JPH0434881Y2

JPH0434881Y2 -

Info

Publication number: JPH0434881Y2
Application number: JP1987010155U
Authority: JP
Priority date: 1987-01-27
Filing date: 1987-01-27
Publication date: 1992-08-19
Also published as: JPS63118903U

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 考案の分野この考案は、例えば、R113を用いて半導体や
電子機器その他を洗浄するフロン洗浄回収装置に
関する。

(ロ) 考案の背景従来、上述例の半導体や電子機器その他の洗浄
には、毒性が極めて少なく、化学的にも安定して
いて、かつ洗浄物に損傷を与える心配が全くない
フロン溶剤たとえばR113が用いられている。

しかし、上述のR113は、その沸騰点が47.6℃
と低いため、洗浄中にフロン蒸気が大気中に流出
することがある。

このフロン蒸気の流出を防止し、同フロン蒸気
を回収するため従来においては、活性炭吸着装置
などの大型の装置が用いられていたが、コスト高
となるばかりでなく、フロン洗浄機とのユニツト
化が困難になる問題点を有していた。

(ハ) 考案の目的この考案は、フロン蒸気槽による蒸気洗浄と、
フロン液中洗浄を行う装置でありながら、フロン
の完全な回収再利用ができるフロン洗浄回収装置
の提供を目的とする。

(ニ) 考案の構成この考案は、フロン溶剤を貯溜したフロン洗浄
槽の中間部に冷却ジヤケツトを配設して、フロン
溶剤液面と冷却ジヤケツト間にフロン蒸気層を形
成すると共に、冷却ジヤケツト上部をフロン乾燥
室に形成し、前記フロン洗浄槽の上部全面にはワ
ーク出入口を形成したダクトを設けて、該ダクト
の下面に吸引口を開口し、この吸引口を吸引管を
介して吸引ポンプに連通すると共に、吸引ポンプ
吐出側に凝縮槽および脱水槽を配設し、液化脱水
したフロン液を循環路を介して上記フロン洗浄槽
に還流し、凝縮槽からのフロン溶剤含有空気をリ
ターンパイプを介してフロン洗浄槽内に還流すべ
く構成したフロン洗浄回収装置であることを特徴
とする。

(ホ) 考案の作用この考案によれば、フロン洗浄槽内に入つてき
た被洗浄用ワークはまず洗浄槽内のフロン蒸気層
で、フロンによる蒸気洗浄が行なわれた後、フロ
ン液中に浸漬されて液中洗浄が行なわれる。

フロン液中から引上げられたワークは、再びフ
ロン蒸気層でフロン蒸気により加熱と洗浄が行な
われると共に、冷却ジヤケツト上部のフロン乾燥
室で短時間に乾燥され、ワーク出入口より取出さ
れる。

そして、上方に流動して大気中に流出しようと
するフロン蒸気は、吸引ポンプの駆動により吸引
口から吸引され、この吸引されたフロン蒸気は吸
引管を介して上述の吸引ポンプ吐出側より吐出さ
れ、次段の凝縮槽において凝縮して液化する。

この液化されたフロン液は次段の脱水槽におい
て水分が除去された後に、循環路を介してフロン
洗浄槽にリターンし、フロンを含む空気はリター
ンパイプを介してフロン洗浄槽にリターンさせ、
フロン蒸気洗浄用として再利用する。

(ヘ) 考案の効果この考案によれば、洗浄槽内ではワークを蒸気
洗浄と、液中洗浄を行なつた後フロン蒸気層で加
熱と洗浄を行ない、しかも冷却ジヤケツト上部の
フロン乾燥室ではワークを短時間に乾燥してワー
ク出入口より取出すことができる。

そして、フロン蒸気は、フロン洗浄槽上部に取
付けたダクト下面の吸引口から確実に回収し、か
つ凝縮液化させたフロン液から水分を除去して再
利用に供することができる。また、液化が不完全
なフロンを含む空気をフロン洗浄槽に還流するこ
とで、蒸気洗浄用として再利用し、無駄なフロン
の排出を防止して、フロン蒸気の完全な回収再利
用ができる効果がある。

しかも、簡単な装置および配管を付加するだけ
であるから容易にフロン洗浄機との一体ユニツト
化を図ることができ、低コストでのフロン回収が
可能となる効果がある。

(ト) 考案の実施例この考案の一実施例を以下図面に基づいて詳述
する。

図面はフロン洗浄回収装置を示し、図におい
て、左側の第１槽１と、右側の第２槽２とを仕切
板３で仕切つたフロン洗浄槽４を設け、このフロ
ン洗浄槽４内にフロン溶剤たとえばR113を貯溜
している。

また、上述の第２槽２の右側上部には水分分離
槽５を形成し、この水分分離槽５の上部に凝縮コ
イル６を配置すると共に、フロン洗浄槽４の上下
方向略中央部には、同槽４の略全長にわたる冷却
ジヤケツト７を水平に配設している。

そして、フロン洗浄槽４の冷却ジヤケツト７よ
り上方をフロン乾燥室４ａとし、冷却ジヤケツト
７より下方でフロン液面間をフロン蒸気層４ｂに
形成している。

上述のフロン洗浄槽４はその上端を開口したタ
ンクで、この上端開口部８に被洗浄物としてのワ
ークの出入りを許容するワーク出入口９を形成し
たダクト１２を取付けている。

また、上記フロン洗浄槽４の上端開口部８の全
面には、吸引管１０の上端吸引口１１を開口する
と共に、ワーク出入口９を除いて前記ダクト１２
を配設し、このダクト１２の下面に吸引口１３…
を開口している。

そして、これらの各吸引口１３…をダクト１２
を介して前述の吸引管１０に連通すると共に、上
端吸引口１１を同吸引管１０に連通させている。

上述の吸引管１０の他端は吸引ポンプ１４に連
結し、この吸引ポンプ１４の吐出管１５先端には
凝縮槽１６を連結している。

この凝縮槽１６は、前述の各吸引口１１，１３
から吸引し、各要素１０，１４，１５を介して送
られてくるフロン蒸気を凝縮液化するためのタン
クで、この凝縮槽１６の次段には、フロン液中の
水分を除去する脱水槽１７を取付けている。

そして、この脱水槽１７のフロン液出口と前述
の第２槽２との間を循環路１８で接続して、液化
脱水したフロン液を、この循環路１８を介して上
述の第２槽２に還流すべく構成している。

また、前述の凝縮槽１６の上端と水分分離槽５
との間をリターンパイプ１９で連通し、フロン
R113を微量に含んだ空気を上述の分離槽５に還
流すべく構成している。

一方、上述の凝縮槽１６には、冷凍機２０の蒸
発器２１を配設している。

上述の冷凍機２０は、圧縮機２２の吐出側に凝
縮器２３、受液器２４、ドライヤ２５、電磁開閉
弁２６およびサイトグラス２７を介して膨張弁２
８を接続すると共に、この膨張弁２８の出口側に
前述の蒸発器２１、アキユムレータ２９を介して
圧縮機２２の吸引側を接続した冷凍サイクルであ
り、前述の凝縮器２３の出入口にはデフロスト用
の熱を上述の蒸発器２１に導びいて、この蒸発器
２１の霜取りを行なうデフロストライン３０を接
続し、かつ、このライン３０にデフロスト弁３１
を介設している。

上述の冷凍機２０は周知の如く、圧縮機２２の
駆動により、同圧縮機２２で圧縮され高圧となつ
た冷媒（たとえばR12）が、凝縮器２３に送ら
れ、ここで液化して受液器２４に至つた後に、こ
の高圧冷媒液は各要素２５，２６，２７を介して
膨張弁２８に導びかれ、この弁２８で絞り膨張さ
れて低圧となつた冷媒は蒸発器２１内に入り、周
囲より熱を奪つて蒸発して蒸発ガスとなり、アキ
ユムレータ２９を介して再び圧縮機２２に吸い込
まれる。

そして、上述の冷凍サイクルのうち、被冷却体
より熱を奪い取る蒸発器２１の作用によつて、凝
縮槽１６内のフロン蒸気を凝縮させてフロン液に
する。

図示実施例は上記の如く構成するものにして、
以下作用を説明する。

いま、前述の各槽１，２に介設したヒータ（図
示せず）に通電すると、R113が加熱され、液面
と冷却ジヤケツト７との間にフロン蒸気層４ｂが
形成されると共に、冷却ジヤケツト７より上部の
フロン洗浄槽内には、フロン蒸気が冷却されてフ
ロン乾燥室４ａが形成される。

そこで、前述のワーク出入口９からワークをフ
ロン洗浄槽４内に入れると、ワークはまずフロン
蒸気層で蒸気洗浄されたうえ、フロン液中で液中
洗浄が行なわれる。

そして、ワークを取出すとき、ワークはフロン
蒸気層４ｂの蒸気により加熱されると共に、蒸気
洗浄され、更に上方に持上げられて、フロン乾燥
室４ａ内で短時間に乾燥されることになる。

上述したように、ワーク洗浄時に、フロン蒸気
は上方へ流動して大気中に流出しようとするが、
このフロン蒸気は吸引ポンプ１４の駆動により図
面に矢印で示す如く各吸引口１１，１３から吸引
され、この吸引されたフロン蒸気は吸引管１０を
介して上述の吸引ポンプ１４に吸い込まれる。

そして、上述の吸引ポンプ１４から吐出管１５
を介して凝縮槽１６に吐出されたフロン蒸気は、
蒸発器２１の作用によつて凝縮して液化する。

この液化されたフロン液は次段の脱水槽１７に
おいて水分が取り除かれ、脱水後のフロン液は循
環路１８を介してフロン洗浄槽４にリターンす
る。

この結果、前述のフロン蒸気を確実に回収し、
かつ凝縮液化させたフロン液から水分を除去して
再利用に供することができる効果がある。

しかも、簡単な装置および配管を付加するだけ
で、フロン洗浄機との一体ユニツト化を図ること
ができる。

加えて、上述の構成により、低コストでのフロ
ン回収が可能となる効果がある。

この考案の構成と、上述の実施例との対応にお
いて、この考案のフロン溶剤は、実施例のR113に対
応し、以下同様に、吸引口は、上端吸引口１１に対応するも、この考案は、上述の実施例の構成のみに限定さ
れるものではない。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すフロン洗浄回
収装置の系統図である。４……フロン洗浄槽、４ａ……フロン乾燥室、
４ｂ……フロン蒸気層、１０……吸引管、１１…
…上端吸引口、１４……吸引ポンプ、１６……凝
縮槽、１７……脱水槽、１８……循環路、１９…
…リターンパイプ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】フロン溶剤を貯溜したフロン洗浄槽の中間部に
冷却ジヤケツトを配設して、フロン溶剤液面と冷
却ジヤケツト間にフロン蒸気層を形成すると共
に、冷却ジヤケツト上部をフロン乾燥室に形成
し、前記フロン洗浄槽の上部全面にはワーク出入口
を形成したダクトを設けて、該ダクトの下面に吸
引口を開口し、この吸引口を吸収管を介して吸引ポンプに連通
すると共に、吸引ポンプ吐出側に凝縮槽および脱
水槽を配設し、液化脱水したフロン液を循環路を
介して上記フロン洗浄槽に還流し、凝縮槽からの
フロン溶剤含有空気をリターンパイプを介してフ
ロン洗浄槽内に還流すべく構成したフロン洗浄回収装置。