JPH0436236Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は温度維持機構を有する静電保持装置
に係り、特に吸着層の温度低下による吸着量の減
少を防止し得て安定した吸着力を発揮し得る温度
維持機構を有する静電保持装置に関する。

〔従来の技術〕

静電気のクーロン力を利用して被吸着物を吸引
保持する静電保持装置は、絶縁基層と一組の電極
と吸着層とを順次に積層した吸着板を設け、電源
部からの直流電源の供給により前記吸着板の一組
の電極に夫々正負の電荷を付与して吸着層を誘電
し、この吸着層の静電的な吸引力により被吸着物
を吸着し保持するものである。この静電保持装置
は、使用場所の雰囲気により吸着力の変動を来す
ことがある。

そこで、特公昭58−18239号公報に開示の如く、
平面状ヒータを設けて被吸着物の用紙等を乾燥さ
せることにより被吸着物の含有湿度を低下させ、
静電気の漏洩を防止して吸着力の低下を防止する
ものが提案されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところが、従来の静電保持装置においては、単
に被吸着物の含有湿度のみならず、吸着板の吸着
層の温度や湿度により吸着力が変動する不都合が
あつた。特に、吸着層の温度は、第３図に示す如
く、温度が低下すると吸着力が弱まり、Ａ，Ｂ材
とも30℃以下では吸着力が４Kgを下回るとともに
Ａ材は15℃以下では1.5Kgを下回るため、被吸着
物を吸着層に吸着維持できない不都合があつた。

〔考案の目的〕

そこでこの考案の目的は、吸着層の温度低下に
よる吸着力の減少を防止し得て安定した吸着力を
発揮し得る温度維持機構を有する静電保持装置を
実現することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するためにこの考案は、絶縁基
層４と一組の電極６，８と吸着層１０とを順次に
積層した吸着板１１を設けるとともに前記一組の
電極６，８に直流電源を供給して前記吸着層１０
に静電的吸引力を生じさせる電極電源部１２を設
けた静電保持装置２において、前記吸着板１１の
吸着層１０を加温すべくこの吸着層１０に内装し
た発熱部１８と、前記吸着層１０の温度を検出す
る温度検出部２０と、この温度検出部２０の検出
する吸着層温度により前記吸着層１０を所定温度
に維持すべく前記発熱部１８に電源を供給する発
熱部電源部２２とから成る温度維持機構１６を設
けたことを特徴とする。

［作用］ この考案の構成によれば、温度維持機構１６に
よつて、吸着板１１の吸着層１０を内部から加温
して所定温度に維持することにより、吸着層１０
の温度低下による吸着力の減少を防止している。

〔実施例〕

次にこの考案の実施例を図に基づいて詳細に説
明する。

第１図はこの考案の第１実施例を示すものであ
る。図において、２は静電保持装置であり、絶縁
基層４と一組の電極６，８と吸着層１０とを順次
に積層した吸着板１１を設けるとともに、電極
６，８に直流電源を供給して吸着層１０に静電的
吸引力を生じさせる電源電源部１２を設けてい
る。

前記静電保持装置２は、吸着板１１の絶縁基層
４上に一組の電極６，８を櫛歯状に配設してお
り、この電極６，８に電源電源部１２により直流
電源を供給して夫々正負の電荷を付与する。前記
吸着板１１の吸着層１０は、前記一組の電極６，
８により誘電され、静電的吸引力により被吸着物
１４を吸着保持する。

この静電保持装置２は、電源電源部１２により
前記吸着板１１の一組の電極６，８に直流電源を
供給して夫々正負の電荷を付与する。この一組の
電極６，８により吸着層１０を誘電されるので、
吸着層１０に被吸着物１４を接触させると、被吸
着物１４の前記各電極６，８と対向する部位に
夫々静電誘導により各電極６，８の電荷と異なる
極性の電荷が生じる。これにより、被吸着物１４
に生じた電荷と各電極６，８の電荷との間に静電
的吸引力が作用し、被吸着物１４を吸着層１０の
表面に吸着保持される。

このように構成された静電保持装置２におい
て、前記吸着層１０の温度低下による吸着力減少
を防止すべく、前記吸着層１０を所定温度（例え
ば、30℃）に維持する温度維持機構１６を設けて
いる。この実施例では、温度維持機構１６とし
て、吸着板１１の吸着層１０を加温すべくこの吸
着層１０に発熱部１８を内装して設け、吸着層１
０の温度を検出する温度検出部２０を設け、この
温度検出部２０の検出する吸着層温度により吸着
層１０を所定温度に維持するように前記吸着層１
０に内装された発熱部１８に電源を供給する発熱
部電源部２２を設けている。前記発熱部１８は、
ニクロム線の如き線発熱材やプラスチツクの面発
熱材、カーボン系の半導体発熱材等からなり、一
体成形等により設けている。

この実施例の構成によれば、吸着板１１の吸着
層１０の温度が低下した場合には、温度維持機構
１６によつて、温度検出部２０の検出する吸着層
温度により吸着層１０を所定温度（例えば、30
℃）に維持するように、発熱部電源部２２により
発熱部１８に電源を供給して発熱させ、吸着層１
０を内部から加温する。

これにより、吸着板１１の吸着層１０の温度低
御を防止して所定温度（例えば、30℃）に維持す
ることができるので、吸着力の減少を防止するこ
とができ、安定した吸着力を発揮することができ
る。

また、この実施例の構成によれば、発熱部１８
を吸着板１１の吸着層１０に内装しているので、
吸着層１０を内部から的確に加温して所定温度に
確実に維持することができる。このため、従来の
吸着層と電極との間や絶縁基層内に発熱部を設け
たり熱風により加温するものに比較して、より安
定した吸着力を発揮することができるものであ
る。

なお、この考案は、上述実施例を限定されるも
のではない。例えば、第２図に示す如く、吸着板
１１の吸着層１０を部分的に加温するように発熱
部１８を配設することにより、吸着層１０に吸着
力を相違させて生じさせることができる。このよ
うに、吸着層１０に吸着力を相違させて生じさせ
ることにより、例えば、布やフイルム等のように
薄膜状の被吸着物１４を弛みや皺等を生ぜずに吸
着させることができ、また、吸着層１０を曲面に
形成した場合において被吸着物１４を良好に吸着
させることができるものである。

また、前記温度検出部２０は、吸着板１１の吸
着層１０の端縁部位に配設したが、吸着層１０内
に配設することもできる。このように、温度検出
部２０を吸着層１０内に配設することによつて、
吸着層温度をより的確に検出することができるの
で、温度維持機構１６により所定温度の維持をよ
り確実に機能させることができるものである。

さらに、前記電極６，８は、所要の電気抵抗値
を有せしめることにより、発熱部１８として機能
させることができる。これにより、構造の簡素化
を果し得て、実用上有利である。

［考案の効果］ このようにこの考案によれば、温度の低下した
場合には、温度維持機構１６によつて吸着板１１
の吸着層１０を内部から加温して所定温度に維持
することができる。

これにより、吸着層１０の温度低下を防止して
所定温度に維持することができるので、吸着力の
減少を防止することができ、安定した吸着力を発
揮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す静電保持装置
の断面説明図、第２図は別の実施例を示す静電保
持装置の平面説明図、第３図は吸着力と温度との
関係を示す図である。 図において、２は静電保持装置、４は絶縁基
層、６，８は電極、１０は吸着層、１１は吸着
板、１２は電極電源部、１４は被吸着物、１６は
温度維持機構、１８は発熱部、２０は温度検出
部、２２は発熱部電源部である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 絶縁基層４と一組の電極６，８と吸着層１０と
   を順次に積層した吸着板１１を設けるとともに前
   記一組の電極６，８に直流電源を供給して前記吸
   着層１０に静電的吸引力を生じさせる電極電源部
   １２を設けた静電保持装置２において、前記吸着
   板１１の吸着層１０を加温すべくこの吸着層１０
   に内装した発熱部１８と、前記吸着層１０の温度
   を検出する温度検出部２０と、この温度検出部２
   ０の検出する吸着層温度により前記吸着層１０を
   所定温度に維持すべく前記発熱部１８に電源を供
   給する発熱部電源部２２とから成る温度維持機構
   １６を設けたことを特徴とする温度維持機構を有
   する静電保持装置。