JPH0465537B2 - - Google Patents
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- JPH0465537B2 JPH0465537B2 JP62200004A JP20000487A JPH0465537B2 JP H0465537 B2 JPH0465537 B2 JP H0465537B2 JP 62200004 A JP62200004 A JP 62200004A JP 20000487 A JP20000487 A JP 20000487A JP H0465537 B2 JPH0465537 B2 JP H0465537B2
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- wedge
- wire
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- predetermined length
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
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- H01L2224/85201—Compression bonding
- H01L2224/85205—Ultrasonic bonding
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワイヤを挿通するガイド孔を先端面
に対して傾斜して備え、ワイヤが先端面下方に傾
斜して繰り出されるるボンデイングウエツジ（以
下ウエツジと略）を用いて超音波によりワイヤボ
ンデイングを行うワイヤボンデイング方法に関す
るものである。
に対して傾斜して備え、ワイヤが先端面下方に傾
斜して繰り出されるるボンデイングウエツジ（以
下ウエツジと略）を用いて超音波によりワイヤボ
ンデイングを行うワイヤボンデイング方法に関す
るものである。
従来多用されているウエツジ１１は第４図ａに
示すようにガイド孔３１は先端面４１に対して約
30〜45゜の傾きに形成されていて、ボンデイング
を行うときはウエツジ１１をボンデイング部の直
上部に位置せしめ、矢印１２のように真下に下降
せしめて超音波振動を印加していた。
示すようにガイド孔３１は先端面４１に対して約
30〜45゜の傾きに形成されていて、ボンデイング
を行うときはウエツジ１１をボンデイング部の直
上部に位置せしめ、矢印１２のように真下に下降
せしめて超音波振動を印加していた。
従つて、ワイヤ２の繰り出し角が約30〜45゜と
なるので基板６にある電子部品などにワイヤ２が
当たるる場合があり不都合であつた。
なるので基板６にある電子部品などにワイヤ２が
当たるる場合があり不都合であつた。
この不都合は、第４図ｂに示すように先端面４
に対して例えば約60゜の傾きでガイド孔３を有す
るウエツジ１を用いれば少なくすることができ
る。
に対して例えば約60゜の傾きでガイド孔３を有す
るウエツジ１を用いれば少なくすることができ
る。
ところが、このように大きな傾きでガイド孔３
を備えているウエツジ１を用いてワイヤボンデイ
ングを行おうとすれば、ワイヤ２がボンデイング
に所要の長さｌだけウエツジ１の先端面４から斜
めに繰り出されている状態からボンデイングを行
う第１ボンデイング部７のボンデイングにおいて
はワイヤ２の第１ボンデイング部７に対する傾き
もガイド孔３と同じ角の大きな傾きとなる。
を備えているウエツジ１を用いてワイヤボンデイ
ングを行おうとすれば、ワイヤ２がボンデイング
に所要の長さｌだけウエツジ１の先端面４から斜
めに繰り出されている状態からボンデイングを行
う第１ボンデイング部７のボンデイングにおいて
はワイヤ２の第１ボンデイング部７に対する傾き
もガイド孔３と同じ角の大きな傾きとなる。
従つて、ウエツジ１を矢印１２のように真下に
下降せしめてもワイヤ２は長さｌの基部９で折れ
曲りにくく、ウエツジ１の下降に伴つてワイヤ２
が撓みながら相対的にガイド孔３の中に逃げて戻
つてしまい、ボンデイングに所要の長さｌのワイ
ヤ２をウエツジ１の先端面４と第１ボンデイング
部７との間に挾圧することができない状態となつ
てしまう。これを避けようとすれば第１ボンデイ
ング部７から大きく外側にはみ出す長さだけワイ
ヤ２を繰り出せばよいが、そうするとはみ出させ
たワイヤ先端がシヨートすることもあり、またワ
イヤ２も無駄になる欠点がある。
下降せしめてもワイヤ２は長さｌの基部９で折れ
曲りにくく、ウエツジ１の下降に伴つてワイヤ２
が撓みながら相対的にガイド孔３の中に逃げて戻
つてしまい、ボンデイングに所要の長さｌのワイ
ヤ２をウエツジ１の先端面４と第１ボンデイング
部７との間に挾圧することができない状態となつ
てしまう。これを避けようとすれば第１ボンデイ
ング部７から大きく外側にはみ出す長さだけワイ
ヤ２を繰り出せばよいが、そうするとはみ出させ
たワイヤ先端がシヨートすることもあり、またワ
イヤ２も無駄になる欠点がある。
本発明は上述の従来の問題点を解決しようとす
るもので、先端面とのなす角が45゜以上の急な傾
斜のガイド孔を有するウエツジを用いても確実に
第１ボンデイングを行うことができるワイヤボン
デイング方法を提供することを目的とするもので
ある。
るもので、先端面とのなす角が45゜以上の急な傾
斜のガイド孔を有するウエツジを用いても確実に
第１ボンデイングを行うことができるワイヤボン
デイング方法を提供することを目的とするもので
ある。
本発明は、ボンデイングウエツジを用いてワイ
ヤボンデイングを行うワイヤボンデイング方法に
おいて、先端から第１ボンデイングに要する長さ
のワイヤが繰り出されているボンデイングウエツ
ジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せし
め、該位置からボンデイングウエツジを第１ボン
デイング部に対して相対的に該ウエツジの前方下
方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されてい
るワイヤを第１ボンデイング部に圧接せしめ、ボ
ンデイングウエツジを超音波振動せしめてワイヤ
と第１ボンデイング部との第１ボンデイングを行
うことを特徴とするワイヤボンデイング方法であ
る。
ヤボンデイングを行うワイヤボンデイング方法に
おいて、先端から第１ボンデイングに要する長さ
のワイヤが繰り出されているボンデイングウエツ
ジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せし
め、該位置からボンデイングウエツジを第１ボン
デイング部に対して相対的に該ウエツジの前方下
方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されてい
るワイヤを第１ボンデイング部に圧接せしめ、ボ
ンデイングウエツジを超音波振動せしめてワイヤ
と第１ボンデイング部との第１ボンデイングを行
うことを特徴とするワイヤボンデイング方法であ
る。
なお、本明細書においては、第１ボンデイング
部から第２ボンデイング部へウエツジをボンデイ
ング移動せしめるときに進行方向に臨む側面をウ
エツジの前面とし、従つてウエツジの前方とはこ
の前面の臨んだ方向をいい、反対方向を後方とい
う。
部から第２ボンデイング部へウエツジをボンデイ
ング移動せしめるときに進行方向に臨む側面をウ
エツジの前面とし、従つてウエツジの前方とはこ
の前面の臨んだ方向をいい、反対方向を後方とい
う。
本発明は、先端から第１ボンデイングに要する
長さのワイヤが繰り出されているボンデイングウ
エツジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せ
しめ、該位置からボンデイングウエツジを第１ボ
ンデイング部に対して相対的に該ウエツジの前方
下方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されて
いるワイヤを第１ボンデイング部に圧接するの
で、ワイヤの先端が第１ボンデイング部に接した
時点より後はウエツジの前方下方への下降動によ
りワイヤは所定長ｌの基部で確実に折り曲げられ
る。従つて、ワイヤの先端部を所定長ｌだけ確実
に第１ボンデイング部とウエツジの先端面との間
に挾圧し、超音波により確実にボンデイングする
ことができる。
長さのワイヤが繰り出されているボンデイングウ
エツジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せ
しめ、該位置からボンデイングウエツジを第１ボ
ンデイング部に対して相対的に該ウエツジの前方
下方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されて
いるワイヤを第１ボンデイング部に圧接するの
で、ワイヤの先端が第１ボンデイング部に接した
時点より後はウエツジの前方下方への下降動によ
りワイヤは所定長ｌの基部で確実に折り曲げられ
る。従つて、ワイヤの先端部を所定長ｌだけ確実
に第１ボンデイング部とウエツジの先端面との間
に挾圧し、超音波により確実にボンデイングする
ことができる。
〔実施例〕
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１〜３図において、ウエツジ１はワイヤ２を
挿通するガイド孔３を先端面４に対して45゜〜
90゜、本実施例では例えば60゜、傾斜させて備え、
従来公知の構成の超音波ボンデイング装置に取り
付けられている。即ち、ウエツジ１はホーンの先
端に取り付けられており、クランプ５と一体に、
基板６に対して相対的に、水平面上でのＸ方向移
動、水平面上での、Ｘ方向と直角の方向のＹ方向
移動、Ｘ，Ｙ方向それぞれに直角の方向のＺ方向
移動（上下動）、基板６に固着したIC上の第１ボ
ンデイング部７と基板６上の第２ボンデイング部
８を結ぶ線をＹ方向に一致させるθ回動が可能で
ある。クランプ５は、ウエツジ１と一体に運動す
るほかウエツジ１とは別個に単独でガイド孔３と
同じ傾きの60゜の傾斜で往復動することもできる
クランプスライダに取り付けられていて、クラン
プ５が閉のときにガイド孔３出口とクランプ部分
との間のワイヤ２がガイド孔３と同じ傾きの60゜
を呈してクランプされるように設けられている。
挿通するガイド孔３を先端面４に対して45゜〜
90゜、本実施例では例えば60゜、傾斜させて備え、
従来公知の構成の超音波ボンデイング装置に取り
付けられている。即ち、ウエツジ１はホーンの先
端に取り付けられており、クランプ５と一体に、
基板６に対して相対的に、水平面上でのＸ方向移
動、水平面上での、Ｘ方向と直角の方向のＹ方向
移動、Ｘ，Ｙ方向それぞれに直角の方向のＺ方向
移動（上下動）、基板６に固着したIC上の第１ボ
ンデイング部７と基板６上の第２ボンデイング部
８を結ぶ線をＹ方向に一致させるθ回動が可能で
ある。クランプ５は、ウエツジ１と一体に運動す
るほかウエツジ１とは別個に単独でガイド孔３と
同じ傾きの60゜の傾斜で往復動することもできる
クランプスライダに取り付けられていて、クラン
プ５が閉のときにガイド孔３出口とクランプ部分
との間のワイヤ２がガイド孔３と同じ傾きの60゜
を呈してクランプされるように設けられている。
なお、本実施例においては、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移
動装置はウエツジ１の方に、θ回転装置は基板６
の方に、それぞれ設けられていることとし、ウエ
ツジ１はその前後方向がＹ方向に一致するように
設けられているとする。
動装置はウエツジ１の方に、θ回転装置は基板６
の方に、それぞれ設けられていることとし、ウエ
ツジ１はその前後方向がＹ方向に一致するように
設けられているとする。
次に第１〜２図に基いてボンデイング動作につ
いて説明する。
いて説明する。
第１図ａは第２ボンデイング部８のボンデイン
グを終了したところを示し、第２図のＡ点に相当
する。クランプ５は開である。
グを終了したところを示し、第２図のＡ点に相当
する。クランプ５は開である。
クランプ５を開としたまま、ウエツジ１をΔz1，
Δy1だけ移動させる。このとき次の第１ボンデイ
ング部７1のボンデイングに要する所定のワイヤ
長ｌががウエツジ１の先端面４から繰り出され、
かつ角αがガイド孔３と同じ傾きの60゜となるよ
うに、Δz1，Δy1を選ぶ。Δz1，Δy1だけウエツジ１
を移動させてワイヤ２をフイードした後クランプ
５を閉とする。…第１図ｂ、第２図ではＢ点を示
す。
Δy1だけ移動させる。このとき次の第１ボンデイ
ング部７1のボンデイングに要する所定のワイヤ
長ｌががウエツジ１の先端面４から繰り出され、
かつ角αがガイド孔３と同じ傾きの60゜となるよ
うに、Δz1，Δy1を選ぶ。Δz1，Δy1だけウエツジ１
を移動させてワイヤ２をフイードした後クランプ
５を閉とする。…第１図ｂ、第２図ではＢ点を示
す。
クランプスライダをワイヤカツトに要するだけ
ウエツジ１から隔離する向きにΔl1だけ移動する。
するとワイヤ２は第２ボンデイング部８と固着し
ている部分の端部でカツトされる。…第１図ｃ、
第２図ではＣ点。
ウエツジ１から隔離する向きにΔl1だけ移動する。
するとワイヤ２は第２ボンデイング部８と固着し
ている部分の端部でカツトされる。…第１図ｃ、
第２図ではＣ点。
クランプスライダをΔl1だけ元に戻す。すると
ウエツジ１の先端面４からワイヤ２が所定の長さ
ｌだけ繰り出されているフイード後の状態に戻
る。このときウエツジ１は次のボンデイングのた
めのｘ，ｙ，ｚ移動、基板６はθ回動を、それぞ
れ行つている。…第１図ｄ、第２図ではＤ点。
ウエツジ１の先端面４からワイヤ２が所定の長さ
ｌだけ繰り出されているフイード後の状態に戻
る。このときウエツジ１は次のボンデイングのた
めのｘ，ｙ，ｚ移動、基板６はθ回動を、それぞ
れ行つている。…第１図ｄ、第２図ではＤ点。
次にボンデイングを行う第１ボンデイング部７
１上方部付近にウエツジ１を移動させる。基板６
は第１ボンデイング部７1と第２ボンデイング部
８1を結ぶ線がＹ方向即ちウエツジ１の前後方向
に一致する如くθ回動させられている。…第１図
ｅ、第２図ではＥ点。
１上方部付近にウエツジ１を移動させる。基板６
は第１ボンデイング部７1と第２ボンデイング部
８1を結ぶ線がＹ方向即ちウエツジ１の前後方向
に一致する如くθ回動させられている。…第１図
ｅ、第２図ではＥ点。
このとき、第３図二点鎖線に示すごとく、ウエ
ツジ１を第１ボンデイング部７1からΔy2だけ後方
にずれた位置の上方に位置せしめる。
ツジ１を第１ボンデイング部７1からΔy2だけ後方
にずれた位置の上方に位置せしめる。
次でウエツジ１を前方下方へΔy2を修正しなが
ら矢印１０のように斜めに下降させて第１ボンデ
イング部７1に正しく位置合せをした状態でかつ
第１ボンデイング部７1と先端面４との間に所定
の長さｌのワイヤ先端を挾んで当接するようにす
ると、ワイヤ２の先端部は所定長ｌの基部９で確
実に折れ曲り、所定長ｌのワイヤ２が第１ボンデ
イング部７1に圧接されるので、そのまま超音波
によりボンデイングを行う。従つて、ウエツジ１
の動作やボンデイングの所要時間をあまり増加さ
せることなく、確実に第１ボンデイングを行うこ
とができる。…第１図ｆ、第２図ではＦ点。
ら矢印１０のように斜めに下降させて第１ボンデ
イング部７1に正しく位置合せをした状態でかつ
第１ボンデイング部７1と先端面４との間に所定
の長さｌのワイヤ先端を挾んで当接するようにす
ると、ワイヤ２の先端部は所定長ｌの基部９で確
実に折れ曲り、所定長ｌのワイヤ２が第１ボンデ
イング部７1に圧接されるので、そのまま超音波
によりボンデイングを行う。従つて、ウエツジ１
の動作やボンデイングの所要時間をあまり増加さ
せることなく、確実に第１ボンデイングを行うこ
とができる。…第１図ｆ、第２図ではＦ点。
第１図ｅから第１図ｆ即ち、第２図Ｅ〜Ｆのウ
エツジ１の移動を第３図に拡大して示す。このよ
うに２点鎖線で示す状態から実線で示す状態に移
動させるには、例えば破線矢印のように前方下方
に斜めに円弧状にウエツジ１を下降せしめてもよ
いし、ウエツジ１を実線矢印のように前方下方に
斜めに直線的に下降せしめてもよい。いずれにし
ても、ウエツジ１のボンデイング部７1との相対
的高さをΔz2だけ下降させながら同時に第１ボン
デイング部７1に対して相対的にウエツジ１の前
方への向きにもΔy2だけ移動せしめて、ワイヤ２
が先端の所定長さｌの基部９で折曲される如くす
ればよいので、例えばＹ，Ｚ方向移動装置が基板
６の方に設けられている場合では基板６を移動さ
せることもできる。
エツジ１の移動を第３図に拡大して示す。このよ
うに２点鎖線で示す状態から実線で示す状態に移
動させるには、例えば破線矢印のように前方下方
に斜めに円弧状にウエツジ１を下降せしめてもよ
いし、ウエツジ１を実線矢印のように前方下方に
斜めに直線的に下降せしめてもよい。いずれにし
ても、ウエツジ１のボンデイング部７1との相対
的高さをΔz2だけ下降させながら同時に第１ボン
デイング部７1に対して相対的にウエツジ１の前
方への向きにもΔy2だけ移動せしめて、ワイヤ２
が先端の所定長さｌの基部９で折曲される如くす
ればよいので、例えばＹ，Ｚ方向移動装置が基板
６の方に設けられている場合では基板６を移動さ
せることもできる。
なお、上述の実施例ではワイヤカツトを行う前
にウエツジ１を移動させてワイヤ２のフイードを
行い、クランプスライダは等距離Δl1を往復動す
るだけでよいようにしたが、ワイヤ２のフイード
よりも先にワイヤカツトを行い、クランプスライ
ダをウエツジ１に対して移動させることによりフ
イードを行うようにしてもよい。
にウエツジ１を移動させてワイヤ２のフイードを
行い、クランプスライダは等距離Δl1を往復動す
るだけでよいようにしたが、ワイヤ２のフイード
よりも先にワイヤカツトを行い、クランプスライ
ダをウエツジ１に対して移動させることによりフ
イードを行うようにしてもよい。
本発明は、先端から第１ボンデイングに要する
長さのワイヤが繰り出されているボンデイングウ
エツジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せ
しめ、該位置からボンデイングウエツジを第１ボ
ンデイング部に対して相対的に該ウエツジの前方
下方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されて
いるワイヤを第１ボンデイング部に圧接するの
で、ワイヤの先端が第１ボンデイング部に接した
時点より後はウエツジ１の前方下方への下降動に
よりワイヤは所定長ｌの基部で確実に折り曲げら
れる。従つて、先端面とのなす角が45゜以上の急
な傾斜のガイド孔を有するウエツジを用いても確
実に第１ボンデイングを行うことができる。
長さのワイヤが繰り出されているボンデイングウ
エツジを第１ボンデイング部の上方付近に位置せ
しめ、該位置からボンデイングウエツジを第１ボ
ンデイング部に対して相対的に該ウエツジの前方
下方に斜めに下降せしめて先端から繰り出されて
いるワイヤを第１ボンデイング部に圧接するの
で、ワイヤの先端が第１ボンデイング部に接した
時点より後はウエツジ１の前方下方への下降動に
よりワイヤは所定長ｌの基部で確実に折り曲げら
れる。従つて、先端面とのなす角が45゜以上の急
な傾斜のガイド孔を有するウエツジを用いても確
実に第１ボンデイングを行うことができる。
第１図ａ〜ｆは動作説明図、第２図はタイムチ
ヤート図、第３図は動作の主要部の拡大説明図、
第４図ａ，ｂはそれぞれ従来用いられているウエ
ツジの説明図である。 １，１１…ウエツジ、２…ワイヤ、３，３１…
ガイド孔、４，４１…先端面、５…クランプ、６
…基板、７，７1…第１ボンデイング部、８，８1
…第２ボンデイング部、９…基部、１０，１２…
矢印。
ヤート図、第３図は動作の主要部の拡大説明図、
第４図ａ，ｂはそれぞれ従来用いられているウエ
ツジの説明図である。 １，１１…ウエツジ、２…ワイヤ、３，３１…
ガイド孔、４，４１…先端面、５…クランプ、６
…基板、７，７1…第１ボンデイング部、８，８1
…第２ボンデイング部、９…基部、１０，１２…
矢印。
Claims (1)
- １ ボンデイングウエツジを用いてワイヤボンデ
イングを行うワイヤボンデイング方法において、
先端から第１ボンデイングに要する長さのワイヤ
が繰り出されているボンデイングウエツジを第１
ボンデイング部の上方付近に位置せしめ、該位置
からボンデイングウエツジを第１ボンデイング部
に対して相対的に該ウエツジの前方下方に斜めに
下降せしめて先端から繰り出されているワイヤを
第１ボンデイング部に圧接せしめ、ボンデイング
ウエツジを超音波振動せしめてワイヤと第１ボン
デイング部との第１ボンデイングを行うことを特
徴とするワイヤボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62200004A JPS6444032A (en) | 1987-08-12 | 1987-08-12 | Wire bonding method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62200004A JPS6444032A (en) | 1987-08-12 | 1987-08-12 | Wire bonding method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6444032A JPS6444032A (en) | 1989-02-16 |
| JPH0465537B2 true JPH0465537B2 (ja) | 1992-10-20 |
Family
ID=16417195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62200004A Granted JPS6444032A (en) | 1987-08-12 | 1987-08-12 | Wire bonding method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6444032A (ja) |
-
1987
- 1987-08-12 JP JP62200004A patent/JPS6444032A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6444032A (en) | 1989-02-16 |
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