JPH0467786A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0467786A JPH0467786A JP2178714A JP17871490A JPH0467786A JP H0467786 A JPH0467786 A JP H0467786A JP 2178714 A JP2178714 A JP 2178714A JP 17871490 A JP17871490 A JP 17871490A JP H0467786 A JPH0467786 A JP H0467786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- rotor
- ultrasonic motor
- etching
- pinion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明の超音波モータは、超音波領域の振動変位により
、摩擦接触するロータを駆動する超音波モータに関する
。
、摩擦接触するロータを駆動する超音波モータに関する
。
「従来の技術］
従来の超音波モータは特開昭５９−１７８９８８、特開
昭６３−２８３４７７等で開示されている様にステーク
にスリットを入れ、駆動方向変位を拡大していた。また
従来の超音波モータは特開昭６０−２２４８］等で開示
されている様に、圧電素子と又テークを接着剤で貼り付
けていた。
昭６３−２８３４７７等で開示されている様にステーク
にスリットを入れ、駆動方向変位を拡大していた。また
従来の超音波モータは特開昭６０−２２４８］等で開示
されている様に、圧電素子と又テークを接着剤で貼り付
けていた。
［発明が解決しようとする課顕］
しかし従来の超音波モータはスリットの加工に非常に手
間がかかり、特に小型化するとスリットの幅を狭くせざ
るを得ない為、コスト高にならざるを得なかった。また
、接着剤で圧電素子を貼り付けると、接着層の厚みの不
均一さ、硬度の差、残留応力等により振動特性に大きな
ばらつきが生じてしまうという問題点もあった。
間がかかり、特に小型化するとスリットの幅を狭くせざ
るを得ない為、コスト高にならざるを得なかった。また
、接着剤で圧電素子を貼り付けると、接着層の厚みの不
均一さ、硬度の差、残留応力等により振動特性に大きな
ばらつきが生じてしまうという問題点もあった。
そこで本発明の目的は、スリットに対応する逃げ部をエ
ツチングで形成し、加工を容易にする事にある。また本
発明の目的は圧電材料をステークに直接成形し、接着剤
の悪影響を除去するところにある。
ツチングで形成し、加工を容易にする事にある。また本
発明の目的は圧電材料をステークに直接成形し、接着剤
の悪影響を除去するところにある。
［課題を解決するための手段１
本発明の超音波モータは、少なくとも振動体により超音
波振動を励起されるステータと、該ステークと部分的に
接し摩擦力で駆動されるロータを有する超音波モータに
おいて、前記ステータまたは前記ロータの逃げ部をエツ
チングで形成した事を特徴とする。また振動体が圧電材
料から成り、ステータに直接成形した事を特徴とする。
波振動を励起されるステータと、該ステークと部分的に
接し摩擦力で駆動されるロータを有する超音波モータに
おいて、前記ステータまたは前記ロータの逃げ部をエツ
チングで形成した事を特徴とする。また振動体が圧電材
料から成り、ステータに直接成形した事を特徴とする。
［実 施 例］
第１図は本発明の超音波モータの構成例を示す断面図で
あり、本出願人提案の［波動ステップモータ（特願平１
−２７３０８２）において、定在波の移動により、ステ
ップ駆動をする構造に用いた場合について説明する。第
２図は第１図におけるロータの下面図である。ハツチン
グ部は、エツチングによって除去した逃げ部９であり残
りの部分が凸部１ａ−１ｄ、１ｅはビニオン７が係合す
る訳である。４はネジ１０てステータ２を固定する地板
、５は回転力を外部へ取り出す為のビニオン７を設けた
ロータ１を回転自由に案内する輪列受であり、止めネジ
１１で固定した押えばね１２てビニオンの柄部を加圧す
る事により、ロータの凸部１ａ−１ｄとステータ２を当
接させている。３はステーク２に生成させた圧電素子、
３ａは電界を与えるための電極、８は電圧を与えるリド
線である。圧電素子３は、イヒ学的に、スプレ法、ＣＶ
Ｄ法、デイツプ法等によって生成させたり、物理的に蒸
着法、スパッタ法等によって生成させたり、機械的にバ
インダ等を含んだ圧電材料を直接圧縮成形、焼成する等
により生成する。また、圧電素子をステータに直接熱圧
着する方法でも生成できる。特にスパッタ法で薄膜状の
圧電素子をエキタピシャル成長により単結晶化したもの
は安定した優れた特性が得られる。
あり、本出願人提案の［波動ステップモータ（特願平１
−２７３０８２）において、定在波の移動により、ステ
ップ駆動をする構造に用いた場合について説明する。第
２図は第１図におけるロータの下面図である。ハツチン
グ部は、エツチングによって除去した逃げ部９であり残
りの部分が凸部１ａ−１ｄ、１ｅはビニオン７が係合す
る訳である。４はネジ１０てステータ２を固定する地板
、５は回転力を外部へ取り出す為のビニオン７を設けた
ロータ１を回転自由に案内する輪列受であり、止めネジ
１１で固定した押えばね１２てビニオンの柄部を加圧す
る事により、ロータの凸部１ａ−１ｄとステータ２を当
接させている。３はステーク２に生成させた圧電素子、
３ａは電界を与えるための電極、８は電圧を与えるリド
線である。圧電素子３は、イヒ学的に、スプレ法、ＣＶ
Ｄ法、デイツプ法等によって生成させたり、物理的に蒸
着法、スパッタ法等によって生成させたり、機械的にバ
インダ等を含んだ圧電材料を直接圧縮成形、焼成する等
により生成する。また、圧電素子をステータに直接熱圧
着する方法でも生成できる。特にスパッタ法で薄膜状の
圧電素子をエキタピシャル成長により単結晶化したもの
は安定した優れた特性が得られる。
第３図は本発明の超音波モータの他の構成例を示す計画
であり、第４図はステータ２の平面図である。ハツチン
グ部は逃げ部９であり残りの部分２ａは凸部、２ｅはネ
ジ１０が貫通する穴である。４はネジ１０でスペーサ１
３を介しステーク２を固定する地板、５は回転力を外部
へ取り出す為のビニオンを設けたロータ１を回転自由に
案内する輪列受であり、止めネジ１１で固定した押えば
ね］２でビニオンの柄部を加圧する事により複数のステ
ータ２の凸部２ａとロータ１を当接させている。３は圧
電素子、３ａは電極、８はリード線である。逃げ部９は
エツチングにより形成され圧電素子３は前述の第１図の
方法と同様に生成する。この様な構成の超音波千〜りは
特開昭６１−１０２１７７で開示されている様な方法で
表面波を発生し、連続回転をする。
であり、第４図はステータ２の平面図である。ハツチン
グ部は逃げ部９であり残りの部分２ａは凸部、２ｅはネ
ジ１０が貫通する穴である。４はネジ１０でスペーサ１
３を介しステーク２を固定する地板、５は回転力を外部
へ取り出す為のビニオンを設けたロータ１を回転自由に
案内する輪列受であり、止めネジ１１で固定した押えば
ね］２でビニオンの柄部を加圧する事により複数のステ
ータ２の凸部２ａとロータ１を当接させている。３は圧
電素子、３ａは電極、８はリード線である。逃げ部９は
エツチングにより形成され圧電素子３は前述の第１図の
方法と同様に生成する。この様な構成の超音波千〜りは
特開昭６１−１０２１７７で開示されている様な方法で
表面波を発生し、連続回転をする。
第５区および第６図は本発明の超音波モータのステータ
の他の実施例を示す平面図であり、ステータ２の逃げ部
９及び凸部２ａは、エツチングで形成される為、任意の
形状に形成できる。尚、凸部は特開昭５９−１７８９８
８の如く振動変位を拡大する作用や、前述の特願平１−
２７３０８２の如くロータと部分的に当接させる作用を
有するわ 第７図は本発明の超音波モータのロータの他の実施例を
示す下面図であり、第１図と等しい構成で、前述の特開
昭６１−１０２１７７に開示された表面波を発生させ連
続回転させる場合の例である。ロータ１は、高トルクを
得る為ステークの外径側て当接する様に逃げ部９及び凸
部１ａを設けでいる。
の他の実施例を示す平面図であり、ステータ２の逃げ部
９及び凸部２ａは、エツチングで形成される為、任意の
形状に形成できる。尚、凸部は特開昭５９−１７８９８
８の如く振動変位を拡大する作用や、前述の特願平１−
２７３０８２の如くロータと部分的に当接させる作用を
有するわ 第７図は本発明の超音波モータのロータの他の実施例を
示す下面図であり、第１図と等しい構成で、前述の特開
昭６１−１０２１７７に開示された表面波を発生させ連
続回転させる場合の例である。ロータ１は、高トルクを
得る為ステークの外径側て当接する様に逃げ部９及び凸
部１ａを設けでいる。
以上実施例を上げて詳述したが、本発明の意図は、ステ
ータあるいはロータの逃げ部をエツチングにより形成す
る事にある。また他の意図は圧電素子をステータに直接
生成する事にある。したがって、逃げ部及び凸部の形状
や機能は何ら前述の例に限るものではない。またロータ
及びステークの素材については、金属や、シリコーン、
等。
ータあるいはロータの逃げ部をエツチングにより形成す
る事にある。また他の意図は圧電素子をステータに直接
生成する事にある。したがって、逃げ部及び凸部の形状
や機能は何ら前述の例に限るものではない。またロータ
及びステークの素材については、金属や、シリコーン、
等。
エツチングできる物であればどんな材料でも利用できる
事は自明であり、いわゆるマイクロマシニングの技術が
利用できる。
事は自明であり、いわゆるマイクロマシニングの技術が
利用できる。
［発明の効果］
本発明の超音波モータによれば、ステータまたはロータ
の逃げ部をエツチングで形成した事により、容易に任意
形状が実現できた。また圧電材料をステータに直接生成
した事により接着剤による振動特性への影響を除去する
事ができた。また、両者により、超小型の超音波モータ
が容易に実現できた。
の逃げ部をエツチングで形成した事により、容易に任意
形状が実現できた。また圧電材料をステータに直接生成
した事により接着剤による振動特性への影響を除去する
事ができた。また、両者により、超小型の超音波モータ
が容易に実現できた。
したがって本発明の効果は絶大である。
第１図は本発明の超音波モータの構成例を示す断面図。
第２図は第１図におけるロータの下面図。
第３図は本発明の超音波モータの他の構成例を示す断面
図。 第４図は第３図におけるステータの平面図。 第５図及び第６図は本発明の超音波モータのステータの
他の実施例を示す平面図。 第７図は本発明の超音波モータのロータの他の実施例を
示す下面図。 １・ ・ ・・ ・・ ・・・・・ロータ２・・・・
・・・・・ ・・ステータ 第１図 第２図 ３・・・・・・ ・・ ・・圧電素子 １ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ＝凸部 ２ａ・・・・・ ・・・・・凸部 ９ ・・・・・・・・・・・逃げ部 層 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第３ 図 第４図 第 図 第７ 図 第 乙 図
図。 第４図は第３図におけるステータの平面図。 第５図及び第６図は本発明の超音波モータのステータの
他の実施例を示す平面図。 第７図は本発明の超音波モータのロータの他の実施例を
示す下面図。 １・ ・ ・・ ・・ ・・・・・ロータ２・・・・
・・・・・ ・・ステータ 第１図 第２図 ３・・・・・・ ・・ ・・圧電素子 １ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ＝凸部 ２ａ・・・・・ ・・・・・凸部 ９ ・・・・・・・・・・・逃げ部 層 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第３ 図 第４図 第 図 第７ 図 第 乙 図
Claims (2)
- （１）少なくとも振動体により超音波振動を励起される
ステータと、該ステータと部分的に接し摩擦力で駆動さ
れるロータを有する超音波モータにおいて、前記ステー
タまたは前記ロータの逃げ部をエッチングで形成したこ
とを特徴とする超音波モータ。 - （２）振動体が圧電材料から成り、ステータに直接成形
した事を特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2178714A JPH0467786A (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 超音波モータ |
| EP90311426A EP0424139B1 (en) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | Ultrasonic motor |
| DE69030481T DE69030481T2 (de) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | Ultraschallmotor |
| KR1019900016594A KR910008930A (ko) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | 초음파 모터 |
| US07/602,444 US5247220A (en) | 1989-10-20 | 1990-10-22 | Ultrasonic motor |
| US08/363,557 US5521455A (en) | 1989-10-20 | 1994-12-22 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2178714A JPH0467786A (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467786A true JPH0467786A (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=16053286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2178714A Pending JPH0467786A (ja) | 1989-10-20 | 1990-07-06 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7456547B2 (en) * | 2005-09-16 | 2008-11-25 | Hoya Corporation | Ultrasonic motor |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP2178714A patent/JPH0467786A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7456547B2 (en) * | 2005-09-16 | 2008-11-25 | Hoya Corporation | Ultrasonic motor |
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