JPH04355762A - 感光性積層体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は感光性積層体に関する。 さらに詳しくはポリオキシメチレンフィルムを支持体と
して感光性積層体に関する。

【０００２】

【従来の技術】感光層の片側に支持体としてプラスチッ
クフィルムを積層するか、さらにその感光層の側に保護
フィルムを積層した感光性積層体が知られている。この
感光性積層体を用いた画像の形成は、感光層と銅張積層
板などの基板が接触するように重ねて圧着して原画を通
して露光後、プラスチックフィルムを剥離除去し、アル
カリ現像液または溶剤現像液で現像して行われる。

【０００３】この感光性積層体の支持体には従来よりポ
リエステルフィルムが用いられている。しかしながらポ
リエステルフィルムには滑り性等を付与するために微粒
子を含んでおり、光で透かすとぼんやりとしたヘイズと
して観測される。このポリエステルフィルムを用いて感
光性積層体を作り、基板にラミネ−トしたあと露光を行
うと、原画の透明部分以外にも光が散乱して、不透明部
分下の感光層にも作用するため、原画の幅よりも、露光
により硬化した層（以下レジストと呼ぶ）の幅が太くな
り（線幅変化量が大となり）、原画幅の再現性が得られ
ない。また低露光の場合にはこのヘイズのために逆にレ
ジスト幅が細くなり、同様に再現性等の問題が生じてく
る。従って最近の印刷回路板のファインパタ−ン化の進
む中で、ポリエステルフィルムのかかる用途への使用は
かなり難しい状況になりつつある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は新規なプラス
チックフィルム支持体からなる新規な感光性積層体を提
供することによって、前記の問題点を解決しようとする
ものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは特定のポリ
オキシメチレンフィルムがかかる感光性積層体の支持体
として好適であることを見い出し本発明に至った。すな
わち、本発明は、全曇り度が１０％以下であって、且つ
全曇り度に対する内部曇り度の割合が５０％以下である
ポリオキシメチレンフィルムを支持体とした感光性積層
体である。

【０００６】本発明における曇り度は、全光線透過率（
Ｔｔ）＝平行光線透過率（Ｔｐ）＋散乱光透過率（Ｔｄ
）としたとき、曇り度（％）＝（Ｔｄ／Ｔｔ）×１００
の式により算出され、これらの値は通常の積分球式光線
透過率測定装置により得ることが出来る。曇り度の値が
高いと平行光線の透過率の値が低くなることにより、露
光時に線幅変化量が大きくなり、印刷回路板のファイン
パタ−ンの形成に適合しなくなる。

【０００７】曇り度は表面曇り度と内部曇り度の２つか
らなり、本発明の全曇り度はこれら２つの和である。表
面曇り度とは主にフィルム表面の凸凹によって光が散乱
されることにより生じるもので、また内部曇り度とはフ
ィルムを形成するポリマ−の結晶性、結晶配向状態、あ
るいは滑り性等を付与するために添加される微粒子、及
びその他添加剤等により生じるものである。内部曇り度
はフィルムの表裏面にシリコ−ン系オイル、流動パラフ
ィン等の透明で粘性のある液体を塗布し、表面の凸凹の
影響を除いた後に測定することによって得られる。表面
曇り度は全曇り度からこの内部曇り度を引いた値である
。

【０００８】本発明の感光性積層体では前記のように曇
り度の低い支持体が必要である。特にこの積層体は感光
層を塗布した状態で露光されるために内部曇り度の値が
積層体の性能に大きく依存してくる。そのためにこの値
が低いことが支持体には特に要求される。即ち本発明で
は、全曇り度が１０％以下、且つ全曇り度に対する内部
曇り度の割合が５０％以下である。好ましくは全曇り度
が６％以下、且つ全曇り度に対する内部曇り度の割合が
３０％以下である。ポリオキシメチレンフィルムはかか
る要求に充分対応しうる優れた性能を有したフィルムで
ある。

【０００９】ポリオキシメチレンは結晶性の高いポリマ
−であり、このフィルムはその結晶性に起因して剛性の
高い優れたフィルムである。通常の溶融固化法によって
得られたフィルムは結晶が球晶状態を形成するために透
明性に劣る。従って本発明には１軸あるいは２軸方向に
延伸することによって結晶を高度に配向させた１軸ある
いは２軸延伸フィルムが好適である。更に本発明の如く
光学的用途であって、機械的強度等で異方性の少ないも
のが要求される用途では２軸延伸フィルムが好適である
。

【００１０】本発明の２軸延伸ポリオキシメチレンフィ
ルムについては、本発明者らが先に出願した公報（特開
昭６１−２５２１３５号公報、同６１−２８６１１５号
公報、同６２−１３３１８号公報、特開平１−８０５１
４号公報、同１−２８６８２０号公報、同２−７０４２
２号公報）に開示されている。本発明はこれらに特に限
定するものではないが好適な例として挙げることが出来
る。

【００１１】ポリオキシメチレンにはホモポリマ−、コ
ポリマ−の２種類が一般に知られているが、本発明には
そのいずれであってもあるいは両者の混合物であっても
よい。２軸延伸ポリオキシメチレンフィルムは高い剛性
を有しており支持体の薄肉化を図ることも可能になる。 また優れた寸法安定性も備えておりファインパタ−ン用
途にはより有効になる。更に高い結晶配向による光線透
過率の高い優れた光学的特性をも有している。更にポリ
オキシメチレンフィルムは波長２００〜３００ｎｍ付近
の紫外領域での吸収が少なく、この領域での光線透過率
が高いという優れた特性がある。本発明の用途において
この領域の光を使用する場合にはより好適な材料になる
。また滑り性を付与するための無機充填剤等の微粒子を
添加しなくても、微粒子を添加したポリエステルフィル
ムと同等あるいはそれ以上の滑り性が確保出来るため、
曇り度特に内部曇り度をより低くすることが可能になり
本発明の用途に対し極めて優れた材料になる。

【００１２】尚、ポリオキシメチレンには通常熱安定性
等の向上を目的として各種の添加剤が用いられるが、添
加剤の種類によってはこれがフィルム中に微粒子として
存在する。かかる微粒子の存在は光線透過率の低下、曇
り度の増大を引き起こすために本発明には好ましくない
。従って、微粒子化する添加剤は極力避けるべきである
。

【００１３】本発明の感光性積層体は、少なくとも感光
層とその支持体の構成からなるものであり、この構成を
含むものは本発明に含まれる。その例として、支持体／
感光層あるいは支持体／感光層／保護フィルム等が挙げ
られる。通常前者の場合はそのまま、後者の場合は保護
フィルムを剥離してから基板に感光層が接触するように
ラミネ−トし、支持体を通して露光した後に、支持体を
剥離して現像される。

【００１４】支持体としての本発明のフィルムは、感光
層との接着性を用途に応じて制御する必要がある場合、
コロナ処理、プラズマ処理あるいは表面処理剤等により
必要に応じて表面処理が施される。本発明では感光層は
特に限定されるものではなく、例えば結合剤ポリマ−、
光反応性モノマー、光開始剤、染料等からなる公知のア
ルカリ現像タイプ、溶剤現像タイプ、乾式現像タイプ等
の感光性樹脂組成物の層等が用いられる。

【００１５】また保護フィルムとしては感光層の保護と
しての役割を果たすフィルムであって、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ナイロン、ポリエステル、ポリオキシ
メチレン等からなるフィルムが用いられる。ただしこの
保護フィルムには感光層と強く接着しないことが要求さ
れるためにかかるフィルムには必要に応じて表面処理が
なされる。

【００１６】

【実施例】次に実施例によって本発明をさらに詳細に説
明する。

【００１７】

【実施例１】ポリオキシメチレンホモポリマ−５０重量
％、同コポリマー５０重量％からなるポリマ−をスリッ
トダイから押出し、１２０℃のロールで急冷固化し厚さ
１２５０μ、幅１５０ｍｍのシートを得た。次にこのシ
ートを圧延機によりロール温度１００℃、圧延倍率２倍
（圧下率０．５）の圧延を行った。次にこの圧延シート
を２軸延伸機に導き延伸温度１６５〜１７０℃にて２軸
延伸を行い、原シートに対し８×８倍に延伸された厚さ
２０μの２軸延伸フィルムを得た。このフィルムの機械
的特性、光学的特性を表１に示した。曇り度は積分球式
光線透過率測定装置（日本電色工業製ＮＤＨ−２型）に
より測定した。内部曇り度はフィルムの両面にシリコー
ンオイル〔東芝シリコーン（株）製、商品名、ＴＳＦ４
３３〕を塗布した後測定した。更にこのフィルムの可視
紫外領域での吸収特性をポリエステルフィルムと比較し
て図１に示した。

【００１８】上記ポリオキシメチレンフィルムを支持体
としてアルカリ現像タイプの感光性樹脂の４０％メチル
エチルケトン溶液（旭化成工業（株）製、商品名ＡＱ−
５０４４〕をロールコーターにより塗工し乾燥した。乾
燥後の感光層の厚さは５０μであった。次に感光層の上
に厚さ３０μのポリエチレンフィルムの保護層を重ね圧
着して３層構造とし感光性積層体を作った。

【００１９】この感光性積層体からポリエチレンフィル
ムを剥離し、銅張り積層板に感光層が接触するようにし
てラミネートした。次いで支持体面上に原画を載せ超高
圧紫外線露光機（オーク製作所製ＨＭＷ−２０１型）で
１０段／２１段ステップタブレットになるように露光し
、その後支持体を剥離して現像した（無水炭酸ソーダの
２％水溶液、３０℃／６０秒）。現像後、原画の透明部
の太さ１００μの部分の線幅を測定した結果、１０１μ
であり、線幅変化量は＋１μであった。

【００２０】

【実施例２】実施例１で、感度を８段／２１段ステップ
タブレットにして露光し、同様に現像した。この時の線
幅変化量は−２μであった。

【００２１】

【実施例３】ポリオキシメチレンホモポリマー９０重量
％、同コポリマー１０重量％からなる厚さ２０μの２軸
延伸フィルムを実施例１と同様な方法により得た。この
フィルムの特性を同じく表１に示した。このフィルムを
支持体として実施例１と同じく感光性積層体を作り、同
一露光条件により露光し現像した。この時の線幅変化量
は＋１．５μであった。

【００２２】

【実施例４】ポリオキシメチレンホモポリマー１００％
からなる厚さ２０μの２軸延伸フィルムを実施例１と同
様な方法により得た。このフィルムの全曇り度は６％、
内部曇り度は１．６％であった。このフィルムを支持体
として実施例１と同じく感光性積層体を作り、同一露光
条件により露光し現像した。この時の線幅変化量は＋２
．５μであった。

【００２３】

【比較例１】表１の特性のからなる市販の厚さ２０μの
ポリエステルフィルムを支持体として、以下実施例１と
同様に現像した。この時の線幅変化量は＋５μであった
。

【００２４】

【比較例２】実施例１とは安定剤組成が異なるポリオキ
シメチレンホモポリマ−５０重量％、同じく安定剤組成
が異なるコポリマー５０重量％からなる厚さ２０μの２
軸延伸フィルムを実施例１と同様な方法により得た。得
られたフィルムを顕微鏡で観察すると安定剤によるとみ
られる多数の微粒子の存在が認められた。このフィルム
の全曇り度は８％、内部曇り度は５％であった。このフ
ィルムを支持体として実施例１に同じく感光性積層体を
作り、同様に現像した。この時の線幅変化量は＋１２μ
であった。

【００２５】

【比較例３】比較例２と同じポリオキシメチレンホモポ
リマ−１００％からなる厚さ２０μの２軸延伸フィルム
を実施例１と同様な方法により得た。このフィルムの全
曇り度は１２％、内部曇り度は６％であった。このフィ
ルムを支持体として実施例１に同じく感光性積層体を作
り、同様に現像した。この時の線幅変化量は＋１８μで
あった。

【００２６】

【表１】

【００２７】

【発明の効果】本発明の感光性積層体は露光時の散乱光
線による露光かぶりが非常に少なく、逆に低露光時の場
合は曇り度の影響が小さいのでレジストが細くならず線
幅変化量の少ない、原画に忠実な像の形成を行うことが
でき、露光することによって画像を形成する各種用途、
例えば印刷配線板用途、特にそのファインパターン用途
等に適している。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で作成したポリオキシメチレンフィル
ム及び比較例１で用いたポリエステルフィルムの可視紫
外領域での吸収特性を示すスペクトル図である。

【符号の説明】

１　　ポリオキシメチレンフィルム ２　　ポリエステルフィルム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　全曇り度が１０％以下であって、且つ
   全曇り度に対する内部曇り度の割合が５０％以下である
   ポリオキシメチレンフィルムを支持体とした感光性積層
   体。