JPH0473482U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ロボツトの第１実施例の構成を
示す正断面図、第２図ａは第１実施例によるロボ
ツトを真空チヤンバーに組付け、部品の加工・検
査作業を行う場合の一例を示す説明用正面図、第
２図ｂはその説明用平面図、第３図ａは第２実施
例の要部の構成を示す正断面図、第３図ｂは第３
図ａ−線断面図、第４図は従来ロボツトの第
１例の構成を示す正断面図、第５図は従来ロボツ
トの第２例の構成を示す正断面図である。 ４……タイミングプーリ、５……タイミングベ
ルト、６……タイミングプーリ、７……タイミン
グプーリ、８……タイミングベルト、９……タイ
ミングプーリ、１０……旋回アーム組立体、１１
……回転軸、１２……真空用ハンドリングロボツ
ト、１３……同軸組立体、１４……第１アーム、
１５……アーム旋回軸、１６……第２アーム、１
７……連結アーム、１８……第３アーム、１９…
…磁気シール、２０……第１固定ベース、２０Ａ
……支承部、２０ａ……フランジ部、２９……第
１駆動源（モータ）、３０……第２駆動源（モー
タ）、３２……第１出力軸、３３……軸受、３４
……第２出力軸、３６……真空チヤンバー、４０
……第２固定ベース、４０Ａ……アーム部、４３
……軸受、４４……軸受、４５……第１軸、４６
……第２軸、５０……軸受、５１……組付け孔、
５５……固定手段（ボルト）、５７……カバー、
５８……カセツト室、５９……加工用真空チヤン
バー、６０……検査用真空チヤンバー、６１〜６
３……ゲートバルブ、６４……真空計、６５……
真空ポンプ、６６……固定手段（ボルト）、６７
……軸受。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水平方向に旋回可能に連結された複数のア
   ームからなり、基端部が垂直方向の主軸線Ｙ１−
   Ｙ１を軸として支承部２０Ａに回転自在に支持さ
   れる旋回アーム組立体１０と、この旋回アーム組
   立体１０の回転軸１１に連結されてこれを回転さ
   せる第１駆動源２９と、前記旋回アーム組立体１
   ０のアーム旋回軸１５に連結されてアームを旋回
   させる第２駆動源３０とを備えたハンドリングロ
   ボツトにおいて、前記第１、第２駆動源２９，３
   ０はそれぞれ第１、第２固定ベース２０，４０に
   固定し、該第１、第２駆動源２９，３０の第１、
   第２出力軸３２，３４をそれぞれ主軸線Ｙ１−Ｙ
   １と同軸に配置せしめ、第１出力軸３２に第２固
   定ベース４０のアーム部４０Ａを介在して前記回
   転軸１１を回転可能に連結すると共に、該回転軸
   １１と同軸のアーム旋回軸１５に、前記第２出力
   軸３４を前記アーム部４０Ａと交差する連結アー
   ム１７で連結して同軸組立体１３を構成し、この
   同軸組立体１３の支承部２０Ａとアーム旋回軸１
   ５との間及び該アーム旋回軸１５と回転軸１１と
   の間にそれぞれ磁気シール１９を設け、同軸組立
   体１３を真空チヤンバー３６に組付けてなる真空
   用ハンドリングロボツト。 (2) 支承部２０Ａに第１固定ベース２０を固定
   し、真空チヤンバー３６の組付け孔５１の周辺部
   に、支承部２０Ａのフランジ部２０ａを組付けて
   なる請求項第１項記載の真空用ハドリングロボツ
   ト。