JPH0490107A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度で磁気記録及び再生を行なうための磁
気ヘッドの製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、高透磁率磁性体薄膜を有する磁気ヘッドの製造に
おいて、その母材となる基板の■字形溝斜部が磁性体薄
膜の成膜面となるため、■字形溝斜部の面粗度は非常に
重要であった。ところが、基板そのものは、長時間のビ
デオテープ摺動による摩耗に耐えられ、また、磁性体薄
膜との熱膨張計数値の差が最小となる材料ということで
、難加工性のセラミックや結晶化ガラスがほとんどであ
る。従って、基板を加工するためのダイヤ砥石ブレード
のダイヤモンド粒度を粗（しなければならず、その結果
、■字形溝斜部の所定の面粗度が得られず、磁性体薄膜
の特性劣化を生じていた。

そこで、ある程度の深さまではダイヤモンド粒度の粗い
ダイヤ砥石ブレードにて粗加工し、その後ダイヤモンド
粒度の細かいダイヤ砥石ブレードにて仕上げ加工を行な
っていた。

〔発明が解決しようとする課題］ ところが、第７図に示すように、ダイヤモンド粒度の粗
いダイヤ砥石ブレードにより、基板１３にほぼＶ字状の
複数の溝１４・１５・１６・・・を形成した後、ダイヤ
モンド粒度の細かいダイヤ砥石ブレードにより、仕上げ
加工を行ない７字形溝を形成する際に、矢印りで示すダ
イヤ砥石の移動方向に沿った順に、即ち例えば、溝１４
・１５・１６をこの順に連続して加工すると、第８図に
示すように、ダイヤ砥石ブレードの切削量は常に左と右
とで不均一となる。その結果、第９図に示すように、ダ
イヤ砥石ブレード１７に偏摩耗部分１８が発生する。従
って、このダイヤ砥石ブレード１７により形成された７
字形溝１９の一方の斜部１９ａに磁性体薄膜２０を形成
すると、第１０図に示すように、磁性体薄膜２０の斜部
１９ａにおける上部の厚みｂ゛と底部の厚みａ”とがｂ
’＞ａ”となり、磁性体薄膜２０の厚みにばらつきが生
じ、磁気ヘッドのトラック幅不良の原因になるという問
題点を有している。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、基板表面上に、
ダイヤモンド粒度の粗いダイヤ砥石により、ほぼＶ字状
の複数の溝を形成した後、ダイヤモンド粒度の細かいダ
イヤ砥石により、上記溝を更に加工し７字形溝を形成す
る工程を含む磁気ヘッドの製造方法において、対をなし
隣合う７字形溝をダイヤ砥石の移動方向に沿って順次複
数対形成し、かつ、対をなす溝においてはダイヤ砥石の
移動方向と逆の方向に沿った順に７字形溝を形成するこ
とを特徴としている。

〔作　用］ 上記の構成によれば、基板に形成された複数の溝に対し
て■字形溝加工を行なう際、ダイヤ砥石ブレードにより
隣合う溝を連続して加工しないため、ブレードに偏摩耗
が生じることがない。従って、■字形溝変形が発生せず
、その結果、■字形溝斜部に形成される磁性体薄膜の膜
厚ばらつきがおこることはない。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図ないし第６図を用いて説明す
ると以下の通りである。

磁気ヘッドの製造に際しては、先ず、第１図に示すよう
に、基板５の表面に図示しないダイヤモンド粒度の粗い
ダイヤ砥石により、複数の溝ｌ・２・３・４・・・を順
次形成する。続いて、ダイヤモンド粒度の細かいダイヤ
砥石（図示せず）により上記溝１・２・３・４・・・を
仕上げ加工し、７字形溝を形成する。この時、第２図に
示すように、矢印りで示すダイヤ砥石の移動方向に沿っ
て、対をなし隣合う溝１・２を加工し、次に、同様に対
をなし隣合う溝３・４を加工する。そして、一対の溝ｌ
・２においては、ダイヤ砥石の移動方向と逆の方向に沿
った順に、すなわち、始めに溝２を加工し、続いて溝ｌ
を加工することにより一対の７字形溝を形成する。更に
、溝３・４においても、溝４を加工した後溝３を加工す
る。このように、順次７字形溝を形成する。

次に、第３図に示すように、得られた７字形溝の一方の
斜部１ｃ・２ｃ・３ｃ・４ｃ・・・に磁性体薄膜６・・
・を形成する。この時、磁性体薄膜６の７字形溝におけ
る上部の膜厚すと底部の膜厚ａとは等しくなり、従来の
ような膜厚のばらつきが生じることかない。

さらに、第４図に示すように、溶着ガラス７で７字形溝
をモールドする。次に、基板５を溝方向に対し直角な面
に沿って切断することにより、複数のコアブロック８・
・・を得る。更に、巻線溝加工、ギャップ対向面の平面
研摩等をそれぞれ行なった２個のコアブロック８・８を
、第５図に示すように、ギャップ対向面９・９を介して
対向させた後、加熱により溶着ガラス７を溶融させ、一
体化させる。

その後、接合されたコアブロック８・８を長手方向に対
して、直角な面に沿って切断することにより、複数の磁
気へラドチップが得られる。更に、この磁気ヘッドチッ
プに対して、コイル１０の巻回、研摩によるテープ摺動
面１１の形成等を行ない、第６図に示すような磁気ヘッ
ド１２を得る。

上記の方法によれば、溝１・２・３・４・・・の仕上げ
加工をする際に、ダイヤモンド粒度の細かいダイヤ砥石
ブレードによる切削量は左右均一となるので、従来のよ
うなブレードの偏摩耗が生じることがなくなる。その結
果、７字形溝の斜部上に形成された磁性体薄膜６・・・
が均一な膜厚をもつようになる。

〔発明の効果〕

本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以上のように、
対をなし隣合う７字形溝をダイヤ砥石の移動方向に沿っ
て順次複数対形成し、かつ、対をなす溝においてはダイ
ヤモンド砥石の移動方向と逆の方向に沿った順に７字形
溝を形成することを特徴としている。

それゆえ、基板に形成された複数の溝に対してＶ字形溝
加工を行なう際、ダイヤ砥石ブレードにより隣合う溝を
連続して加工しないため、ブレードに偏摩耗が生じるこ
とがない。従って、形成された７字形溝に変形が発生せ
ず、■字形溝斜部に形成される磁性体薄膜の膜厚ばらつ
きがおこることがない。その結果、磁気ヘッドのトラッ
ク幅不良などのような磁気ヘッド性能に著しい影響を与
えることがなくなるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例を示すものであ
る。 第１図は、磁気ヘッドの製造工程を示す概略斜視図であ
る。 第２図は、第１図のＡ−Ａ線矢視断面図である。 第３図および第４図は、磁気ヘッドの製造工程を示す縦
断面図である。 第５図は、磁気ヘッドの製造工程を示す概略斜視図であ
る。 第６図は、磁気ヘッドの概略斜視図である。 第７図ないし第１０図は、従来例を示すものである。 第７図は、磁気ヘッドの製造工程を示す概略斜視図であ
る。 第８図は、第７図のＢ−Ｂ線矢視断面図である。 第９図は、ダイヤ砥石ブレードの要部縦断面図である。 第１０図は、磁気ヘッドの製造工程を示す縦断面図であ
る。 １・２・３・４は溝、５は基板、６は磁性体薄膜である
。 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板表面上に、ダイヤモンド粒度の粗いダイヤ砥石
   により、ほぼＶ字状の複数の溝を形成した後、ダイヤモ
   ンド粒度の細かいダイヤ砥石により、上記溝を更に加工
   しＶ字形溝を形成する工程を含む磁気ヘッドの製造方法
   において、 対をなし隣合うＶ字形溝をダイヤ砥石の移動方向に沿っ
   て順次複数対形成し、かつ、対をなす溝においてはダイ
   ヤモンド砥石の移動方向と逆の方向に沿った順にＶ字形
   溝を形成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。