JPH0451911Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば洗浄工程において、被洗浄物
を蒸気により洗浄するまたは乾燥工程において乾
燥する蒸気槽に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の装置としては、第４図に示すも
のがあつた。

なお、この装置は例えばイソプロピルアルコー
ルで被洗浄物を洗浄した後、被洗浄物を乾燥する
工程に用いたときのものである。この蒸気槽１
は、凸字状の外槽２と、この外槽２の上方に複数
配設された、蒸気冷却部である凝縮コイル３と、
この凝縮コイル３により蒸気が冷却され、液化さ
れた液体を収容する、外槽２の内側面２ａに固設
されたＬ字状の収容部４と、蒸気用液体であるフ
ロン液５を加熱するための温水を貯蔵している温
水貯蔵部６とを具備しているものである。なお、
収容部４は、複数の凝縮コイル３の下方に配置
し、この凝縮コイル３により生じた液体を容易に
収容できるようにしている。また、この装置１の
内部には、例えば、この蒸気槽１に５インチ×５
インチ×0.09インチのガラス基板等の被洗浄物７
を（被処理物）を配置し、フロン液５から生じた
フロンガス８により被洗浄物７を乾燥すると、被
洗浄物７に付着した、前述のイソプロピルアルコ
ールが下に流れることから、この流れたイソプロ
ピルアルコールを受けるための受け皿９がその引
掛部９ａを収容部４に引掛けて配設されている。
また、この受け皿９は、第５図に示すように、一
対の引掛部９ａと、この引掛部９ａを固設した固
設壁９ｂと、この固設壁９ｂに隣接した、一対の
側壁９ｃ，９ｃとを備え、これら固設壁９ｂ、側
壁９ｃ，９ｃはそれぞれ傾斜した底面９ｄの周縁
に固着しており、固設壁９ｂに対向するところ
は、イソプロピルアルコールが流れでるように開
口している。また、受け皿９から流出したイソプ
ロピルアルコールを受けるための樋１０（断面Ｌ
字状の直状物で、その長さは底面９ｄの長さL₁
以上である。）を配置し、この樋１０から配管１
１を介してイソプロピルアルコールを外槽２から
排出している。また、温水貯蔵部６には温水を加
熱するためのヒータ１２が内在し、さらにフロン
液５が存在しているところには、フロン液５を加
熱するために、温水が循環する温水用配管１３が
配設されており、この温水用配管１３にはポンプ
Ｐが配設されて、このポンプＰにより、温水を温
水用配管１３内に流す。

次に、この蒸気槽１により、被洗浄物をイソプ
ロピルアルコールで洗浄した後乾燥する方法を以
下に述べる。

先ず、温水（約70℃）を温水用配管１３内に循
環して、フロン液５を加熱し、フロン液５を気化
してフロンガス８（蒸気）とし、凝縮コイル３近
傍までフロンガス８を外槽２内に充満させる。次
にイソプロピルアルコールで洗浄した被洗浄物７
を、受け皿９の上方で、かつ効率よく乾燥させる
ために収容部４よりも下の位置に配置し、フロン
ガス８により被洗浄物７を乾燥させる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の蒸気槽１では、収容部４
に収容した液体により収容部４も冷却され、この
収容部４の冷却により、収容部４の周囲のフロン
ガス８も冷却され、収容部４の外面にフロンから
なる水滴が付着し、収容部４に付着した水滴が落
下して（矢印Ａ，Ｂ）直接被洗浄物７に被着した
り、また水滴が受け皿９により跳ね返つて被洗浄
物７に被着して汚染し、清浄な被洗浄物７が得ら
れない問題点があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は前述した問題点を除去するためになさ
れたもので、加熱により蒸気となる蒸気用液体を
下方に内在する外槽と、前記外槽内の上方に設け
られた蒸気冷却部と、前記蒸気用液体と前記蒸気
冷却部との間の前記外槽の内側面に設けられた、
前記蒸気冷却部により蒸気が冷却され、液化した
液体を収容する収容部と、前記蒸気用液体と前記
蒸気冷却部との間で収容部の内側に配設された、
被処理物を収納する、側面と底面とを有している
内槽とを具備し、かつ前記内槽の一対の対向する
側面に切欠部を設け、前記切欠部の上部にひさし
状物が設けられ、さらに前記内槽の側面の上端が
前記収容部の底壁の外面上方に延在していること
を特徴とする蒸気槽である。

〔作用〕

内槽内に被処理物を収納し、かつ内槽の側面の
上端が収容部の底壁の外面上方に延在しているこ
とから、収容部からの水滴を内槽内に落下するこ
とを防止でき、内槽の側面に切欠部を設けて蒸気
を内槽内に入れるようにし、さらにこの切欠部の
上部にひさし状物を設けていることから、このひ
さし状物により、より内槽内に蒸気が入りやすく
なると共に上方から水滴を切欠部から入ることを
防止している。

〔実施例〕

本例の蒸気槽２０を第１図、第２図及び第３図
に基づき詳細に説明する。なお、第１図は本例の
蒸気槽２０を示す断面図であり、第２図は第１図
の部分拡大断面図であり、第３図は本例の蒸気槽
２０の内槽２１を示す斜視図である。また、外槽
２、蒸気冷却部３、収容部４、フロン液５、温水
貯蔵部６、被洗浄物７、フロンガス８、樋１０、
配管１１、ヒータ１２、温水用配管１３及びポン
プＰは従来の蒸気槽１と同様であることから説明
を省略する。また、本例の蒸気槽２０も従来の蒸
気槽１と同様に、乾燥工程に用いられるものであ
る。

先ず、本例の蒸気槽２０の内槽２１を第３図に
基づいて説明する。この内槽２１は４つの側面２
２，２３，２４，２５と、対向する側面２４，２
５の側面２５側から側面２４側に向つて傾斜して
いる底面２６とを備えたものである。また、各側
面２２〜２５の上端２２ａ，２３ａ，２４ａ，２
５ａ近傍には、収容部４の上端４ａに引掛けるた
めの略コの字状の引掛具２７が固設されており、
この引掛具２７の下面２７ａと各側面２２〜２５
の上端２２ａ〜２５ａとは高さを実質的に一致さ
せている。また、側面２４の下方には、被洗浄物
に付着している洗浄液（例えばイソプロピルアル
コール）を内槽２１外に排出するための開口２８
が形成されており、また開口２８の底面２６の側
部２６ａには、開口２８から樋１０に洗浄液を排
出するための円孤面２９ａを形成した排出道２９
が連結されており、この排出道２９の長手方向両
端には洗浄液が左右に流出しないように流出防止
部２９ｂが付設されている。なお、排出道２９の
長さL2は、樋１０の長さよりも短い。また、一
対の対向する側面２３，２３のそれぞれには、矩
形状の切欠部２２ｂと２３ｂとが相対向して形成
され、この切欠部２２ｂ，２３ｂの上部には弓状
のひさし状物２２ｃと２３ｃが、上方に向つて凸
状となるように付設されている。

なお、この内槽２１の長さは400mm、幅は300
mm、側面２４側の高さ300mm及び側面２５側の高
さ250mmであり、切欠部２２ｂ，２３ｂは幅50mm
であり、長さは側面２４側から順次150mm、140
mm、130mmである。また、ひさし状物２２ｃ，２
３ｃの幅も50mmであり、その長さ（弓状の弦の長
さ）で50mmである。また内槽２１の材質はステン
レスである。

次に、この内槽２１を蒸気槽２０の外槽２内に
配設、保持した状態を第１図〜第３図に基づき説
明する。

先ず、内槽２１の側面２２〜２５のそれぞれの
引掛具２７を収容部４の上端４ａに引掛る。この
とき、収容部４の上端４ａと側面２２〜２５の上
端２２ａ〜２５ａとは実質的に同一の高さとな
る。またこのように内槽２１を収容部４に保持す
ると、排出道２９が樋１０の位置にくる。

次に、この蒸気槽２０により、イソプロピルア
ルコールで洗浄された被洗浄物７を乾燥する方法
を述べる。従来の蒸気槽１と同様に、フロンガス
８を発生し、外槽２内にフロンガス２を充満する
と共に、切欠部２２ｂ，２３ｂからフロンガス８
を入れ、内槽２１内もフロンガス８で充満する。
なおこのとき、ひさし状物２２ｃ，２３ｃが前述
した形状であることから容易に内槽２１内にフロ
ンガス８を入れることができる。次に、この内槽
２１内に被洗浄物７を収納してフロンガス８によ
り乾燥する。この乾燥時において、被洗浄物７に
付着したイソプロピルアルコールが下に流れ、内
槽２１の底面２６に沿つて、排出道２９から樋１
０に排出される。その後、所定時間乾燥した後被
洗浄物７を蒸気槽２０から取り出し乾燥を終了す
る。

本例によれば、内槽２１の各側面２２〜２５が
収容部４の内側に配置され、かつその上端２２ａ
〜２５ａが収容部４の上端４ａと高さを実質的に
一致させていることから、収容部４に付着したフ
ロンからなる水滴が落下しても内槽２１内には入
らず被洗浄物７を汚染することはない。また、内
槽２１の切欠部２２ｂ，２３ｂの上部に、前述し
た形状のひさし状物２２ｃ，２３ｃを付設してい
ることから、たとえ側面２２，２３に沿つて下方
に水滴が流れても、このひさし状物２２ｃ，２３
ｃによつて、切欠部２２ｂ，２３ｂから内槽２１
内に入ることも防止できる。

本考案は前記実施例に限らず下記のものであつ
てもよい。先ず、内槽２１の側面２２〜２５の上
端２２ａ〜２５ａは、収容部４の底壁の外面４ｂ
より上方に位置すればよく、望ましくは、収容部
４の側壁の外面４ｃに付着した水滴を確実に内槽
２１内にいれないために、上端２２ａ〜２５ａを
収容部４の上端４ａと実質的に高さを一致させる
かまたは上端４ａより高くした方がよい。また、
切欠部は、一対の対向する側面２２，２３に設け
たが、もう一方の一対の側面２４，２５に設けて
もよく、その数や形状も適宜決定すればよい。ま
た切欠部を相対向して設けなくてもよい。また、
ひさし状物の形状も弓状でかつ上方に凸状でなく
てもよく、例えば平板状であつてもよいが、フロ
ンガス等の蒸気を効率よく切欠部から内槽内にい
れるために、前記実施例の形状のものがよい。ま
た、引掛具の形状、個数は適宜決定すればよい。
また、前記実施例では内槽の底面が傾斜していた
が、被処理物に付着した液体がないときは、傾斜
させなくてもよい。例えば、前記実施例の蒸気槽
で予備乾燥し、次に本乾燥をするとき等である。
なお、底面を傾斜させない内槽のときは前記実施
例の排出道２９は不要となる。また、内槽の形状
は外槽の内側面の形状を鑑みて決定すればよい。
さらに、前記実施例では乾燥用蒸気としてフロン
ガスを用いたが、他のガスであつてもよく、また
前記実施例では乾燥工程において蒸気槽を用いた
が、本考案の蒸気槽は、洗浄工程、すなわち蒸気
洗浄工程にも用いることができる。

〔考案の効果〕

以上のとおり本考案によれば、蒸気槽の収容部
の付着した、蒸気が液化した水滴による被処理物
の汚染を防止でき清浄な被処理物を得ることがで
きることから、被処理物の品質を向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の蒸気槽の一実施例を示す断面
図であり、第２図は第１図の収容部４近傍の部分
拡大断面図であり、第３図は本考案の蒸気槽の一
実施例の内槽を示す斜視図である。第４図は従来
の蒸気槽を示す断面図であり、第５図は従来の蒸
気槽の受け皿を示す斜視図である。 ２……外槽、３……凝縮コイル、４……収容
部、４ａ……上端、４ｂ……底壁の外面、４ｃ…
…側壁の外面、５……フロン液、６……温水貯蔵
部、７……被処理物、８……フロンガス、２０…
…蒸気槽、２１……内槽、２２〜２５……側面、
２２ａ〜２５ａ……上端、２２ｂ，２３ｂ……切
欠部、２２ｃ，２３ｃ……ひさし状物、２６……
底面、２７……引掛具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 加熱により蒸気となる蒸気用液体を下方に内在
   する外槽と、前記外槽内の上方に設けられた蒸気
   冷却部と、前記蒸気用液体と前記蒸気冷却部との
   間の前記外槽の内側面に設けられた、前記蒸気冷
   却部により蒸気が冷却され、液化した液体を収容
   する収容部と、前記蒸気用液体と前記蒸気冷却部
   との間で収容部の内側に配設された、被処理物を
   収納する、側面と底面とを有している内槽とを具
   備し、かつ前記内槽の一対の対向する側面に切欠
   部を設け、前記切欠部の上部にひさし状物が設け
   られ、さらに前記内槽の側面の上端が前記収容部
   の底壁の外面上方に延在していることを特徴とす
   る蒸気槽。