JPH0449527Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0449527Y2 JPH0449527Y2 JP1982037209U JP3720982U JPH0449527Y2 JP H0449527 Y2 JPH0449527 Y2 JP H0449527Y2 JP 1982037209 U JP1982037209 U JP 1982037209U JP 3720982 U JP3720982 U JP 3720982U JP H0449527 Y2 JPH0449527 Y2 JP H0449527Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- air
- supply pipe
- air supply
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は被測定物の寸法測定に使用される空
気マイクロメータ、特に供給空気圧の変動を補正
して正確な寸法を表示するようにした空気マイク
ロメータに関するものである。
気マイクロメータ、特に供給空気圧の変動を補正
して正確な寸法を表示するようにした空気マイク
ロメータに関するものである。
従来、圧縮空気を必要とする空圧機器、例えば
空気マイクロメータや空気シリンダ等を使用する
場合、一つの空気圧縮機より供給管を適宜配管し
て、それぞれの機器に圧縮空気を供給しているこ
とが多かつた。このように空気マイクロメータや
他の空圧機器類が供給管を介して連通している場
合には、使用空気量の変動により、空気圧がわず
かに変化しても、空気マイクロメータのように空
気圧の変動が測定値に影響する機器においては、
重要な問題である。特に精密な測定を要求される
高精度の空気マイクロメータにおいては、空気圧
の変化の影響は大きく、測定精度の低下の一要因
となつていた。
空気マイクロメータや空気シリンダ等を使用する
場合、一つの空気圧縮機より供給管を適宜配管し
て、それぞれの機器に圧縮空気を供給しているこ
とが多かつた。このように空気マイクロメータや
他の空圧機器類が供給管を介して連通している場
合には、使用空気量の変動により、空気圧がわず
かに変化しても、空気マイクロメータのように空
気圧の変動が測定値に影響する機器においては、
重要な問題である。特に精密な測定を要求される
高精度の空気マイクロメータにおいては、空気圧
の変化の影響は大きく、測定精度の低下の一要因
となつていた。
この考案は、上記のような供給空気圧の変動を
補正して正確な寸法測定のできる空気マイクロメ
ータの提供を目的とするもので、空気供給源から
の空気を、空気制御器、空気供給管、固定ノズル
を介して背圧室に導き、前記背圧室に導通する検
出ノズルに供給して、検出ノズルと被測定物との
隙間の大小により、前記背圧室における空気圧の
変化を検出して寸法測定を行う空気マイクロメー
タにおいて、前記背圧室における空気圧の変化を
検出してこれを電気信号に変換する測定圧用圧力
検出器と、前記空気供給管に接続しこの空気供給
管における空気圧の変化を検出しこれを電気信号
に変換する空気供給管用圧力検出器と、この圧力
検出器の電気信号を増幅後背圧室に接続された測
定圧用圧力検出器に入力するための増幅器を備
え、前記空気供給管における空気圧の変動を補正
した測定信号が出力されるように工夫した空気マ
イクロメータである。
補正して正確な寸法測定のできる空気マイクロメ
ータの提供を目的とするもので、空気供給源から
の空気を、空気制御器、空気供給管、固定ノズル
を介して背圧室に導き、前記背圧室に導通する検
出ノズルに供給して、検出ノズルと被測定物との
隙間の大小により、前記背圧室における空気圧の
変化を検出して寸法測定を行う空気マイクロメー
タにおいて、前記背圧室における空気圧の変化を
検出してこれを電気信号に変換する測定圧用圧力
検出器と、前記空気供給管に接続しこの空気供給
管における空気圧の変化を検出しこれを電気信号
に変換する空気供給管用圧力検出器と、この圧力
検出器の電気信号を増幅後背圧室に接続された測
定圧用圧力検出器に入力するための増幅器を備
え、前記空気供給管における空気圧の変動を補正
した測定信号が出力されるように工夫した空気マ
イクロメータである。
次にこの考案の一実施例を図を参照しながら説
明する。１は検出用ノズルで、この検出用ノズル
１は公知の空気マイクロメータと同様に、背圧室
１１と導通するように設けられており、背圧室１
１には固定ノズル１２および空気供給管１３を介
して空気源１４より圧縮空気が供給されるように
構成されている。１５は空気制御器である。２は
被測定物で、この被測定物２と検出用ノズル１と
の隙間Ｃが変化すると、背圧室１１内の空気圧が
変化するが、この変化を電気信号の変化として検
出するのが測定圧用圧力検出器３であり、例えば
拡散型半導体圧力変換器を使用することができ
る。
明する。１は検出用ノズルで、この検出用ノズル
１は公知の空気マイクロメータと同様に、背圧室
１１と導通するように設けられており、背圧室１
１には固定ノズル１２および空気供給管１３を介
して空気源１４より圧縮空気が供給されるように
構成されている。１５は空気制御器である。２は
被測定物で、この被測定物２と検出用ノズル１と
の隙間Ｃが変化すると、背圧室１１内の空気圧が
変化するが、この変化を電気信号の変化として検
出するのが測定圧用圧力検出器３であり、例えば
拡散型半導体圧力変換器を使用することができ
る。
上記のような空気マイクロメータにおいては、
空気供給管１３に供給される空気圧に変化がある
と、固定ノズル１２により、また背圧室１１にお
いてその変化は一応緩和はされるが、その影響を
無視することはできない。
空気供給管１３に供給される空気圧に変化がある
と、固定ノズル１２により、また背圧室１１にお
いてその変化は一応緩和はされるが、その影響を
無視することはできない。
この空気供給管１３内の空気圧を検出するため
に空気供給管用圧力検出器４が、空気供給管１３
には接続されている。この空気供給管用圧力検出
器４は前記の測定圧用圧力検出器３ろ同じ構造の
ものを使用できるが、出力側に増幅器５が接続さ
れ、この増幅器５は増幅された信号を、測定圧用
圧力検出器３に入力できるように、測定圧用圧力
検出器３とも接続している。
に空気供給管用圧力検出器４が、空気供給管１３
には接続されている。この空気供給管用圧力検出
器４は前記の測定圧用圧力検出器３ろ同じ構造の
ものを使用できるが、出力側に増幅器５が接続さ
れ、この増幅器５は増幅された信号を、測定圧用
圧力検出器３に入力できるように、測定圧用圧力
検出器３とも接続している。
図示は省略したが、空気供給管用圧力検出器４
には駆動用の定電圧または定電流を入力すること
が必要であり、測定圧用圧力検出器３にも何らか
の駆動力の入力が必要であり、この測定圧用圧力
検出器３には、上記のように空気供給管用圧力検
出器４からの検出出力が入力される。
には駆動用の定電圧または定電流を入力すること
が必要であり、測定圧用圧力検出器３にも何らか
の駆動力の入力が必要であり、この測定圧用圧力
検出器３には、上記のように空気供給管用圧力検
出器４からの検出出力が入力される。
測定圧用圧力検出器３には、出力側に増幅器６
が接続され、さらにこの増幅器６にはAD変換器
７が接続し、AD変換器７には、表示器８が接続
されている。
が接続され、さらにこの増幅器６にはAD変換器
７が接続し、AD変換器７には、表示器８が接続
されている。
次に上記空気マイクロメータの動作について説
明する。空気源よりの圧縮空気が正常に送られ
て、空気供給管１３の空気圧に変動がない場合に
は、被測定物２と検出ノズル１との隙間Ｃの大き
さに応じた背圧室１１内の空気圧が測定圧用圧力
検出器３によつて検出される。この空気圧は測定
圧用圧力検出器３によつて電気信号に変換され、
この電気信号は増幅器６によつて増幅後、AD変
換器によつてデイジタル信号に変換され、表示器
８に数値が表示される。
明する。空気源よりの圧縮空気が正常に送られ
て、空気供給管１３の空気圧に変動がない場合に
は、被測定物２と検出ノズル１との隙間Ｃの大き
さに応じた背圧室１１内の空気圧が測定圧用圧力
検出器３によつて検出される。この空気圧は測定
圧用圧力検出器３によつて電気信号に変換され、
この電気信号は増幅器６によつて増幅後、AD変
換器によつてデイジタル信号に変換され、表示器
８に数値が表示される。
いま上記背圧室１１における空気圧をP1とし、
固定ノズル１２の面積をa1、検出用ノズル部の面
積をa2（a2＝αc，α＝検出用ノズル部の円周、ｃ
は隙間）、空気供給管１３の空気圧をＰとしたと
き P1＝f1（a2／a1）×f2（Ｐ） (1) の関係となり、背圧室１１における空気圧P1は
常に空気供給管１３の空気圧Ｐの影響を受けてい
る。
固定ノズル１２の面積をa1、検出用ノズル部の面
積をa2（a2＝αc，α＝検出用ノズル部の円周、ｃ
は隙間）、空気供給管１３の空気圧をＰとしたと
き P1＝f1（a2／a1）×f2（Ｐ） (1) の関係となり、背圧室１１における空気圧P1は
常に空気供給管１３の空気圧Ｐの影響を受けてい
る。
空気供給が正常の場合には、空気供給管１３に
接続された空気供給管用圧力検出器４からは一定
の空気圧による電気信号（f2（Ｐ）＝一定）が出力
され、この電気信号が増幅器５によつて増幅され
て測定圧用圧力検出器３の駆動源となり、測定圧
用圧力検出器３は一定の入力で駆動されるので、
表示器８へは専ら検出用ノズル部の面積a2に関係
する隙間Ｃの大きさのみが影響し、数値が表示さ
れる。
接続された空気供給管用圧力検出器４からは一定
の空気圧による電気信号（f2（Ｐ）＝一定）が出力
され、この電気信号が増幅器５によつて増幅され
て測定圧用圧力検出器３の駆動源となり、測定圧
用圧力検出器３は一定の入力で駆動されるので、
表示器８へは専ら検出用ノズル部の面積a2に関係
する隙間Ｃの大きさのみが影響し、数値が表示さ
れる。
しかし空気供給管１３の空気圧Ｐに変動が生ず
ると、この変動によつて空気供給管用圧力検出器
４の電気信号f2（Ｐ）が変化する。この変化した
電気信号が増幅器５によつて増幅され、測定圧用
圧力検出器３に入力される。従つて測定圧用圧力
検出器３は空気圧一定の場合とは異つた電気信号
f2（Ｐ）によつて駆動される。換言すれば、供給
空気圧の変動に応じた電気信号f2（Ｐ）によつて
駆動されることになり、測定圧用圧力検出器３か
らは、供給空気圧の変動が加味された信号が出力
される。即ち前記(1)式P1＝f1（a2／a1）×f2（Ｐ）を
満足する信号が出力される。
ると、この変動によつて空気供給管用圧力検出器
４の電気信号f2（Ｐ）が変化する。この変化した
電気信号が増幅器５によつて増幅され、測定圧用
圧力検出器３に入力される。従つて測定圧用圧力
検出器３は空気圧一定の場合とは異つた電気信号
f2（Ｐ）によつて駆動される。換言すれば、供給
空気圧の変動に応じた電気信号f2（Ｐ）によつて
駆動されることになり、測定圧用圧力検出器３か
らは、供給空気圧の変動が加味された信号が出力
される。即ち前記(1)式P1＝f1（a2／a1）×f2（Ｐ）を
満足する信号が出力される。
この出力が増幅器６によつて増幅され、AD変
換器７を介して、表示器８によつて数値の表示が
行われる。この表示された数値は、前記のように
供給空気圧の変動を補正した隙間Ｃの大きさに関
連した数値である。
換器７を介して、表示器８によつて数値の表示が
行われる。この表示された数値は、前記のように
供給空気圧の変動を補正した隙間Ｃの大きさに関
連した数値である。
この考案の空気マイクロメータは、上記のよう
に供給空気圧の変動を時々刻々とらえて補正する
ので、空気供給管の空気圧に変動があつても、正
確迅速な測定をすることができる。しかもこの空
気マイクロメータは、空気圧の変動を補正するの
に演算回路を必要としないので電気回路は簡単な
ものであり、比較的温度変化に影響され易い演算
回路を使用していないので、補償回路としての安
定性が高く、温度による使用箇所の制限が少いの
で、使い易い測定器である。
に供給空気圧の変動を時々刻々とらえて補正する
ので、空気供給管の空気圧に変動があつても、正
確迅速な測定をすることができる。しかもこの空
気マイクロメータは、空気圧の変動を補正するの
に演算回路を必要としないので電気回路は簡単な
ものであり、比較的温度変化に影響され易い演算
回路を使用していないので、補償回路としての安
定性が高く、温度による使用箇所の制限が少いの
で、使い易い測定器である。
第１図はこの考案の一実施例を示す説明図であ
る。 符号の説明、１は検出ノズル、２は被測定物、
３は測定圧用圧力検出器、４は空気供給管用圧力
検、５，６は増幅器、７はAD変換器、８は表示
器、１１は背圧室、１３は空気供給管。
る。 符号の説明、１は検出ノズル、２は被測定物、
３は測定圧用圧力検出器、４は空気供給管用圧力
検、５，６は増幅器、７はAD変換器、８は表示
器、１１は背圧室、１３は空気供給管。
Claims (1)
- 空気供給源からの空気を供給するための空気供
給管と、この空気供給管に設けられた固定ノズル
と、前記固定ノズルと連通する背圧室と、前記背
圧室と導通するように設けられかつ被測定物と対
向する様設けられた検出ノズルと、この検出ノズ
ルと被測定物との隙間の大きさに応じて変化する
背圧室における空気圧の変化を電気信号に変換し
て寸法測定を行う空気マイクロメータにおいて、
前記背圧室に接続し背圧室の空気圧の変化を検出
してこれを電気信号に変換する測定圧用圧力検出
器と、前記空気供給管に接続し空気供給管におけ
る空気圧の変動を検出してこれを電気信号に変換
する空気供給管用圧力検出器とを備え、前記測定
圧用圧力検出器は、前記空気供給管用圧力検出器
の出力にもとずく電気信号を駆動源として入力す
ると共に、前記背圧室の圧力値を入力し、前記駆
動源と背圧室の圧力値との積を電気信号として出
力し、該電気信号を前記空気供給管の空気圧変動
を補正した背圧室の圧力信号として用い、前記検
出ノズルと被測定物との隙間を測定することを特
徴とする空気マイクロメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720982U JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720982U JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58140403U JPS58140403U (ja) | 1983-09-21 |
| JPH0449527Y2 true JPH0449527Y2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=30048607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3720982U Granted JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58140403U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2905312B2 (ja) * | 1991-05-01 | 1999-06-14 | 茨城県 | 紙葉類の重送検出装置 |
| JP2003007653A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
| JP4669162B2 (ja) * | 2001-06-28 | 2011-04-13 | 株式会社ディスコ | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924964Y2 (ja) * | 1979-05-16 | 1984-07-23 | 豊田工機株式会社 | エアマイクロメ−タ |
-
1982
- 1982-03-18 JP JP3720982U patent/JPS58140403U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58140403U (ja) | 1983-09-21 |
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