機、１０…被試験素子、１３，１５
…メモリ、１４…Ｄフリップフロップ、１６…サンプリ
ングゲート、１７…２値化回路。
Claims (5)
- 【請求項１】 周波数発生手段と２値化手段の出力をサ
ンプリング手段に接続した上、該サンプリング手段の出
力に記憶手段を接続し、該記憶手段を計算機と接続した
構成を特徴とする周波数測定装置。 - 【請求項２】 周波数発生手段と２値化手段の出力をサ
ンプリング手段に接続した上、該サンプリング手段の出
力に記憶手段を接続し、該記憶手段を計算機と接続した
構成の周波数測定装置において、周波数発生手段をシン
セサイザおよびタイミング発生器として、２値化手段を
コンパレータとして、サンプリング手段をデジタルコン
パレータとして、記憶手段をフェイルメモリとして構成
したたことを特徴とする周波数測定装置。 - 【請求項３】 周波数発生手段と２値化手段の出力をサ
ンプリング手段に接続した上、該サンプリング手段の出
力に記憶手段を接続し、該記憶手段を計算機と接続した
構成の周波数測定装置において、周波数発生手段をシン
セサイザとして、２値化手段をコンパレータとして、サ
ンプリング手段をＤフリップフロップとして構成したこ
とを特徴とする周波数測定装置。 - 【請求項４】 周波数発生手段と２値化手段の出力をサ
ンプリング手段に接続した上、該サンプリング手段の出
力に記憶手段を接続し、該記憶手段を計算機と接続した
構成を特徴とする周波数測定装置における周波数測定方
法であっって、少なくとも２種類以上の異なるサンプリ
ング周波数で入力信号をサンプルすることによって、該
入力信号の周波数を測定することを特徴とする周波数測
定方法。 - 【請求項５】 周波数発生手段と２値化手段の出力をサ
ンプリング手段に接続した上、該サンプリング手段の出
力に記憶手段を接続し、該記憶手段を計算機と接続した
構成を特徴とする周波数測定装置を周波数測定機能とし
て具備してなる構成の半導体テスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03161304A JP3135071B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 周波数測定方法とその装置並びに半導体テスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03161304A JP3135071B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 周波数測定方法とその装置並びに半導体テスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510990A true JPH0510990A (ja) | 1993-01-19 |
| JP3135071B2 JP3135071B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=15732567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03161304A Expired - Fee Related JP3135071B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 周波数測定方法とその装置並びに半導体テスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3135071B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6774081B1 (en) | 2003-01-03 | 2004-08-10 | Council Of Scientific And Industrial Research | Process for preparing vanadyl pyrophosphate catalyst |
| JP2007225414A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yokogawa Electric Corp | 半導体デバイスの検査方法及び検査装置 |
-
1991
- 1991-07-02 JP JP03161304A patent/JP3135071B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6774081B1 (en) | 2003-01-03 | 2004-08-10 | Council Of Scientific And Industrial Research | Process for preparing vanadyl pyrophosphate catalyst |
| JP2007225414A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yokogawa Electric Corp | 半導体デバイスの検査方法及び検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3135071B2 (ja) | 2001-02-13 |
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