JPH0473469A - 真空用フランジ継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空排気装置に使用される真空用フランジ継
手に関し、特に高真空用の真空用フランジ継手に関する
。

〔従来の技術〕

従来、この種の真空用フランジ継手は、真空排気装置の
真空排管同志あるいは真空室と真空排管といつな真空排
気装置を構成する部品同志の接続に用いられていた。特
に、高真空用における真空用フランジ継手は、気密程度
が高いので、ガス放出の少ない比較的硬度の柔かい金属
ガスゲットが用いられてきた。第２図は従来の真空用フ
ランジ継手の一例を示す断面図である。この真空用フラ
ンジは、同図に示すように、中央にガス通気用の穴が開
けられ、片面側に凸起であるナイフエッヂ１が形成され
た二つのフランジ４と、この二つのフランジ４に挟まれ
、ナイフエッヂ１が喰込む平面部をもつ、例えば、銅製
のガスケット５とで構成されている。

通常、この真空用フランジ継手を使用する場合、例えば
、２つの真空用配管を接続する場合は、まず、それぞれ
の真空排管にフランジ４ナイフエツヂ１のない側に溶接
し、このガスケット５を挟み、外周囲にあるボルト六を
利用してボルトで締付け、ナイフエッヂ１をガスケット
５に喰い込ませ、高真空を維持していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述した従来の真空用フランジは継手は
、銅製のガスケットをはさみ込んで、気密にする構造と
なっているので、フランジをしめ付ける力が弱いと、リ
ークするという欠点がある。また、ガスケットは、ナイ
フエッヂがくい込むため、−度使用すると、再利用でき
ないという欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消し、締付は力による
ことなく高真空を維持出来るとともにガスケットが何回
でも使用出来る安価な真空用フランジ継手を提供するこ
とである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の真空用フランジは、片面側にナイフエッヂを有
するリング状のフランジと、このフランジに挟まれると
ともに前記ナイフエッヂがくい込む平坦面をもつ形状記
憶合金製ガスケットと、前記フランジに埋設されるヒー
タとを備え構成される。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す真空用フランジ継手の
断面図である。この真空用フランジ継手は、同図に示す
ように、フランジ４の本体内にヒータ２を埋め込み、形
状記憶合金製のガスケット３ａを設けたことである。そ
れ以外は従来例と同じである。

次に、この真空用フランジ継手を使用して、真空排管を
接続する例を説明する。まず、両フランジ４のナイフエ
ッヂ１のない側の端面に真空排管を溶接接続する。次に
、両フランジ４のナイフエッヂ１のある側に、形状記憶
合金製のガスケット３ａを挿入し、フランジ４の外周囲
にあるボルト用の穴を利用して、両フランジ４をボルト
で締付ける。次に、ヒータ２でフランジ４の本体を介し
て、ガスケット３ａを加熱する。このことにより、ナイ
フエッヂ１の喰い込む力に対してガスケット３ａは復元
し、より気密度を高める。また、この真空用フランジ継
手を接続を解いたとき、このガスケット３ａを列の加熱
装置で加熱してやれば、ナイフエッヂ１で生じる凹み゛
は復元し、再度使用出来る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、フランジ本体に加熱用の
ヒータを埋め込み、ガスケットに形状記憶合金を使用す
ることによって、所要以下の締付力でフランジを締付け
ても、加熱されたガスゲットの復元力によって、より締
付力が強まり、高い気密度が得られ、また使用済みのガ
スケットでも、復元出来るので、より高い気密度が得ら
れるとともに運用費が安価な真空用フランジ継手が得ら
れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す真空用フランジ継手の
断面図、第２図は従来の真空用フランジ継手の一例を示
す断面図である。 １・・・ナイフエッヂ、２・・・ヒータ、３ａ、３・・
・ガスケット、４・・・フランジ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 片面側にナイフエッヂを有するリング状のフランジと、
   このフランジに挟まれるとともに前記ナイフエッヂがく
   い込む平坦面をもつ形状記憶合金製ガスケットと、前記
   フランジに埋設されるヒータとを備えることを特徴とす
   る真空用フランジ継手。