JPH0496248A - ウエハ押上げ装置 - Google Patents
ウエハ押上げ装置Info
- Publication number
- JPH0496248A JPH0496248A JP20688290A JP20688290A JPH0496248A JP H0496248 A JPH0496248 A JP H0496248A JP 20688290 A JP20688290 A JP 20688290A JP 20688290 A JP20688290 A JP 20688290A JP H0496248 A JPH0496248 A JP H0496248A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- lifting mechanism
- orientation flat
- roller mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
「発明の目的」
本発明は、ウェハ押上げ装置に関する。
【従来の技術）
半導体集積回路を製造する工程において、キャリアに収
容した複数枚のウェハのオリフラを回転するローラ上に
載置しウェハを回転させることにより一度に合わせる技
術として、特公平１−５９７３９号公報がある。 また、キャリアに収納した複数枚のウェハの有無を一度
に検出する技術として、特開昭６３−１３３４号並びに
特開昭６３−２０９５８号公報が存在している。 ところで、キャリアに収納されたウェハの所定の成膜や
エツチング等の処理を行なう場合、従来は独立したオリ
フラ合わせ機構部とウェハカウント機構部を設け、この
間髪搬送装置によりキャリアを搬送して所定のオリフラ
合わせとウェハの検出を行なっている。 【発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記の従来例によると、搬送装置による
搬送時にゴミが発生するおそれがあり、また、それぞれ
独立したオリフラ合わせ機構部とウェハカウント機構部
を設け、更に、この間に搬送装置を設けているので、処
理装置がスペースを余計に占有して大型になると共に、
複雑化してコストがアップする等の課題を有している。 更に、オリフラ合わせ機構部でオリフラ合わせを行なっ
た後に、搬送装置でキャリアをウェハカウント機構部へ
移載してウェハの検出を行なっているので、処理時間が
多大に必要となる課題も有している。 本発明は、上記した従来の課題を解決するために開発し
たもので、複数枚のウェハ列の各オリフラを所定の姿勢
に合わせる機構を設けると共に、複数枚のウェハの有無
及び位置検出をウェハを収納した保持部材の位置におい
て短時間にしかも合理的に実施できるウェハ処理装置を
提供することを目的としたものである。 「発明の構成Ｊ 【課題を解決するための手段１ 上記の目的を達成するため、本発明は、予め定められた
間隔で各ウェハを収納配列した保持部材の下方位置に、
ウェハの有無及び位置を検出する検出部を設けたウェハ
押上機構を昇降自在に設け、このウェハ押上機構近傍に
は、ウェハのオリフラ合わせ用の回転ローラ機構を設け
、この回転ローラ機構とウェハ押上機構を水平方向に移
動自在に設けると共に、このウェハ押上機構と回転ロー
ラ機構とを各別に昇降可能に設けた処理装置である。 【作 用】 本発明は上述のように構成したから、ウェハを収納配列
した保持部材の下方に位置するように、オリフラ合わせ
用の回転ローラ機構を水平方向に移動し、次いで、回転
ローラ機構を上昇させてローラの回転により各ウェハの
オリフラを整列させて所定の位置にウェハのオリフラを
合わせた後に回転ローラ機構を下降させる。 次に、回転ローラ機構とともにウェハ押上機構を水平方
向に移動させて保持部材の下方にウェハ押上機構を位置
させた後に押上機構を上昇させて、押上機構に設けた検
出部によりウェハの有無及び位置を検出し、次いで、押
上機構を更に上昇させてウェハを次工程に搬送すること
ができる。 従って、ウェハを収納した保持部材の位置において複数
枚のウェハのオリフラを所定の姿勢に合わせると共に、
複数枚のウェハの有無及び位置検出を行なうことができ
る。
容した複数枚のウェハのオリフラを回転するローラ上に
載置しウェハを回転させることにより一度に合わせる技
術として、特公平１−５９７３９号公報がある。 また、キャリアに収納した複数枚のウェハの有無を一度
に検出する技術として、特開昭６３−１３３４号並びに
特開昭６３−２０９５８号公報が存在している。 ところで、キャリアに収納されたウェハの所定の成膜や
エツチング等の処理を行なう場合、従来は独立したオリ
フラ合わせ機構部とウェハカウント機構部を設け、この
間髪搬送装置によりキャリアを搬送して所定のオリフラ
合わせとウェハの検出を行なっている。 【発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記の従来例によると、搬送装置による
搬送時にゴミが発生するおそれがあり、また、それぞれ
独立したオリフラ合わせ機構部とウェハカウント機構部
を設け、更に、この間に搬送装置を設けているので、処
理装置がスペースを余計に占有して大型になると共に、
複雑化してコストがアップする等の課題を有している。 更に、オリフラ合わせ機構部でオリフラ合わせを行なっ
た後に、搬送装置でキャリアをウェハカウント機構部へ
移載してウェハの検出を行なっているので、処理時間が
多大に必要となる課題も有している。 本発明は、上記した従来の課題を解決するために開発し
たもので、複数枚のウェハ列の各オリフラを所定の姿勢
に合わせる機構を設けると共に、複数枚のウェハの有無
及び位置検出をウェハを収納した保持部材の位置におい
て短時間にしかも合理的に実施できるウェハ処理装置を
提供することを目的としたものである。 「発明の構成Ｊ 【課題を解決するための手段１ 上記の目的を達成するため、本発明は、予め定められた
間隔で各ウェハを収納配列した保持部材の下方位置に、
ウェハの有無及び位置を検出する検出部を設けたウェハ
押上機構を昇降自在に設け、このウェハ押上機構近傍に
は、ウェハのオリフラ合わせ用の回転ローラ機構を設け
、この回転ローラ機構とウェハ押上機構を水平方向に移
動自在に設けると共に、このウェハ押上機構と回転ロー
ラ機構とを各別に昇降可能に設けた処理装置である。 【作 用】 本発明は上述のように構成したから、ウェハを収納配列
した保持部材の下方に位置するように、オリフラ合わせ
用の回転ローラ機構を水平方向に移動し、次いで、回転
ローラ機構を上昇させてローラの回転により各ウェハの
オリフラを整列させて所定の位置にウェハのオリフラを
合わせた後に回転ローラ機構を下降させる。 次に、回転ローラ機構とともにウェハ押上機構を水平方
向に移動させて保持部材の下方にウェハ押上機構を位置
させた後に押上機構を上昇させて、押上機構に設けた検
出部によりウェハの有無及び位置を検出し、次いで、押
上機構を更に上昇させてウェハを次工程に搬送すること
ができる。 従って、ウェハを収納した保持部材の位置において複数
枚のウェハのオリフラを所定の姿勢に合わせると共に、
複数枚のウェハの有無及び位置検出を行なうことができ
る。
以下に、本発明をウェハ処理装置に適用した一実施例を
図面を用いて説明する。 図面において、複数枚のウェハ１をフッ素樹脂等の樹脂
製のキャリア（保持部材）２内に垂直面内で上下及び回
転可能に収納している。このキャリア２は開口部３を有
する載置台４に複数個（本例では６個）載置している。 この載置台４の開口部３の下方位置には、キャリア２内
に収納されているウェハ１の有無及び位置を検出する検
出部５を設けた（内蔵した）ウェハ押上機構６を昇降自
在に設け、このウェハ押上機構６には、ウェハ１のオリ
フラ合わせ用の回転ローラ機構７をブロック１３を介し
て水平方向に同時に移動自在に設け、この回転ローラ機
構７とウェハ押上機構６とを各別に夫々独立に昇降可能
に設けている。 上記した検出部５は、第３図に示すように、押上機構６
に設けられ、また、各ウェハ１の周縁部を嵌合する位置
に投光素子５ａと受光素子５ｂのカプラを配列して設け
、この検知部５は、ウェハ１の有無を検出する信号処理
部８に電気的に接続しており、検出部５の溝部５ｃは、
ウェハ１を収納するキャリア２の溝ピッチと同等間隔に
設けている。 また、ウェハ押上機構６には、突き上げ部９を設け、こ
の突き上げ部９の溝部９ａにウェハ１の周縁部が嵌合す
るようにシリンダ等の昇降機構１０により突き上げ部９
と共に押上機構６を上昇させ、複数枚のウェハ１のオリ
フラが整列した状態で一度にキャリア２の上方にウェハ
１を突き上げ、図示しないウェハチャックで次工程へウ
ェハ１の搬送を行なう。 また、ウェハ押上機構６には、２本の回転ローラ７ａを
有する回転ローラ機構７をブロック１３を介して水平方
向に一体に移動自在に設け、この水平移動は、シリンダ
等の駆動機構１１により駆動するように構成し、また、
この回転ローラ機構７はウェハ押上機構６と別体に昇降
するように設けられ、この回転ローラ機構７はシリンダ
等の昇降機構１２により昇降動可能に設けられている。 ローラ７ａは回転機構、例えばモータの回転軸に直接又
は間接に結合され、この回転するローラ７ａとの接触に
より複数枚のウェハ１を回転させてオリフラを所定の位
置（本例においては下側位置）になるまで回転を継続し
、ウェハ１のオリフラが下側になったときにオリフラと
ローラ７ａが離間し、ウェハ１の回転は自動的に停止す
る。 次に、上記実施例の作用を説明する。 先ず、第１図において、移動機構１１を駆動させて、オ
リフラ合わせ用の回転ローラ機構７を水平方向に移動さ
せ、回転ローラ機構７がキャリア２を載置した載置部４
の開口部３の下方に位置させ、次いで、回転ローラ機構
７を上昇させてキャリア２内に収納された２５枚のウェ
ハ１の下面にローラ７ａを接触させ、この接触により複
数枚のウェハ１を回転させてオリフラが下側位置になる
まで回転を継続し、ウェハ１のオリフラが下側になった
ときにオリフラとローラ７ａが離間し、ウェハ１の回転
は自動的に停止し、ウェハ１のオリフラを合わせた後に
回転ローラ機構７を下降させる。 次に、回転ローラ機構７とともにウェハ押上機構６を水
平方向に移動させてキャリア２の下方にウェハ押上機構
６を位置させた後に押上機構６を上昇させて、押上機構
６に設けた検出部５によりウェハ１の有無を検出及び必
要に応じてウェハの枚数をカウントする機構を付加して
カウントし、次いで、押上機構６を更に上昇させてウェ
ハ１を一括して次工程に搬送する。例えば、ウェハチャ
ックにより２５枚のウェハをチャックし、横置きの熱処
理用ウェハ石英ポートの予め定められた位置に移載する
。 このような移載工程により移載されたウェハがウェハポ
ートに満載されると、ウェハポートは垂直に立設され、
垂直状態で縦型反応炉口の下方に移載される。 本例の検知部は、透過型の例を示したが、これに限るこ
となく、反射型の検知部であっても良く。 また、上記したウェハ処理装置は、熱処理装置、エツチ
ング装置、イオン注入装置、検査装置、レジスト塗布装
置あるいはキャリアストッカ装置等の装置に広く適用す
ることができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると、ウェ
ハを収納した保持部材（キャリア）の位置において複数
枚のウェハのオリフラを所定の姿勢に合わせると共に、
複数枚のウェハの有無及び位置検出を行なうことができ
るので、短時間で処理でき、しかも省スペースを達成し
た処理装置を提供することができる。
図面を用いて説明する。 図面において、複数枚のウェハ１をフッ素樹脂等の樹脂
製のキャリア（保持部材）２内に垂直面内で上下及び回
転可能に収納している。このキャリア２は開口部３を有
する載置台４に複数個（本例では６個）載置している。 この載置台４の開口部３の下方位置には、キャリア２内
に収納されているウェハ１の有無及び位置を検出する検
出部５を設けた（内蔵した）ウェハ押上機構６を昇降自
在に設け、このウェハ押上機構６には、ウェハ１のオリ
フラ合わせ用の回転ローラ機構７をブロック１３を介し
て水平方向に同時に移動自在に設け、この回転ローラ機
構７とウェハ押上機構６とを各別に夫々独立に昇降可能
に設けている。 上記した検出部５は、第３図に示すように、押上機構６
に設けられ、また、各ウェハ１の周縁部を嵌合する位置
に投光素子５ａと受光素子５ｂのカプラを配列して設け
、この検知部５は、ウェハ１の有無を検出する信号処理
部８に電気的に接続しており、検出部５の溝部５ｃは、
ウェハ１を収納するキャリア２の溝ピッチと同等間隔に
設けている。 また、ウェハ押上機構６には、突き上げ部９を設け、こ
の突き上げ部９の溝部９ａにウェハ１の周縁部が嵌合す
るようにシリンダ等の昇降機構１０により突き上げ部９
と共に押上機構６を上昇させ、複数枚のウェハ１のオリ
フラが整列した状態で一度にキャリア２の上方にウェハ
１を突き上げ、図示しないウェハチャックで次工程へウ
ェハ１の搬送を行なう。 また、ウェハ押上機構６には、２本の回転ローラ７ａを
有する回転ローラ機構７をブロック１３を介して水平方
向に一体に移動自在に設け、この水平移動は、シリンダ
等の駆動機構１１により駆動するように構成し、また、
この回転ローラ機構７はウェハ押上機構６と別体に昇降
するように設けられ、この回転ローラ機構７はシリンダ
等の昇降機構１２により昇降動可能に設けられている。 ローラ７ａは回転機構、例えばモータの回転軸に直接又
は間接に結合され、この回転するローラ７ａとの接触に
より複数枚のウェハ１を回転させてオリフラを所定の位
置（本例においては下側位置）になるまで回転を継続し
、ウェハ１のオリフラが下側になったときにオリフラと
ローラ７ａが離間し、ウェハ１の回転は自動的に停止す
る。 次に、上記実施例の作用を説明する。 先ず、第１図において、移動機構１１を駆動させて、オ
リフラ合わせ用の回転ローラ機構７を水平方向に移動さ
せ、回転ローラ機構７がキャリア２を載置した載置部４
の開口部３の下方に位置させ、次いで、回転ローラ機構
７を上昇させてキャリア２内に収納された２５枚のウェ
ハ１の下面にローラ７ａを接触させ、この接触により複
数枚のウェハ１を回転させてオリフラが下側位置になる
まで回転を継続し、ウェハ１のオリフラが下側になった
ときにオリフラとローラ７ａが離間し、ウェハ１の回転
は自動的に停止し、ウェハ１のオリフラを合わせた後に
回転ローラ機構７を下降させる。 次に、回転ローラ機構７とともにウェハ押上機構６を水
平方向に移動させてキャリア２の下方にウェハ押上機構
６を位置させた後に押上機構６を上昇させて、押上機構
６に設けた検出部５によりウェハ１の有無を検出及び必
要に応じてウェハの枚数をカウントする機構を付加して
カウントし、次いで、押上機構６を更に上昇させてウェ
ハ１を一括して次工程に搬送する。例えば、ウェハチャ
ックにより２５枚のウェハをチャックし、横置きの熱処
理用ウェハ石英ポートの予め定められた位置に移載する
。 このような移載工程により移載されたウェハがウェハポ
ートに満載されると、ウェハポートは垂直に立設され、
垂直状態で縦型反応炉口の下方に移載される。 本例の検知部は、透過型の例を示したが、これに限るこ
となく、反射型の検知部であっても良く。 また、上記したウェハ処理装置は、熱処理装置、エツチ
ング装置、イオン注入装置、検査装置、レジスト塗布装
置あるいはキャリアストッカ装置等の装置に広く適用す
ることができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると、ウェ
ハを収納した保持部材（キャリア）の位置において複数
枚のウェハのオリフラを所定の姿勢に合わせると共に、
複数枚のウェハの有無及び位置検出を行なうことができ
るので、短時間で処理でき、しかも省スペースを達成し
た処理装置を提供することができる。
第１図は、本発明におけるウェハ処理装置の一実施例を
示した正面説明図、第２図は同上における部分平面図、
第３図は同上における検知部の拡大説明図である。 ５・・・・検知部 ６・・・・ウェハ押上機
構７・・・・回転ローラ機構 １０・・・・昇降機構
１１・・・・駆動機構 １２・・・・昇降機構時 許 出 願 人 東京エレクトロン相模株式会社
示した正面説明図、第２図は同上における部分平面図、
第３図は同上における検知部の拡大説明図である。 ５・・・・検知部 ６・・・・ウェハ押上機
構７・・・・回転ローラ機構 １０・・・・昇降機構
１１・・・・駆動機構 １２・・・・昇降機構時 許 出 願 人 東京エレクトロン相模株式会社
Claims (1)
- （１）予め定められた間隔で各ウェハを収納配列した保
持部材の下方位置に、ウェハの有無及び位置を検出する
検出部を設けたウェハ押上機構を昇降自在に設け、この
ウェハ押上機構近傍には、ウェハのオリフラ合わせ用の
回転ローラ機構を設け、この回転ローラ機構とウェハ押
上機構を水平方向に移動自在に設けると共に、このウェ
ハ押上機構と回転ローラ機構とを各別に昇降可能に設け
たことを特徴とするウェハ押上げ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688290A JPH0496248A (ja) | 1990-08-06 | 1990-08-06 | ウエハ押上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688290A JPH0496248A (ja) | 1990-08-06 | 1990-08-06 | ウエハ押上げ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0496248A true JPH0496248A (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=16530612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20688290A Pending JPH0496248A (ja) | 1990-08-06 | 1990-08-06 | ウエハ押上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0496248A (ja) |
-
1990
- 1990-08-06 JP JP20688290A patent/JPH0496248A/ja active Pending
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