JPH0462486A - Icテストシステム - Google Patents
IcテストシステムInfo
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- JPH0462486A JPH0462486A JP2172369A JP17236990A JPH0462486A JP H0462486 A JPH0462486 A JP H0462486A JP 2172369 A JP2172369 A JP 2172369A JP 17236990 A JP17236990 A JP 17236990A JP H0462486 A JPH0462486 A JP H0462486A
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- JP
- Japan
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- test
- data
- workstation
- processor
- converter
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 135
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、ICテストシステムに関し、詳しくは、汎
用のワークステーションで制御できるようなICテスト
システムに関する。
用のワークステーションで制御できるようなICテスト
システムに関する。
[従来の技術]
通常、LSI等のICテストシステムでは、テスタバス
を介してテストプロセッサがタイミング発生装置やパタ
ーン発生装置、フォーマットコントローラ、テストステ
ーション、各種測定装置等をリアルタイムで高速に制御
してLSIの電気的な性能をテストし、その結果をフェ
イル解析メモリ等に収集する。
を介してテストプロセッサがタイミング発生装置やパタ
ーン発生装置、フォーマットコントローラ、テストステ
ーション、各種測定装置等をリアルタイムで高速に制御
してLSIの電気的な性能をテストし、その結果をフェ
イル解析メモリ等に収集する。
ICテストに必要なテスト項目や各種のテスト条件は、
テスト開始時点で設定されるが、最近では、メモリやロ
ジックの集積密度が向上して、テスト項目やテスト条件
が増加してきている。また、テストの結果得られるフェ
イル解析データの量も膨大なものになってきている。し
たがって、テストのための設定条件も多くなり、ICテ
スタの操作は、その仕様や動作を熟知した人でないとな
かなか取扱えないのが現状である。その上、出力された
テスト結果は、ICテスタ特有の表現となり、その体系
を知った人でないと理解し難いものとなっている。
テスト開始時点で設定されるが、最近では、メモリやロ
ジックの集積密度が向上して、テスト項目やテスト条件
が増加してきている。また、テストの結果得られるフェ
イル解析データの量も膨大なものになってきている。し
たがって、テストのための設定条件も多くなり、ICテ
スタの操作は、その仕様や動作を熟知した人でないとな
かなか取扱えないのが現状である。その上、出力された
テスト結果は、ICテスタ特有の表現となり、その体系
を知った人でないと理解し難いものとなっている。
[解決しようとする課題]
このような問題を解決するためにテスト項目や各種のテ
スト条件をマンマシンインタフェースを利用して画面上
で設定して入力できるようにすることが可能である。こ
れによりその種類が多くなっても比較的容易に設定でき
、ICテスタを熟知していない人でもその取扱いがし易
くなるが、ICテスタにマンマシンインタフェースを設
けると、それによる処理プログラムの増加のみならす、
マンマシンインタフェースの操作や条件設定データの処
理によりテスタ本来の性能が低下し、作業効率が落ちる
欠点がある。
スト条件をマンマシンインタフェースを利用して画面上
で設定して入力できるようにすることが可能である。こ
れによりその種類が多くなっても比較的容易に設定でき
、ICテスタを熟知していない人でもその取扱いがし易
くなるが、ICテスタにマンマシンインタフェースを設
けると、それによる処理プログラムの増加のみならす、
マンマシンインタフェースの操作や条件設定データの処
理によりテスタ本来の性能が低下し、作業効率が落ちる
欠点がある。
また、テスト結果を理解し易い形式で表示するためによ
りユーザ側で利用できる高級な言語で処理して出力する
ようにすることもできるが、それには、ICテスタにそ
れに応じた処理機能を付加することが必要であり、リア
ルタイムで動作するOSを主体とするICテスタでは、
そのOS上でのそのような処理機能を実現することは難
しく、前記の場合と同様にテスタの性能を低下させる。
りユーザ側で利用できる高級な言語で処理して出力する
ようにすることもできるが、それには、ICテスタにそ
れに応じた処理機能を付加することが必要であり、リア
ルタイムで動作するOSを主体とするICテスタでは、
そのOS上でのそのような処理機能を実現することは難
しく、前記の場合と同様にテスタの性能を低下させる。
この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、ICテスタの性能を低下させずに簡単に操
作ができるICテストシステムを提供することを目的と
する。
のであって、ICテスタの性能を低下させずに簡単に操
作ができるICテストシステムを提供することを目的と
する。
口課題を解決するための手段]
このような目的を達成するためのこの発明のICテスト
システムの構成は、タイミング発生装置やパターン発生
装置、フォーマットコントローラ、テストステーンヨ/
等の各種の装置を制御するテストプロセッサを有するI
Cテスタと、これに接続すしたマンマシンインタフェー
スを有スるワークステーションと、このワークステーシ
ョンからの指令に応じてテストプロセッサが得たテスト
結果についてのデータをワークステーションのOSで処
理されるデータに変換してワークステーショ/へ転送す
る処理をし、ワークステーションのOSで処理されたテ
ストプロセッサに対する指令情報を受けてテストプロセ
ッサのOSで処理される指令情報に変換し、かつ、ワー
クステーションのOSで処理されたテストプロセッサに
対スるテスト条件の設定データを受けてテストプロセッ
サのOSで処理されるテスト条件データに変換してテス
トプロセッサに転送するコンバータとを備えていて、コ
ンバータが指令情報及びテスト条件データをテストプロ
セッサの動作の空き時間にテストプロセッサに渡すもの
である。
システムの構成は、タイミング発生装置やパターン発生
装置、フォーマットコントローラ、テストステーンヨ/
等の各種の装置を制御するテストプロセッサを有するI
Cテスタと、これに接続すしたマンマシンインタフェー
スを有スるワークステーションと、このワークステーシ
ョンからの指令に応じてテストプロセッサが得たテスト
結果についてのデータをワークステーションのOSで処
理されるデータに変換してワークステーショ/へ転送す
る処理をし、ワークステーションのOSで処理されたテ
ストプロセッサに対する指令情報を受けてテストプロセ
ッサのOSで処理される指令情報に変換し、かつ、ワー
クステーションのOSで処理されたテストプロセッサに
対スるテスト条件の設定データを受けてテストプロセッ
サのOSで処理されるテスト条件データに変換してテス
トプロセッサに転送するコンバータとを備えていて、コ
ンバータが指令情報及びテスト条件データをテストプロ
セッサの動作の空き時間にテストプロセッサに渡すもの
である。
[作用コ
このヨウに、マンマシンインタフェースを有するワーク
ステーションとICテスタとの間にそれぞれのOSに適
合するデータフォーマットで双方向にデータを変換する
コンバータを設け、かつ、テストプロセッサ側に送出す
る変換データについてはテストプロセッサの動作の空き
時間に送出するようにしているので、ICテスタ側のテ
スト動作に影響を与えることなく、ワークステーション
側のマンマシンインタフェースとコンバータとを介して
テスト条件の設定を行い、テスト結果をコンバータトマ
ンマシンインタフェースとヲ介シて受けて画面上に適切
な状態で表示することができる。
ステーションとICテスタとの間にそれぞれのOSに適
合するデータフォーマットで双方向にデータを変換する
コンバータを設け、かつ、テストプロセッサ側に送出す
る変換データについてはテストプロセッサの動作の空き
時間に送出するようにしているので、ICテスタ側のテ
スト動作に影響を与えることなく、ワークステーション
側のマンマシンインタフェースとコンバータとを介して
テスト条件の設定を行い、テスト結果をコンバータトマ
ンマシンインタフェースとヲ介シて受けて画面上に適切
な状態で表示することができる。
その結果、ワークステーション側のOSに従ってテスト
結果のデータをより一般的で分かり易い状態で表示する
ことが可能になる。また、その結果、ICテスタの仕様
や動作を熟知していない人でも容易にICテスタの操作
ができ、かつ、ICテスタの性能を低下させずに、どこ
からでも回線等を介してより効率的なテストができる。
結果のデータをより一般的で分かり易い状態で表示する
ことが可能になる。また、その結果、ICテスタの仕様
や動作を熟知していない人でも容易にICテスタの操作
ができ、かつ、ICテスタの性能を低下させずに、どこ
からでも回線等を介してより効率的なテストができる。
[実施例コ
以下、この発日月の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第1図は、この発明のICテストシステムを適用した一
実施例のブロック図である。
実施例のブロック図である。
図において、■は、工Cテスタであり、リアルタイムO
S上で動作するプログラムを有するテストプロセッサ2
と、タイミング発生装置やパターン発生装置、フォーマ
ットコントローラ、テストステーション、フェイル解析
メモリ等のテストシステムハードウェア3とで構成され
ている。なお、8は、テスト対象となる被検査デバイス
(DUT)である。
S上で動作するプログラムを有するテストプロセッサ2
と、タイミング発生装置やパターン発生装置、フォーマ
ットコントローラ、テストステーション、フェイル解析
メモリ等のテストシステムハードウェア3とで構成され
ている。なお、8は、テスト対象となる被検査デバイス
(DUT)である。
4は、会話形式でウィンドウ処理ができる汎用OSであ
るUNIXを搭載したワークステーションであって、U
NIX上で動作する各種プログラムとそのマンマシンイ
ンタフェース(処理プログラム)を有するデータ処理部
5と、画面上においてICテスタ1にテスト条件を設定
するテスト条件処理プログラム6aとICテスタ1側か
ら転送されたテスト結果データ等を所定のフォーマット
で画面上に表示する高級な言語で作成されたテスタデー
タ表示処理プログラム6b等が格納されたメモリ6とを
備えている。
るUNIXを搭載したワークステーションであって、U
NIX上で動作する各種プログラムとそのマンマシンイ
ンタフェース(処理プログラム)を有するデータ処理部
5と、画面上においてICテスタ1にテスト条件を設定
するテスト条件処理プログラム6aとICテスタ1側か
ら転送されたテスト結果データ等を所定のフォーマット
で画面上に表示する高級な言語で作成されたテスタデー
タ表示処理プログラム6b等が格納されたメモリ6とを
備えている。
7は、ICテスタl側に内蔵されたコンバータであり、
UNIXで処理できるフォーマットのデータとICテス
タ1のリアルタイムOSで処理されるフォーマットデー
タとの相互変換を行う。コンバータ7は、内部に相互変
換のためのデータテーブル7aを有していて、ワークス
テーション4からの指令に応じて動作し、指令がテスト
結果の転送であるときにはテストプロセッサ2が得たテ
スト結果についてのデータをワークステーション4のO
Sで処理されるフォーマットにおいてワークステーショ
ン4側の対応するデータにデータ変換してワークステー
ション4に転送する。
UNIXで処理できるフォーマットのデータとICテス
タ1のリアルタイムOSで処理されるフォーマットデー
タとの相互変換を行う。コンバータ7は、内部に相互変
換のためのデータテーブル7aを有していて、ワークス
テーション4からの指令に応じて動作し、指令がテスト
結果の転送であるときにはテストプロセッサ2が得たテ
スト結果についてのデータをワークステーション4のO
Sで処理されるフォーマットにおいてワークステーショ
ン4側の対応するデータにデータ変換してワークステー
ション4に転送する。
また、ワークステーション4からの指令がテスト条件設
定であれば、それをテストプロセッサ2のリアルタイム
OS上で処理されるフォーマットにおいてテストプロセ
ッサ2側の対応データにデータ変換してテストプロセッ
サ2に渡す。さらに、テストプロセッサ2に対する動作
指令のときには、その動作指令をテストプロセッサ2に
対する対応の指令コードに変換してテストプロセッサ2
に送出する。
定であれば、それをテストプロセッサ2のリアルタイム
OS上で処理されるフォーマットにおいてテストプロセ
ッサ2側の対応データにデータ変換してテストプロセッ
サ2に渡す。さらに、テストプロセッサ2に対する動作
指令のときには、その動作指令をテストプロセッサ2に
対する対応の指令コードに変換してテストプロセッサ2
に送出する。
なお、コンバータ7がテストプロセッサ2側に変換した
指令コードやデータを送出するときには、テストプロセ
ッサ2の動作の空き時間において実行される。その関係
で、コンバータ7は、テストプロセッサ2から起動信号
8により起動がかけられてデータ送出動作に入る。この
起動の優先順位は、テスト動作の処理プログラムより低
いところに設定されている。
指令コードやデータを送出するときには、テストプロセ
ッサ2の動作の空き時間において実行される。その関係
で、コンバータ7は、テストプロセッサ2から起動信号
8により起動がかけられてデータ送出動作に入る。この
起動の優先順位は、テスト動作の処理プログラムより低
いところに設定されている。
次に、その動作を説明すると、マンマシンインタフェー
スによりテスト条件処理プログラム6aが起動されて、
ワークステーション4において、テスト条件が画面上で
入力され、ワークステーション4からテスト条件設定の
指令とテスト条件のデータとが転送されると、これを受
けたコンバータ7は、指令情報に応じて転送されたテス
ト条件のデータをテストプロセッサ2側のOSで処理で
きるデータのフォーマットでかつテストプロセッサ2側
の対応するデータに変換してテストプロセンサ2側に割
込みをかける。
スによりテスト条件処理プログラム6aが起動されて、
ワークステーション4において、テスト条件が画面上で
入力され、ワークステーション4からテスト条件設定の
指令とテスト条件のデータとが転送されると、これを受
けたコンバータ7は、指令情報に応じて転送されたテス
ト条件のデータをテストプロセッサ2側のOSで処理で
きるデータのフォーマットでかつテストプロセッサ2側
の対応するデータに変換してテストプロセンサ2側に割
込みをかける。
テストプロセッサ2は、この割込みによりテストプロセ
ッサ2の動作の空き時間に起動信号8を発生してコンバ
ータ7に起動をかけ、ワークステーション4から転送さ
れた変換後のデータをコンバータ7から受けて、それを
所定のテスト条件記憶領域に記憶する。
ッサ2の動作の空き時間に起動信号8を発生してコンバ
ータ7に起動をかけ、ワークステーション4から転送さ
れた変換後のデータをコンバータ7から受けて、それを
所定のテスト条件記憶領域に記憶する。
また、マンマシンインタフェースによりワークステーシ
ョン4からテスト開始指令が発生すると、これを受けた
コンバータ7は、前記と同様にテストプロセッサ2側に
割込みをかけ、テストプロセッサ2の動作の空き時間に
テストプロセッサ2により起動されてコンバータ7が動
作し、コンバータ7は、ワークステーション4から転送
されたテスト開始指令に対応するテスト開始指令情報を
発生してテストプロセッサ2に渡す。このときのテスト
開始指令情報は、テストプロセッサ2側のOSで処理さ
れ、デコードされるテスト開始指令情報となっている。
ョン4からテスト開始指令が発生すると、これを受けた
コンバータ7は、前記と同様にテストプロセッサ2側に
割込みをかけ、テストプロセッサ2の動作の空き時間に
テストプロセッサ2により起動されてコンバータ7が動
作し、コンバータ7は、ワークステーション4から転送
されたテスト開始指令に対応するテスト開始指令情報を
発生してテストプロセッサ2に渡す。このときのテスト
開始指令情報は、テストプロセッサ2側のOSで処理さ
れ、デコードされるテスト開始指令情報となっている。
これによりテストプロセッサ2は、先のテスト条件に従
ってテストを開始する。
ってテストを開始する。
なお、このような処理関係は、ICテスタ1のテスト停
止や中断等、その他の各種制御指令も同様である。
止や中断等、その他の各種制御指令も同様である。
マンマシンインタフェースによりワークステーション4
からテスト状態情報転送指令が発生すると、これを受け
たコンバータ7は、前記と同様にテストプロセッサ2側
に割込みをかけ、テストプロセッサ2の動作の空き時間
にコンバータ7が動作して、コンバータ7は、ワークス
テーション4から転送されたテスト状態情報転送指令に
基づきそれに対応した、テストプロセッサ2側のOSで
処理できるテスト状態転送指令情報を発生する。
からテスト状態情報転送指令が発生すると、これを受け
たコンバータ7は、前記と同様にテストプロセッサ2側
に割込みをかけ、テストプロセッサ2の動作の空き時間
にコンバータ7が動作して、コンバータ7は、ワークス
テーション4から転送されたテスト状態情報転送指令に
基づきそれに対応した、テストプロセッサ2側のOSで
処理できるテスト状態転送指令情報を発生する。
それをテストプロセッサ2に渡す。これによりテストプ
ロセッサ2は、現在のテスト状態を示すデータを所定の
記憶領域から読出してコンバータ7に転送する。コンバ
ータ7は、これをワークステーション4側のOSで処理
できるそれに対応するデータに変換してワークステーシ
ョン4側のOSのフォーマットにし、ワークステーショ
ン4に転送する。
ロセッサ2は、現在のテスト状態を示すデータを所定の
記憶領域から読出してコンバータ7に転送する。コンバ
ータ7は、これをワークステーション4側のOSで処理
できるそれに対応するデータに変換してワークステーシ
ョン4側のOSのフォーマットにし、ワークステーショ
ン4に転送する。
ワークステーション4では、このデータをメモリ6に記
憶した後にテスタデータ表示処理テログラム6bにより
処理し、所定の会話処理のフォーマットに乗せて指定さ
れた状態で表示する。その結果、ワークステーション4
の画面上には、従来と異なり、ユーザが設定した理解し
易い形式のフォーマットでテスト状況が表示される。
憶した後にテスタデータ表示処理テログラム6bにより
処理し、所定の会話処理のフォーマットに乗せて指定さ
れた状態で表示する。その結果、ワークステーション4
の画面上には、従来と異なり、ユーザが設定した理解し
易い形式のフォーマットでテスト状況が表示される。
マンマシンインタフェースによりワークステーション4
からテスト結果転送指令が発生したときも前記と同様で
あり、ワークステーション4は、コンバータ7を介して
テスト結果を受けて、UNIX上で作成されたテスタデ
ータ表示処理プログラム6bに従ってそれを画面上に所
定のフォーマントで表示する。
からテスト結果転送指令が発生したときも前記と同様で
あり、ワークステーション4は、コンバータ7を介して
テスト結果を受けて、UNIX上で作成されたテスタデ
ータ表示処理プログラム6bに従ってそれを画面上に所
定のフォーマントで表示する。
以上のようにして、ワークステーション4によりICテ
スタ1を制御し、得られたテスト結果のデータは、従来
と異なり、ワークステーション4の高級言語による処理
プログラムにより処理されC自由な形で表示される。
スタ1を制御し、得られたテスト結果のデータは、従来
と異なり、ワークステーション4の高級言語による処理
プログラムにより処理されC自由な形で表示される。
以上説明してきたが、実施例では、コンバータ7をIC
テスタ1側に内蔵しているが、これは、ワークステーシ
ョン4側に内蔵させてもよく、独■に設けられてもよい
。また、ワークステーション4とコンバータ7とは回線
により接続されていてもよい。
テスタ1側に内蔵しているが、これは、ワークステーシ
ョン4側に内蔵させてもよく、独■に設けられてもよい
。また、ワークステーション4とコンバータ7とは回線
により接続されていてもよい。
さらに、ワークステーションのOSを対話型処理機能を
有するUNIXを用いて説明しているが、これは、他の
汎用OSを用いてもよいことはもちろんである。
有するUNIXを用いて説明しているが、これは、他の
汎用OSを用いてもよいことはもちろんである。
[発明の効果コ
以上の説明から理解できるように、この発明にあっテハ
、マンマシンインタフェースヲ有スルワークステーショ
ンとICテスタとの間にそれぞれのOSに適合するデー
タフォーマ、ソトで双方向にデータを変換するコンバー
タを設け、かつ、テストプロセッサ側に送出する変換デ
ータについてはテストプロセッサの動作の空き時間に送
出するようにしているので、ICテスタ側のテスト動作
に影響を与えることなく、ワークステーション側のマン
マシンインタフェースとコンバータとを介してテスト条
件の設定を行い、テスト結果をコンノく−夕とマンマシ
ンインタフェースとを介して受けて画面上に適切な状態
で表示することができる。
、マンマシンインタフェースヲ有スルワークステーショ
ンとICテスタとの間にそれぞれのOSに適合するデー
タフォーマ、ソトで双方向にデータを変換するコンバー
タを設け、かつ、テストプロセッサ側に送出する変換デ
ータについてはテストプロセッサの動作の空き時間に送
出するようにしているので、ICテスタ側のテスト動作
に影響を与えることなく、ワークステーション側のマン
マシンインタフェースとコンバータとを介してテスト条
件の設定を行い、テスト結果をコンノく−夕とマンマシ
ンインタフェースとを介して受けて画面上に適切な状態
で表示することができる。
その結果、ワークステーション側のOSに従ってテスト
結果のデータをより一般的で分かり易い状態で表示する
ことが可能になる。また、その結LICテスタの仕様や
動作を熟知していない人でも容易にICテスタの操作が
でき、かつ、工Cテスタの性能を低下させずに、どこか
らでも回線等を介してより効率的なテストができる。
結果のデータをより一般的で分かり易い状態で表示する
ことが可能になる。また、その結LICテスタの仕様や
動作を熟知していない人でも容易にICテスタの操作が
でき、かつ、工Cテスタの性能を低下させずに、どこか
らでも回線等を介してより効率的なテストができる。
第1図は、この発明のICテストシステムを適用した一
実施例のブロック図である。 1・・・ICテスタ、2・・・テストブロセ・ソサ、3
・・・テストンステムハードウエア、4・・・ワークス
テーション、5・・・データ処理部、6a・・・条件設
定処理プログラム、 6b・・・テスト結果表示処理プログラム、7・・・コ
ンバータ。
実施例のブロック図である。 1・・・ICテスタ、2・・・テストブロセ・ソサ、3
・・・テストンステムハードウエア、4・・・ワークス
テーション、5・・・データ処理部、6a・・・条件設
定処理プログラム、 6b・・・テスト結果表示処理プログラム、7・・・コ
ンバータ。
Claims (1)
- (1)タイミング発生装置やパターン発生装置、フォー
マットコントローラ、テストステーション等の各種の装
置を制御するテストプロセッサを有するICテスタと、
これに接続されたマンマシンインタフェースを有するワ
ークステーションと、このワークステーションからの指
令に応じて前記テストプロセッサが得たテスト結果につ
いてのデータを前記ワークステーションに搭載されたO
Sで処理されるデータに変換して前記ワークステーショ
ンへ転送する処理をし、前記ワークステーションのOS
で処理された前記テストプロセッサに対する指令情報を
受けて前記テストプロセッサに搭載されたOSで処理さ
れる指令情報に変換し、かつ、前記ワークステーション
のOSで処理された前記テストプロセッサに対するテス
ト条件の設定データを受けて前記テストプロセッサのO
Sで処理されるテスト条件データに変換して前記テスト
プロセッサに転送するコンバータとを備え、前記コンバ
ータは、前記指令情報及びテスト条件データを前記テス
トプロセッサの動作の空き時間に前記テストプロセッサ
に渡すことを特徴とするICテストシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2172369A JPH0462486A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Icテストシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2172369A JPH0462486A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Icテストシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0462486A true JPH0462486A (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=15940631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2172369A Pending JPH0462486A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Icテストシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0462486A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996020409A1 (fr) * | 1994-12-28 | 1996-07-04 | Advantest Corporation | Dispositif de transfert grande vitesse de gabarits d'essai pour l'essai des semi-conducteurs |
JP2008216030A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験システム |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2172369A patent/JPH0462486A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996020409A1 (fr) * | 1994-12-28 | 1996-07-04 | Advantest Corporation | Dispositif de transfert grande vitesse de gabarits d'essai pour l'essai des semi-conducteurs |
US5796753A (en) * | 1994-12-28 | 1998-08-18 | Advantest Corp. | High speed test pattern transfer apparatus for semiconductor test system |
JP2008216030A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験システム |
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