JPH0335431Y2 - - Google Patents
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- JPH0335431Y2 JPH0335431Y2 JP3258487U JP3258487U JPH0335431Y2 JP H0335431 Y2 JPH0335431 Y2 JP H0335431Y2 JP 3258487 U JP3258487 U JP 3258487U JP 3258487 U JP3258487 U JP 3258487U JP H0335431 Y2 JPH0335431 Y2 JP H0335431Y2
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- Japan
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- organic solvent
- tank
- cleaning
- cleaning tank
- solvent vapor
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
<産業上の利用分野>
本考案は有機溶剤を用いた洗浄装置に関し、有
機溶剤蒸気の槽外への漏出を防止するよう企図し
たものである。
機溶剤蒸気の槽外への漏出を防止するよう企図し
たものである。
<従来の技術>
半導体製品やメツキ製品などは最終工程におい
て洗浄され、製作中に製品に付着したゴミや油等
が除かれる。このような製品を洗浄するのには、
一般に有機溶剤、例えば、トリクロロエチレン
(CHCl=CCl2)、テトラクロロエチレン(CCl2=
CCl2)、1,1,1−トリクロエタン
(CH3CCl3)、メチレンクロライド(CH2Cl2)、
1,1,2−トリクロルトリフルオルエタン
(CCl2F−CCl2F)等を用いる。
て洗浄され、製作中に製品に付着したゴミや油等
が除かれる。このような製品を洗浄するのには、
一般に有機溶剤、例えば、トリクロロエチレン
(CHCl=CCl2)、テトラクロロエチレン(CCl2=
CCl2)、1,1,1−トリクロエタン
(CH3CCl3)、メチレンクロライド(CH2Cl2)、
1,1,2−トリクロルトリフルオルエタン
(CCl2F−CCl2F)等を用いる。
このような有機溶剤を使用して洗浄を行う有機
溶剤洗浄装置の一例を、第2図を参照しつつ説明
する。洗浄槽1は、仕切板2,3により、温浴槽
4、冷却槽5及び蒸気槽6に分れている。そして
温浴槽4の底面には加熱ヒータ7が、冷却槽5の
底面には冷却パイプ8が、蒸気槽6の底面には加
熱ヒータ9がそれぞれ配置されている。また温浴
槽4と蒸気槽6とはパイプ10により通過してい
る。一方、洗浄槽1の内壁には冷却管11及び回
収樋12が備えられている。
溶剤洗浄装置の一例を、第2図を参照しつつ説明
する。洗浄槽1は、仕切板2,3により、温浴槽
4、冷却槽5及び蒸気槽6に分れている。そして
温浴槽4の底面には加熱ヒータ7が、冷却槽5の
底面には冷却パイプ8が、蒸気槽6の底面には加
熱ヒータ9がそれぞれ配置されている。また温浴
槽4と蒸気槽6とはパイプ10により通過してい
る。一方、洗浄槽1の内壁には冷却管11及び回
収樋12が備えられている。
各槽4,5,6にはそれぞれ有機溶剤13が貯
留されており、温浴槽4内の有機溶剤13は加熱
ヒータ7により暖められており、冷却槽5内の有
機溶剤13は冷却パイプ8により冷却されてお
り、蒸気槽6内の有機溶剤13は加熱ヒータ9で
加熱されて高温となつておりその液面からは有機
溶剤蒸気14が多量に発生している。
留されており、温浴槽4内の有機溶剤13は加熱
ヒータ7により暖められており、冷却槽5内の有
機溶剤13は冷却パイプ8により冷却されてお
り、蒸気槽6内の有機溶剤13は加熱ヒータ9で
加熱されて高温となつておりその液面からは有機
溶剤蒸気14が多量に発生している。
立ち昇つた有機溶剤蒸気14は冷却管11に接
触して凝縮し、凝縮して液滴となつた有機溶剤は
回収槽10に落下して洗浄槽1外に回収される。
回収した有機溶剤は、図示しないパイプにより冷
却槽5に流入される。そうすると、冷却槽5内の
有機溶剤13は、回収樋12からの流入量と同量
だけ、仕切板2を溢流して温浴槽4に流入する。
この結果同様に、温浴槽4内の有機溶剤13は、
冷却槽5からの流入量と同量だけ、パイプ10を
流通して蒸気槽6に流入する。したがつて有機溶
剤13は洗浄槽1内で循環して使用される。この
場合、蒸気槽6で多量の有機溶剤蒸気14が発生
するように蒸気槽6内の有機溶剤13の量を少な
くしている。
触して凝縮し、凝縮して液滴となつた有機溶剤は
回収槽10に落下して洗浄槽1外に回収される。
回収した有機溶剤は、図示しないパイプにより冷
却槽5に流入される。そうすると、冷却槽5内の
有機溶剤13は、回収樋12からの流入量と同量
だけ、仕切板2を溢流して温浴槽4に流入する。
この結果同様に、温浴槽4内の有機溶剤13は、
冷却槽5からの流入量と同量だけ、パイプ10を
流通して蒸気槽6に流入する。したがつて有機溶
剤13は洗浄槽1内で循環して使用される。この
場合、蒸気槽6で多量の有機溶剤蒸気14が発生
するように蒸気槽6内の有機溶剤13の量を少な
くしている。
このような有機溶剤洗浄装置により洗浄を行な
う手順を述べる。
う手順を述べる。
(イ) 被洗浄物を、温浴槽4内の温かい有機溶剤1
3中に浸漬してい洗浄する。
3中に浸漬してい洗浄する。
(ロ) 温浴槽4から引き上げた被洗浄物を、こんど
は冷却槽5内の冷たい有機溶剤13中に浸漬し
て冷却する。
は冷却槽5内の冷たい有機溶剤13中に浸漬し
て冷却する。
(ハ) 冷却槽5から引き上げた被洗浄物を、蒸気槽
6の上方にかざす。そうすると有機溶剤蒸気1
4が被洗浄物の表面で凝縮して液滴となり、こ
の液滴となつた有機溶剤により完全な洗浄がな
される。
6の上方にかざす。そうすると有機溶剤蒸気1
4が被洗浄物の表面で凝縮して液滴となり、こ
の液滴となつた有機溶剤により完全な洗浄がな
される。
(ニ) 被洗浄物の温度が上昇し、被洗浄物の表面に
有機溶剤蒸気が凝縮しなくなつたところで、被
洗浄物を取り出す。
有機溶剤蒸気が凝縮しなくなつたところで、被
洗浄物を取り出す。
<考案が解決しようとする問題点>
かかる有機溶剤洗浄装置では、蒸気槽6から有
機溶剤蒸気14が発生し、その一部が洗浄槽1の
外に漏出する。即ち、冷却管11及び回収樋12
によつて有機溶剤蒸気14を凝縮、回収すれば、
有機溶剤蒸気14が洗浄槽1の上面開口から漏出
することをある程度は少なくできるが、未だ充分
ではないのである。このため、溶剤の損失が依然
として多く、不経済であり、しかも漏出した有機
溶剤蒸気14が作業者の健康を害する等の恐れも
ある。
機溶剤蒸気14が発生し、その一部が洗浄槽1の
外に漏出する。即ち、冷却管11及び回収樋12
によつて有機溶剤蒸気14を凝縮、回収すれば、
有機溶剤蒸気14が洗浄槽1の上面開口から漏出
することをある程度は少なくできるが、未だ充分
ではないのである。このため、溶剤の損失が依然
として多く、不経済であり、しかも漏出した有機
溶剤蒸気14が作業者の健康を害する等の恐れも
ある。
こうした欠点を除くには、洗浄槽1の高さを高
くしたり、冷却管11の温度を更に低くして回収
効率を上げることが考えられるが、このようにす
ると新たな問題が発生してしまう。つまり、前者
の場合には、被洗浄物を吊り下げながら次々と各
槽中に浸漬する作業が行ない難くなる。また、後
者の場合には、洗浄槽1内の温度が必要以上に低
くなるため、洗浄槽1から引き上げる途中で被洗
浄物が冷えすぎ、洗浄槽1外に出た位置で空気中
の水分が冷たい被洗浄物上で凝縮してしまい、不
適当である。従つて、冷却管11の温度はせいぜ
い+10℃〜+15℃にしか設定できないのが実情で
ある。
くしたり、冷却管11の温度を更に低くして回収
効率を上げることが考えられるが、このようにす
ると新たな問題が発生してしまう。つまり、前者
の場合には、被洗浄物を吊り下げながら次々と各
槽中に浸漬する作業が行ない難くなる。また、後
者の場合には、洗浄槽1内の温度が必要以上に低
くなるため、洗浄槽1から引き上げる途中で被洗
浄物が冷えすぎ、洗浄槽1外に出た位置で空気中
の水分が冷たい被洗浄物上で凝縮してしまい、不
適当である。従つて、冷却管11の温度はせいぜ
い+10℃〜+15℃にしか設定できないのが実情で
ある。
本考案は、上記の状況に鑑み、作業効率及び洗
浄効果を良好に保持しつつ有機溶剤蒸気の漏出を
大幅に減少させることのできる装置を提供するこ
とにある。
浄効果を良好に保持しつつ有機溶剤蒸気の漏出を
大幅に減少させることのできる装置を提供するこ
とにある。
<問題点を解決するための手段>
上記問題点を解決する本考案の構成は、有機溶
剤が収容された洗浄槽と、洗浄槽内の有機溶剤を
加熱する加熱手段と、洗浄槽内の有機溶剤蒸気を
凝縮するため洗浄槽の内壁に沿い配管された冷却
管とを有する洗浄装置において、 前記内壁のうち前記冷却管よりも下方に配置さ
れた底深の吸引樋と、この吸引樋内に配置されて
吸引樋内の有機溶剤蒸気の蒸気圧を零ないしほぼ
零にするよう冷却する過冷却管を備えたことを特
徴とする。
剤が収容された洗浄槽と、洗浄槽内の有機溶剤を
加熱する加熱手段と、洗浄槽内の有機溶剤蒸気を
凝縮するため洗浄槽の内壁に沿い配管された冷却
管とを有する洗浄装置において、 前記内壁のうち前記冷却管よりも下方に配置さ
れた底深の吸引樋と、この吸引樋内に配置されて
吸引樋内の有機溶剤蒸気の蒸気圧を零ないしほぼ
零にするよう冷却する過冷却管を備えたことを特
徴とする。
<実施例>
以下本考案の実施例を図面に基づき詳細に説明
する。なお従来技術と同一部分は、同一符号を付
し説明を簡略にする。
する。なお従来技術と同一部分は、同一符号を付
し説明を簡略にする。
第1図に示すように、洗浄槽1内の各槽4,
5,6には有機溶剤13が収容されている。加熱
して発生した有機溶剤蒸気14は、洗浄槽1内に
充満し、更に丈夫では冷却管11で凝縮して回収
される。
5,6には有機溶剤13が収容されている。加熱
して発生した有機溶剤蒸気14は、洗浄槽1内に
充満し、更に丈夫では冷却管11で凝縮して回収
される。
更に本実施例では、冷却管11の下方に位置し
て吸引樋20が、洗浄槽1の内壁に配置されてい
る。この吸引樋20は底深であり、その内部には
過冷却管21が配管されている。過冷却管21内
には−15℃となつている冷媒を流通させている。
このため、吸引樋20内では、有機溶剤蒸気14
の蒸気圧が零ないしほぼ零となる温度(例えば−
10℃)となり、過冷却管21により多量の有機溶
剤蒸気14が凝縮されることになる。
て吸引樋20が、洗浄槽1の内壁に配置されてい
る。この吸引樋20は底深であり、その内部には
過冷却管21が配管されている。過冷却管21内
には−15℃となつている冷媒を流通させている。
このため、吸引樋20内では、有機溶剤蒸気14
の蒸気圧が零ないしほぼ零となる温度(例えば−
10℃)となり、過冷却管21により多量の有機溶
剤蒸気14が凝縮されることになる。
かかる本実施例では、吸引樋20内の有機溶剤
蒸気14の濃度は、洗浄槽1の作業空間22の有
機溶剤蒸気14の濃度よりも低くなる。換言すれ
ば、作業空間22側のガス濃度が高く、吸引樋2
0内のガス濃度が低いため、両者間に濃度勾配が
発生する。従つて、溶剤液面から沸騰して洗浄槽
1内に充満した有機溶剤蒸気14は、図示矢印A
の如くに吸引樋20に向つて流動する。こうして
吸引樋20内に吸引された有機溶剤蒸気14は過
冷却管21により冷却されて凝縮する。凝縮され
た有機溶剤は吸引樋20を通つて洗浄槽1外に回
収され、その後に処理されてから、再使用され
る。
蒸気14の濃度は、洗浄槽1の作業空間22の有
機溶剤蒸気14の濃度よりも低くなる。換言すれ
ば、作業空間22側のガス濃度が高く、吸引樋2
0内のガス濃度が低いため、両者間に濃度勾配が
発生する。従つて、溶剤液面から沸騰して洗浄槽
1内に充満した有機溶剤蒸気14は、図示矢印A
の如くに吸引樋20に向つて流動する。こうして
吸引樋20内に吸引された有機溶剤蒸気14は過
冷却管21により冷却されて凝縮する。凝縮され
た有機溶剤は吸引樋20を通つて洗浄槽1外に回
収され、その後に処理されてから、再使用され
る。
また、吸引樋20は底深となつているため過冷
却(−10℃程度)となつている空気が作業空間2
2に流入することはない。
却(−10℃程度)となつている空気が作業空間2
2に流入することはない。
このように吸引樋20に向か有機溶剤蒸気が流
れ込むため、有機溶剤蒸気14が洗浄槽1の上面
開口から漏出することを十二分に防止し、効率良
く回収、再使用することができる。この結果、洗
浄、乾燥作業を効率良くかつ安全に行うことがで
きる。
れ込むため、有機溶剤蒸気14が洗浄槽1の上面
開口から漏出することを十二分に防止し、効率良
く回収、再使用することができる。この結果、洗
浄、乾燥作業を効率良くかつ安全に行うことがで
きる。
<考案の効果>
以上実施例とともに具体的に説明したように本
考案によれば、濃度勾配を利用して有機溶剤蒸気
を吸引樋に向い流れるようにしたため、有機溶剤
蒸気の槽外への漏出を効果的に防止することがで
きる。
考案によれば、濃度勾配を利用して有機溶剤蒸気
を吸引樋に向い流れるようにしたため、有機溶剤
蒸気の槽外への漏出を効果的に防止することがで
きる。
第1図は本考案の実施例を示す構成図、第2図
は従来技術を示す構成図である。 図面中、1は洗浄槽、7,9は加熱ヒータ、1
1は冷却管、12は回収樋、13は有機溶剤、1
4は有機溶剤蒸気、20は吸引樋、21は過冷却
管、22は作業空間である。
は従来技術を示す構成図である。 図面中、1は洗浄槽、7,9は加熱ヒータ、1
1は冷却管、12は回収樋、13は有機溶剤、1
4は有機溶剤蒸気、20は吸引樋、21は過冷却
管、22は作業空間である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 有機溶剤が収容された洗浄槽と、洗浄槽内の有
機溶剤を加熱する加熱手段と、洗浄層内の有機溶
剤蒸気を凝縮するため洗浄槽の内壁に沿い配管さ
れた冷却管とを有する洗浄装置において、 前記内壁のうち前記冷却管よりも下方に配置さ
れた底深の吸引樋と、この吸引樋内に配管されて
吸引樋内の有機溶剤蒸気の蒸気圧を零ないしほぼ
零にするよう冷却する過冷却管を備えたことを特
徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258487U JPH0335431Y2 (ja) | 1987-03-07 | 1987-03-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258487U JPH0335431Y2 (ja) | 1987-03-07 | 1987-03-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63141688U JPS63141688U (ja) | 1988-09-19 |
JPH0335431Y2 true JPH0335431Y2 (ja) | 1991-07-26 |
Family
ID=30839402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3258487U Expired JPH0335431Y2 (ja) | 1987-03-07 | 1987-03-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0335431Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-07 JP JP3258487U patent/JPH0335431Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63141688U (ja) | 1988-09-19 |
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