JPH0470605A - 分岐合波光導波回路 - Google Patents
分岐合波光導波回路Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
上の分岐導波路を有し、光の分岐及び合波を行う分岐合
波光導波回路に関するものである。
の基本構成要素として必要不可欠である。
本以上の分岐先導波路を有するY分岐先導波回路か知ら
れている。
導波回路に比べ、波長依存性が無(、分岐比の偏差か小
さいという長所を有しており、特に、IXNスプリッタ
等への応用が期待されている。
て、同図の(a)は上面図、同図の(b)は(a)のA
−A線矢視方向の断面図である。第2図において、1は
基板、2はクラッド、31は主導波路、32は主導波路
31から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路、33
.34は分岐導波路である。
.34が基板1上のクラッド2中に埋め込まれる形で形
成されており、分岐導波路33. 34の曲率半径をR
1主導波路31の幅W3、と分岐導波路33.34の幅
W33.W34が全て等しく、かつ、分岐点4近傍の分
岐導波路33.34に囲まれたクサビ形の先端幅が零で
あるような理想的な形状を有している。
8−105111号公報に開示されているような方法に
より行われる。
、pcff 3 、 BcJ23の塩化物を出発材料と
し、例えば、まず、第3図の(a)乃至(C)に示すよ
うに、シリコン等の基板1上にクラッド層2 a sコ
ア層3を順次堆積する。
より、第2図に示す各導波路31,32゜33.34に
対応するコア層3の部分のみを残して除去し、その後、
クラッド層2aを堆積してY形の導波路を埋め込むこと
により、分岐合波光導波回路としてのY分岐先導波回路
が作製される。
め、分岐点4の形状が理想的な脱酸形状に近い形状とな
るように作製される。
いる分岐点4の近傍部を精度良く加工したり、クラッド
層2aで埋め込むことは困難であった。
状変形が生じたり、同図の(b)に示すように、クラッ
ドガラスが分岐点4近傍の分岐導波路33と34との間
に充填されずクラッド層2aに空隙5か生じたり、同図
の(C)に示すように、分岐点4近傍の分岐導波路33
と34との間にクラッドガラスの供給が足りないため、
分岐導波路33.34が傾く等の導波路変形が生じる等
、種々の不都合があった。
通りに再現性良く製作することか困難であった。
傍の不完全性のため、7M偏波光の方がTE偏波光より
も散乱損失が大きくなるという分岐損失の偏波依存性が
見られていた。
の目的は、分岐点近傍でのパターン変形や導波路の埋め
込み不良等が発生せず、製作が容易で、かつ、再現性に
優れた低損失の分岐合波光導波回路を提供することにあ
る。
クラッド中に形成された、主導波路と該主導波路から徐
々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に
接続される2本以上の分岐導波路とからなる分岐合波光
導波回路において、前記拡大導波路と前記分岐導波路と
の接続部において両導波路軸が一致した状態で拡大導波
路と各分岐導波路とを所定の間隙をもって分離し、かつ
、谷分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離した。
に設定した。
導波路、分岐導波路をクラッドに埋め込む工程において
、各導波路間、特に分岐点近傍に対してもクラツド材が
十分に供給される。
μm未満でないことから導波路作製の容易性が確保され
、また、導波路間隙及び間隔が10μmより大きくない
ことから低損失性か確保される。
施例を示す構成図であって、従来例を示す第2図と同一
構成部分は同一符号をもって表す。
路31から連続する拡大導波路、33a234aは分岐
導波路である。
路でその分岐角度は1度に設定してあり、それぞれが拡
大導波路32aと導波路軸が一致した状態で、端面32
0aと330a及び320aと340a同士が所定の間
隙LGAPをもって分離して形成されている。かつ、分
岐導波路33aと34a同士も互いの最接近距離が所定
の間隔W。A、をもって分離して形成されている。
の導波路間隙り。A、並びに分岐導波路33aと34a
同士の導波路間隔W6A、の値は、導波路作製技術の現
状から3μm以上が望ましく、また、損失の増大等の点
から10μm以下が望ましい。
工程と同様の工程を経て作製される。
基板1上に火炎堆積法によって、まず、クラッド層2a
として組成が810□−P205−3203の多孔質ガ
ラス膜を堆積する。
−P205B203の多孔質ガラスを堆積し、その後、
温度1.390℃のHeと02との混合雰囲気中で2時
間熱処理する。
先導波路パターンを形成する。その後、このコア層3を
埋め込むように上記したと同様のクラッド層2aを堆積
することにより作製される。
差0.25%を有する分岐合波光導波回路を作製した。
分岐導波路間隔WGAPと導波回路損失との関係を示す
グラフである。第5図の横軸は導波路間隙LGAPの長
さを、縦軸は分岐導波路間隔W6A、が3ttm、4μ
m、5.czmの場合の過剰損失を表し、また、第6図
の横軸は導波路間隔W6A、を、縦軸は導波路間隙L
GAPが4μmの場合の過剰損失を表している。
m程度では、過剰損失はほとんど無視できる。また、第
6図から分かるように分岐導波路間隔W6A、も4μm
程度までは、過剰損失を0 、3dB以下に抑えること
ができる。
間隙LGAP及び分岐導波路間隔WGAPを3〜10μ
mとしたので、従来の作製時のエツチング工程における
導波路パターンの変形を防止することができる。
3a、34aを埋め込むクラッド2が導波路間に入り込
み易くなり、分岐導波路33aと34a間に空隙が生じ
たり、2本の分岐導波路33a、34aが互いに傾くよ
うな変形が防止される。
現性良(作製することができる。また、Y分岐の分岐点
近傍の不完全性が生じないため、7M偏波光がTE偏波
光よりも散乱損失が太き(なるという、分岐損失の偏波
依存性を抑制することかできる。
施例を示す構成図である。
導波路33b、34bを曲率をもたない直線導波路では
なく、曲率半径40+++m以上の曲線導波路により構
成したことにある。なお、拡大導波路32bの広がり角
度は1度である。
効果を得ることができる。
施例を示す構成図である。
では拡大導波路と分岐導波路の端面320aと330a
及び320aと340a同士が光軸(導波路軸)に対し
て直交するような構成となっていたのに対し、拡大導波
路32cの端面320cとこれに対向する分岐導波路3
3c、34cの端面330c、 340cを光軸に対し
て90°を除く所定角度を持つように構成している。
実施例の効果に加えて、各導波路端面からの反射戻り光
を抑制することができ、ひいては分岐合波光導波回路の
信頼性の向上を図れる利点がある。
路と分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致し
た状態で、テーパ状導波路と各分岐導波路とを所定の間
隙をもって分離し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間
隔をもって分離したので、分岐点近傍でのパターン変形
や導波路埋め込み不良を防止できるとともに、分岐損失
の偏波依存性を抑制することができる。このため、作製
が容易で、かつ、再現性に優れた低損失の分岐合波光導
波回路を提供できる利点がある。
〜10μmに設定したので、上記効果に加えて、より低
損失で、導波路加工の容易な分岐合波光導波回路を実現
できる利点がある。
例を示す構成図、第2図は従来例の構成図、第3図は分
岐合波光導波回路の作製方法の説明図、第4図は従来の
問題点の説明図、第5図は導波路間隙長と過剰損失との
関係を示すグラフ、第6図は分岐導波路間隔と過剰損失
との関係を示すグラフ、第7図は本発明に係る分岐合波
光導波回路の第2の実施例を示す構成図、第8図は本発
明に係る分岐合波光導波回路の第3の実施例を示す構成
図である。 図中、1・・・基板、2・・・クラッド、2a・・・ク
ラッド層、3・・・コア層、31・・・主導波路、32
a。 32 b 、 32 c−−−拡大導波路、33a、
33b。 33c、34a、34b、34cm・・分岐導波路、L
GAP・・・導波路間隙、W6A、・・・分岐導波路間
隔。 特許出願人 日本電信電話株式会社 代理人弁理士 吉 1) 精 孝 第 図 第 図 導波路間隙LGAI)(μm) 導波路間隙と過剰損失との関係2示すグラフ第5図 導波路間隔Wc、xp(pm) 導波路間隔と過剰損失との関係2示すグラフ第6図 第 図
Claims (2)
- (1)基板上のクラッド中に形成された、主導波路と該
主導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と
該拡大導波路に接続される2本以上の分岐導波路とから
なる分岐合波光導波回路において、 前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両
導波路軸が一致した状態で拡大導波路と各分岐導波路と
を所定の間隙をもって分離し、かつ、各分岐導波路同士
を所定の間隔をもって分離した ことを特徴とする分岐合波光導波回路。 - (2)前記間隙及び間隔を3〜10μmに設定した請求
項(1)記載の分岐合波光導波回路。
Priority Applications (1)
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0763934A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波回路 |
JPH07174929A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ブランチングデバイスおよび光学部品 |
JPH07191226A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ブランチングデバイスおよび光学部品 |
JPH0980244A (ja) * | 1995-07-12 | 1997-03-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分岐合流光導波路 |
US5627928A (en) * | 1993-11-01 | 1997-05-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical branching device |
JPH09178964A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の分岐構造 |
JPH09230151A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Fujikura Ltd | 光分岐デバイス |
JPH09311235A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-12-02 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の分岐構造 |
US5818989A (en) * | 1996-03-27 | 1998-10-06 | Nec Corporation | Branching/crossed optical waveguide circuit |
US6304706B1 (en) | 1998-09-03 | 2001-10-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit |
JP2006337938A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Y分岐回路およびその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57157207A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Optical distribution coupler |
JPS62118308A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 光分岐回路 |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP2179348A patent/JP2817898B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57157207A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | Optical distribution coupler |
JPS62118308A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 光分岐回路 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0763934A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波回路 |
JPH07174929A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ブランチングデバイスおよび光学部品 |
JPH07191226A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ブランチングデバイスおよび光学部品 |
US5627928A (en) * | 1993-11-01 | 1997-05-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical branching device |
JPH0980244A (ja) * | 1995-07-12 | 1997-03-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分岐合流光導波路 |
JPH09178964A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の分岐構造 |
JPH09230151A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Fujikura Ltd | 光分岐デバイス |
US5818989A (en) * | 1996-03-27 | 1998-10-06 | Nec Corporation | Branching/crossed optical waveguide circuit |
JPH09311235A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-12-02 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の分岐構造 |
US6304706B1 (en) | 1998-09-03 | 2001-10-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit |
JP2006337938A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Y分岐回路およびその製造方法 |
US7499613B2 (en) | 2005-06-06 | 2009-03-03 | Ntt Electronics Corporation | Y branch circuit and method for manufacturing the same |
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JP2817898B2 (ja) | 1998-10-30 |
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