JPH04507478A

JPH04507478A - ケージボート

Info

Publication number: JPH04507478A
Application number: JP2508781A
Authority: JP
Inventors: トンプソン，マイケル　エス．; ハバード，スティーブン　アール．; ジャクソン，フランクリン　ディー．
Original assignee: ユニオン、オイル、カンパニー、オブ、カリフォルニア
Priority date: 1989-05-23
Filing date: 1990-05-22
Publication date: 1992-12-24
Also published as: US5054418A; WO1990014689A1; KR920702014A; EP0473718A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ケージボート発明の分野本発明は半導体プロセスの分野に関する。より特定の分野の一つとして、本発明は熱処理または被膜処理中、半導体材料のウェーハを保持する装置に関する。さらに、より特定の分野の他の一つとして、本発明は容易に修理または改修が可能なような装置に関する。

発明の背景各種電子技術応用に用いられる半導体のプロセスにおいて、半導体に熱処理を行ったり、あるいは化学気相成長などの手段により被膜処理を行うことが必要となることがしばしば生ずる。半導体は一般には特別の炉あるいは被膜処理室で処理された薄いウェーハの形で供給される。ウェーハへの損傷を防止するために、プロセス中は溝付きラックによりウェーハの位置を保持しておくのが望ましいことが判明している。取扱いを簡便化しまた被膜処理を促進するためにラックは一般に半開放式容器中に置かれる。従来使用されている容器の一つの形式は、堅固な２分割された溝つき容器であるケージボートである。半導体ウェーハはケージボート内に配置し、さらにそのケージボートを炉あるいは被膜処理室内に配置する。

半導体ウェーハのプロセス中の一様性を確保するためには、そのケージボートには円筒形状を採用するのが望ましい。

過去に半導体材料のウェーハを保持するためのラックおよびこのラックを収めるケージボートは石英から製作されていた。しかし、石英製ケージボートは手作りでなければならず、熟練を要し、かなり高価な装置になる。

それに加えて石英製ケージボートは寸法精度が悪いという性質を有している。その本来の性質上、石英から製作した物はこわれ易い。従って石英製ケージボートは、使用中しばしば破損する。石英製ケージボートの他の欠点にフッ化水素酸による洗浄がある。フッ化水素酸は二酸化けい素の積層物を除去するのに必要であり、これによる洗浄によって石英が酸におかされ、また不透明になる結果を生ずる。このためケージボートの強度は低下し、その寸度が変化し、さらに表面に粒子が生成されてそれがプロセス中半導体ウェーハを汚染することがある。

最近ではケージボートはシリコンカーバイドから製作している。シリコンカーバイド製ケージボートは石英製より強度があり、フッ化水素酸に対しより強いが価格が高く加工しにくい。また一般に、望ましい寸法公差では製作できない。

ケージボートの製作費が高いことおよびしばしばその交換の必要性があることの理由から、損傷部分の交換のために容易に分解できるような加工性のよい材料からなるケージボートを提供することが望まれる。

発明の概要本発明はその部品が容易に交換できるように製作されているという利点を有するケージボートを提供するものである。交換は汎用工具を用いて実施できいかなる特殊性技能も必要としない。

ケージボートは実質的に密閉式円筒の形式であることが望ましいが、本発明６ケージボートは円筒の台座になる端末片と、両端末片にとりはずしが８来るように結合されている格子板を含んでいる。円筒容器は隙間なくはめ合う２個に分割され、そのうちの１つの片側には半導体ウェーハを保持するための溝付きスペーサレールが含まれている。一般に、本発明のケージボートは、一対の端末片、上記端末片に垂直であり、取外し可能なように端末片に取り付けられる複数の平行な格子板、および上記格子板に平行であり、取り外し可能なように格子板の上に位置決めされた１個以上の溝つきスペーサレールから構成されており、上記端末片と上記格子板が上記スペーサレールを取り囲むケージを形成する。

図面の簡単な説明本発明は添付図面を参照することにより、より容易に理解することができる。図では同様の番号は同様の要素に対応しており、この中で、第１図は本発明のケージボートの透視図であり、多数の半導体ウェーハが収められており、また格子板が取り外し可能なことを示すために部分的に取り外しである。

第２図は、本発明のケージボートの２個の片側を示し、多数の半導体ウェーハを収めている本発明のケージボートの透視図であって、スペーサレールの部分および２個の片側を互に保持するために止め栓をはめ込む穴を示すよう部分的に取り外しである。

第３図は、本発明のケージボートを第１図の直線３−３に沿って見た断面図である。

第４図は、本発明のケージボートを第１図の直線４−４に沿って見た横断面図である。

第５図は、第３図の直線５−５に沿って見たケージボートの部分の横断面図である。

第６図は、本発明のケージボートのもう一つの実施例の部分の透視図であって、ケージボートからスペーサレールの中の１個が取り外されることを示している。

第７図は、第６図の実施例の一部を第６図の直線７−７に沿って見た横断面図である。

第８図は、第６図および第７図に示す実施例を第７図の直線８−８に沿って見た断面図である。

好適な実施例の説明本発明のケージボートは交換あるいは改修に対し容易に取り外しができるだけの十分な耐久性を有する材料から製作される。半導体ウェーハを保持するためのラックの機能をもつ、多数のスペーサレールも一緒に供給される。スペーサレールは円筒容器の壁面を形成する格子板の上に置かれている。一つの実施例ではレールは容器の端末板の刻み目により位置決めされる。レールの交換は１枚の格子板を取り外すことにより実施できる。他の実施例では、レールは１個の端末板の貫通式刻み目を通して挿入され端末板を通して突き出ておりレールの端部に確実に押し込むファスナによって位置決めする。この後者の実施例の方が好ましくレールの横移動が防止される。

この実施例ではレールの交換は単にそのファスナ取外しのみが必要である。

本発明のケージボートはグラファイトから製作することが望ましい。最も好ましいのは、ボルト、スクリューを含むすべての部品をグラファイトから製作し、同じ熱膨張係数を有する部品の使用により加工条件下で精密嵌合を維持することを確実にすることである。グラファイトは、ケージボートに望まれる特性を有する利点がある。

とりわけグラファイトはフッ化水素酸に対する化学的抵抗が強く、その結果長寿命と不変の性能が得られる。グラファイトは正確な寸法に製作することができ、寸法的に安定している。グラファイトは非常に低いアッシュレベル、すなわち約５’ｐｐｍ以下のアッシュになるよう不純物を除去できる。本発明のケージボートはケージボート内に置かれた半導体材料のウェーハを汚染することがないであろう。さらにグラファイト製ケージボートは重量が軽い。グラフフィトの密度は１．８グラム／ｄであり、また熱伝導性も優れている。各種グレードのグラファイトが市場で入手可能である。特に望ましい材料はＰＯＣＯＤＦＰ−２という名称で市販されている微細粒子、高強度、等方性グラファイトで、ＵｎｏｃａｌＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、　Ｄｅｃａｊｕｔ、テキサス州の子会社、［’ｏｃ。

Ｇｒａｐｈｉｔｅ、Ｉｎｃ、から入手できる。他のグレードのグラファイトも同様に使用できる。もし望むなら、ケージボートの構成要素は粉塵を減らし、また耐磨耗性を改善するために熱分解炭素でコーティングするか浸透せしめることが可能である。

図面を参照すると、第１図は、円板の形をした多数の半導体ウェーハを収めた本発明のケージボートを図示している。第１図は１枚の格子板および格子板用ファスナーをケージボートから取り外し示している。番号１０はケージボートを示し、２個の片側より成る。左片側１２と右片側１４とは互いにぴったりと合う。左片側１２には頂部端末片１６と底部端末片１８が含まれている。右片側１４には頂部端末片２０と底部端末片２２が含まれる。両片側とも格子板２４を含んでおり、格子板はスクリュー２６により端末片に取り付けられる。格子板２４は相互に合うように取りつけられ格子板間の開口部を有する実質的に密閉式ケージを形成することが分かる。格子板間の開口部を残さず、代りに格子板本体に開口部を有する格子板を用いて格子板を相互に合うように取りつけることも可能である。

第１図は格子板２４の中の１枚および頂部端末片１６と底部端末片１８に対し、格子板２４を正規には位置決めするためのネジ２６とをケージボート１０の左片側１２から取り外して示している。第１図はまたケージボート１０内部にある多数の半導体ウェーハ２８を示している。

第２図では、ケージボート１０の左片側１２の頂部端末片１６と底部端末片１８から突き出している。止め栓３０を附加的に示している。第２図および第３図に見るように２個の片側を互いにしっかり合せるために、ケージボート１０の右片側１４の頂部端末片２０と底部端末片２２の穴３２に止め栓３０がぴったりとはまる。また第２図および策３図には溝３６を有するスペーサレール３４も図示されている。スペーサレールはその溝に半導体ウェーハを保持する細長い細片である。この長片はケージボートの格子板ウェーハ上にあり、端末板の刻み目にスペーサレールの両端をはめこむことによって位置決めされている。図面に示される実施例では３個のスペーサレールがある。

第４図では右片側１４の頂部端末片２０の刻み目３８にスペーサレール３４がはめこまれているのが見られる。

第５図は格子板２４を左片側１２の底部端末片１８に固定するネジ２６を示している。

第６図、第７図および第８図のケージボートの好ましい実施例を説明している。

ここではスペーサレールの差し込みおよび取り外し用に一方の端末片では、貫通時、刻み目を有し、他方の端末片では最初の実施例と同様の刻み目を有する点でウェーハに述べた実施例とは相違している。本実施例においては、スペーサレールは止めネジで位置を固定する。第６図を特別に参照する場合は、番号４０がケージボートを示すのに用いられている。最初の実施例の場合と同様、ケージボー）４０は２個の片側、すなわち左片側４２と右片側４４から成る。ケージボート４０には左片側４２および右片側４４に、それぞれ頂部端末片４６および４８を含んでいる。格子板５゜はネジ５２により頂部端末片に取り付けられる。溝５６を有するスペーサレール５４がケージボート４ｏの右片側４４の頂部端末片４８から上方に突き出して示されている。スペーサレール５４はその中の１個のみが図示されているが、これは矢印６０で示す方向に頂部端末片４０の貫通式刻み目を貫いてケージボルト４０の中に挿入される。スペーサレール５４は頂部端末片４８の穴６４に挿入される止めネジ６２により、ケージボート４０内での横方向の移動に対し固定される。

第７図はスペーサレール５４の止めネジ６４および他の部品との相対的な配置の更に詳細を示している。

第８図はスペーサレール５４の一端がはめ合っている刻み目６８を含む底部端末片６６を付加的に示している。

止めネジ６２は端末片６６のへりに刻み目６８内でスペーサレール５４を押しつけ、レール５４の横方向の移動を防いでいる。

作業過程ではケージボートの２個の片側は分離し、半導体ウェーハをスペーサレールの溝に置く。その後２個の片側をはめ合わせる。半導体ウェーハを含むケージボートはこの結果、必要ならば自動化装置によって、容易に持ち運びでき、また炉あるいは被膜処理室に置くことができる形態になる。半導体ウェーハを上下方向に置き、ケージボートは水平方向に使用するのが代表的である。

以上述べたいずれの実施例も全ケージボートが交換でき、容易に取り外し可能な部品から構成されているという利点を有しているが、貫通式刻み目を備えた実施例の方が、格子板あるいは端末片の取り外しを必要とせず、スペーサレールを位置決めしている止めネジを外すだけで、スペーサレールの交換が実施できるという点で特に望ましい。従って、例えば、洗浄あるいはスペーサレール磨耗の際の交換に対し、スペーサレールを取り外すことが可能である。また使用中のスペーサレールとは異なる寸度の、あるいは溝の数の異なる別のスペーサレールとの交換に対してもスペーサレールを取り外すことも出来る。本発明のケージボート部品の優れた交換性に加えて、グラファイトからの部品の製作は、グラファイト製部品は高精度に機械加工できるか故に、各種の部品に容易に互換性をもたせるようになる。

本発明の特定の実施例につき説明したが、言うまでもなく、多くの明白な修正が可能であるから、本発明はこれに限定されるものでないことは理解されるであろう。

例えば、本発明のケージボートの円筒形状以外の他の形状を、本発明の利点をなお提供しつつ利用することが出来る。添えられた請求の範囲内に帰することになるすべてのかかる修正を含むことが意図されている。

補正書の翻訳文提出書（特許法第１８４条の８）平成　３　年　１１月　２５日 −・特許庁長官　深沢　亘　殿ＰＣＴ／ＵＳ　９０１０２９０４２、発明の名称ケージボート３　特許出願人住　所　アメリカ合衆国カリフォルニア用、ロサンゼルス、ウェスト、フィツス、ストリート、１２０１名　称　ユニオン、オイル、カンパニー、オブ、カリフォルニア５、　補正嘗の提出年月日１９９１年　５月１４日６、　添付書類の目録（＋）　補正書の翻訳文　１　通請求の範囲１．　おのおのが共通の軸の回り外方放射状に拡がる平面であり間隔を置いて配置される一対の端末片と、おのおのか上記端末片に垂直でそれに取外し可能なよう取り付けられ実質的に平行な複数の格子板と、おのおのが半導体ウェーハを受け入れるための複数の溝の手段を有し、上記格子板に平行でその上に取り外し可能なように位置した複数のスペーサレールを備え、上記端末片と上記格子板が上記スペーサレールを取り囲むケージを形成することを特徴とするケージボート。

２、　請求項１記載のケージボートにおいて、グラファイトから製作されることを特徴とするケージボート。

３、　請求項２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微細粒子、高強度、等方性グラファイトから成ることを特徴とするケージボート。

４、　請求項２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微細粒子、高強度、等方性グラファイト、熱分解炭素でシールした表面から成ることを特徴とするケージボート。

５、　請求項１記載のケージボートにおいて、円筒形状を有することを特徴とするケージボート。

６、　請求項３記載のケージボートにおいて、円筒形状を有することを特徴とするケージボート。

７、　請求項５記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。

８、　請求項６記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。

９、　請求項５記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。

１０、　請求項６記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板間に設けられていることを特徴とするケージボート。

１１、　請求項７記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。

１２、　請求項８記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。

１３、　請求項９記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。

１４、　請求項１０記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。

１５、　請求項１１記載が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。

１６、　請求項１２記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。

１７、　請求項１３記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。

１８、　請求項１４記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。

１９、　請求項１５記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。

２０、　請求項１６記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。

２１、　請求項１７記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。

２２゜　請求項１８記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。

２３、　請求項１９記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。

２４、　請求項２０記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。

２５、　請求項２１記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。

２６、　請求項２２記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。

２７、　請求項２３記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。

２８、　請求項２４記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。

２９、　請求項２５記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。

３０．　請求項２６記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。

３１、　請求項２７記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。

３２、　請求項２８記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片！ｉネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。

３３、　請求項２９記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。

３４、　請求項３０記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。

３５、　請求項３１記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によっそ位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。

３６、　請求項３２記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。

３７、　請求項３３記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。

３８、　請求項３４記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。

３９、　請求項３５記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。

４０、　請求項３６記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。

４１、　請求項３７記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。

４２、　請求項３８記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。

４３、　請求項３９記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。

４４、　請求項４０記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。

４５、　請求項４１記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。

４６、　請求項４２記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。

４７゜　請求項４３記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。

４８、　請求項４４記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。

４９、　請求項４５記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。

５０、　請求項４６記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。

５１゜　請求項４７記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。

５２、　請求項４８記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。

５３、　請求項４９記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。

５４、　請求項５０記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。

５５、　請求項５２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微粒子、高強度、等方性のグラファイトから成り、その表面が熱分解炭素でシールされていることを特徴とするケージボート。

５６、　請求項５４記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微粒子、高強度、等方性のグラファイトから成り、その表面が熱分解炭素でシールされていることを特徴とするケージボート。

５７、一対の端末片と、この端末片に取り外し可能なように取り付けられ上記端末片に垂直な格子板面を形成する実質的には平行で互換性を有する複数の格子板と、上記格子板に実質的には平行でその上に取り外し可能なように位置し互換性を有する溝付きの複数のスペーサレールとを備え、上記端末板と上記格子板が上記格子板内の開口部を除き密閉式に上記スペーサレールを取り囲むケージを形成し、上記端末片のおのおのは半分に分割され、片方の半分には１個以上の突起部が設けられ他方の半分には上記半分の両方を互いに動かないように保持するための１個以上の合わせ用くぼみが設けられており、上記複数のスペーサレールは上記スペーサレールの一方の端を受け入れるための上記端末片の対の内の１個に設けられた刻み目の手段によってその一方の端を位置決めして保持し、また上記スペーサレールの他方の端を押さえつけ端末片の対の内の他の１個に設けられた貫通式刻み目の内部で拡がる手段によってその他方の端を位置決めして保持しており、上記貫通式刻み目は上記ケージを開くことなしに上記ケージの中にスペーサレールを挿入するための手段を提供することを特徴とするケージボート。

５８、　請求項５７記載ケージボートにおいて、グラファイトから構成されていることを特徴とするケージボート。

５９、　請求項５７記載ケージボートにおいて、微粒子、高精度、等方性のグラファイトで構成されていることを特徴とするケージボート。

国際調査報告

Claims

【特許請求の範囲】

１．一対の端末片と、上記端末片に垂直でかつ取り外し可能なように取り付けた多数の平行格子板と、上記格子板に平行で、その上に取り外し可能なように置かれた１個以上の溝つきスペーサレールとを備え、上記端末片と上記格子板が上記スペーサレールを取り囲むケージを形成することを特徴とするケージボート。
２．　請求項１記載のケージボートにおいて、グラファイトから製作されることを特徴とするケージボート。
３．　請求項２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微細粒子、高強度、等方性グラファイトから成ることを特徴とするケージボート。
４．　請求項２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微細粒子、高強度、等方性グラファイト、熱分解炭素でシールした表面から成ることを特徴とするケージボート。
５．　請求項１記載のケージボートにおいて、円筒形状を有することを特徴とするケージボート。
６．　請求項３記載のケージボートにおいて、円筒形状を有することを特徴とするケージボート。
７．　請求項５記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。
８．　請求項６記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。
９．　請求項５記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板の本体に設けられていることを特徴とするケージボート。
１０．　請求項６記載のケージボートにおいて、上記ケージは実質的に密閉式であり、開口部が上記格子板間に設けられていることを特徴とするケージボート。
１１．　請求項７記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。
１２．　請求項８記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。
１３．　請求項９記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。
１４．　請求項１０記載のケージボートにおいて、上記端末片の各々が半分に分割されることを特徴とするケージボート。
１５．　請求項１１記載が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。
１６．　請求項１２記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。
１７．　請求項１３記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。
１８．　請求項１４記載のケージボートにおいて、端末片の半分が上記ケージを形成するために対になってかみ合い得ることを特徴とするケージボート。
１９．　請求項１５記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。
２０．　請求項１６記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。
２１．　請求項１７記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。
２２．　請求項１８記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分が、共に隙間なく合うことを特徴とするケージボート。
２３．　請求項１９記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。
２４．　請求項２０記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。
２５．　請求項２１記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。
２６．　請求項２２記載のケージボートにおいて、上記端末片の半分の一方が１個以上の突起部を有し、上記端末片半分の他方が、１個以上の対をなすくぼみを有することを特徴とするケージボート。
２７．　請求項２３記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。
２８．　請求項２４記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。
２９．　請求項２５記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。
３０．　請求項２６記載のケージボートにおいて、上記突起部が、止め栓の手段からなり、上記へこみが穴の手段からなることを特徴とするケージボート。
３１．　請求項２７記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。
３２．　請求項２８記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。
３３．　請求項２９記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。
３４．　請求項３０記載のケージボートにおいて、上記格子板が上記端末片にネジを切って取りつけられることを特徴とするケージボート。
３５．　請求項３１記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。
３６．　請求項３２記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。
３７．　請求項３３記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。
３８．　請求項３４記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールが上記対をなす端末片のそれぞれにおける刻み目の手段によって位置決め保持されていることを特徴とするケージボート。
３９．　請求項３５記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。
４０．　請求項３６記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。
４１．　請求項３７記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。
４２．　請求項３８記載のケージボートにおいて、上記刻み目の手段の１個が端末片を貫通していることを特徴とするケージボート。
４３．　請求項３９記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。
４４．　請求項４０記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。
４５．　請求項４１記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。
４６．　請求項４２記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押しつける手段によって、上記スペーサレールが移動しないように保持されることを特徴とするケージボート。
４７．　請求項４３記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。
４８．　請求項４４記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。
４９．　請求項４５記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。
５０．　請求項４６記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段が端末片を貫通する刻み目の手段の内部に拡がることを特徴とするケージボート。
５１．　請求項４７記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。
５２．　請求項４８記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。
５３．　請求項４９記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。
５４．　請求項５０記載のケージボートにおいて、上記スペーサレールの一端を押えつける上記手段がネジを切った手段から成ることを特徴とするケージボート。
５５．　請求項５２記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微粒子、高強度、等方性のグラファイトから成り、その表面が熱分解炭素でシールされていることを特徴とするケージボート。
５６．　請求項５４記載のケージボートにおいて、上記グラファイトが微粒子、高強度、等方性のグラファイトから成り、その表面が熱分解炭素でシールされていることを特徴とするケージボート。