JPH04346253A - 半導体用リードフレーム - Google Patents

半導体用リードフレーム

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Publication number
JPH04346253A
JPH04346253A JP11849991A JP11849991A JPH04346253A JP H04346253 A JPH04346253 A JP H04346253A JP 11849991 A JP11849991 A JP 11849991A JP 11849991 A JP11849991 A JP 11849991A JP H04346253 A JPH04346253 A JP H04346253A
Authority
JP
Japan
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frame
width
slit
resin
lead
Prior art date
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Pending
Application number
JP11849991A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Koyama
裕 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP11849991A priority Critical patent/JPH04346253A/ja
Publication of JPH04346253A publication Critical patent/JPH04346253A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用リードフレー
ムに関する。
【0002】
【従来の技術】図3は従来のリードフレームの平面図で
ある。同図において、1はリードフレーム枠の外枠で、
この外枠1とともにフレームを構成する内枠2を備えて
いる。この内枠2には幅Wなるスリット3が設けられて
おり、またアウターリード4が連設されている。アウタ
リード4はタイバー5で保持され、その先端を形成する
インナーリード6が後述するダイスパッド7の周辺まで
延設されている。ダイスパッド7には半導体素子8が載
置され、このダイスパッド7は、タイバー5に連設され
た吊りリード9により保持されている。ダイスパッド7
に載置された半導体素子8は配線材10によりインナー
リード6に結線され電気的に接続され、しかるのちに樹
脂封止される。11は樹脂封止したモールドの外形を示
すものである。樹脂封止成形完了後、樹脂とリードフレ
ームとの収縮率の相違から図5に示すようにリードフレ
ームに変形が生じるが、その変形はスリット3により吸
収される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来スリッ
ト3の形成方法はエッチングあるいはパンチング加工に
より行っており、したがってスリット3の幅Wを微細に
加工するには限界がある。このため樹脂封止成形過程で
発生する樹脂流動圧により、インナーリード6がA方向
に押圧されると、インナーリード6のみならずタイバー
5および内枠2までも変形して、この結果図6に示すよ
うに配線材10が二点鎖線で示すように引っ張られて、
半導体素子8のエッジとショートしたり、あるいは配線
材そのものが変形したり、断線するという不都合が生じ
る。本発明は上記した従来の不都合に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、スリットの幅寸法
の最適化を図り、樹脂成形時のインナーリードの変形を
防止し、もって配線材のショートや断線の無い半導体用
リードフレームを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、一対の外枠および一対の内枠からなるフ
レーム枠と、このフレーム枠に連結されたリードとおよ
び半導体素子を載置するダイスパッドとを備え、前記半
導体素子を樹脂封止し、前記外枠および内枠のうち少な
くとも内枠に幅が5〜50μmのスリットを設けたもの
である。
【0005】
【作用】本発明においては、樹脂封止時に発生する樹脂
とフレームとの収縮率の相違をスリットで吸収するとと
もに、スリットの幅寸法の最適化を図ったので、内枠の
変形は発生しない。
【0006】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図にもとづいて説
明する。図1は本発明の平面図で、同図において従来技
術と同一の符号を付したものは同一の構成を示すもので
あり、詳細な説明は省略する。本発明の特徴とするとこ
ろは、リードフレームの外枠1および内枠2のスリット
3の幅wを図2に示す樹脂封止時に発生する樹脂とリー
ドフレームとの収縮率の相違によるリードフレームの変
形を吸収するための最小限の幅に形成した点にある。本
実施例では幅wを30μmとし、その形成に当たっては
レーザ加工を用いて行い、従来の形成方法では困難であ
ったスリット幅の微細化を可能としたものである。
【0007】スリットの幅wを30μmとすることによ
り、樹脂封止時に発生するリードフレームの変形をスリ
ットで吸収するが、内枠2が変形するほどのスリット幅
ではなく、このためインナーリード6が変形することが
防止できて配線材10の断線等が発生するとこはない。 なお、パッケージが小型で樹脂量が少量の場合には樹脂
の収縮の影響も多少軽減されるので、外枠1のスリット
を設けずに、内枠2のみにスリット3を設ければよく、
樹脂量に応じて、スリット幅とともに適宜選択すること
が可能である。また、本実施例ではスリット幅wを30
μmとしたが、出願人が調査実験した結果、樹脂量が相
違する種々の半導体に対応するにはスリット幅wを5〜
50μmの範囲に設定すればよいことがわかった。
【0008】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リードフレームの外枠および内枠のうち少なくとも内枠
のスリットの幅を最適化することにより、従来樹脂封止
成形時に発生していたインナーリードの変形による配線
材のショートあるいは断線を防止して、品質の向上と安
定化を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の平面図である。
【図2】本発明の樹脂封止成形時の平面図である。
【図3】従来の平面図である。
【図4】従来の樹脂封止成形時の平面図である。
【図5】従来の樹脂封止成形時の詳細平面図である。
【図6】従来の樹脂封止成形時の詳細側面図である。
【符号の説明】
1    外枠 2    内枠 3    スリット 6    インナーリード 7    ダイスパッド 8    半導体素子 10    配線材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  一対の外枠および一対の内枠からなる
    フレーム枠と、このフレーム枠に連結されたリードとお
    よび半導体素子を載置するダイスパッドとを備え、前記
    半導体素子を樹脂封止した半導体用リードフレームにお
    いて、前記外枠および内枠のうち少なくとも内枠に幅が
    5〜50μmのスリットを設けたことを特徴とする半導
    体用リードフレーム。
JP11849991A 1991-05-23 1991-05-23 半導体用リードフレーム Pending JPH04346253A (ja)

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JP11849991A JPH04346253A (ja) 1991-05-23 1991-05-23 半導体用リードフレーム

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JP11849991A JPH04346253A (ja) 1991-05-23 1991-05-23 半導体用リードフレーム

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5739168A (en) * 1980-08-14 1982-03-04 Sumitomo Electric Ind Ltd Coated super hard alloy member and preparation thereof
JPS60190100A (ja) * 1984-03-09 1985-09-27 Murata Mfg Co Ltd 圧電スピ−カ
JPS6378561A (ja) * 1986-09-20 1988-04-08 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置用リ−ドフレ−ム
JPH02281643A (ja) * 1989-04-22 1990-11-19 Mitsubishi Electric Corp 集積回路用リードフレーム

Patent Citations (4)

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