JPH0484452A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH0484452A JPH0484452A JP2197747A JP19774790A JPH0484452A JP H0484452 A JPH0484452 A JP H0484452A JP 2197747 A JP2197747 A JP 2197747A JP 19774790 A JP19774790 A JP 19774790A JP H0484452 A JPH0484452 A JP H0484452A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
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Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は下面にコンタクト電極を有する樹脂基板の上面
にICチップを載置し、ICチップを含む樹脂基板を樹
脂封止して成る半導体装置に関するものであり、特に封
止樹脂の流れを規制する構造に関するものである。
にICチップを載置し、ICチップを含む樹脂基板を樹
脂封止して成る半導体装置に関するものであり、特に封
止樹脂の流れを規制する構造に関するものである。
ICチップを樹脂基板上に搭載し、ICチップ及び樹脂
基板を樹脂封止したビングリッドアレイ(以下PGAと
いう。)やパッドアレイキャリア(以下PACという。
基板を樹脂封止したビングリッドアレイ(以下PGAと
いう。)やパッドアレイキャリア(以下PACという。
)は、小型、薄型の半導体装部品として近年広く普及し
ている。特にPGAはコンピューター等の交換用メモリ
ーとして広(採用されており、又、PACは携帯用小型
電子機器の実装部品として広(採用されている。
ている。特にPGAはコンピューター等の交換用メモリ
ーとして広(採用されており、又、PACは携帯用小型
電子機器の実装部品として広(採用されている。
ここでPGAを従来例として樹脂封止型半導体装置の構
造を説明する。
造を説明する。
第8図は樹脂封止型PGAの断面図、第9図は樹脂封止
する金型の要部断面図、第10図は樹脂基板の下面図、
第11図は樹脂基板の断面図、第12図は第9図A部の
拡大断面図を示す。
する金型の要部断面図、第10図は樹脂基板の下面図、
第11図は樹脂基板の断面図、第12図は第9図A部の
拡大断面図を示す。
第8図に示すごとくコンタクトビン1を下面に有する樹
脂基板2の上面にICチップ3を載置した後、トランス
ファーモールドによりICチップ6を含む樹脂基板2の
上面全体及び側面を被覆し封止樹脂層4を形成する。6
はPGA装置との脱着を容易にするための高さ規制用の
段を有するスタンドビンである。
脂基板2の上面にICチップ3を載置した後、トランス
ファーモールドによりICチップ6を含む樹脂基板2の
上面全体及び側面を被覆し封止樹脂層4を形成する。6
はPGA装置との脱着を容易にするための高さ規制用の
段を有するスタンドビンである。
上記した樹脂封止型PGAcI)↓遣方法を第9図にも
とづいて説明する。
とづいて説明する。
コンタクトビン1を下面側に有する樹脂基板2の上面に
ICチップ3を実装したPGAを前記コンタクトビン1
の透穴8を有する下金型7に圧入固定する。次にPGA
を圧入固定した下金型Z上に上金型11を被せることに
よってPGAの上面及び側面に空隙が形成される。然る
後樹脂ゲート10より封止樹脂を圧力を伴って注入し、
封止樹脂層4をトランスファーモールドし、樹脂が硬化
しだ後PGAを取り出して樹脂ゲート10部分の余分な
樹脂を切落すことにより樹脂封止型PGAを完成させる
。
ICチップ3を実装したPGAを前記コンタクトビン1
の透穴8を有する下金型7に圧入固定する。次にPGA
を圧入固定した下金型Z上に上金型11を被せることに
よってPGAの上面及び側面に空隙が形成される。然る
後樹脂ゲート10より封止樹脂を圧力を伴って注入し、
封止樹脂層4をトランスファーモールドし、樹脂が硬化
しだ後PGAを取り出して樹脂ゲート10部分の余分な
樹脂を切落すことにより樹脂封止型PGAを完成させる
。
しかし前記樹脂基板2は湿潤性を有するため、第10図
に示すごと(、その下面側にダミーパターン14及びそ
れを保護する絶縁コート15を形成するが、そのため第
11図に示すごとく下面側は、中央部と端部に断差が生
じる。このため、第12図に示すごとく、下金型7と樹
脂基板2の外周部に空隙20が生じ、封止樹脂の注入時
にその圧力により封止樹脂層4がその空隙20を通って
下金型7の透穴8や樹脂基板2の下面側に流れ出し、外
観上及び樹脂上著しく問題があった。
に示すごと(、その下面側にダミーパターン14及びそ
れを保護する絶縁コート15を形成するが、そのため第
11図に示すごとく下面側は、中央部と端部に断差が生
じる。このため、第12図に示すごとく、下金型7と樹
脂基板2の外周部に空隙20が生じ、封止樹脂の注入時
にその圧力により封止樹脂層4がその空隙20を通って
下金型7の透穴8や樹脂基板2の下面側に流れ出し、外
観上及び樹脂上著しく問題があった。
そこで本出願人は上記問題点を解決する手段を特開平1
−169953号公報に提案しており、それを図面に基
づいて説明する。
−169953号公報に提案しており、それを図面に基
づいて説明する。
第13図は樹脂基板の下面図、第14図はその断面図、
第15図は金型の部分拡大断面図で、それぞれ前述の第
1O図、第11図及び第12図に対応するものであり、
同一要素には同一番号を付し説明を省略する。
第15図は金型の部分拡大断面図で、それぞれ前述の第
1O図、第11図及び第12図に対応するものであり、
同一要素には同一番号を付し説明を省略する。
すなわち、第13図において第10図と異る部分は樹脂
基板2の下面外周部に枠パターン12と、絶縁コート1
3とによる枠3oを設けることにより、第14図に示す
ごとく外周部の枠3oと中央部のダミーパターン14上
の絶縁コート15とが同じ高さとなるようにしている。
基板2の下面外周部に枠パターン12と、絶縁コート1
3とによる枠3oを設けることにより、第14図に示す
ごとく外周部の枠3oと中央部のダミーパターン14上
の絶縁コート15とが同じ高さとなるようにしている。
次に第15図により本発明のPGAのインサートモール
ドを前記第12図に示す従来例との対応によって説明す
る。
ドを前記第12図に示す従来例との対応によって説明す
る。
すなわち金型内に於いて下金型7に圧入固定された樹脂
基板2の下面は前述のごとく外周部の枠30と中央部の
絶縁コート15とが同じ高さになっているため前記樹脂
基板2の外周部の空隙2゜が存在しなくなる。
基板2の下面は前述のごとく外周部の枠30と中央部の
絶縁コート15とが同じ高さになっているため前記樹脂
基板2の外周部の空隙2゜が存在しなくなる。
従って加圧注入された封止樹脂層4は枠3oによって阻
止されることにより透穴8や、樹脂基板2の下面側への
流入が無くなる。
止されることにより透穴8や、樹脂基板2の下面側への
流入が無くなる。
上記構成によれば、封止樹脂の流れ止めとじて充分な効
果を発揮するが、上記構成では、通常の配線パターンの
他にダミーパターンを形成するため、その分だけ樹脂基
板が大きくなりてしまう。
果を発揮するが、上記構成では、通常の配線パターンの
他にダミーパターンを形成するため、その分だけ樹脂基
板が大きくなりてしまう。
又、ダミーパターンは配線パターンを形成すると同時に
形成することができるが、その厚味はそれ程厚くないの
で、ダミーパターンの上には更に絶縁コートを設ける必
要があった。そのため従来より製造工程が増えてコスト
アップになるという問題があった。
形成することができるが、その厚味はそれ程厚くないの
で、ダミーパターンの上には更に絶縁コートを設ける必
要があった。そのため従来より製造工程が増えてコスト
アップになるという問題があった。
本発明の目的は、上記の如き問題点を解決し、特別な部
材を用いずに封止樹脂の流れを規制することができる樹
脂封止型半導体装置を提供することである。
材を用いずに封止樹脂の流れを規制することができる樹
脂封止型半導体装置を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するための本発明の構成は、下面側に
複数のコンタクト電極を有するとともに、上面側に該コ
ンタクト電極を電気的に導くためのスルーホール電極を
有する樹脂基板と、該樹脂基板の上面側に載置されると
ともに、前記スルーホール電極を介して前記コンタクト
電極と電気的に接続されるICチップと、該ICチップ
を含む前記樹脂基板の上面、側面及び下面の一部をモー
ルドする封止樹脂とからなる樹脂封止型半導体装置にお
いて、前記樹脂基板の下面側には、前記コンタクト電極
と該下面側の外周部のみを露呈するようにレジストを形
成しており、該レジストの外周部によって前記樹脂基板
の下面側をモールドする封止樹脂の流れを規制するよう
に構成したことを特徴としている。
複数のコンタクト電極を有するとともに、上面側に該コ
ンタクト電極を電気的に導くためのスルーホール電極を
有する樹脂基板と、該樹脂基板の上面側に載置されると
ともに、前記スルーホール電極を介して前記コンタクト
電極と電気的に接続されるICチップと、該ICチップ
を含む前記樹脂基板の上面、側面及び下面の一部をモー
ルドする封止樹脂とからなる樹脂封止型半導体装置にお
いて、前記樹脂基板の下面側には、前記コンタクト電極
と該下面側の外周部のみを露呈するようにレジストを形
成しており、該レジストの外周部によって前記樹脂基板
の下面側をモールドする封止樹脂の流れを規制するよう
に構成したことを特徴としている。
又、スルーホール電極には樹脂基板の上面側から封止樹
脂が充填されていることを特徴としている。
脂が充填されていることを特徴としている。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図は本発明の第一実施例を示すバンドアレイキャリア(
PAC)の断面図、第2図(a)は本発明の第二実施例
を示すPACの平面図、第2図tb)は第2図(a)の
要部断面図である。
図は本発明の第一実施例を示すバンドアレイキャリア(
PAC)の断面図、第2図(a)は本発明の第二実施例
を示すPACの平面図、第2図tb)は第2図(a)の
要部断面図である。
第1図において、61は樹脂基板であり、表面側にはリ
ード電極36が形成されるとともに、リード電極66に
ワイヤーボンディングされたICチップ65が搭載され
ている。リード電極36は樹脂基板31を貫通するスル
ーホール電極64を介して裏面側のリード電極62と電
気的に接続されている。樹脂基板31の裏面側には、リ
ード電極32の一部分のみが露呈するようにシート状の
レジスト38が設げられている。リード電極62の露呈
した部分はコンタクト電極として使用され、このコンタ
クト電極62にはノ・ンダポールを入れてリフローする
ことにより電極37が形成されている。66は封止樹脂
であり、ICチップ35を含む樹脂基板61の上面と側
面を封止している。
ード電極36が形成されるとともに、リード電極66に
ワイヤーボンディングされたICチップ65が搭載され
ている。リード電極36は樹脂基板31を貫通するスル
ーホール電極64を介して裏面側のリード電極62と電
気的に接続されている。樹脂基板31の裏面側には、リ
ード電極32の一部分のみが露呈するようにシート状の
レジスト38が設げられている。リード電極62の露呈
した部分はコンタクト電極として使用され、このコンタ
クト電極62にはノ・ンダポールを入れてリフローする
ことにより電極37が形成されている。66は封止樹脂
であり、ICチップ35を含む樹脂基板61の上面と側
面を封止している。
更に封止樹脂66は樹脂基板61の上面からスルーホー
ル電極64内に充填されており、これにより封止樹脂6
6と樹脂基板61との密着力を高めている。
ル電極64内に充填されており、これにより封止樹脂6
6と樹脂基板61との密着力を高めている。
次に本発明の第二実施例を第2図(a)、(b)に基づ
いて説明する。尚以下の実施例において、第1図と同一
の構成要素には同じ番号を付け、その説明を省略する。
いて説明する。尚以下の実施例において、第1図と同一
の構成要素には同じ番号を付け、その説明を省略する。
第一実施例と本実施例の異なる部分は、レジスト38の
外形の大きさである。即ち、本実施例では第2図(a)
、(b)に示す如く、レジスト38は、電極67と樹脂
基板61の下面側外周部を露呈するように形成されてお
り、封止樹脂66は樹脂基板31の下面外周部も覆うよ
うに形成されている。
外形の大きさである。即ち、本実施例では第2図(a)
、(b)に示す如く、レジスト38は、電極67と樹脂
基板61の下面側外周部を露呈するように形成されてお
り、封止樹脂66は樹脂基板31の下面外周部も覆うよ
うに形成されている。
次に上記第二実施例に示したPACの製造方法を説明す
る。第3図は樹脂基板31を樹脂モールド用の下金型3
9へ入れた状態を示す平面図、第4図は金型へ封止樹脂
を注入する状態を示す断面図である。第3図において、
69はモールド用の下金型であり、封止形状を決めるキ
ャビティー39aと、キャビティー39aに封止樹脂6
6を導くためのゲート溝39Cが形成されている。樹脂
基板61はその四つ角に位置決め用の突起31aが形成
されており、この突起31aがキャビティー39aの四
隅に係合している。そして第4図に示す如(下金型69
の上面に上金型40が載置され、上金型40とゲート溝
39Cの間に形成されるゲート41を通してキャビティ
ー398内に封止樹脂66が充填されている。封止樹脂
36は樹脂基板61の上面、側面及び下面を覆うように
流れ込むが、下面側はレジスト68によって流れが規制
され、樹脂基板31の外周部のみを覆うように構成され
ている。更に封止樹脂66はスルーホール電極64にも
充填されているので、樹脂基板61とより強力に密着し
ている。
る。第3図は樹脂基板31を樹脂モールド用の下金型3
9へ入れた状態を示す平面図、第4図は金型へ封止樹脂
を注入する状態を示す断面図である。第3図において、
69はモールド用の下金型であり、封止形状を決めるキ
ャビティー39aと、キャビティー39aに封止樹脂6
6を導くためのゲート溝39Cが形成されている。樹脂
基板61はその四つ角に位置決め用の突起31aが形成
されており、この突起31aがキャビティー39aの四
隅に係合している。そして第4図に示す如(下金型69
の上面に上金型40が載置され、上金型40とゲート溝
39Cの間に形成されるゲート41を通してキャビティ
ー398内に封止樹脂66が充填されている。封止樹脂
36は樹脂基板61の上面、側面及び下面を覆うように
流れ込むが、下面側はレジスト68によって流れが規制
され、樹脂基板31の外周部のみを覆うように構成され
ている。更に封止樹脂66はスルーホール電極64にも
充填されているので、樹脂基板61とより強力に密着し
ている。
上記製造方法は本発明の第二実施例を示すが、第一実施
例はレジスト68の大きさが異なるのみで、そのモール
ド方法は同じである。
例はレジスト68の大きさが異なるのみで、そのモール
ド方法は同じである。
次に本発明によるPACの他の製造方法を説明する。前
述の製造方法では、PACを個々にモールドする方法を
示したが、以下に複数個のPACを同時にモールドする
製造方法を説明する。
述の製造方法では、PACを個々にモールドする方法を
示したが、以下に複数個のPACを同時にモールドする
製造方法を説明する。
第5図は複数個のICチップ65を搭載した短冊状の樹
脂基板61を示しており、ICチップ65の周囲4辺に
はそれぞれ穴31bが形成されている。この樹脂基板3
1を金型にセットした状態を第6図の断面図に示す。図
において69は下金型であり、キャビティー398と1
突起696が形成されている。下金型39のキャビティ
ー39aには樹脂基板61のICチップ35搭載部分が
収納されるとともに、穴31bが突起39bの外側に係
合する。そして樹脂基板31と突起39bの間には隙間
43を形成する。更に樹脂基板61の上にはキャビティ
ープレート42が載置されている。第7図に示す如く、
キャビティープレート42には、封止形状を決めるキャ
ビティー42aと、封止樹脂をキャビティー42aに導
くためのゲート溝42bと、位置決め穴42Cが形成さ
れている。キャビティー42aは下型69のキャビティ
ー39aと同じ形状をしており、位置決めビン(図示せ
ず)に位置決め穴42Cをセットしたときに両キャビテ
ィーが一致するようになっている。そして最後に上金型
40が搭載されている。この状態でゲート溝42bから
封止樹脂36をキャビティー42a、39a内に充填す
ることにより、ICチップ65、樹脂基板61の上面、
側面、下面の外周部をモールドしている。前述の如く樹
脂基板61の下面にはレジスト68が形成されているの
で、レジスト38の外周部により封止樹脂36の流れが
規制され、不必要な封止樹脂66の流れを防止すること
ができる。
脂基板61を示しており、ICチップ65の周囲4辺に
はそれぞれ穴31bが形成されている。この樹脂基板3
1を金型にセットした状態を第6図の断面図に示す。図
において69は下金型であり、キャビティー398と1
突起696が形成されている。下金型39のキャビティ
ー39aには樹脂基板61のICチップ35搭載部分が
収納されるとともに、穴31bが突起39bの外側に係
合する。そして樹脂基板31と突起39bの間には隙間
43を形成する。更に樹脂基板61の上にはキャビティ
ープレート42が載置されている。第7図に示す如く、
キャビティープレート42には、封止形状を決めるキャ
ビティー42aと、封止樹脂をキャビティー42aに導
くためのゲート溝42bと、位置決め穴42Cが形成さ
れている。キャビティー42aは下型69のキャビティ
ー39aと同じ形状をしており、位置決めビン(図示せ
ず)に位置決め穴42Cをセットしたときに両キャビテ
ィーが一致するようになっている。そして最後に上金型
40が搭載されている。この状態でゲート溝42bから
封止樹脂36をキャビティー42a、39a内に充填す
ることにより、ICチップ65、樹脂基板61の上面、
側面、下面の外周部をモールドしている。前述の如く樹
脂基板61の下面にはレジスト68が形成されているの
で、レジスト38の外周部により封止樹脂36の流れが
規制され、不必要な封止樹脂66の流れを防止すること
ができる。
尚、上記の説明ではPACを実施例として説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、PGA
等の他の半導体装置にも利用することができる。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、PGA
等の他の半導体装置にも利用することができる。
以上の説明で明らかな如く本発明によれば、樹脂封止型
半導体装置において、樹脂基板の下面側に形成されたコ
ンタクト電極と、該樹脂基板の下面側外周部のみを露呈
するようにレジストを形成しており、該レジストの外周
部によって封止樹脂の流れ規制しているので、不必要な
封止樹脂が樹脂基板の下面に流れ込むのを防止すること
ができる。
半導体装置において、樹脂基板の下面側に形成されたコ
ンタクト電極と、該樹脂基板の下面側外周部のみを露呈
するようにレジストを形成しており、該レジストの外周
部によって封止樹脂の流れ規制しているので、不必要な
封止樹脂が樹脂基板の下面に流れ込むのを防止すること
ができる。
又、スルーホール電極の穴に封止樹脂を充填することに
より、樹脂基板と封止樹脂の密着力を一層高めることが
できる。
より、樹脂基板と封止樹脂の密着力を一層高めることが
できる。
第1図は本発明の第一実施例を示すPACの断面図、第
2図(a)は本発明の第二実施例を示すPACの平面図
、第2図(b)は第2図(a)の要部断面図、第3図は
樹脂基板を下金型へ入れた状態を示す平面図、第4図は
金型へ封止樹脂を注入する状態を示す断面図、第5図は
短冊状の樹脂基板を示す平面図、第6図は第5図の樹脂
基板を金型にセットした状態を示す断面図、第7図はキ
ャビティープレートの外観図、第8図は従来のPGAを
示す断面図、第9図は従来のPGAの製造方法を示す断
面図、第10図は従来の樹脂基板の平面図、第11図は
第10図の断面図、第12図は第9図の部分拡大図、第
13図は従来の他の樹脂基板を示す平面図、第14図は
第13図の断面図、第15図は従来の他のPGAの製造
方法を示す要部断面図である。 61・・・・・・樹脂基板、 62.66・・・・・・リード電極、 64・・・・・・スルーホール電極、 35・・・・・・ICチップ、 36・・・・・・封止樹脂、 67・・・・・・コンタクト電極、 38・・・・・・レジスト。 第 ! 図 第 図 第 図 第 2 g (a) (b) 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図
2図(a)は本発明の第二実施例を示すPACの平面図
、第2図(b)は第2図(a)の要部断面図、第3図は
樹脂基板を下金型へ入れた状態を示す平面図、第4図は
金型へ封止樹脂を注入する状態を示す断面図、第5図は
短冊状の樹脂基板を示す平面図、第6図は第5図の樹脂
基板を金型にセットした状態を示す断面図、第7図はキ
ャビティープレートの外観図、第8図は従来のPGAを
示す断面図、第9図は従来のPGAの製造方法を示す断
面図、第10図は従来の樹脂基板の平面図、第11図は
第10図の断面図、第12図は第9図の部分拡大図、第
13図は従来の他の樹脂基板を示す平面図、第14図は
第13図の断面図、第15図は従来の他のPGAの製造
方法を示す要部断面図である。 61・・・・・・樹脂基板、 62.66・・・・・・リード電極、 64・・・・・・スルーホール電極、 35・・・・・・ICチップ、 36・・・・・・封止樹脂、 67・・・・・・コンタクト電極、 38・・・・・・レジスト。 第 ! 図 第 図 第 図 第 2 g (a) (b) 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (2)
- (1)下面側に複数のコンタクト電極を有するとともに
、上面側に該コンタクト電極を電気的に導くためのスル
ーホール電極を有する樹脂基板と、該樹脂基板の上面側
に載置されるとともに、前記スルーホール電極を介して
前記コンタクト電極と電気的に接続されるICチップと
、該ICチップを含む前記樹脂基板の上面、側面及び下
面の一部をモールドする封止樹脂とからなる樹脂封止型
半導体装置において、前記樹脂基板の下面側には、前記
コンタクト電極と該下面側の外周部のみを露呈するよう
にレジストを形成しており、該レジストの外周部によっ
て前記樹脂基板の下面側をモールドする封止樹脂の流れ
を規制するように構成したことを特徴とする樹脂封止型
半導体装置。 - (2)スルーホール電極には樹脂基板の上面側から封止
樹脂が充填されていることを特徴とする請求項1記載の
樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2197747A JPH0484452A (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2197747A JPH0484452A (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 樹脂封止型半導体装置 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19532897A Division JP3197847B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 樹脂封止型半導体装置 |
JP19532997A Division JP3073467B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0484452A true JPH0484452A (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=16379671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2197747A Pending JPH0484452A (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0484452A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002222998A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-09 | Nichia Chem Ind Ltd | 光半導体素子 |
US7795545B2 (en) | 2007-01-25 | 2010-09-14 | Denso Corporation | Hot melt water-resistant structure |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP2197747A patent/JPH0484452A/ja active Pending
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