JPH045183B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、フオトレジスト形成用積層板を製造
するための装置に関するものである。さらに詳し
くいえば、本発明はプリント基板上のきずにより
画像再現性がそこなわれることなく、しかも操作
中に感光性組成物層の剥離を生じることなく、精
度の高いフオトレジストを製造しうるフオトレジ
スト形成用積層板の製造装置に関するものであ
る。

現在、プリント基板の製版、プリント回路製
作、電子工業用精密部品製作などの多くの分野に
おいて、多種多様の画像形成性感光性材料、例え
ば液状感光性材料、シルクスクリーンインキ状感
光性材料、あるいは一般にドライフイルムと称せ
られている、あらかじめたわみ性支持体に担持さ
せた感光性材料などが使用されている。

ところで、これらの中で液状感光性材料を用い
て基板上にこれを積層する場合、通常ロールコー
タやドクターナイフなどを用いて所要の厚さに塗
布する方法がとられているが、この方法では１回
の塗布操作で２〜3μｍ程度の乾燥膜厚しか得ら
れないことが多く、適切な条件の組合せを用いて
もたかだか10μｍほどであるため、30〜50μｍと
いう厚い膜を要する場合は、塗布と乾燥という工
程を多数繰り返さなければならない。

これに対して、あらかじめたわみ性支持体に担
持させた感光性材料（以下ドライフイルムと称す
る）を用いる場合には、基板表面との接着性を良
好にするための整面前処理を行つた基板表面に、
感光性材料層の露出せる面を重ね、熱ロール間隙
を通して圧着するという極めて簡単な操作によつ
て、所望の膜厚を有する感光性材料層を形成する
ことができるため、最近この方法が注目を集める
ようになり、これまでも基板上に直接ドライフイ
ルムを積層し、像形成露光、現像を行う方法（特
公昭45−25231号公報）やドライフイルムの一方
の表面に接着層を設け、これを介して基板に積層
し、像形成露光、現像を行う方法（特開昭52−
154363号公報）などが提案されている。

ところで、プリント基板の表面に精密なパター
ンを正確に形成させるには、その表面をできるだ
け平坦にする必要があるが、通常その製造工程中
でどのように慎重に取り扱つたとしても微細な凹
凸やきずが生じるのを免れない。そして、パター
ンが微細になればなるほど、プリント基板表面の
これらの欠陥が原因となつて、線切れや変形を生
じ、不良品が多くなるという結果をもたらす。

他方、プリント基板とドライフイルムとを積層
する場合、両者の間の接着力が不足すること、こ
の積層体を像形成露光、現像、乾燥する工程で剥
離を生じ、所望のフオトレジスト板が得られな
い。これを防止するには、例えば前記したように
ドライフイルムの表面にあらかじめ接着層を設け
ることが行われているが、この場合接着層は完全
に乾燥した状態にあるため、プリント基板との積
層に際して、100℃又はそれ以上に加熱した熱ロ
ールを用いて圧着しなければならない上に、ドラ
イフイルムの保存中に接着層が変質して接着力が
低下するという欠点がある。

このような事情のもとで、本発明者らは、ドラ
イフイルムとプリント基板との接着を確実にし、
しかもプリント基板表面に多少の凹凸やきずが存
在しても、すぐれた画像再現性を示し、したがつ
て最終製品の高い歩留りをもたらすことができる
フオトレジスト形成用積層板の製造方法を開発す
るために鋭意研究を重ねた結果、先にプリント基
板とドライフイルムとを積層するに先立つて、ハ
レーシヨン防止剤を含む液状感光性組成物をプリ
ント基板上に塗布し、それがまだ固化しない、い
わゆる生乾きの状態で、高温に加熱することな
く、ロール間でドライフイルムと圧着することに
よりその目的を達成しうることを見出したが、本
発明はこれを実施するのに好適な装置として案出
されたものである。

すなわち、本発明は一端にプリント基板導入口
を、他端にフオトレジスト形成用積層板取出口を
それぞれ設けた遮光ケース内に、 (イ) プリント基板の両面にハレーシヨン防止剤を
含む感光性組成物を塗布するための両面塗布帯
域 (ロ) 前記感光性組成物液が完全に固化しない程度
まで乾燥させるための乾燥帯域及び (ハ) 完全に固化しない程度まで乾燥された感光性
組成物層を両面に有するプリント基板の両面に
たわみ性感光性材料層を積層するための積層形
成帯域 をその順序に直列に配置し、これらの帯域の間を
移送手段で連結するとともに、感光性組成物液を
両面に塗布したプリント基板を乾燥帯域に移送す
る手段として、中心に向かつて低く傾斜した複数
の斜軸ロール対で構成されたロールコンベアを設
けて成るフオトレジスト形成用積層板の製造装置
を提供するものである。

次に添付図面に従つて本発明装置の構成をさら
に詳細に説明する。

第１図は本発明の装置の１例を示す縦断面略解
図であるが、これから明らかなようにこの装置
は、両面塗布帯域１、乾燥帯域２、積層形成帯域
３及び移送手段４から構成されている。そして、
プリント基板Ａは適当な導入手段例えばロールコ
ンベア５により、導入口６を経て両面塗布帯域１
に導入され、ここで両面コータ７，７によりその
両面に感光性組成物液Ｂ，Ｂが塗布される。次に
このように処理されたプリント基板は、移送手段
例えば斜軸ロールコンベア４により移動し乾燥帯
域２に送られる。この乾燥帯域にはポンプ８より
加熱室９を経た温風が送られ、プリント基板上の
塗布液はここを通過する間に生乾き状態になるま
で乾燥される。

なお、ペーストの塗布層の厚さが塗布時で5μ
ｍ以下の場合には、この乾燥帯域を省略すること
もできる。

次いで、乾燥されたプリント基板は、適当な移
送手段、例えばロールコンベア１０によつて積層
形成帯域３に送られる。この帯域にはたわみ性感
光性材料供給ロール１１，１１と加圧ローラ１
２，１２から成るラミネータが備えられ、これに
よつて両面に生乾き状態のペースト層を有するプ
リント基板の両面にたわみ性感光性材料層Ｃ，Ｃ
が積層される。このようにして得られたフオトレ
ジスト形成用積層板は、取出口１２から取り出さ
れる。

上記の過程において、両面コータ７，７により
形成される感光性組成物層Ｂ，Ｂの層厚は、完全
に乾燥した後、すなわち製品中において１〜8μ
ｍの範囲の厚さになるように調節するのがよい。
これが1μｍ未満では、接着性の向上、プリント
基板表面の凹凸やきずのカバーが不十分になる
し、8μｍよりも厚くなると、像形成露光に長時
間を要する上に、ハレーシヨンが起りやすく、ま
た残存溶剤がドライフイルムを軟化させて光硬化
が困難になつてテンテイング特性が低下する原因
となる。この感光性組成物液を両面に塗布された
プリント基板を乾燥帯域に移送するための手段と
しては、第２図及び第３図に示されるような斜軸
ロール対から成るロールコンベアを用いることが
必要である。

第２図は、このロールコンベアを説明するため
の乾燥帯域の横断面図であり、第３図は１対の斜
軸ロール対を示す斜面図である。このロールコン
ベアは、たがいに対向しベルトの中心へ向かつて
低くなるように傾斜した２本のロール１３，１
３′から成る多数のロール対を直線的に配列して
構成され、各ロール対は、同軸に取り付けられた
ギヤ１４，１４′及び動力軸１５，１５′にそれぞ
れ取り付けられたウオームギヤ１６，１６′を介
して回転するようになつている。

このようなロールコンベアを用いると、第２図
に示されるように、プリント基板Ａは両末端部の
みでロールに接しているので、両面に塗布されて
いる液がロールとの摩擦によつて除かれるおそれ
がない。

次に、乾燥帯域２における乾燥は、温度60〜80
℃において、所望に応じ不活性ガスを通しながら
行われる。この乾燥は、液状感光性組成物が完全
に固化しない程度、すなわち生乾き状態になるま
で行うことが必要である。この条件は、通常組成
物中の溶剤含有量が10〜30重量％程度になるまで
乾燥することによつて達せられる。この乾燥が完
全に固化する程度まで行われると、後続工程にお
けるたわみ性感光性材料との積層に際し、十分な
接着性が得られないし、また乾燥があまり不完全
であると、いつたん接着したたわみ性感光性材料
が剥離するおそれがある。液状感光性材料の塗布
量が塗布時で層厚にして２〜3μｍ位の場合には
乾燥が速いので特別乾燥室を通過させる必要はな
い。

本発明装置においては、プリン基板とたわみ性
感光性材料とを積層する場合、従来方法のように
高温に加熱する必要はなく、加圧ローラは70℃以
下、好ましくは室温に維持しておけばよい。

本発明装置において加工されるプリント基板の
材料は、プリント回路その他の電子部品用基板と
して通常使用されているもの、例えば金属、ケイ
素、酸化物、合成樹脂、ガラス、紙など及びそれ
らの積層物である。

また、本発明装置の両面塗布帯域１においてこ
の基板表面に塗布する感光性組成物液は、ネガ
型、ポジ型すなわち、光硬化性組成物、光分解性
組成物のいずれでもよい。光硬化性組成物の例と
しては、高分子量ポリオールのケイ皮酸エステ
ル、ポリケイ皮酸ビニル、ポリビニルアニシルア
セトフエノンのような光架橋性重合体や、ポリア
クリル酸アミド、ポリオール重合体、ゼラチンな
どと重クロク酸金属塩、ジアゾ化合物、アジド化
合物類などとを組み合わせた組成物、環化ゴムと
ビスアジドから成る組成物又はこれらに少量のエ
ポキシアクリレートを配合した組成物などの光硬
化性組成物を挙げることができる。

これらは、そのもの自体が液状体であればその
まま使用してもよいが、固体状のものは適当な溶
剤に溶かして液体状にして用いる。

この感光性組成物液には、ハレーシヨン防止剤
を含有させることが必要である。これは、ドライ
フイルムを積層した後の解像度や画像再現性を高
めるために加えられるものであり、これによつて
微細なパターンを正確に再現することができる。
このハレーシヨン防止剤は、感光特性波長280〜
430nｍ領域において吸収を示すものであればよ
く、通常ハレーシヨン防止剤として使用されてい
る各種染料、顔料、紫外線吸収剤などが好適であ
る。このハレーシヨン防止剤は、併用される感光
性組成物の全重量に基づき0.001〜10重量％、好
ましくは0.05〜２重量％の割合で加えられる。

なお、本発明における感光性組成物液中の樹脂
形成成分としては、プリント基板とドライフイル
ムとの接着性を高め、かつ現像時における現像液
に対する溶解性をドライフイルムのそれと同一に
するために、ドライフイルムに用いられている感
光性樹脂成分と同一組成又は類似の組成のものを
選択するのが好ましい。

次に、本発明装置の積層形成帯域３においてプ
リント基板上に積層させるたわみ性感光性材料と
しては、ドライフイルムとしてよく知られている
材料すなわちたわみ性支持体上に感光性組成物か
ら成る感光性樹脂層を積層し、さらにその上に所
望に応じ保護フイルム層を施したものを用いるこ
とができる。上記のたわみ性支持体としては、金
属ホイル、ポリアミド、ポリオレフイン、ポリエ
ステル、ポリ塩化ビニル、紙などが用いられるが
像形成露光の際に取り除く必要がない点で、透明
な材料が有利であり、特にポリエチレンテレフタ
レートが好ましい。また、感光性樹脂層として
は、光に感応して溶剤不溶性になるもの、あるい
は逆に溶媒可溶性になるものであればどのような
ものでもよく、特に制限はない。このようなもの
の例としては、前記液状感光性組成物の樹脂成分
として例示した感光性組成物をあげることができ
る。

このようにして、本発明装置によれば連続的に
フオトレジスト形成用積層板を製造することがで
きる。

本発明により得られた積層板からフオトレジス
トパターンを得るのは、通常のフオトレジスト形
成に際して使用されている像形成露光及び現像の
方法を用いて行うことができる。ただし現像に際
しては、たわみ性感光性材料の未露光部（ポジ型
の場合は露光部）と同時に感光性組成物液層の未
露光部（ポジ型の場合は露光部）を溶解しうる現
像液を用いることが必要である。この現像液は、
たわみ性感光性材料層及び感光性組成物液層を形
成する感光性組成物の種類により適宜選択される
が、通常は、アルカリ水溶液、アルコール類、ケ
トン類炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類又はこ
れらの混合物が用いられる。

本発明装置を用いると、現在、市販されている
ドライフイルムはもちろん、熱圧着による直接接
着性の乏しいドライフイルムでも十分な強度で基
板表面上に積層することが可能であり、固体表面
上の傷や打痕を覆いかくすことができる上に従来
のドライフイルム単独による積層では、スルーホ
ール加工の際の開口部に蓋をする作業（通常テン
テイングと称す）において、フイルム保持部分と
してかなりの表面積を必要とし、開口部直径より
必要以上に大きないわゆるランドを設けることを
余儀なくされていたのを、その径の大幅な縮少が
可能となるために、プリント配線基板の配線密度
を一段と向上させることができるという利点があ
る。さらに、本発明装置においては、両面塗布帯
域で塗布する感光性組成物液が接着剤としての役
割も果し、フイルムとプリント基板との接着性を
向上させるので、従来のドライフイルムを直接プ
リント基板に接着させる場合にしばしばみられた
操作中での両者の剥離を著しく減少することがで
き、しかも現像処理に際し感光性組成物液層も同
時に除去されるので、アンダーカツト現像のよう
な解像度をそこなう現像を生じることもない。し
たがつて、従来の製造装置に比べて、製品の歩留
りを著しく高めることができる。

次に実施例により本発明をさらに詳細に説明す
る。

実施例 第１図に示す構造の装置の導入口６より、銅張
積層板（厚さ0.1mm、巾33cmの帯状体）を連続的
に導入し、両面コーター７，７を用いて、その両
面に感光性ドライフイルム「オーデイル5010」
（商品名、東京応化工業社製）の感光層の部分200
重量部と、エチレングリコールモノエチルエーテ
ルアセテート800重量部と、エチルバイオレツト
１重量部から成る感光性組成物液を塗布した。

次いで、これをロールコンベア４で80℃に維持
された乾燥帯域２に送り、１分間乾燥させ、膜厚
4μｍ、残存溶剤約25重量％の塗布膜を形成した
のち、積層形成帯域３に移送し、その両面に、感
光性ドライフイルム「オーデイル5010」を温度60
℃、速度1.0ｍ／分で加圧しながらラミネートし
た。このようにして、取出口１２からフオトレジ
スト形成用積層板が連続的に取り出された。これ
を長さ50cmずつにカツテイングしたのち、3KW
の超高圧水銀灯を光源として、細線パターンのマ
スクを介して30ｍＪ／cm²の露光量で光照射したの
ち、液温35℃、圧力1.4Kg／cm²の２％炭酸ナトリ
ウム水溶液を80秒間スプレーした。この処理によ
り感光性ドライフイルム及びその下面の感光性組
成物液の塗布膜の未露光部は同時に除去され、マ
スクのパターンに忠実な画像が現像された。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の縦断面略解図、第２図は
乾燥帯域における横断面図、第３図は同じ乾燥帯
域内のロールコンベアを構成するロール対の斜面
図である。 図中符号１は両面塗布帯域、２は乾燥帯域、３
は積層形成帯域、Ａはプリント基板、Ｂは感光性
組成物液層、Ｃはたわみ性材である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 一端にプリント基板導入口を、他端にフオト
   レジスト形成用積層板取出口をそれぞれ設けた遮
   光ケース内に、 (イ) プリント基板の両面にハレーシヨン防止剤を
   含む感光性組成物を塗布するための両面塗布帯
   域 (ロ) 前記感光性組成物液が完全に固化しない程度
   まで乾燥させるための乾燥帯域及び (ハ) 完全に固化しない程度まで乾燥された感光性
   組成物層を両面に有するプリント基板の両面に
   たわみ性感光性材料層を積層するための積層形
   成帯域をその順序に直列に配置し、これらの帯
   域の間を移送手段で連結するとともに、感光性
   組成物液を両面に塗布したプリント基板を乾燥
   帯域に移送する手段として、中心に向かつて低
   く傾斜した複数の斜軸ロール対で構成されたロ
   ールコンベアを設けて成るフオトレジスト形成
   用積層板の製造装置。