JP3258542B2 - 分岐合流光導波路 - Google Patents
分岐合流光導波路Info
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- JP3258542B2 JP3258542B2 JP29248095A JP29248095A JP3258542B2 JP 3258542 B2 JP3258542 B2 JP 3258542B2 JP 29248095 A JP29248095 A JP 29248095A JP 29248095 A JP29248095 A JP 29248095A JP 3258542 B2 JP3258542 B2 JP 3258542B2
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- waveguide
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- optical waveguide
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に形成され
た一本の主光導波路と、二本以上の分岐導波路とを有
し、光の分岐及び合流を行う分岐合流光導波路に関する
ものである。
た一本の主光導波路と、二本以上の分岐導波路とを有
し、光の分岐及び合流を行う分岐合流光導波路に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】光集積回路において、光分岐回路及び光
剛性回路は基本構成要素として必要不可欠である。この
ような分岐合流光導波路回路としては、従来より二本以
上の分岐光導波路を有するＹ型分岐光導波回路が提案さ
れている。
剛性回路は基本構成要素として必要不可欠である。この
ような分岐合流光導波路回路としては、従来より二本以
上の分岐光導波路を有するＹ型分岐光導波回路が提案さ
れている。
【０００３】このＹ型分岐光導波回路は、方向性結合器
を用いた分岐回路に比べ、波長依存性が無いという長所
を有しており、特に１×Ｎスプリッタや光タップ等への
応用が期待されている。特に、光タップへの応用におい
ては、光パワーを４０対６０のように非対称に分配する
ことが可能なＹ型分岐構造を設計する必要があった。
を用いた分岐回路に比べ、波長依存性が無いという長所
を有しており、特に１×Ｎスプリッタや光タップ等への
応用が期待されている。特に、光タップへの応用におい
ては、光パワーを４０対６０のように非対称に分配する
ことが可能なＹ型分岐構造を設計する必要があった。
【０００４】この従来のＹ型分岐構造の光導波回路の一
例を、図１１に示す。図１１において、符号１は主光導
波路、２はテーパ導波路、３及び４は分岐導波路、５は
分岐導波路３及び分岐導波路４の間の間隙、６はテーパ
導波路２と分岐導波路３及び分岐導波路４間の間隙を各
々図示する。ここでは、非対称パワー分岐を実現するた
めに、分岐導波路３及び分岐導波路４の幅をそれぞれＷ
1 ，Ｗ2 と異ならせる設計がなされていた。なお、導波
路間の間隙５及び間隙６は、特願平２１７９３４８号
（特開平４−７０６０５号公報）に開示されているよう
に、分岐導波路の作成誤差による特性劣化を防止し、再
現性の向上を図るために設けられている。
例を、図１１に示す。図１１において、符号１は主光導
波路、２はテーパ導波路、３及び４は分岐導波路、５は
分岐導波路３及び分岐導波路４の間の間隙、６はテーパ
導波路２と分岐導波路３及び分岐導波路４間の間隙を各
々図示する。ここでは、非対称パワー分岐を実現するた
めに、分岐導波路３及び分岐導波路４の幅をそれぞれＷ
1 ，Ｗ2 と異ならせる設計がなされていた。なお、導波
路間の間隙５及び間隙６は、特願平２１７９３４８号
（特開平４−７０６０５号公報）に開示されているよう
に、分岐導波路の作成誤差による特性劣化を防止し、再
現性の向上を図るために設けられている。
【０００５】このような分岐合流光導波路の作製は、例
えば特開昭５８−１０５１１１号公報に開示されている
ように、行えばよい。すなわち、ＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ
4 ，ＴｉＣｌ4 ，ＰＯＣｌ3 ，ＢＣｌ3 の塩化物を出発
材料とし、例えば図１３に示すように、シリコン等の基
板７上にクラッドガラス層８、コアガラス層９を順次堆
積し（図１３（ａ）〜（ｃ）参照）、次いで、エッチン
グ加工により上述の導波路１〜４に対応するコア部９ａ
以外のコア層９をエッチングし（図１３（ｄ）参照）、
最後にクラッドガラス層８を堆積し導波路を埋め込むよ
うにしている（図１３（ｅ）参照）。
えば特開昭５８−１０５１１１号公報に開示されている
ように、行えばよい。すなわち、ＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ
4 ，ＴｉＣｌ4 ，ＰＯＣｌ3 ，ＢＣｌ3 の塩化物を出発
材料とし、例えば図１３に示すように、シリコン等の基
板７上にクラッドガラス層８、コアガラス層９を順次堆
積し（図１３（ａ）〜（ｃ）参照）、次いで、エッチン
グ加工により上述の導波路１〜４に対応するコア部９ａ
以外のコア層９をエッチングし（図１３（ｄ）参照）、
最後にクラッドガラス層８を堆積し導波路を埋め込むよ
うにしている（図１３（ｅ）参照）。
【０００６】図１２は、上述の非対称Ｙ型分岐導波路
３，４の幅の違いによる分岐比と分岐過剰損失との関係
を示すグラフである。ここで、図１２の横軸は分岐導波
路３と分岐導波路４とにおける導波路幅Ｗ1，Ｗ2 の差
δＷ（μｍ）を、左縦軸は分岐導波路３と分岐導波路４
との間の分岐比（％）、右縦軸は分岐過剰損失（ｄＢ）
を示している。
３，４の幅の違いによる分岐比と分岐過剰損失との関係
を示すグラフである。ここで、図１２の横軸は分岐導波
路３と分岐導波路４とにおける導波路幅Ｗ1，Ｗ2 の差
δＷ（μｍ）を、左縦軸は分岐導波路３と分岐導波路４
との間の分岐比（％）、右縦軸は分岐過剰損失（ｄＢ）
を示している。
【０００７】ここで、図１１中、導波路は比屈折率差Δ
は０．４５％、導波路寸法７μｍ角（Ｗ0 ＝７μｍ）と
し、導波路間隙ＷｇおよびＷｓは１．５ｍｍ、テーパ導
波路長は１ｍｍ、光信号波長は１．３μｍである。分岐
導波路幅をδＷ＝±２μｍの範囲で変化させても分岐比
は高々５０±３％しか変化せず、一方、過剰損失は０．
２ｄＢ以上も増加することが判る。図１２に示すグラフ
より、分岐比を大幅に変化させるには、導波路幅の差δ
Ｗをさらに大きく設定する必要があるが、過剰損失も急
激に増加してしまうという問題がある。
は０．４５％、導波路寸法７μｍ角（Ｗ0 ＝７μｍ）と
し、導波路間隙ＷｇおよびＷｓは１．５ｍｍ、テーパ導
波路長は１ｍｍ、光信号波長は１．３μｍである。分岐
導波路幅をδＷ＝±２μｍの範囲で変化させても分岐比
は高々５０±３％しか変化せず、一方、過剰損失は０．
２ｄＢ以上も増加することが判る。図１２に示すグラフ
より、分岐比を大幅に変化させるには、導波路幅の差δ
Ｗをさらに大きく設定する必要があるが、過剰損失も急
激に増加してしまうという問題がある。
【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みて、広範囲で
の分岐比設定が容易で且つ過剰損失の少ない分岐合流光
導波路を提供することを目的とする。
の分岐比設定が容易で且つ過剰損失の少ない分岐合流光
導波路を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明に係る第１の分岐合流光導波路の構成は、基板上に形
成されたシングルモード主光導波路と、該主光導波路の
中心軸を中心として幅が徐々に拡大されたテーパ部と、
該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、
個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、２本の分岐導波路
は上記テーパ部と対向する端部近傍で、主導波路の中心
軸から互いに遠ざかる方向に曲線をなし、上記２つの分
岐導波路全体の中心軸と上記主光導波路の中心軸が所定
の間隔だけずれていることを特徴とする。
明に係る第１の分岐合流光導波路の構成は、基板上に形
成されたシングルモード主光導波路と、該主光導波路の
中心軸を中心として幅が徐々に拡大されたテーパ部と、
該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、
個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、２本の分岐導波路
は上記テーパ部と対向する端部近傍で、主導波路の中心
軸から互いに遠ざかる方向に曲線をなし、上記２つの分
岐導波路全体の中心軸と上記主光導波路の中心軸が所定
の間隔だけずれていることを特徴とする。
【００１０】本発明に係る第２の分岐合流光導波路の構
成は、基板上に形成されたシングルモード主光導波路
と、該主光導波路の幅が徐々に拡大されたテーパ部と、
該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、
個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、２本の分岐導波路
は上記テーパ部と対向する端部近傍で、主導波路の中心
軸から互いに遠ざかる方向に曲線をなし、上記テーパ部
が、上記主光導波路の中心軸に対して非対称であること
を特徴とする。
成は、基板上に形成されたシングルモード主光導波路
と、該主光導波路の幅が徐々に拡大されたテーパ部と、
該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、
個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、２本の分岐導波路
は上記テーパ部と対向する端部近傍で、主導波路の中心
軸から互いに遠ざかる方向に曲線をなし、上記テーパ部
が、上記主光導波路の中心軸に対して非対称であること
を特徴とする。
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施する実施の形
態の内容について図面を参照して説明する。
態の内容について図面を参照して説明する。
【００１３】先ず、本発明の第１の実施の形態について
説明する。図１は本発明の第１の構成に係る概略図であ
る。同図中、符号１は主光導波路、２は主光導波路から
連続するテーパ導波路、３及び４は分岐導波路、５は分
岐導波路間隙、６はテーパ導波路と分岐導波路との間の
間隙を各々図示する。
説明する。図１は本発明の第１の構成に係る概略図であ
る。同図中、符号１は主光導波路、２は主光導波路から
連続するテーパ導波路、３及び４は分岐導波路、５は分
岐導波路間隙、６はテーパ導波路と分岐導波路との間の
間隙を各々図示する。
【００１４】本発明の第１の分岐合流光導波路の構成
は、基板上に形成された主光導波路１と、該主光導波路
１の中心軸を中心として幅が徐々に拡大されたテーパ部
２と、該テーパ部２に対向して配置された複数の等幅の
光導波路群（本実施の形態では２本の分岐導波路３，
４）よりなる分岐合流光導波路において、上記光導波路
群全体の中心軸と上記主光導波路の中心軸が所定の間隔
（δＸ）だけずれているものである。
は、基板上に形成された主光導波路１と、該主光導波路
１の中心軸を中心として幅が徐々に拡大されたテーパ部
２と、該テーパ部２に対向して配置された複数の等幅の
光導波路群（本実施の形態では２本の分岐導波路３，
４）よりなる分岐合流光導波路において、上記光導波路
群全体の中心軸と上記主光導波路の中心軸が所定の間隔
（δＸ）だけずれているものである。
【００１５】上記構造を有する分岐合流光導波路の動作
は、ガウスビーム同士の結合により一般的に説明するこ
とができる。ここで、説明の簡略化のために、光導波路
の光フィールド分布はガウス分布であり、そのスポット
サイズは導波路半幅と等しいと仮定する。従って、分岐
光導波路のスポットサイズをωとすると、テーパ導波路
のスポットサイズは２ωとなる。また、幅ずれδＸの規
格化のために規格化軸ずれ量Δ＝δＸ／２ωを定義す
る。
は、ガウスビーム同士の結合により一般的に説明するこ
とができる。ここで、説明の簡略化のために、光導波路
の光フィールド分布はガウス分布であり、そのスポット
サイズは導波路半幅と等しいと仮定する。従って、分岐
光導波路のスポットサイズをωとすると、テーパ導波路
のスポットサイズは２ωとなる。また、幅ずれδＸの規
格化のために規格化軸ずれ量Δ＝δＸ／２ωを定義す
る。
【００１６】導波路に垂直なｘ軸をテーパ導波路の中心
を原点として設定すると、テーパ導波路の光フィールド
分布ｆ（ｘ）は、下記「数１」の（１）式に示すように
表される。
を原点として設定すると、テーパ導波路の光フィールド
分布ｆ（ｘ）は、下記「数１」の（１）式に示すように
表される。
【数１】
【００１７】また、分岐導波路３のフィールドｇ（ｘ）
は、下記「数２」の（２）式に示すように表される。
は、下記「数２」の（２）式に示すように表される。
【数２】
【００１８】この時、テーパ導波路２から分岐導波路３
への結合率η3 は、二つのガウスビームの重なり積分と
なり、下記「数３」の（３）式に示すように表される。
への結合率η3 は、二つのガウスビームの重なり積分と
なり、下記「数３」の（３）式に示すように表される。
【数３】
【００１９】同様に、テーパ導波路２から分岐導波路４
への結合率をη4 とすると、分岐比Ｒは下記「数４」の
（４）式に示すように表される。
への結合率をη4 とすると、分岐比Ｒは下記「数４」の
（４）式に示すように表される。
【数４】
【００２０】図２に、分岐比の規格化軸ずれ量依存性を
示す。規格化軸ずれ０〜０．４において、分岐比を５０
〜７８％までほぼ直線的に変化させることが可能であ
る。
示す。規格化軸ずれ０〜０．４において、分岐比を５０
〜７８％までほぼ直線的に変化させることが可能であ
る。
【００２１】一方、従来構造の場合も、同様にして分岐
比特性を求めることができる。図１１に示されている分
岐導波路３のフィールド分布ｈ（ｘ）は、下記「数５」
の（５）式に示すように表される。
比特性を求めることができる。図１１に示されている分
岐導波路３のフィールド分布ｈ（ｘ）は、下記「数５」
の（５）式に示すように表される。
【数５】 ここでは、分岐導波路３と分岐導波路４との導波路幅差
δＷをΔ＝δＸ／２ωのように規格化している。
δＷをΔ＝δＸ／２ωのように規格化している。
【００２２】従って、テーパ導波路２から分岐導波路３
への結合率η3 は、下記「数６」の（６）式に示す二つ
のガウスビームの重なり積分で表され、また、分岐比Ｒ
は下記「数７」の（７）式に示すように表される。
への結合率η3 は、下記「数６」の（６）式に示す二つ
のガウスビームの重なり積分で表され、また、分岐比Ｒ
は下記「数７」の（７）式に示すように表される。
【数６】
【数７】
【００２３】図３に、従来構造の場合の分岐比特性を示
す。図３より、規格化導波路幅差Δを０．４まで変化し
ても分岐比は６２％程度までしか変化せず、分岐比変化
量は本発明の場合の半分以下である。
す。図３より、規格化導波路幅差Δを０．４まで変化し
ても分岐比は６２％程度までしか変化せず、分岐比変化
量は本発明の場合の半分以下である。
【００２４】以上のように、ガウスビームの結合に基づ
いた解析により、本発明の構造は大きな分岐比変化を得
るのに適していることが判明した。より、正確な分岐比
や挿入損失を求めるには、更に数値計算に依らなければ
ならないが、分岐比特性の傾向はこの近似解析を変わる
ものではない。
いた解析により、本発明の構造は大きな分岐比変化を得
るのに適していることが判明した。より、正確な分岐比
や挿入損失を求めるには、更に数値計算に依らなければ
ならないが、分岐比特性の傾向はこの近似解析を変わる
ものではない。
【００２５】図１に示した本実施の形態の分岐合流光導
波路の作製にあたっては、直径４インチ、厚さ１ｍｍの
シリコン基板上に火炎堆積法によって、先ずクラッド層
として組成がＳｉＯ2 −Ｐ2 Ｏ5 −Ｂ2 Ｏ3 の多孔質ガ
ラス膜を堆積し、次にコア層として組成がＳｉＯ2 −Ｇ
ｅＯ2 −Ｐ2 Ｏ5 −Ｂ2 Ｏ3 の多孔質ガラス膜を堆積し
た。その後、温度１３００℃のＨｅとＯ2 との混合雰囲
気下で２時間熱処理をした。次に、反応性イオンエッチ
ングにより上述したような光導波路パターンを形成し、
その後、このコア層を埋め込むように、上述したものと
同様の組成のクラッド層を形成した。
波路の作製にあたっては、直径４インチ、厚さ１ｍｍの
シリコン基板上に火炎堆積法によって、先ずクラッド層
として組成がＳｉＯ2 −Ｐ2 Ｏ5 −Ｂ2 Ｏ3 の多孔質ガ
ラス膜を堆積し、次にコア層として組成がＳｉＯ2 −Ｇ
ｅＯ2 −Ｐ2 Ｏ5 −Ｂ2 Ｏ3 の多孔質ガラス膜を堆積し
た。その後、温度１３００℃のＨｅとＯ2 との混合雰囲
気下で２時間熱処理をした。次に、反応性イオンエッチ
ングにより上述したような光導波路パターンを形成し、
その後、このコア層を埋め込むように、上述したものと
同様の組成のクラッド層を形成した。
【００２６】ここで、ＧｅＯ2 の濃度を調整することに
より、様々な比屈折率差Δを有する分岐合流光導波路を
作製するとが可能となる。
より、様々な比屈折率差Δを有する分岐合流光導波路を
作製するとが可能となる。
【００２７】図４，図５及び図６は、比屈折率差Δが
０．３％、０．４５％及び０．７５％の分岐合流光導波
路における、軸ずれδＸと分岐比及び分岐過剰損失の関
係を示している。ここで、比屈折率差Δが０．３％、
０．４５％及び０．７５％に対する導波路寸法は、それ
ぞれ８×８μｍ、７×７μｍ、６×６μｍである。ま
た、それぞれの場合について、導波路間隙Ｗｇ及びＷｓ
は１．５μｍ、テーパ導波路２の長さは１ｍｍと設定
し、光信号波長は１．３μｍである。比屈折率差Δに依
らず、軸ずれ量δＸを０〜２μｍにおいて、分岐比を５
０〜６８％程度の範囲でほぼ直線的に変化させることが
可能であることが判明した。
０．３％、０．４５％及び０．７５％の分岐合流光導波
路における、軸ずれδＸと分岐比及び分岐過剰損失の関
係を示している。ここで、比屈折率差Δが０．３％、
０．４５％及び０．７５％に対する導波路寸法は、それ
ぞれ８×８μｍ、７×７μｍ、６×６μｍである。ま
た、それぞれの場合について、導波路間隙Ｗｇ及びＷｓ
は１．５μｍ、テーパ導波路２の長さは１ｍｍと設定
し、光信号波長は１．３μｍである。比屈折率差Δに依
らず、軸ずれ量δＸを０〜２μｍにおいて、分岐比を５
０〜６８％程度の範囲でほぼ直線的に変化させることが
可能であることが判明した。
【００２８】さらに、この範囲における分岐過剰損失
は、０．７５％の場合による０．１ｄＢ程度の揺らぎが
見られるが、分岐過剰損失の増加自体は０．１ｄＢ以下
と小さくほとんど無視できることが判明した。
は、０．７５％の場合による０．１ｄＢ程度の揺らぎが
見られるが、分岐過剰損失の増加自体は０．１ｄＢ以下
と小さくほとんど無視できることが判明した。
【００２９】次に、本発明の第２の実施の形態について
説明する。図７は本発明の第２の実施の形態分岐合流光
導波路の概略図である。同図中、符号１は主光導波路、
２は主光導波路から連続するテーパ導波路、３及び４は
分岐導波路、５は分岐導波路間隙、６はテーパ導波路と
分岐導波路との間の間隙を各々図示する。また、テーパ
導波路２の導波路拡大量を図７に示すようにＤ1 ，Ｄ2
とし、その非対称性をδＹ＝Ｄ1 −Ｄ2 と表している。
説明する。図７は本発明の第２の実施の形態分岐合流光
導波路の概略図である。同図中、符号１は主光導波路、
２は主光導波路から連続するテーパ導波路、３及び４は
分岐導波路、５は分岐導波路間隙、６はテーパ導波路と
分岐導波路との間の間隙を各々図示する。また、テーパ
導波路２の導波路拡大量を図７に示すようにＤ1 ，Ｄ2
とし、その非対称性をδＹ＝Ｄ1 −Ｄ2 と表している。
【００３０】図８，図９及び図１０は、比屈折率差Δが
０．３％、０．４５％及び０．７５％の分岐合流光導波
路における、テーパ導波路２の非対称性δＹと、分岐比
及び分岐過剰損失との関係を示している。ここで、比屈
折率差Δが０．３％、０．４５％、０．７５％に対する
導波路寸法は、それぞれ８×８μｍ、７×７μｍ、６×
６μｍである。また、それぞれの場合について、導波路
間隙Ｗｇ及びＷｓは１．５μｍ、テーパ導波路２の長さ
は１ｍｍと設定し、光信号波長は１．３μｍである。比
屈折率差Δに依らず、非対称性δＹを０〜２μｍにおい
て、分岐比を５０〜６８％程度の範囲でほぼ直線的に変
化させることが可能であることが判明した。さらに、こ
の範囲に於ける分岐過剰損失の増加は０．１ｄＢと小さ
く、ほとんど無視できることが判明した。
０．３％、０．４５％及び０．７５％の分岐合流光導波
路における、テーパ導波路２の非対称性δＹと、分岐比
及び分岐過剰損失との関係を示している。ここで、比屈
折率差Δが０．３％、０．４５％、０．７５％に対する
導波路寸法は、それぞれ８×８μｍ、７×７μｍ、６×
６μｍである。また、それぞれの場合について、導波路
間隙Ｗｇ及びＷｓは１．５μｍ、テーパ導波路２の長さ
は１ｍｍと設定し、光信号波長は１．３μｍである。比
屈折率差Δに依らず、非対称性δＹを０〜２μｍにおい
て、分岐比を５０〜６８％程度の範囲でほぼ直線的に変
化させることが可能であることが判明した。さらに、こ
の範囲に於ける分岐過剰損失の増加は０．１ｄＢと小さ
く、ほとんど無視できることが判明した。
【００３１】以上の実施の形態における分岐合流導波路
では、特願平２−１７９３７８号（特開平４−７０６０
５号）で示した導波路間隙を備えているので、回路制作
の再現性が高いという特徴も兼ね備えている。
では、特願平２−１７９３７８号（特開平４−７０６０
５号）で示した導波路間隙を備えているので、回路制作
の再現性が高いという特徴も兼ね備えている。
【００３２】また、本実施の形態においては、ガラス系
導波路を用いた分岐合流導波路を例示して説明したが、
本発明はこれに限定されず、例えば有機材料系導波路、
半導体材料系導波路等、導波路材料に依らず適用可能で
ある。
導波路を用いた分岐合流導波路を例示して説明したが、
本発明はこれに限定されず、例えば有機材料系導波路、
半導体材料系導波路等、導波路材料に依らず適用可能で
ある。
【００３３】さらに、本実施の形態では比屈折率差０．
３％、０．４５％、０．７５％の導波路の場合について
示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、比
屈折率差や導波路寸法が異なる導波路に対しても、設計
の変更のみで本発明を適用することができることはいう
までもない。
３％、０．４５％、０．７５％の導波路の場合について
示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、比
屈折率差や導波路寸法が異なる導波路に対しても、設計
の変更のみで本発明を適用することができることはいう
までもない。
【００３４】
【発明の効果】以上のべたように、本発明によれば、簡
易な分岐導波路構造で、広範囲での分岐比設定が可能と
なり、且つ分岐過剰損失が小さいという優れた効果を奏
するものである。
易な分岐導波路構造で、広範囲での分岐比設定が可能と
なり、且つ分岐過剰損失が小さいという優れた効果を奏
するものである。
【図１】本発明に係る分岐合流導波路の第１の実施の形
態を示す説明図である。
態を示す説明図である。
【図２】本発明に係る分岐比の規格化軸ずれ量と分岐比
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
【図３】本発明に係る分岐比の規格化導波路幅差と分岐
比との関係を示すグラフである。
比との関係を示すグラフである。
【図４】図１に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．３
％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフである。
％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフである。
【図５】図１に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．４
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
【図６】図１に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．７
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
【図７】本発明に係る分岐合流導波路の第２の実施の形
態を示す説明図である。
態を示す説明図である。
【図８】図７に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．３
％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフである。
％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフである。
【図９】図７に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．４
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
【図１０】図７に示す分岐合流導波路（比屈折率差０．
７５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
７５％）の分岐比と過剰損失との関係を示すグラフであ
る。
【図１１】従来技術に係る分岐合流導波路の構成図であ
る。
る。
【図１２】図１１に示す分岐合流導波路の分岐比と過剰
損失との関係を示すグラフである。
損失との関係を示すグラフである。
【図１３】分岐合流導波回路の作製工程を示す説明図で
ある。
ある。
１ 主光導波路 ２ 主光導波路から連続するテーパ導波路 ３，４ 分岐導波路 ５ 分岐導波路間隙 ６ テーパ導波路と分岐導波路との間の間隙
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森脇 和幸 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日 本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−70605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−4208（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−69703（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−240605（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−254380（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−213407（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174929（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−191226（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−234108（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−60407（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−60406（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−60405（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/12 - 6/14
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に形成されたシングルモード主光
導波路と、 該主光導波路の中心軸を中心として幅が徐々に拡大され
たテーパ部と、 該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、 ２本の分岐導波路は上記テーパ部と対向する端部近傍
で、主導波路の中心軸から互いに遠ざかる方向に曲線を
なし、 上記２つの分岐導波路全体の中心軸と上記主光導波路の
中心軸が所定の間隔だけずれていることを特徴とする分
岐合流光導波路。 - 【請求項２】 基板上に形成されたシングルモード主光
導波路と、 該主光導波路の幅が徐々に拡大されたテーパ部と、 該テーパ部に対向して配置された２つの等幅のシングル
モード分岐導波路を備えた分岐合流光導波路において、 個々の分岐導波路は、上記テーパ部と対向する端部にお
いて、中心軸が主導波路の中心軸と平行であり、かつ前
記テーパ部と間隔を開けて配置され、 ２本の分岐導波路は上記テーパ部と対向する端部近傍
で、主導波路の中心軸から互いに遠ざかる方向に曲線を
なし、 上記テーパ部が、上記主光導波路の中心軸に対して非対
称であることを特徴とする分岐合流光導波路。
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|---|---|---|---|
| JP29248095A JP3258542B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-11-10 | 分岐合流光導波路 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-175714 | 1995-07-12 | ||
| JP17571495 | 1995-07-12 | ||
| JP29248095A JP3258542B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-11-10 | 分岐合流光導波路 |
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| JP3258542B2 true JP3258542B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=26496894
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|---|---|---|---|
| JP29248095A Expired - Lifetime JP3258542B2 (ja) | 1995-07-12 | 1995-11-10 | 分岐合流光導波路 |
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1995
- 1995-11-10 JP JP29248095A patent/JP3258542B2/ja not_active Expired - Lifetime
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