JPH04349208A - 垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法

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JPH04349208A
JPH04349208A JP15261691A JP15261691A JPH04349208A JP H04349208 A JPH04349208 A JP H04349208A JP 15261691 A JP15261691 A JP 15261691A JP 15261691 A JP15261691 A JP 15261691A JP H04349208 A JPH04349208 A JP H04349208A
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JP
Japan
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magnetic
core
return path
film
magnetic material
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JP15261691A
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English (en)
Inventor
Noriaki Mukaide
徳章 向出
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は垂直記録磁気ヘッドに関
し、詳しくは、高密度磁気記録を目的とした垂直記録用
VTR装置、FDD装置等で使用される垂直記録磁気ヘ
ッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近時、磁気テープ、或いは、ディスク等
の記録媒体への高密度磁気記録を容易にする手段として
、垂直磁気記録方式が実用化されている。このような垂
直磁気記録方式に使用される垂直記録磁気ヘッドは図5
に示す構造から成る。
【0003】(25)は軟質磁性体材料、例えばフェラ
イト等で形成したコアであり、このコア(25)は、同
じくフェライト等で構成したリターンパスコア(26)
とV溝(27)に封入したガラス(28)にて接合一体
化し、コアチップ(37)を構成している。このコア(
25)及びリターンパスコア(26)の接合面の頂部に
は、センダスト、アモルファス等の高飽和磁束密度を有
する金属磁性膜からなる主磁極(29)を所定のトラッ
ク幅(Tw’)で被着形成しており、さらにこの主磁極
(29)とリターンパスコア(26)の間には、SiO
2、或いは、Al2O3等からなる非磁性体薄膜(30
)をギャップスペーサとする磁気ギャップを所定のトラ
ック幅(Tw’)で被着形成している。 (31)(32)は、コア(25)及びリターンパスコ
ア(26)に形成した巻線挿通溝であり、この巻線挿通
溝(31)(32)を利用して絶縁被覆処理した線材を
所定ターン数巻回し、コイル(図示省略)を構成する。
【0004】垂直記録磁気ヘッドは上記構成からなるが
、その従来の製造方法を以下説明する。先ず、図6(a
)に示すように、一対のフェライト等からなるコアブロ
ック(35)(36)を準備し、一方のコアブロック(
35)の外側面に巻線挿通孔(31)を形成する。また
、このコアブロック(35)の内側面に所定位置をマス
クしながらセンダスト等をスパッタし、ギャップスペー
サとなる所定のトラック幅(Tw’)を有する主磁極(
29)を複数個被着形成する。さらにこの内側面に主磁
極(29)の上からSiO2等をスパッタし、非磁性体
薄膜(図示省略)を被着形成する。一方、他方のコアブ
ロック(36)の内側面には、巻線挿通孔(32)及び
V溝(27)を形成する。続いて、図6(b)に示すよ
うに、両コアブロック(35)(36)を突き合わせ、
V溝(27)にガラス棒を挿入して両コアブロック(3
5)(36)を加熱し、ガラス棒を溶解させる。冷却後
、両コアブロック(35)(36)が接合一体化された
ところで図中一点鎖線で示すように両コアブロック(3
5)(36)を短手方向に沿って所定の厚さでスライス
する。スライスされて形成されたコアチップ(37)の
巻線挿通孔(31)(32)に線材を所定数巻回してコ
イル(図示省略)を構成し、磁気ヘッドを得る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の垂直記録用
磁気ヘッドでは、軟質磁性体のリターンパスコアと非磁
性体薄膜との界面に擬似ギャップが構成されており、こ
の擬似ギャップによって記録媒体の情報再生時に再生出
力に擬似パルスが発生し、これがノイズとなって正確な
情報再生が困難になっていた。
【0006】また、上述のコア及びリターンパスコアの
頂部では、記録媒体との摺接面にフェライトが露出して
いるため、記録媒体の摺動にともなってフェライト特有
の摺動ノイズが発生し、この摺動ノイズが正確な情報記
録及び再生に悪影響を与えていた。
【0007】本発明は上記問題点に鑑み、擬似パルス及
びフェライト特有の摺動ノイズの発生をなくし、より正
確な情報記録及び再生を可能ならしめる垂直記録用磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とするも
のである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
、本発明に係る垂直記録用磁気ヘッドは、高飽和磁束密
度を有する金属磁性膜からなる主磁極を、軟質磁性体か
らなるコアとリターンパスコアとで挟み込んで接合一体
化し、主磁極とリターンパスコアとの接合部位に非磁性
体薄膜からなる磁気ギャップを形成したものにおいて、
コア及びリターンパスコアの頂部のうち、少なくとも記
録媒体との摺接部位に非磁性体からなる保護膜を被着し
ている。
【0009】また、この垂直記録磁気ヘッドは、軟質磁
性体ブロックの記録媒体との摺接予定面に非磁性体を被
着形成してコアブロックを構成し、上記コアブロックを
一対用意してこのうち一方のコアブロックの、非磁性体
との接合面に対する垂直面に、高飽和磁束密度を有する
金属磁性膜を被着し、金属磁性膜を挟み込むようにして
両コアブロックを接合一体化した後、両コアブロックの
非磁性体を研磨加工して製造する。
【0010】
【作用】本発明に係る垂直記録用磁気ヘッドでは、軟質
磁性体から成るコア及びリターンパスコアの頂部のうち
、少なくとも記録媒体との摺接部に非磁性体からなる保
護膜を装着する。この構成により、摺接部に軟質磁性体
が露出しなくなる。従って、擬似ギャップが摺接面上に
構成されず、また、コア及びリターンパスコアをフェラ
イトで構成してもフェライト特有の摺動ノイズが発生す
ることもない。
【0011】また、このような非磁性体から成る保護膜
を装着した垂直記録用磁気ヘッドは、軟質磁性体ブロッ
クの記録媒体との摺接予定面に非磁性体を接合一体化し
てコアブロックを構成し、上記コアブロックを一対用意
してこのうち一方のコアブロックの、非磁性体との接合
面に対する垂直面に、高飽和磁束密度を有する金属磁性
膜を被着し、金属磁性膜を挟み込むようにして両コアブ
ロックを接合一体化した後、両コアブロックの非磁性体
を研磨加工することによって製作できる。
【0012】
【実施例】以下、本発明に係る垂直記録用磁気ヘッドの
実施例を図1乃至図4(c)(d)を参照しながら説明
する。
【0013】図1において、(1)は、コア(2)及び
リターンパスコア(3)を接合一体化して構成したコア
チップである。これらコア(2)及びリターンパスコア
(3)は、軟質磁性体材料、例えばフェライト等で形成
する。コア(2)及びリターンパスコア(3)の接合面
には、センダスト、アモルファス等の高飽和磁束密度を
有する金属磁性膜からなる主磁極(4)が厚さ0.3〜
0.5μm 程度でトラック幅(Tw)分だけ被着形成
されており、さらにこの主磁極(4)とリターンパスコ
ア(3)の間には、SiO2、或いは、Al2O3 等
からなる非磁性体薄膜(5)が厚さ2〜10μm 程度
で被着形成されている。 尚、この非磁性体薄膜(5)は、ギャップスペーサとな
って磁気ギャップを構成する。また、コア(2)の外側
面及びリターンパスコア(3)の接合面には、巻線挿通
孔(6)(7)が形成されており、この巻線挿通孔(6
)(7)を利用して絶縁被覆処理した線材を巻回し、コ
ア(2)にコイル(図示省略)を構成する。さらに、リ
ターンパスコア(3)の接合面には、巻線挿通孔(7)
からリターンパスコア(3)の接合面にかけて斜めに削
除したV溝(8)が形成されており、接合時にはこのV
溝(8)にガラス棒を挿通して両コア(2)(3)を加
熱し、ガラス棒を溶解してコア(2)とリターンパスコ
ア(3)との接合一体化を行なう。
【0014】(9)(10)は、両コア(2)(3)の
頂部に装着した非磁性体保護膜であり、結晶化ガラス等
の非磁性材料で厚さ10〜20μm 程度に形成したも
のである。このような非磁性体保護膜(10)の装着に
より、接合部の拡大断面図(図2(a)(b)(c))
に示すように、摺接面にはリターンパスコア(3)と非
磁性体薄膜(5)との界面、即ち、擬似ギャップが露出
しなくなる。また、コア(2)及びリターンパスコア(
3)を構成するフェライトも摺接面に露出しない。従っ
て、再生出力に疑似ギャップによる擬似パルスが発生す
ることもなく、また、フェライト特有の摺動ノイズが発
生することもない。さらに、上記非磁性体保護膜(10
)は、非常に薄く形成されているため、非磁性体保護膜
(10)を通過する漏れ磁束φの減少は最小限に抑えら
れ、この結果、再生出力の低下もほとんど生じない。
【0015】ところで、図2(a)(以下、実施例1と
称す)では、図中矢印方向に移動する記録媒体(図示省
略)との摺接方向にリターンパスコア(3)を若干ずら
して配置しているが、この構成により、漏れ磁束φの非
磁性体保護膜(10)内の通過距離が減少し、従って、
非磁性体保護膜(10)内を通過する漏れ磁束φの減少
がさらに抑止できる。この結果、再生出力の低下がさら
に抑止される。
【0016】また、図2(b)(以下、実施例2と称す
)に示すように、リターンパスコア(3)のV溝(8)
に切欠き(13)を形成した場合、切欠き(13)の形
成により生じた非磁性体保護膜(10)の突出部(14
)がギャップスペーサとしての作用を有するため、Si
O2等の非磁性体薄膜(5)が不要になる。従って、両
コア(2)(3)を非磁性体薄膜(5)を介さないで直
接接合することが可能になる。また、図2(c)の実線
(n)で示すように(以下、実施例3と称す)、非磁性
体保護膜(10)を切除してV溝(8’)を形成した場
合でも、同様に突出部(14’)が構成されるため、非
磁性体薄膜(5)が不要となる。尚、図2(c)中の実
線(n)で示すように(以下、実施例4と称す)、V溝
(8)を非磁性体保護膜(10)とリターンパスコア(
3)との接合面端部から形成することも可能であるが、
この場合には、図示のように非磁性体薄膜(5)が必要
となる。
【0017】一般に、実施例1及び4のように、非磁性
体薄膜(5)を介して両コア(2)(3)を接合する場
合には、十分な接合強度を得るためにV溝(8)にガラ
ス(21)を封入しなければならない。しかし、実施例
2及び3のように、両コア(2)(3)を非磁性体薄膜
(5)を介さないで直接接合する場合には、V溝(8)
にガラスを封入しなくても、接合面にエポキシ樹脂等の
高温硬化樹脂を塗布して接合すれば、十分な接合強度が
得られる。このような高温硬化樹脂を使用して接合する
際に必要な加熱温度は、100〜200℃であり、V溝
(8)に挿通したガラス棒を溶解する場合に比べて極め
て低い温度での接合が可能になる。従って、実施例2及
び3に示すような構造にすれば、加熱による余計なスト
レスが両コア(2)(3)に負荷されないため、両コア
(2)(3)の磁気特性の低下が最小限度に押さえられ
る。
【0018】尚、上述の非磁性体保護膜(9)(10)
としては結晶化ガラスだけでなく、耐磨耗性及び耐熱性
を有する非磁性材料、例えば、チタン酸カルシウム等が
適用可能である。また、上記非磁性体保護膜(9)(1
0)は、少なくとも記録媒体との摺接部に装着すれば十
分である。即ち、VTR装置等で使用するコアチップの
ように、頂部を円弧状に形成したコアチップでは、非磁
性保護膜(9)(10)をコアチップの頂部の全面に装
着しなくても、記録媒体との摺接部にのみ装着するだけ
で十分な効果が得られる。
【0019】以下、上記構成の垂直記録用磁気ヘッドの
基本的な製作手順を図3(a)(b)及び(c)(d)
を参照しながら説明する。
【0020】■フェライト等からなる軟質磁性体ブロッ
ク(15)の摺接予定面側に結晶化ガラス膜等の非磁性
体(16)を装着し、さらにこの非磁性体(16)の上
に、反り防止用の軟質磁性体ブロック(17)を重ね合
わせて熱圧着する。このようにして製作したブロック(
18)を長手方向に切断し、一対のコアブロック(19
)(20)を製作する(同図(a)参照)。尚、この反
り防止用の軟質磁性体ブロック(17)は、加熱の際に
反りが生じなければ装着しなくてもよい。
【0021】■一方のコアブロック(19)の外側面に
巻線挿通孔(6)を形成し、さらに、接合予定面に所定
位置をマスクしながらセンダスト等をスパッタして所定
のトラック幅(Tw)を有する主磁極(4)を複数個被
着形成する。さらにこの上から、SiO2等をスパッタ
して非磁性体薄膜(図示省略)を一面に被着形成する。 一方、他方のコアブロック(20)の接合予定面には巻
線挿通孔(7)及びV溝(8)を形成する(同図(b)
参照)。 尚、上記非磁性体薄膜のスパッタリングは、主磁極(4
)を形成していない方のコアブロック(20)の接合予
定面に施してもよい。
【0022】■両コアブロック(19)(20)を突き
合わせ、V溝(8)にガラス棒を挿入した後加熱して接
合一体化する(同図(c)参照)。
【0023】■両コアブロック(19)(20)の軟質
磁性体ブロック(17)(17)を研削除去した後、非
磁性体(16)(16)を所定の厚さに研削加工する。 続いて、図中鎖線で示すように短手方向に沿って所定の
厚さで両コアブロック(19)(20)をスライスする
。スライスされて形成されたチップの巻線挿通孔(6)
(7)に線材を所定数巻回してコイル(図示省略)を構
成する。
【0024】このような工程により、図1に示すような
所定の膜厚を有する非磁性体保護膜(9)(10)を装
着した垂直記録磁気ヘッドが製作される。ところで上記
工程では、ブロック(18)を一旦長手方向に切断して
所定の加工を施したのち、もう一度切断面で接合してい
る。 従って、コアチップの両コア(2)(3)が同一の材料
特性を有するため、磁気特性の安定したコアチップ(1
)を製造することが可能になる。
【0025】尚、実施例1のような構造にする場合には
、上記工程■において、一方のコアブロックを垂直方向
に若干ずらした状態で両コアブロック(19)(20)
を接合一体化し、以下同様の工程を行なえばよい。さら
に、実施例2のような構造にする場合には、上記工程■
においてコアブロック(20)にV溝(8)を形成した
のち、切欠き(13)を形成すればよい。また、実施例
2及び3のような構造にする場合場合には、上記工程■
でガラス棒を挿入せずに、一方のコアブロックの接合面
に高温硬化樹脂を被着させたのち両コアブロック(19
)(20)を接合一体化して加熱すればよい。
【0026】
【発明の効果】本発明に係る垂直記録磁気ヘッドでは、
コア及びリターンパスコアの頂部のうち、少なくとも記
録媒体との摺接部に非磁性体からなる保護膜を装着した
ので、擬似ギャップが記録媒体との摺接面に生じ得ず、
また、フェライトも記録媒体との摺接面に露出しない。 従って、擬似パルス及びフェライト特有の摺動ノイズが
発生しないため、正確な情報記録及び再生が可能となる
【0027】また、軟質磁性体ブロックの記録媒体との
摺接予定面に非磁性体を被着形成してコアブロックを構
成し、上記コアブロックを一対用意してこのうち一方の
コアブロックの、非磁性体との接合面に対する垂直面に
、高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を被着し、金属磁
性膜を挟み込むようにして両コアブロックを接合一体化
した後、両コアブロックの非磁性体を研磨加工すること
によって、所定の膜厚を有する非磁性体保護膜を装着し
た垂直記録ヘッドが容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る垂直記録磁気ヘッドの要部平面図
及び斜視図である。
【図2】垂直記録用磁気ヘッドの実施例を示す拡大断面
図である。
【図3】本発明に係る垂直記録磁気ヘッドの製造工程を
示す斜視図である。
【図4】同じく本発明に係る垂直記録磁気ヘッドの製造
工程を示す斜視図である。
【図5】従来の垂直記録磁気ヘッドを示す要部平面図及
び斜視図である。
【図6】従来の垂直記録磁気ヘッドの製造工程を示す斜
視図である。
【符号の説明】
2    コア 3    リターンパスコア 4    主磁極 5    非磁性体薄膜 9    非磁性体保護膜 10    非磁性体保護膜

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  高飽和磁束密度を有する金属磁性膜か
    らなる主磁極を、軟質強磁性体からなるコアとリターン
    パスコアとで挟み込んで接合一体化し、主磁極とリター
    ンパスコアとの接合部位に非磁性体薄膜からなる磁気ギ
    ャップを形成したものにおいて、上記コア及びリターン
    パスコアの頂部のうち、少なくとも記録媒体との摺接部
    位に非磁性体からなる保護膜を被着したことを特徴とす
    る垂直記録磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】  上記リターンパスコアの頂部をコアの
    頂面よりも突出させて接合一体化し、リターンパスコア
    側の非磁性体からなる保護膜の厚さをコア側の非磁性体
    からなる保護膜の厚さよりも薄くしたことを特徴とする
    請求項1記載の垂直記録磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】  軟質強磁性体ブロックの記録媒体との
    摺接予定面側に非磁性体を被着形成してコアブロックを
    構成し、上記コアブロックを一対用意してこのうち一方
    のコアブロックの、非磁性体との接合面に対する垂直面
    に、高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を被着し、この
    金属磁性膜を挟み込むようにして両コアブロックを接合
    一体化した後、両コアブロックの非磁性体を研磨加工す
    ることを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
JP15261691A 1991-05-27 1991-05-27 垂直記録磁気ヘッド及びその製造方法 Pending JPH04349208A (ja)

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