JPH0448925Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、安全装置付き平面研磨装置に関する
ものである。

［従来の技術］ 従来、上下の定盤と太陽歯車及び内歯歯車を備
え、両歯車に噛合して遊星歯車状に駆動されるキ
ヤリヤのワーク保持穴に保持されたワークを、回
転する上下の定盤により両側から挟持して研磨す
る平面研磨装置は公知である。

かかる平面研磨装置においては、ワークを研磨
するに当り、上定盤を待機位置に上昇させた状態
で下定盤上の所定の位置にキヤリヤをセツトする
と共に、該キヤリヤのワーク保持穴内にワークを
嵌合、保持させ、その後で上定盤をワークに当接
する研磨位置まで下降させて研磨するが、上記の
如くワークをキヤリヤに保持させる際に、各保持
穴内にワークが正しく嵌合していなかつたり、誤
つて複数のワークが重積状態でセツトされる場合
があり、このような状態のまま上定盤が下降して
研磨が行われると、該上定盤が傾いたまま回転す
ることになるため、ワーク及び装置が破損するこ
とになる。

［考案が解決しようとする課題］ 本考案の課題は、上述した従来の問題点を解決
するため、ワークを研磨するに当り、キヤリヤの
各保持穴内にワークが正しく嵌合していなかつた
り、誤つて複数のワークが重積状態でセツトされ
ているようなときには、それを検知して研磨を開
始できないようにする安全装置を備えた平面研磨
装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案は、同軸状に
配設された太陽歯車及び内歯歯車と、これらの太
陽歯車及び内歯歯車に噛合して該歯車の回転によ
り遊星運動するワーク保持用キヤリヤと、該キヤ
リヤのワーク保持穴に保持されたワークを両側か
ら挟持して研磨する駆動回転自在の上下の定盤と
を備えた平面研磨装置に、ワークがキヤリヤに正
しく保持されていない状態で研磨が開始されるの
を防止するための安全装置を付設してなり、該安
全装置が、研磨の開始に当つて上定盤を上昇した
待機位置からワークに当接する研磨位置まで下降
させたときの上下の定盤間の間隔を測定する位置
センサと、両定盤間の間隔が設定値以下である場
合にのみ上記定盤及び歯車の駆動回路を閉成する
制御手段とからなることを特徴としている。

［作用］ ワークの研磨に際しては、上定盤を上昇させた
状態で下定盤上の所定の位置に内歯歯車及び太陽
歯車と噛合するようにキヤリヤをセツトすると共
に、該キヤリヤの各ワーク保持穴内にワークをセ
ツトし、シリンダにより上定盤をワークに当接す
る研磨位置まで下降させる。このとき、上下の定
盤間の間隔が位置センサにより測定され、それが
設定値の範囲内にあれば研磨装置は起動すること
ができるが、設定値を越えている場合には安全装
置が働き、研磨装置は起動できなくなる。

即ち、ワークがキヤリヤの各保持穴に１枚づつ
正しくセツトされている場合には、上下の定盤間
の間隔が設定値以下となるため、両定盤及び両歯
車の駆動回路が制御手段により閉成され、ワーク
の研磨が可能となる。

一方、キヤリヤの保持穴に複数のワークが重積
状態でセツトされていたり、ワークの一部が保持
穴からはみ出しているような場合には、その分上
定盤が持上つて両定盤間の間隔が設定値以上とな
るため、両定盤及び両歯車の駆動回路は開放した
ままとなり、ワークの研磨を行うことができな
い。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図に示す平面研磨装置は、上下の定盤１
１，１２と太陽歯車１３、及び内歯歯車１４を備
え、両歯車１３，１４に噛合して該歯車の回転に
より遊星運動するキヤリヤ１５のワーク保持穴に
嵌合、保持されたワーク１６を、回転する上下の
定盤１１，１２により両側から挟持して研磨する
ように構成したものである。

上記下定盤１２及び両歯車１３，１４には、そ
れらと一体の駆動軸１２ａ，１３ａ，１４ａが同
軸状に設けられ、これらの各駆動軸の下端にそれ
ぞれスプロケツト１２ｂ，１３ｂ，１４ｂが取付
けられており、これらのスプロケツトがモータ等
の駆動源（図示せず）に連結されている。また、
上記太陽歯車１３用の駆動軸１３ａの内部には、
上定盤１１用の駆動軸１１ａが配設され、該駆動
軸１１ａの下端にも同様にスプロケツト１１ｂが
取付けられ、該スプロケツト１１ｂが駆動源に連
結されている。

一方、上記上定盤１１は、機体１０上に立設せ
しめられた支柱１８に昇降自在に吊設されてい
る。即ち、該支柱１８から水平に延びる支持アー
ム１８ａにはメインシリンダ２０が固定され、該
メインシリンダ２０のロツド２０ａに、上定盤１
１の微少昇降と加工圧の設定とを行うサブシリン
ダ２１が取付けられており、該サブシリンダ２１
のロツド２１ａに吊板２２が回転自在に取付けら
れ、該吊板２２に垂設された複数のスタツド２３
の下端に取付板２４を介して上記上定盤１１が取
付けられている。而して該上定盤１１は、それが
下降したときに、取付板２４上の爪２５が駆動軸
１１ａの上端のドライバ１１ｃに係合し、該駆動
軸１１ａを介して駆動源により駆動されるように
なつている。

また、この平面研磨装置には、ワーク１６がキ
ヤリヤ１５に正しくセツトされていない状態で研
磨が開始されるのを防止するための安全装置２６
が付設されている。

上記安全装置２６は、研磨の開始時に、待機位
置に上昇している上定盤１１をワーク１６に当接
する研磨位置まで下降させたときの該上定盤１１
の位置から上下の定盤１１，１２間の間隔を測定
する位置センサ２８と、両定盤１１，１２間の間
隔が設定値以下である場合にのみ両定盤１１，１
２及び両歯車１３，１４の駆動回路を閉成して研
磨を可能にする制御手段３０とからなるもので、
上記位置センサ２８は、第２図に具体的に示すよ
うに、センサ本体２８ａから下方に向けて伸縮自
在に突出する測定アーム２８ｂを有し、この測定
アーム２８ｂの変位を電気信号に変換してその信
号から上定盤１１の位置、即ち両定盤１１，１２
間の間隔を求めるものとして構成され、上定盤１
１側に取付けられている。即ち、該位置センサ２
８は、サブシリンダ２１のロツド２１ａに固定さ
れた取付部材２７上に取付けられており、これに
対して、該サブシリンダ２１におけるシリンダチ
ユーブ側には、上記測定アーム２８ｂの先端が当
接する当接片２９が取付けられ、ロツド２１ａが
伸長して上定盤１１が下降すると、測定アーム２
８ｂが当接片に当接して短縮し、その変位から上
定盤１１の位置が検出されて両定盤１１，１２間
の間隔が測定されるようになつており、サブシリ
ンダ２１のストロークを利用して両定盤１１，１
２間の間隔を測定するものである。

このように、両定盤１１，１２間の間隔の測定
にサブシリンダ２１のストロークを利用するよう
にすると、吊板２２の上面の空間を利用して位置
センサ２８を設けることができるため、該位置セ
ンサ２８が研磨の際のワークの出し入れ等の障害
になるのを防止して研磨作業を円滑に行うことが
できるばかりでなく、該位置センサ２８が他の部
材と位置競合を生じるのを防いでその取付けを容
易に行うことができ、しかも、上定盤１１の中心
に比較的近いところで該上定盤の位置から両定盤
１１，１２間の間隔を測定することができるた
め、該上定盤１１が重積したワークに乗上げる等
によつていずれの方向の傾いた場合でも、それを
確実に検知することができる。

上記構成を有する平面研磨装置において、ワー
ク１６の研磨を行うに際しては、まず、キヤリヤ
１５及びワーク１６をセツトしていない状態で上
定盤１１を下定盤１２に当接する位置まで下降さ
せる。その下降は、メインシリンダ２０によつて
上定盤１１を所定の位置まで下降させたあと、サ
ブシリンダ２１のロツド２１ａを伸長させて該上
定盤１１を下定盤１２に当接する位置まで下降さ
せることにより行われる。このとき、サブシリン
ダ２１のロツド２１ａの伸長により該ロツド２１
ａ側に取付けられた位置センサ２８の測定アーム
２８ｂがシリンダチユーブ側の当接片２９に当接
し、該測定アーム２８ｂが短縮することにより上
定盤１１の位置が測定されるが、そのときの上定
盤１１の位置が０であるように位置センサ２８の
零点を調節し、同時に研磨すべきワーク１６の厚
さから、駆動回路を閉成させるべき上定盤１１の
位置が設定される。

続いて、上定盤１１を待機位置に上昇させ、そ
の状態で下定盤１２上の所定の位置に太陽歯車１
３及び内歯歯車１４と噛合するキヤリヤ１５をセ
ツトすると共に、該キヤリヤ１５の各保持穴にワ
ーク１６を嵌合、保持させ、メインシリンダ２０
及びサブシリンダ２１により上定盤１１をワーク
１６に当接する研磨位置まで下降させて研磨を行
うが、このとき、位置センサ２８により上定盤１
１の位置即ち上下の定盤１１，１２間の間隔が測
定され、それが設定値の範囲内にあれば研磨装置
は起動することができるが、設定値を越えている
場合には安全装置２６が働き、研磨装置は起動で
きなくなる。

即ち、ワーク１６が各キヤリヤ１５の保持穴に
１枚づつ正しく嵌合した状態でセツトされている
場合には、上下の定盤１１，１２間の間隔が設定
値以下となるため、両定盤１１，１２及び両歯車
１３，１４の駆動回路が制御手段３０により閉成
され、両定盤１１，１２及び両歯車１３，１４が
回転することにより、遊星運動するキヤリヤ１５
に保持されたワーク１６が両定盤１１，１２によ
り上下から挟持された状態で研磨される。

一方、キヤリヤ１５の保持穴に複数のワーク１
６が重積状態でセツトされていたり、ワーク１６
の一部が保持穴からはみ出しているような場合に
は、その分上定盤１１が持上つて両定盤１１，１
２間の間隔が大きくなり、設定値以上となるた
め、両定盤１１，１２及び両歯車１３，１４の駆
動回路は開放したままとなり、ワークの研磨を行
うことができない。

上記位置センサ２８の零点調節は、研磨毎に行
うのが望ましく、これによつて定盤１１，１２の
摩耗による影響を除去することができる。

なお、上記位置センサ２８としては、公知のエ
アゲージや差動変圧器等を使用することができる
が、これらの接触形のものに代えて、超音波を使
用する非接触形のものを使用することもできる。

また、これらの位置センサは、上定盤１１の下
定盤１２に対する位置を測定できる任意の場所に
取付けることができることはいうまでもない。

［考案の効果］ このように、本考案の平面研磨装置によれば、
研磨の開始に当たつて上定盤をワークに当接する
位置まで下降させたときの下定盤に対する該上定
盤の位置を位置センサにより測定し、両定盤間の
間隔が設定値以下である場合にのみ両定盤及び両
歯車の駆動回路を閉成するように構成したので、
ワークがキヤリヤの保持穴に正しく嵌合した状態
で保持されていなかつたり、複数のワークが重積
状態で保持穴にセツトされているような場合に、
上定盤の下降位置からその異常を検出して加工が
開始されないようにすることができ、これによ
り、上定盤が傾いたり所定の位置まで下降しない
状態のまま研磨が行われるのを防止して、ワーク
や研磨装置の破損を確実に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す上定盤を下降
させた状態での縦断面図、第２図は上定盤を上昇
させた状態での要部拡大図である。 １１……上定盤、１２……下定盤、１３……太
陽歯車、１４……内歯歯車、１５……キヤリヤ、
１６……ワーク、２６……安全装置、２８……位
置センサ、３０……制御手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯車と、
   これらの太陽歯車及び内歯歯車に噛合して該歯車
   の回転により遊星運動するワーク保持用キヤリヤ
   と、該キヤリヤのワーク保持穴に保持されたワー
   クを両側から挟持して研磨する駆動回転自在の上
   下の定盤とを備えた平面研磨装置に、ワークがキ
   ヤリヤに正しくセツトされていない状態で研磨が
   開始されるのを防止するための安全装置を付設し
   てなり、 上記安全装置が、研磨の開始に当つて上定盤を
   上昇した待機位置からワークに当接する研磨位置
   まで下降させたときの上下の定盤間の間隔を測定
   する位置センサと、両定盤間の間隔が設定値以下
   である場合にのみ上記定盤及び歯車の駆動回路を
   閉成する制御手段とから構成されていることを特
   徴とする安全装置付き平面研磨装置。