JPH0438659B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はフイルムキヤリアボンデイング装置に
おいて、フイルムキヤリアを搬送および固定保持
するフイルムキヤリア搬送保持装置に関するもの
である。

従来例の構成とその問題点 従来のフイルムキヤリアボンデイング装置のフ
イルムキヤリア搬送および作業位置でのフイルム
キヤリア保持方法は第１図、第２図に示すような
具体構成となつている。１はフイルムキヤリアで
あり、２１は供給されるフイルムキヤリア１を巻
き取つている供給リールである。３はボンデイン
グされた後のフイルムキヤリア１を巻き取る巻き
取りリールである。４はフイルムキヤリア１を所
定ピツチづつ矢印Ａ方向に間欠送りするように、
フイルムキヤリア１の両縁部に一定ピツチで設け
られたパーフオレーシヨン孔５に係合する送りス
プロケツトである。６は送りスプロケツト４と接
続し、前記送りスプロケツト４を矢印Ｂ方向に所
定角度回転させるモータである。７はフイルムキ
ヤリア１の両縁部のパーフオレーシヨン孔５に係
合するテンシヨンスプロケツトであり、８はフイ
ルムキヤリア１に常に矢印Ａ方向の送り方向と逆
方向の一定張力を与えるトルクモータであり、テ
ンシヨンスプロケツト７と接続され矢印Ｃ方向に
回動力を発生させている。９および１０はアイド
ラローラである。

１１は送りスプロケツト４とテンシヨンスプロ
ケツト７との間の作業位置でのフイルムキヤリア
１を支持するガイドである。１２は弾性体１３に
より付勢され、楔状先端部１４を有しパーフオレ
ーシヨン孔５ａと外接することによりフイルムキ
ヤリア１の間欠送り後の位置決めをする位置決め
爪である。フイルムキヤリア１の間欠送り時は楔
状先端部１１の傾斜面１５により、位置決め爪１
２は矢印Ｄ方向に逃げる。１６はヒートツールで
あり、矢印Ｅ方向に上下動しボンデイング動作を
行なう。１７は半導体素子であり、１８の矢印Ｆ
方向に上下動するステージ上に保持されている。

しかしながら上記のような構成では、第３図、
第４図にみられるように、フイルムキヤリア１の
フインガー２０が接合される時点でフイルムキヤ
リア１の保持力が小さいため、フインガー２０と
半導体素子１７の上部のバンプ１９と接合は行な
われるが、隣接する半導体素子１７ａのバンプ１
９ａともフインガー２０が接触する可能性も大き
い。また、半導体素子１７のエツジ部２１にフイ
ンガー２０が接触した状態でボンデイングされる
場合があるといつた欠点を有していた。

発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、フイルムキヤリアに
一定張力を付加した状態でフイルムキヤリア送り
を行なつた後、その状態のままで作業位置前後の
フイルムキヤリアを固定保持するフイルムキヤリ
ア搬送保持装置を提供するものである。

発明の構成 本発明フイルムキヤリアを送るスプロケツトと
その駆動モータ、フイルムキヤリアにテンシヨン
を付加するスプロケツトとその駆動モータ、フイ
ルムキヤリアを位置決めする位置決め爪、作業位
置前後のフイルムキヤリアを支持するガイド部、
フイルムキヤリアを固定保持する固定具とから構
成されており、最小限の張力による正確なフイル
ムキヤリアの搬送位置決めと位置決め後の完全な
固定保持ができるという効果を有している。

実施例の説明 以下本発明の一実施例について、第５図から第
８図の図面にもとづいて説明する。

１はフイルムキヤリアであり、２は供給される
フイルムキヤリア１を巻き取つている供給リール
である。３はボンデイングされた後のフイルムキ
ヤリア１を巻き取る巻き取りリールである。４は
フイルムキヤリア１を所定ピツチづつ矢印Ａ方向
に間欠送りするように、フイルムキヤリア１の両
縁部に一定ピツチで設けられたパーフオレーシヨ
ン孔５に係合する送りスプロケツトである。６は
送りスプロケツト４と接続し、前記送りスプロケ
ツト４を矢印Ｂ方向に所定角度回転させるモータ
である。７はフイルムキヤリア１の両縁部のパー
フオレーシヨン孔５に係合するテンシヨンスプロ
ケツトであり、８はフイルムキヤリア１に常に矢
印Ａ方向の送り方向と逆方向の一定張力を与える
トルクモータであり、テンシヨンスプロケツト７
と接続され矢印Ｃ方向に回動力を発生させてい
る。

９および１０はアイドラローラである。１１は
送りスプロケツト４とテンシヨンスプロケツト７
との間の作業位置でのフイルムキヤリア１を支持
するガイドである。１２は弾性体１３により付勢
され、楔状先端部を有しパーフオレーシヨン孔５
と外接することによりフイルムキヤリア１の間欠
送り後の位置決めをする位置決め爪である。１６
はヒートツールであり、矢印Ｅ方向に上下動しボ
ンデイング動作を行なう。１７は半導体素子であ
り、１８の矢印Ｆ方向に上下動するステージ上に
保持されている。２２および２２ａはシリンダ本
体であり、２３および２３ａはフイルムキヤリア
１を固定保持する固定具である。

以上のように構成されたフイルムキヤリア搬送
保持装置について、以下その動作を説明する。

テンシヨンスプロケツト７を介して矢印Ｃ方向
に一定張力を付加されたフイルムキヤリア１は送
りスプロケツト４により一定ピツチ矢印Ａ方向に
送られ、位置決め爪１２を基準とし一定張力のも
とでフイルムキヤリア１は位置決めされる。その
後シリンダ２２，２２ａが同時に矢印Ｇ方向に動
作し、固定具２３，２３ａの底面２４，２４ａと
ガイド１１によりフイルムキヤリア１をはさみ込
み固定する。固定された状態でヒートツール１６
は下降しボンデイング動作を行なう。ボンデイン
グ完了後固定具２３，２３ａは矢印Ｈ方向へ戻
り、フイルムキヤリア１の固定は確除され、次の
フイルムキヤリア１の送り動作がなされる。

第７図は本発明の装置を用いてのボンデイング
時の状態を示したものであり、フイルムキヤリア
１は固定具２３，２３ａにより固定されているの
でボンデイング時のたわみは少なく、ヒートツー
ル１６が下降した時点でフインガー２０はフオー
ミング量Ｚだけ自動的に成形される。したがつ
て、隣接する半導体素子１７ａの上面のバンプ１
９ａとのフインガー２０の接触も発生しない。ま
た、エツジ部２１とフインガー２０との接合時の
接触も起こりえない。

発明の効果 以上のように本発明は、フイルムキヤリアに一
定張力を加えた状態で搬送位置決めをし、その後
ボンデイング作業位置前後のフイルムキヤリアを
固定具により固定保持することで、ボンデイング
時のヒートツールの押圧に影響されることなくフ
イルムキヤリアの位置が保もたれるばかりでな
く、ボンデイング時フインガーの同時成形がなさ
れるので、接合バンプ以外へのフインガーの接触
がなくなりボンデイングの信頼性が大きく向上す
るといつた大きな実用的効果を生み出すものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフイルムキヤリア搬送保持装置
の説明図、第２図は位置決め爪部部分の断面図、
第３図は従来装置におけるボンデイング装置の断
面図、第４図は従来方式における不良ボンデイン
グ状態を示す半導体素子の断面図、第５図は本発
明の一実施例におけるフイルムキヤリア搬送保持
装置の説明図、第６図ａ，ｂは固定具正面断面図
および側断面図、第７図ａ，ｂは同正面断面図お
よび側断面図、第８図は本装置におけるボンデイ
ング装置の断面図である。 １……フイルムキヤリア、４……送りスプロケ
ツト、７……テンシヨンスプロケツト、１１……
ガイド、１２……位置決め爪、２２……シリン
ダ、２３……固定具。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ フイルムキヤリア両縁部に一定ピツチで設け
   られたパーフオレーシヨン孔と係合する送りスプ
   ロケツトと、前記送りスプロケツトと接続し所定
   角度づつ回転するモータと、作業位置をはさみ前
   記送りスプロケツトと反対側に位置し、パーフオ
   レーシヨン孔と係合するテンシヨンスプロケツト
   と、前記テンシヨンスプロケツトと接続されフイ
   ルムキヤリア送り方向と逆方向に一定張力を与え
   るモータと、送りスプロケツトとテンシヨンスプ
   ロケツトの間に位置し、フイルムキヤリアパーフ
   オレーシヨン孔に弾性体により付勢されて外接す
   る位置決め爪と、作業位置でのフイルムキヤリア
   をガイドするガイド部と、前記ガイド部内に設け
   られ作業位置前後のフイルムキヤリアを固定保持
   する固定具とを備えたフイルムキヤリア搬送保持
   装置。