JPH0445578B2 - - Google Patents

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JPH0445578B2
JPH0445578B2 JP8255183A JP8255183A JPH0445578B2 JP H0445578 B2 JPH0445578 B2 JP H0445578B2 JP 8255183 A JP8255183 A JP 8255183A JP 8255183 A JP8255183 A JP 8255183A JP H0445578 B2 JPH0445578 B2 JP H0445578B2
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JP
Japan
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processing
temperature
alloy
nitriding
molybdenum
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JP8255183A
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JPS59208066A (ja
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Shinzo Yano
Shotaro Morozumi
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24Nitriding
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕 本発明は、Mo合金、特にMo−Zr合金に関す
る。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 MoはWに次ぐ、高融点物質で電灯及び電子管
用材料、耐熱用構造材料、発熱体用材料として多
用されている。しかしMoの高温における強度特
性は、要望される程度良好ではない。そこで、高
温強度を改善したMo合金として、第1表に示す
ようなTZM,TZC等の合金が開発された。この
種の合金は従来のMoよりかなり高温強度が改善
されているが、一方2次加工性の点であまり良好
ではなかつた。
【表】
〔発明の目的〕
本発明の目的は、 1 高温強度を有し、かつ 2 加工性に優れた Mo合金の加工法を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明は、モリブデン−0.01〜1.0重量%ジル
コニウム合金を成形し、その後このモリブデン−
ジルコニウム合金を内部窒化することにより、上
記の目的を達成することができる。 本発明で用いる内部窒化は従来の表面窒化とは異
なり、引張り強度を著しく向上させる。その為、
窒化前にこの合金に成形を行なうことにより、上
記目的を達成できる。 本願発明者らは、この考えに基づいて、実験研
究の結果、Zr含有量が0.01〜1.0重量%の範囲で、
加工性及び高温強度の双方が優れている事を見い
出した。 加工性について説明すると、本発明での加工
は、窒化前に実施され、通常700〜1000℃程度の
温度で行われる。この際Zrの添加量が少ないほ
ど、比較的小さい応力で加工ができやすく、割れ
も又生じにくく所望の形状が得られますい。 次に高温強度について説明すると、本発明での
高温強度は、内部窒化によつて得られる。この際
Zrの添加量が多いほど、高温強度(例えば引張
り強度、硬度)は高くなる。ここでいう高温とは
通常1000℃〜1800℃程度を示す。 第1図は、内部窒化モリブデン−ジルコニウム合
金に関して、Zr含有量と高温引張り強度との関
係を表わした図である。横軸がZr含有量であり、
縦軸が1773〓での引張り強度である。この図か
ら、わかるように、Zrの含有量の増加とともに
引張り強度が増加する。特に、0.15%までは、増
加率が大きく、添加量に対して引張り強度増加の
効果が大きい。 以上述べてきたように、本発明のMo−Zr合金
は、Zr含有量が多すぎると、加工性が低下し、
一方、含有量が少なすぎると、窒化した際、高温
強度がでない。したがつてZr含有量は0.01%〜
1.0%が好ましく、更に0.05%〜0.3%が好ましく、
0.1〜0.15%が更に好ましい。 一方高温強度は、窒化温度によつても変化す
る。 例えば、窒化を1623〓以下の温度で行なうと、
比較的硬度のMo−Zr合金が得られ、耐摩耗性材
料として適している。この合金の硬度は、整合歪
を伴う微細な板状ZrN粒子(10nm径以下)が特
に表面付近に析出する為に得られる。そして、窒
化温度が高すぎると、この組織が得られにくく、
一方低すぎると、窒化速度が遅く、工業的に有効
でない。 したがつて、窒化温度は1273〓〜1623〓、更には
1323〓〜1573〓更には1373〓〜1523〓が好まし
い。 又、窒化を1623〓以上の高温で行なうと、靱性
及び引張り強度の良好なMo−Zr合金が得られ、
この合金は構造用材料に適している。この合金の
靱性及び引張り強度は、部分整合はZrN板状粒子
(数百nm径)が析出する為に得られる。そして、
窒化温度が高すぎると、結晶粒が粗大化し、低す
ぎるとこの組織が形成しにくい。したがつて、窒
化温度は1623〓〜2073〓、更には、1643〓〜1973
〓、更には、1663〓〜1873〓が好ましい。 又、窒化前に減面加工を施すことによつても引
張り強度及び延性は向上できる。この減面加工で
加工率が大きければ、大きいほど、効果があり、
具体的には、30%以上、更に好ましくは、85%以
上が効果がある。 本発明者らは、Mo−Zr合金に関しても研究し
た結果、Mo−0.5重量%Ti合金、Mo−1重量%
Ti合金を1773°Kで窒化したときもほぼ同じ強さ
が得られることを発見した。しかし、Mo−Zr合
金の方がMo−Ti合金に比べて、一定深さを窒化
するに要する時間が1/3で済み工業的には有利で
ある。 〔発明の実施例〕 実施例1 本実施例の試料として第2表に示す
成分の鋳塊を得、それを板状に成形した。この板
材の加工性を調べる為に引張り試験を行つた。そ
の結果を第2図に示す。横軸が試験温度、縦軸が
伸びを表わす。曲線4は、Mo−0.3%Zr合金の伸
びであり、曲線8は比較の為にTZM合金を測定
した値である。 第2図から明らかなようにMo−0.3Zr合金の方
がTZMより、伸びが大きく、加工性が優れてい
ることがわかる。更にZr含有量の低い合金は、
一層加工性が優れていた。 なお、引張試験は、Wメシユ・ヒータを内蔵す
る超高温引張試験機により10-4Paの真空中、293
〜1773〓の温度、1.1×10-4/Sの歪速度で行な
われた。
【表】
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明は、モリブデン−0.05
〜0.3重量%ジルコニウム合金を成形加工し、そ
の後このモリブデン−ジルコニウム合金を内部窒
化することにより、従来のTZMやTZC等の同程
の高温強度を有するとともに更に優れた加工性を
有するMo合金を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は引張強度の溶質濃度依存性を表わす図
であり、第2図は試験温度に対する伸びを表わす
図であり、第3図は試験温度に対する引張強度を
表わす図であり、第4図乃至第5図は表面からの
距離に対する硬度を表わす図であり、第6図は試
験温度に対する引張強度を表わす図であり、第7
図は試験温度に対する伸びを表わす図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 モリブデン−0.01〜1.0重量%ジルコニウム
    合金を成形する第一の工程と、その後このモリブ
    デン−ジルコニウム合金を内部窒化する第二の工
    程とを具備してなる内部窒化モリブデン−ジルコ
    ニウム合金の加工法。 2 窒化温度が1623°K以下である特許請求の範
    囲第1項に記載の内部窒化モリブデン−ジルコニ
    ウム合金の加工法。 3 窒化温度が1623°K以上である特許請求の範
    囲第1項に記載の内部窒化モリブデン−ジルコニ
    ウム合金の加工法。 4 第二の工程の前に、モリブデン−ジルコニウ
    ム合金に減面加工を施こす特許請求の範囲第1項
    乃至第3項に記載の内部窒化モリブデン−ジルコ
    ニウム合金の加工法。 5 減面加工は、加工率が85%以上である特許請
    求の範囲第4項に記載の内部窒化モリブデン−ジ
    ルコニウム合金の加工法。 6 第二の工程後に、更に加工する第三の工程を
    具備してなる特許請求の範囲第1項乃至第5項に
    記載の内部窒化モリブデン−ジルコニウム合金の
    加工法。
JP8255183A 1983-05-13 1983-05-13 内部窒化モリブデン−ジルコニウム合金の加工法 Granted JPS59208066A (ja)

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JPS59208066A JPS59208066A (ja) 1984-11-26
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