JPS58140403U - 空気マイクロメ−タ - Google Patents
空気マイクロメ−タInfo
- Publication number
- JPS58140403U JPS58140403U JP3720982U JP3720982U JPS58140403U JP S58140403 U JPS58140403 U JP S58140403U JP 3720982 U JP3720982 U JP 3720982U JP 3720982 U JP3720982 U JP 3720982U JP S58140403 U JPS58140403 U JP S58140403U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- air
- air supply
- supply pipe
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
°第1図はこの考案の一実施例を示す説明図である。
符号の説明、1は検出ノズル、2は被測定物、3.4は
圧力検出器、5,6は増幅器、7はAD変換器、8は表
示器、11は背圧室、13は空気供給管。
圧力検出器、5,6は増幅器、7はAD変換器、8は表
示器、11は背圧室、13は空気供給管。
Claims (1)
- 空気供給源からの空気を供給するための空気供給管と、
この空気供給管に設けられた固定ノズルと、前記固定ノ
ズルおよび背圧室に導通ずるように設けられた検出ノズ
ルと、この検出ノズルと被測定物との隙間の大きさに応
じて変化する背圧室における空気圧の変化を電気信号に
変換して寸法測定を行う空気マイクロメータにおいて、
前記背圧室に接続し背圧室の空気圧の変化を検出してこ
れを電気信号に変換する測定圧用の圧力検出器と、前記
空気供給管に接続し空気供給管における空気圧の変動を
検出してこれを電気信号に変換する空気供給管用の圧力
検出器と、二の空気供給管用の圧力検出器に接続しその
出力を増幅して前記測定圧用の圧力検出器へ駆動源とし
ての増幅信号を入力するために接続された増幅器と、前
記測定圧用の圧力検出器に接続しその出力を増幅するた
めの増幅器とを備え、前記空気供給管の空気圧の変動を
補正して測定信号が出力されるようにしたことを特徴と
する空気マイクロメータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3720982U JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3720982U JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58140403U true JPS58140403U (ja) | 1983-09-21 |
JPH0449527Y2 JPH0449527Y2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=30048607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3720982U Granted JPS58140403U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | 空気マイクロメ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58140403U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05254693A (ja) * | 1991-05-01 | 1993-10-05 | Ibaraki Pref Gov | 紙葉類の重送検出装置 |
JP2003007653A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
JP2003017442A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55165209U (ja) * | 1979-05-16 | 1980-11-27 |
-
1982
- 1982-03-18 JP JP3720982U patent/JPS58140403U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55165209U (ja) * | 1979-05-16 | 1980-11-27 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05254693A (ja) * | 1991-05-01 | 1993-10-05 | Ibaraki Pref Gov | 紙葉類の重送検出装置 |
JP2003007653A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
JP2003017442A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
JP4669162B2 (ja) * | 2001-06-28 | 2011-04-13 | 株式会社ディスコ | 半導体ウェーハの分割システム及び分割方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0449527Y2 (ja) | 1992-11-20 |
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