JPH0474563A - ガラス乾板製造方法及び装置 - Google Patents
ガラス乾板製造方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0474563A JPH0474563A JP2185860A JP18586090A JPH0474563A JP H0474563 A JPH0474563 A JP H0474563A JP 2185860 A JP2185860 A JP 2185860A JP 18586090 A JP18586090 A JP 18586090A JP H0474563 A JPH0474563 A JP H0474563A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coating
- contact
- hanging member
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 56
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 51
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 6
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
- B05C5/008—Slide-hopper curtain coaters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
- G03C2001/7459—Extrusion coating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S118/00—Coating apparatus
- Y10S118/04—Curtain coater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、γラス基板上にハロゲン化銀乳剤層を有する
ガラス乾板を製造する方法及び装置に関する。特に各種
フォトマスクに用いるガラス乾板の９１造方法及び装置
に関する。
ガラス乾板を製造する方法及び装置に関する。特に各種
フォトマスクに用いるガラス乾板の９１造方法及び装置
に関する。
（従来技術と問題点）
ガラス基板上にハロゲン化銀乳剤層を有するガラス乾板
は、寸度安定性に優れるため、精密度が要求されるＩＣ
用の７オトマスクや、ＣＲＴのシヤドウマスク、リード
フレーム、各種デイスプレィ装置の７オトマスクとして
用いられている。
は、寸度安定性に優れるため、精密度が要求されるＩＣ
用の７オトマスクや、ＣＲＴのシヤドウマスク、リード
フレーム、各種デイスプレィ装置の７オトマスクとして
用いられている。
かかるガラス乾板の製造工程において、ハロゲン化銀写
真感光材料乳剤をガラス基板上に塗布する方法として、
塗布液をガラス基板上に適量付与した後、ガラス基板を
高速で回転させることによって、ガラス基板全面に所望
の膜厚で塗布液を塗布するスピン塗布方式や、走行する
ガラス基板の上面に対向して配置された注液器の先端に
ガラスチックシート、金属箔、紙、布等の可撓性かつ弾
力性を有する垂下部材（以下固体カーテンという）を取
り付け、その先端部をガラス基板に接触させて、注液器
より流出する塗布液を基板上に塗布する方法（以下固体
カーテン塗布という）が知られている。
真感光材料乳剤をガラス基板上に塗布する方法として、
塗布液をガラス基板上に適量付与した後、ガラス基板を
高速で回転させることによって、ガラス基板全面に所望
の膜厚で塗布液を塗布するスピン塗布方式や、走行する
ガラス基板の上面に対向して配置された注液器の先端に
ガラスチックシート、金属箔、紙、布等の可撓性かつ弾
力性を有する垂下部材（以下固体カーテンという）を取
り付け、その先端部をガラス基板に接触させて、注液器
より流出する塗布液を基板上に塗布する方法（以下固体
カーテン塗布という）が知られている。
しかしながら、これらの方法は基板端面に塗布液が付着
し易く、端面に付着した塗膜が、基板の搬送中や現像中
に剥離し易く、その一部がガラス乾板表面のマスク画像
形成部分に付着して、重大な欠陥となる場合があった。
し易く、端面に付着した塗膜が、基板の搬送中や現像中
に剥離し易く、その一部がガラス乾板表面のマスク画像
形成部分に付着して、重大な欠陥となる場合があった。
具体的には、スピン塗布方式においては周囲全体にわた
って、又固体カーテン塗布方式においては塗布の先頭と
終端において、ガラス端面が濡れ易く、場合によっては
ガラス基板の裏面にまで塗布液が回り込む場合があった
。
って、又固体カーテン塗布方式においては塗布の先頭と
終端において、ガラス端面が濡れ易く、場合によっては
ガラス基板の裏面にまで塗布液が回り込む場合があった
。
（発明が解決しようとする課題）
本発明の目的は、固体カーテン塗布方式において基板の
周囲の全体にわたってガラス基板端面あるいは裏面に塗
布液が付着せず、従って乳剤剥がれによる如か重大欠陥
を生じないガラス乾板を製造する方法及び装置を提供す
ることにある。
周囲の全体にわたってガラス基板端面あるいは裏面に塗
布液が付着せず、従って乳剤剥がれによる如か重大欠陥
を生じないガラス乾板を製造する方法及び装置を提供す
ることにある。
（課題を解決するための手段及び作用）固体カーテン塗
布においては、一般に固体カーテンとガラス基板とを適
当な接触状態に保つことが小米るように、注液器とガラ
ス基板表面の位置関係が設定される。最適な位置は、固
体カーテンの材質、形状、あるいは塗布液粘度、塗布量
などの条件によって異なるが、固体カーテンの下端が、
ガラス基板表面より７１７−な状態で０〜１０ ｍ＋ｓ
程度下方にくるように設定される。
布においては、一般に固体カーテンとガラス基板とを適
当な接触状態に保つことが小米るように、注液器とガラ
ス基板表面の位置関係が設定される。最適な位置は、固
体カーテンの材質、形状、あるいは塗布液粘度、塗布量
などの条件によって異なるが、固体カーテンの下端が、
ガラス基板表面より７１７−な状態で０〜１０ ｍ＋ｓ
程度下方にくるように設定される。
発明者らは、この固体カーテン塗布方式においで前述の
問題の発生する原因を解析した結果、前述したような固
体カーテンとガラス基板の位置関係により、基板の先頭
と終端においては、固体カーテンがガラス基板の端面に
接触し易く、そのためガラス端面に塗布液が付着し易い
ことの他、先頭においては前の基板の塗布が終了してか
ら次の基板先頭が来るまでの闇に送液された塗布液が、
固体カーテンの下端に溜まり、従って基板先頭部の端面
を濡らし易いこと、又終端においては基板塗布中に固体
カーテンとガラス基板表面の接触部に生じた液溜まりの
液が、固体カーテンが基板終端部から離れる時に、基板
端面に濡れ広がり易いことを見出だした。
問題の発生する原因を解析した結果、前述したような固
体カーテンとガラス基板の位置関係により、基板の先頭
と終端においては、固体カーテンがガラス基板の端面に
接触し易く、そのためガラス端面に塗布液が付着し易い
ことの他、先頭においては前の基板の塗布が終了してか
ら次の基板先頭が来るまでの闇に送液された塗布液が、
固体カーテンの下端に溜まり、従って基板先頭部の端面
を濡らし易いこと、又終端においては基板塗布中に固体
カーテンとガラス基板表面の接触部に生じた液溜まりの
液が、固体カーテンが基板終端部から離れる時に、基板
端面に濡れ広がり易いことを見出だした。
一方、ガラス基板の左右両側部は固体カーテンがその端
面と接触することがないため、塗布液が単に濡れにくい
という特徴があるとともに、より確実な方法として、注
液器の注液幅もしくは固体カーテン幅をガラス基板幅よ
り狭くすることが行われる。
面と接触することがないため、塗布液が単に濡れにくい
という特徴があるとともに、より確実な方法として、注
液器の注液幅もしくは固体カーテン幅をガラス基板幅よ
り狭くすることが行われる。
本発明の上記目的は、走行する基板の上方に配置された
注液器の先端部に可撓性かつ弾力性を有する垂下部材を
設け、該垂下部材の先端部を基板に接触させて注液器よ
り流出する塗布液を基板上に塗布する装置を用いてガラ
ス乾板をｇ１造する方法において、該基板の先端部が該
垂下部材の下方を通過する前は、該基板と該垂下部材が
接触しない位置関係を保ち、該基板の先端部が該垂下部
材の下方を通過した後、該基板と該垂下部材を接触させ
て塗布を開始し、かつ該基板の終端部まで塗布される直
前に再び該基板と該垂下部材との接触を断つことを特徴
とするガラス乾板製造方法及び装置によって達成される
。
注液器の先端部に可撓性かつ弾力性を有する垂下部材を
設け、該垂下部材の先端部を基板に接触させて注液器よ
り流出する塗布液を基板上に塗布する装置を用いてガラ
ス乾板をｇ１造する方法において、該基板の先端部が該
垂下部材の下方を通過する前は、該基板と該垂下部材が
接触しない位置関係を保ち、該基板の先端部が該垂下部
材の下方を通過した後、該基板と該垂下部材を接触させ
て塗布を開始し、かつ該基板の終端部まで塗布される直
前に再び該基板と該垂下部材との接触を断つことを特徴
とするガラス乾板製造方法及び装置によって達成される
。
第１図は本発明の一実施態様を示す。同図はガラス基板
１が塗布開始される過程を示している。
１が塗布開始される過程を示している。
注液器３から供給された塗布液４が固体カーテン５の上
を流下し、そこからガラス基板１に塗布される。ガラス
基板１は、一連の上流側搬送ローラ２により支持、搬送
される。ガラス基板１の先頭が固体カーテン５の先端部
の下方に到達する前は搬送ロー２２は上流側の適当な点
を支点として下方に傾斜しており、基板１の表面は固体
カーテン５の先端部と接触しない位置まで下方に下がっ
ている。
を流下し、そこからガラス基板１に塗布される。ガラス
基板１は、一連の上流側搬送ローラ２により支持、搬送
される。ガラス基板１の先頭が固体カーテン５の先端部
の下方に到達する前は搬送ロー２２は上流側の適当な点
を支点として下方に傾斜しており、基板１の表面は固体
カーテン５の先端部と接触しない位置まで下方に下がっ
ている。
基板１の先頭が固体カーテンの下端を通過すると、適当
なタイミングで搬送ローラ２は上方、正規の位置まで持
ち上げられ、固体カーテン５の先端部と接触し、塗布が
開始される。搬送ロー２２を持ち上げるタイミングは、
基板１の先頭が上流側の適当な位置を通過する時点を検
出し、固体カーテンの先端部の下方を通過するタイミン
グを予測することにより決定される。
なタイミングで搬送ローラ２は上方、正規の位置まで持
ち上げられ、固体カーテン５の先端部と接触し、塗布が
開始される。搬送ロー２２を持ち上げるタイミングは、
基板１の先頭が上流側の適当な位置を通過する時点を検
出し、固体カーテンの先端部の下方を通過するタイミン
グを予測することにより決定される。
第２図は、ガラス基板１の塗布が終了する過程を示して
いる。塗布中のガラス基板１は、一連の下流側搬送ロー
２１２により支持、搬送されている。搬送ローラ１２は
基板１の終端部が固体カーテン５の先端部に到達する。
いる。塗布中のガラス基板１は、一連の下流側搬送ロー
２１２により支持、搬送されている。搬送ローラ１２は
基板１の終端部が固体カーテン５の先端部に到達する。
直前に下流側の適当な点を支点とし下方に傾斜し、固体
カーテン５の先端部とガラス基板１との接触が断たれる
。
カーテン５の先端部とガラス基板１との接触が断たれる
。
搬送ローラ１２を下方に離脱させるタイミングは、基板
の終端位置の検出を先頭部の位置検出と同様の方法によ
り行い、この信号を基に固体カーテンの先端部に達する
タイミングを予測することにより決定される。
の終端位置の検出を先頭部の位置検出と同様の方法によ
り行い、この信号を基に固体カーテンの先端部に達する
タイミングを予測することにより決定される。
第１図及び第２図において搬送ローラ２及び１２の上下
移動は適当な点を支点として傾斜させで行う場合につい
て説明したが、他の手段、例えば一連の搬送ローラを」
１下に平行移動させる方法、あるいは垂下部材を含めた
注液器全体を上下させる方法によってもよい。
移動は適当な点を支点として傾斜させで行う場合につい
て説明したが、他の手段、例えば一連の搬送ローラを」
１下に平行移動させる方法、あるいは垂下部材を含めた
注液器全体を上下させる方法によってもよい。
本発明において、塗布開始位置は前述のように基板先頭
位置検出からのタイミング設定により自由に調節できる
が、その塗り付はラインは小米る限り一直線になること
が望ましい。
位置検出からのタイミング設定により自由に調節できる
が、その塗り付はラインは小米る限り一直線になること
が望ましい。
発明者らは、非塗布時、即ち一つの基板の塗布終了から
次の基板の塗布開始までの間に供給されるた塗布液が、
固体カーテンの下端に不均一に溜まり、それによって基
板先頭部での塗り付はラインが波状になり易いことを見
出だした。
次の基板の塗布開始までの間に供給されるた塗布液が、
固体カーテンの下端に不均一に溜まり、それによって基
板先頭部での塗り付はラインが波状になり易いことを見
出だした。
この問題は、基板の非塗布時、固体カーテンの先端と接
触しつつ塗布液の流下を補助する液受は装置を設けるこ
とによって大きく改善される。
触しつつ塗布液の流下を補助する液受は装置を設けるこ
とによって大きく改善される。
第３図はその一突施態様である。同図において液受は装
置６は上下に移動可能であり、非塗布時は上位置にあっ
て固体カーテン５と接触し、塗布液４の流下を補助する
。又塗布時においては下方に移動し、垂下部材から離れ
、基板の走行を妨げない下位置で待機する。
置６は上下に移動可能であり、非塗布時は上位置にあっ
て固体カーテン５と接触し、塗布液４の流下を補助する
。又塗布時においては下方に移動し、垂下部材から離れ
、基板の走行を妨げない下位置で待機する。
液受は装置６は次の基板の先頭が固体カーテンの先端の
下方に到達する直前に下方に移動するので、送液された
塗布液が固体カーテンの下端に不均一に溜まることがな
く、基板先頭部へ塗り付ける際にほぼ一直線の塗り付は
ラインを得ることができる。
下方に到達する直前に下方に移動するので、送液された
塗布液が固体カーテンの下端に不均一に溜まることがな
く、基板先頭部へ塗り付ける際にほぼ一直線の塗り付は
ラインを得ることができる。
又塗布終端ラインは、固体カーテンとガラス基板の分離
速度をある程度速くすることによってほぼ一直線にする
ことができる。しかし固体カーテンの材質によってその
状態に差があり、例えばガラスチックシートや金属箔な
ど非透水性の材料を用いた場合は一直線になり易いが、
紙や布のように透水性の材料を用いた場合には不均一を
生じ易い。
速度をある程度速くすることによってほぼ一直線にする
ことができる。しかし固体カーテンの材質によってその
状態に差があり、例えばガラスチックシートや金属箔な
ど非透水性の材料を用いた場合は一直線になり易いが、
紙や布のように透水性の材料を用いた場合には不均一を
生じ易い。
これは基板塗布中に固体カーテンとガラス基板表面の接
触部に生じた液溜まりの液量が、透水性の固体カーテン
を用いた方が大きく、ガラス基板との離脱時に基板側に
不均一に残るためと考えられる。
触部に生じた液溜まりの液量が、透水性の固体カーテン
を用いた方が大きく、ガラス基板との離脱時に基板側に
不均一に残るためと考えられる。
（比較例）
第３図に示す塗布装置を用いて、進行方向に１０ｃ１１
１の間隔をもって速度３．０ｍ／ｍｉｎにて連続的に走
行する長さ５０ｃｍ、厚さ２ ｍ ｔｏのガラス板に、
粘度１０ｃｐ、表面張力４８ｄｙｎｅ／ｃｍの写真感光
材料を塗布幅５０ｃｍ５膜厚１００μｌで塗布した。
１の間隔をもって速度３．０ｍ／ｍｉｎにて連続的に走
行する長さ５０ｃｍ、厚さ２ ｍ ｔｏのガラス板に、
粘度１０ｃｐ、表面張力４８ｄｙｎｅ／ｃｍの写真感光
材料を塗布幅５０ｃｍ５膜厚１００μｌで塗布した。
固体カーテンには、長さ２０ｍｍ 、厚さ１００μｍの
ＰＥＴ （ポリエチレンテレフタレート）のシートを用
い、その下端部はガラス基板上面より７リーな状態で１
ａ＋＋ｎ下方に位置するように設定した。
ＰＥＴ （ポリエチレンテレフタレート）のシートを用
い、その下端部はガラス基板上面より７リーな状態で１
ａ＋＋ｎ下方に位置するように設定した。
液受は装置はステンレス材にて作成し、基板の先頭が固
体カーテンの下端部に到達する２ ０ ＋ｎ ｍ手前で
固体カーテンから離した、 塗布実験の結果、基板の先頭及び終端は全水準で端面濡
れが発生した。
体カーテンの下端部に到達する２ ０ ＋ｎ ｍ手前で
固体カーテンから離した、 塗布実験の結果、基板の先頭及び終端は全水準で端面濡
れが発生した。
（実施例）
第３図に示す装置に、第１図及び第２図に示す本発明の
装置を追加し、比較例と同じ基板、塗布液、固体カーテ
ン、走行条件、液受は装置及びその作動条件にて実験を
行った。
装置を追加し、比較例と同じ基板、塗布液、固体カーテ
ン、走行条件、液受は装置及びその作動条件にて実験を
行った。
但しガラス基板の先端部が固体カーテンの下端を通過す
る前は、ガラス基板上面は固体カーテン下端部より ５
１１Ｉｍ下方を走行するように搬送ローラを下げておき
、ガラス基板の先端部が固体カーテンの下端部を通過後
５ ＋ｎ ＋ｎの位置で、ガラス基板と固体カーテンが
接触するよう設定した。またガラス基板の終端部の５１
６ＬＬ１手前で、搬送ローラ１２を下方に移動するよう
に設定した。又塗布の開始時、終了時ともに基板が５
ｃ ｒｔｌ／ ｓ ｅ ｃの速度で上下移動を行うよう
に条件を設定した。・ 塗布実験の結果、基板の先頭及び終端はいずれも端面濡
れが発生せず、塗り付は及び塗り終わりラインもほぼ一
直線になった。
る前は、ガラス基板上面は固体カーテン下端部より ５
１１Ｉｍ下方を走行するように搬送ローラを下げておき
、ガラス基板の先端部が固体カーテンの下端部を通過後
５ ＋ｎ ＋ｎの位置で、ガラス基板と固体カーテンが
接触するよう設定した。またガラス基板の終端部の５１
６ＬＬ１手前で、搬送ローラ１２を下方に移動するよう
に設定した。又塗布の開始時、終了時ともに基板が５
ｃ ｒｔｌ／ ｓ ｅ ｃの速度で上下移動を行うよう
に条件を設定した。・ 塗布実験の結果、基板の先頭及び終端はいずれも端面濡
れが発生せず、塗り付は及び塗り終わりラインもほぼ一
直線になった。
（発明の効果）
本発明によれば、基板の塗布部分の周囲に一直線状に未
塗布部分を作ることができる。特に固体カーテン塗布に
おける先頭及び終端の端面の濡れによる問題を解決する
ことができ、７オトマスク等の用途で問題となる端面に
付着した塗膜の剥がれによる重大な欠陥を防止すること
ができる。
塗布部分を作ることができる。特に固体カーテン塗布に
おける先頭及び終端の端面の濡れによる問題を解決する
ことができ、７オトマスク等の用途で問題となる端面に
付着した塗膜の剥がれによる重大な欠陥を防止すること
ができる。
第１図は本発明の一実施態様を示す概略図であり、基板
の塗布開始時、ガラス基板の先端部が固体カーテンの下
端を通過する前は、ガラス基板上面は固体カーテン下端
部より下方を走行し、ガラス基板の先端部が固体カーテ
ンの下端部を通過後、搬送ロー２２の上方に持ち上げる
ことによりガラス基板と固体カーテンが接触する様子を
示す。 第２図は同じく本発明の一実施態様を示す概略図であり
、基板の塗布時、ガラス基板の終端部の手前で、搬送ロ
ーラ１２を下方に傾斜させることにより、ガラス基板と
固体カーテンの接触を断つ様子を示す。 第３図は、液受は装置を用いた固体カーテン塗布装置の
一例を示す概略図である。 １・・・基板、２・・・上流側基板搬送用ローラ、３・
・・注液器、４・・・塗布液、５・・・固体カーテン、
６・・・液受は装置、１２・・・下流側基板搬送用ロー
ラ。 特許出願人富士写真フィルム株式会社
の塗布開始時、ガラス基板の先端部が固体カーテンの下
端を通過する前は、ガラス基板上面は固体カーテン下端
部より下方を走行し、ガラス基板の先端部が固体カーテ
ンの下端部を通過後、搬送ロー２２の上方に持ち上げる
ことによりガラス基板と固体カーテンが接触する様子を
示す。 第２図は同じく本発明の一実施態様を示す概略図であり
、基板の塗布時、ガラス基板の終端部の手前で、搬送ロ
ーラ１２を下方に傾斜させることにより、ガラス基板と
固体カーテンの接触を断つ様子を示す。 第３図は、液受は装置を用いた固体カーテン塗布装置の
一例を示す概略図である。 １・・・基板、２・・・上流側基板搬送用ローラ、３・
・・注液器、４・・・塗布液、５・・・固体カーテン、
６・・・液受は装置、１２・・・下流側基板搬送用ロー
ラ。 特許出願人富士写真フィルム株式会社
Claims (3)
- （１）走行する基板の上方に配置された注液器の先端部
に可撓性かつ弾力性を有する垂下部材を設け、該垂下部
材の先端部を基板に接触させて注液器より流出する塗布
液を基板上に塗布する装置を用いてガラス乾板を製造す
る方法において、該基板の先端部が該垂下部材の下方を
通過する前は、該基板と該垂下部材が接触しない位置関
係を保ち、該基板の先端部が該垂下部材の下方を通過し
た後、該基板と該垂下部材を接触させて塗布を開始し、
かつ該基板の終端部まで塗布される直前に再び該基板と
該垂下部材との接触を断つことを特徴とするガラス乾板
製造方法。 - （２）走行する基板の上方に配置された注液器の先端部
に可撓性かつ弾力性を有する垂下部材を設け、該垂下部
材の先端部を基板に接触させて注液器より流出する塗布
液を基板上に塗布することによりガラス乾板を製造する
装置において、該基板の先端部が該垂下部材の先端部下
方を通過する時、及び該基板の終端部が該垂下部材の先
端部下方を通過する時を検出又は予測する手段と、該基
板と該垂下部材のいずれかを上下させることにより両者
を接触・離脱させる制御手段とを具備することを特徴と
するガラス乾板製造装置。 - （３）前記基板と垂下部材の先端部とを接触・離脱させ
る手段が、該基板を下から支持・搬送するローラ群を傾
斜させる手段であることを特徴とする請求項（２）記載
のガラス乾板製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185860A JP2533812B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | ガラス乾板製造方法及び装置 |
| US07/727,741 US5143759A (en) | 1990-07-13 | 1991-07-10 | Method and apparatus for applying an emulsion layer to photographic plates including pivoting conveyance rollers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185860A JP2533812B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | ガラス乾板製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474563A true JPH0474563A (ja) | 1992-03-09 |
| JP2533812B2 JP2533812B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=16178148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2185860A Expired - Lifetime JP2533812B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | ガラス乾板製造方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5143759A (ja) |
| JP (1) | JP2533812B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013132771A1 (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 太陽電池製造用のスリットノズル及び薬液塗布装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05235388A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 低抵抗線状パターンの形成方法及び形成装置並びに太陽電池 |
| US5626913A (en) * | 1994-03-09 | 1997-05-06 | Tokyo Electron Limited | Resist processing method and apparatus |
| US5480698A (en) * | 1994-09-13 | 1996-01-02 | Hayman-Chaffey; Charles | Acrylic or polycarbonate sheet-lacquer laminates and articles of furniture made therefrom |
| EP0716339B1 (en) * | 1994-12-05 | 2001-09-12 | Agfa-Gevaert N.V. | A silver halide photographic material and a dry imaging material comprising a glass support |
| JP3549075B2 (ja) * | 1995-06-02 | 2004-08-04 | 三菱製紙株式会社 | カーテン塗布装置及び塗布方法 |
| EP0808722A1 (en) * | 1996-05-21 | 1997-11-26 | Agfa-Gevaert N.V. | A material for producing a lithographic printing plate comprising a glass support |
| DE50115328D1 (de) * | 2000-11-22 | 2010-03-18 | Voith Patent Gmbh | Vorhang-Auftragsvorrichtung |
| FI111562B (fi) * | 2002-01-16 | 2003-08-15 | Metso Paper Inc | Menetelmä ja laitteisto käsittelyaineen syöttämiseksi liikkuvalle pinnalle |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3303816A (en) * | 1963-06-03 | 1967-02-14 | Boise Cascade Corp | Apparatus for curtain coating |
| US3756195A (en) * | 1970-07-16 | 1973-09-04 | Eastman Kodak Co | Apparatus for coating a continuous web |
| US4380967A (en) * | 1981-09-14 | 1983-04-26 | Nordson Corporation | System for automatically coating objects with a plurality of quantities of a coating material using a single discharge apparatus |
| US4821870A (en) * | 1984-12-17 | 1989-04-18 | Nabisco Brands, Inc. | Automatic direct soft cookie loading apparatus |
| US4851268A (en) * | 1988-01-29 | 1989-07-25 | Eastman Kodak Company | Curtain coating start-up method and apparatus |
| JP2562941B2 (ja) * | 1988-06-02 | 1996-12-11 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布装置 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2185860A patent/JP2533812B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-07-10 US US07/727,741 patent/US5143759A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013132771A1 (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 太陽電池製造用のスリットノズル及び薬液塗布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2533812B2 (ja) | 1996-09-11 |
| US5143759A (en) | 1992-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4024302A (en) | Method for coating running webs having projecting splices | |
| JPH0474563A (ja) | ガラス乾板製造方法及び装置 | |
| US20150231663A1 (en) | Apparatus for directly applying liquid to a substrate | |
| EP0425562B1 (en) | Curtain coating method and apparatus | |
| IE41725B1 (en) | Apparatus for use in processing sheets or strips of recording material | |
| JPH05337413A (ja) | ロールコータによる基板表面への塗液塗布方法 | |
| JP2004035261A (ja) | ウェブの接合及びコーティング方法、並びに、このような方法によって得られるウェブ | |
| JPH08229497A (ja) | 枚葉塗工方法およびカラーフィルタの製造方法 | |
| US3927409A (en) | Multistage thin film toning system for developing charged images | |
| JP4057841B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
| EP0376207A2 (en) | Application device | |
| JPH10264248A (ja) | フィルム張付装置 | |
| JP3058713U (ja) | シート状物のクリーニング装置 | |
| JP3213973B2 (ja) | 張力展開成膜方法及び張力展開成膜装置 | |
| JPH026446Y2 (ja) | ||
| JP3869497B2 (ja) | 塗布方法 | |
| JPH10264249A (ja) | フィルム張付装置 | |
| JP2776708B2 (ja) | 基板表面への塗布液塗布方法 | |
| JPH11139962A (ja) | 膏体塗布方法及び膏体塗布装置 | |
| JPH0143704Y2 (ja) | ||
| JPH0862774A (ja) | 塗布方法及び塗布装置 | |
| JPH10277465A (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
| JPH1099752A (ja) | 連続塗布装置 | |
| JPH03186377A (ja) | 塗布装置 | |
| JPH03277504A (ja) | グリーンシート成形法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 12 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100627 Year of fee payment: 14 |