JPS6430691U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430691U JPS6430691U JP12447587U JP12447587U JPS6430691U JP S6430691 U JPS6430691 U JP S6430691U JP 12447587 U JP12447587 U JP 12447587U JP 12447587 U JP12447587 U JP 12447587U JP S6430691 U JPS6430691 U JP S6430691U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- adsorption layer
- heat generating
- layer
- holding device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008531 maintenance mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第1図はこの考案の第1実施例を示す静電保持
装置の断面説明図、第2図はこの考案の第2実施
例を示す静電保持装置の断面説明図、第3図は別
の実施例を示す静電保持装置の平面説明図、第4
図は吸着力と温度との関係を示す図である。 図において、2は静電保持装置、4は絶縁基層
、6,8は電極、10は吸着層、12は電極電源
部、14は被吸着物、16は温度維持機構、18
は発熱部、20は温度検出部、22は発熱部電源
部である。
装置の断面説明図、第2図はこの考案の第2実施
例を示す静電保持装置の断面説明図、第3図は別
の実施例を示す静電保持装置の平面説明図、第4
図は吸着力と温度との関係を示す図である。 図において、2は静電保持装置、4は絶縁基層
、6,8は電極、10は吸着層、12は電極電源
部、14は被吸着物、16は温度維持機構、18
は発熱部、20は温度検出部、22は発熱部電源
部である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 絶縁基層と一組の電極と吸着層とを順次に積
層して設けた静電保持装置において、前記吸着層
の温度低下による吸着力減少を防止すべく前記吸
着層を所定温度に維持する温度維持機構を設けた
ことを特徴とする温度維持機構を有する静電保持
装置。 2 前記温度維持機構は、前記吸着層を加温すべ
く前記絶縁基層と前記一組の電極との間に介装し
た発熱部と、前記吸着層の温度を検出する温度検
出部と、この温度検出部の検出する吸着層温度に
より前記吸着層を所定温度に維持すべく前記発熱
部に電源を供給する発熱部電源部とから成る温度
維持機構である実用新案登録請求の範囲第1項記
載の温度維持機構を有する静電保持装置。 3 前記温度維持機構は、前記吸着層を加温すべ
くこの吸着層に内装した発熱部と、前記吸着層の
温度を検出する温度検出部と、この温度検出部の
検出する吸着層温度により前記吸着層を所定温度
に維持すべく前記発熱部に電源を供給する発熱部
電源部とから成る温度維持機構である実用新案登
録請求の範囲第1項記載の温度維持機構を有する
静電保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987124475U JPH0436236Y2 (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987124475U JPH0436236Y2 (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6430691U true JPS6430691U (ja) | 1989-02-27 |
JPH0436236Y2 JPH0436236Y2 (ja) | 1992-08-26 |
Family
ID=31374239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987124475U Expired JPH0436236Y2 (ja) | 1987-08-14 | 1987-08-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0436236Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7472651B2 (en) | 2002-12-27 | 2009-01-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Waste liquid regenerator of printing machine |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54163118A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drafting board |
-
1987
- 1987-08-14 JP JP1987124475U patent/JPH0436236Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54163118A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drafting board |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7472651B2 (en) | 2002-12-27 | 2009-01-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Waste liquid regenerator of printing machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0436236Y2 (ja) | 1992-08-26 |
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