JPH0335431Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は有機溶剤を用いた洗浄装置に関し、有
機溶剤蒸気の槽外への漏出を防止するよう企図し
たものである。

＜従来の技術＞ 半導体製品やメツキ製品などは最終工程におい
て洗浄され、製作中に製品に付着したゴミや油等
が除かれる。このような製品を洗浄するのには、
一般に有機溶剤、例えば、トリクロロエチレン
（CHCl＝CCl₂）、テトラクロロエチレン（CCl₂＝
CCl₂）、１，１，１−トリクロエタン
（CH₃CCl₃）、メチレンクロライド（CH₂Cl₂）、
１，１，２−トリクロルトリフルオルエタン
（CCl₂F−CCl₂F）等を用いる。

このような有機溶剤を使用して洗浄を行う有機
溶剤洗浄装置の一例を、第２図を参照しつつ説明
する。洗浄槽１は、仕切板２，３により、温浴槽
４、冷却槽５及び蒸気槽６に分れている。そして
温浴槽４の底面には加熱ヒータ７が、冷却槽５の
底面には冷却パイプ８が、蒸気槽６の底面には加
熱ヒータ９がそれぞれ配置されている。また温浴
槽４と蒸気槽６とはパイプ１０により通過してい
る。一方、洗浄槽１の内壁には冷却管１１及び回
収樋１２が備えられている。

各槽４，５，６にはそれぞれ有機溶剤１３が貯
留されており、温浴槽４内の有機溶剤１３は加熱
ヒータ７により暖められており、冷却槽５内の有
機溶剤１３は冷却パイプ８により冷却されてお
り、蒸気槽６内の有機溶剤１３は加熱ヒータ９で
加熱されて高温となつておりその液面からは有機
溶剤蒸気１４が多量に発生している。

立ち昇つた有機溶剤蒸気１４は冷却管１１に接
触して凝縮し、凝縮して液滴となつた有機溶剤は
回収槽１０に落下して洗浄槽１外に回収される。
回収した有機溶剤は、図示しないパイプにより冷
却槽５に流入される。そうすると、冷却槽５内の
有機溶剤１３は、回収樋１２からの流入量と同量
だけ、仕切板２を溢流して温浴槽４に流入する。
この結果同様に、温浴槽４内の有機溶剤１３は、
冷却槽５からの流入量と同量だけ、パイプ１０を
流通して蒸気槽６に流入する。したがつて有機溶
剤１３は洗浄槽１内で循環して使用される。この
場合、蒸気槽６で多量の有機溶剤蒸気１４が発生
するように蒸気槽６内の有機溶剤１３の量を少な
くしている。

このような有機溶剤洗浄装置により洗浄を行な
う手順を述べる。

(イ) 被洗浄物を、温浴槽４内の温かい有機溶剤１
３中に浸漬してい洗浄する。

(ロ) 温浴槽４から引き上げた被洗浄物を、こんど
は冷却槽５内の冷たい有機溶剤１３中に浸漬し
て冷却する。

(ハ) 冷却槽５から引き上げた被洗浄物を、蒸気槽
６の上方にかざす。そうすると有機溶剤蒸気１
４が被洗浄物の表面で凝縮して液滴となり、こ
の液滴となつた有機溶剤により完全な洗浄がな
される。

(ニ) 被洗浄物の温度が上昇し、被洗浄物の表面に
有機溶剤蒸気が凝縮しなくなつたところで、被
洗浄物を取り出す。

＜考案が解決しようとする問題点＞ かかる有機溶剤洗浄装置では、蒸気槽６から有
機溶剤蒸気１４が発生し、その一部が洗浄槽１の
外に漏出する。即ち、冷却管１１及び回収樋１２
によつて有機溶剤蒸気１４を凝縮、回収すれば、
有機溶剤蒸気１４が洗浄槽１の上面開口から漏出
することをある程度は少なくできるが、未だ充分
ではないのである。このため、溶剤の損失が依然
として多く、不経済であり、しかも漏出した有機
溶剤蒸気１４が作業者の健康を害する等の恐れも
ある。

こうした欠点を除くには、洗浄槽１の高さを高
くしたり、冷却管１１の温度を更に低くして回収
効率を上げることが考えられるが、このようにす
ると新たな問題が発生してしまう。つまり、前者
の場合には、被洗浄物を吊り下げながら次々と各
槽中に浸漬する作業が行ない難くなる。また、後
者の場合には、洗浄槽１内の温度が必要以上に低
くなるため、洗浄槽１から引き上げる途中で被洗
浄物が冷えすぎ、洗浄槽１外に出た位置で空気中
の水分が冷たい被洗浄物上で凝縮してしまい、不
適当である。従つて、冷却管１１の温度はせいぜ
い＋10℃〜＋15℃にしか設定できないのが実情で
ある。

本考案は、上記の状況に鑑み、作業効率及び洗
浄効果を良好に保持しつつ有機溶剤蒸気の漏出を
大幅に減少させることのできる装置を提供するこ
とにある。

＜問題点を解決するための手段＞ 上記問題点を解決する本考案の構成は、有機溶
剤が収容された洗浄槽と、洗浄槽内の有機溶剤を
加熱する加熱手段と、洗浄槽内の有機溶剤蒸気を
凝縮するため洗浄槽の内壁に沿い配管された冷却
管とを有する洗浄装置において、 前記内壁のうち前記冷却管よりも下方に配置さ
れた底深の吸引樋と、この吸引樋内に配置されて
吸引樋内の有機溶剤蒸気の蒸気圧を零ないしほぼ
零にするよう冷却する過冷却管を備えたことを特
徴とする。

＜実施例＞ 以下本考案の実施例を図面に基づき詳細に説明
する。なお従来技術と同一部分は、同一符号を付
し説明を簡略にする。

第１図に示すように、洗浄槽１内の各槽４，
５，６には有機溶剤１３が収容されている。加熱
して発生した有機溶剤蒸気１４は、洗浄槽１内に
充満し、更に丈夫では冷却管１１で凝縮して回収
される。

更に本実施例では、冷却管１１の下方に位置し
て吸引樋２０が、洗浄槽１の内壁に配置されてい
る。この吸引樋２０は底深であり、その内部には
過冷却管２１が配管されている。過冷却管２１内
には−15℃となつている冷媒を流通させている。
このため、吸引樋２０内では、有機溶剤蒸気１４
の蒸気圧が零ないしほぼ零となる温度（例えば−
10℃）となり、過冷却管２１により多量の有機溶
剤蒸気１４が凝縮されることになる。

かかる本実施例では、吸引樋２０内の有機溶剤
蒸気１４の濃度は、洗浄槽１の作業空間２２の有
機溶剤蒸気１４の濃度よりも低くなる。換言すれ
ば、作業空間２２側のガス濃度が高く、吸引樋２
０内のガス濃度が低いため、両者間に濃度勾配が
発生する。従つて、溶剤液面から沸騰して洗浄槽
１内に充満した有機溶剤蒸気１４は、図示矢印Ａ
の如くに吸引樋２０に向つて流動する。こうして
吸引樋２０内に吸引された有機溶剤蒸気１４は過
冷却管２１により冷却されて凝縮する。凝縮され
た有機溶剤は吸引樋２０を通つて洗浄槽１外に回
収され、その後に処理されてから、再使用され
る。

また、吸引樋２０は底深となつているため過冷
却（−10℃程度）となつている空気が作業空間２
２に流入することはない。

このように吸引樋２０に向か有機溶剤蒸気が流
れ込むため、有機溶剤蒸気１４が洗浄槽１の上面
開口から漏出することを十二分に防止し、効率良
く回収、再使用することができる。この結果、洗
浄、乾燥作業を効率良くかつ安全に行うことがで
きる。

＜考案の効果＞ 以上実施例とともに具体的に説明したように本
考案によれば、濃度勾配を利用して有機溶剤蒸気
を吸引樋に向い流れるようにしたため、有機溶剤
蒸気の槽外への漏出を効果的に防止することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図
は従来技術を示す構成図である。 図面中、１は洗浄槽、７，９は加熱ヒータ、１
１は冷却管、１２は回収樋、１３は有機溶剤、１
４は有機溶剤蒸気、２０は吸引樋、２１は過冷却
管、２２は作業空間である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 有機溶剤が収容された洗浄槽と、洗浄槽内の有
   機溶剤を加熱する加熱手段と、洗浄層内の有機溶
   剤蒸気を凝縮するため洗浄槽の内壁に沿い配管さ
   れた冷却管とを有する洗浄装置において、 前記内壁のうち前記冷却管よりも下方に配置さ
   れた底深の吸引樋と、この吸引樋内に配管されて
   吸引樋内の有機溶剤蒸気の蒸気圧を零ないしほぼ
   零にするよう冷却する過冷却管を備えたことを特
   徴とする洗浄装置。