JPH04337067A - 透明バリアー性フィルムの製造方法 - Google Patents

透明バリアー性フィルムの製造方法

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JPH04337067A
JPH04337067A JP3137214A JP13721491A JPH04337067A JP H04337067 A JPH04337067 A JP H04337067A JP 3137214 A JP3137214 A JP 3137214A JP 13721491 A JP13721491 A JP 13721491A JP H04337067 A JPH04337067 A JP H04337067A
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Japan
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sio2
film
siox
vapor deposition
molar ratio
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Toshiro Shinohara
篠原 敏郎
Kazuhiko Suzuki
和彦 鈴木
Tetsuo Sato
哲男 佐藤
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Mitsubishi Shindoh Co Ltd
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Mitsubishi Shindoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば食品等の包装に
用いられる、樹脂製フィルムの表面にSiOxが蒸着さ
れた透明バリアー性フィルムの製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】このような食品等の包装に用いられるフ
ィルムは、内容物の変質を抑えるために酸素や水分の透
過を遮断する高いバリアー性が要求される。かかる要求
を満たすべく、例えばポリエチレンテレフタレート等の
樹脂製フィルムにアルミニウムを蒸着したバリアー性フ
ィルムが提案されているが、このようなアルミニウムを
蒸着したフィルムでは透明度が低くなってしまい、包装
された内容物の状態を外から確認することが困難であり
、電子レンジでのスパークの問題等があった。
【0003】そこで、このような問題を解決するため、
樹脂製のフィルムの表面にSiOx(珪素酸化物)を蒸
着したフィルムが用いられるようになってきている。そ
して、このSiOxの蒸着原料としては従来、SiOや
、あるいはモル比1:1で混合されたSiとSiO2と
の混合物が使用されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの蒸
着原料のうち、まずSiOはバリアー性は高い反面、原
料費が非常に高く、このため製造されるフィルムも結果
的に高価なものとなってしまうという問題がある。他方
、SiO2はSiOと比較すると安価であるが、通常の
蒸着法で得られる膜はバリアー性に劣るという問題があ
り、例えば厚み12μmのポリエチレンテレフタレート
のフィルムに厚さ500ÅのSiOxを蒸着したフィル
ムの水蒸気の透過量を比較したとき、SiOを蒸着原料
とした場合には40℃−90%RH・24hrsで2g
/m2程度であるのに対して、SiO2を蒸着原料とし
た場合には同じく40℃−90%RH・24hrsの条
件で50g/m2程度と大幅に水蒸気透過量が増大して
しまう。
【0005】また一方、フィルムに蒸着されたこのよう
な珪素酸化物SiOxは、xの値が1に近づくに従って
黄色を呈するという傾向を有しており、このため蒸着原
料としてSiOやモル比1:1のSiとSiO2との混
合物を使用し、特に蒸着中に酸素を導入しない場合には
、蒸着されたSiOxの上記xの値が1に近くなってフ
ィルムが黄色となってしまう。そしてこのような着色さ
れたフィルムでは包装された内容物の色合い等を正しく
把握することが難しくなってしまう。従って、SiOx
のxを2に近づけ透明性を得る為に、蒸着中に酸素を導
入しながら蒸発させているのが現状であり、酸素分圧の
コントロール、バリアー性の安定化等に問題があった。 またSiOは1000〜1400℃で蒸発可能であり、
一般的には高周波加熱、抵抗加熱の蒸発方式が採られて
いた。一方SiOは1600〜2000℃の蒸発温度が
必要で、前述の方式では、安定して蒸着する事は困難で
あった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するためになされたもので、樹脂製フィルムの
表面にSiOx(珪素酸化物)を蒸着する透明バリアー
性フィルムの製造方法において、SiとSiO2とを含
み、これらSiとSiO2とのモル比Si/SiO2が
、1/3〜1/15である蒸着原料を、10−4Tor
r〜10−5Torrの圧力下にて、電子ビーム加熱に
よって1500℃〜3000℃に加熱することにより蒸
発せしめ、形成するSiOxの膜厚は50〜3000Å
の範囲が好ましく、更に好ましくは、200〜1500
Åの範囲であることを特徴とする。
【0007】
【作用】本発明では、蒸着原料に含まれるSiとSiO
2とのモル比Si/SiO2が、1/3〜1/15とS
iO2の含有率が大きく、この為、蒸着中の酸素分圧が
高くなり蒸着されるSiOxのxの値が1よりも大きく
なるのでフィルムが黄色を呈するのを防ぐことができ、
しかも酸素分子や水蒸気分子に対する高いバリアー性を
維持出来ることが判明した。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。ま
ず、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートのフィ
ルムの表面に、SiとSiO2との混合物より成りその
モル比Si/SiO2が1/3の蒸着原料を、2×10
−5Torrの圧力下において電子ビーム加熱によって
約1600℃に加熱して蒸発せしめ、厚さ500ÅでS
iOxを蒸着したフィルムを製造した。これを実施例1
とする。ただし、この時の蒸着条件は以下の通りである
。 電子ビームガン出力    :12kW加速電圧   
         :30kVエミッション電流   
 :0.4A ビームスキャン巾    :500mm蒸着速度   
           :2000Å/sec
【000
9】次に、蒸着原料のSiとSiO2とのモル比Si/
SiO2を1/5とし2×10−5Torrの蒸着圧力
下で電子ビーム加熱によって約1700℃に加熱して蒸
発せしめて上記フィルムの表面にSiOxを蒸着した。 これを実施例2とする。また、以下同様に上記モル比S
i/SiO2を1/9とした蒸着原料を2×10−5T
orrで約1800℃に加熱してSiOxを蒸着したフ
ィルムを実施例3、モル比Si/SiO2を1/15と
した蒸着原料を2×10−5Torrで約1800℃に
加熱してSiOxを蒸着したフィルムを実施例4とする
【0010】また、これらの実施例に対する比較例とし
て、上記モル比Si/SiO2を1/1とした蒸着原料
を2×10−5Torrで約1500℃に加熱してSi
Oxを蒸着したフィルム、上記モル比Si/SiO2を
1/2とした蒸着原料を2×10−5Torrで約15
50℃に加熱してSiOxを蒸着したフィルム、および
上記モル比Si/SiO2を1/18とした蒸着原料を
2×10−5Torrで約1800℃に加熱してSiO
xを蒸着したフィルム、上記モル比Si/SiO2を1
/1とした蒸着原料を2×10−5Torrまで排気し
、酸素を2×10−4Torrまで導入後、電子ビーム
加熱によって約1500℃に加熱してSiOxを蒸着し
たフィルム、およびSiO2を蒸着原料として2×10
−5Torrで約1800℃に加熱してSiO2を蒸着
したフィルムを製造した。これらをそれぞれ比較例1,
2,3,4,および5とする。ただし、これら実施例2
〜4および比較例1〜5のフィルムの蒸着においてSi
Oxの蒸着条件は実施例1の場合と同様とする。
【0011】次いで、このフィルムの40℃−90%R
H・24hrsの条件下における水蒸気の透過量を測定
するとともに、それぞれの透明度を測定した。この結果
を表1に示す。ただし、水蒸気の透過量の測定はJIS
0208のカップ法により、透明度の測定は自動分光光
度計により、波長400〜700nmにおける分光光線
透過率の積分値で評価した。
【0012】
【表1】
【0013】表1に示された結果より分かるように、比
較例1〜5のフィルムでは酸素や水蒸気の透過量が多い
か、または黄色に着色されて透明度が低いか、あるいは
これらのすべてにおいて良好な結果を得られなかったの
に対し、実施例1〜4のフィルムでは水蒸気透過量が低
く抑えられているのに加え、高い透明度を得ることがで
きた。尚、透明バリアー性フィルムの実用範囲としては
、水蒸気の透過量で4g/m2以下、透明度で82%以
上とした。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、水
蒸気の透過を抑えてバリアー性を維持したまま、透明度
の高いフィルムを低コストで提供することが可能となる
。よって、このようなフィルムを例えば食料品等の包装
に用いた場合には、内容物の劣化等が抑えられるのに加
え、消費者等が直にその目で内容物を確認できるという
利点が得られる。また、他の工業用品包装用途、医薬品
包装用途にも、その効果が期待できる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  樹脂製フィルムの表面にSiOx(珪
    素酸化物)を蒸着する透明バリアー性フィルムの製造方
    法において、SiとSiO2とを含み、これらSiとS
    iO2とのモル比Si/SiO2が1/3〜1/15で
    ある蒸着原料を、10−4Torr〜10−5Torr
    の圧力下にて、電子ビーム加熱によって1500℃〜3
    000℃に加熱することにより蒸発せしめることによっ
    て、上記樹脂製フィルムの表面にSiOxを蒸着するこ
    とを特徴とする透明バリアー性フィルムの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009179819A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Toppan Printing Co Ltd 透明ガスバリア性フィルムの製造方法
JP2012052154A (ja) * 2010-08-31 2012-03-15 Toppan Printing Co Ltd 蒸着用材料とガスバリア性蒸着フィルム
JP2012184496A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Toppan Printing Co Ltd 蒸着フィルム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009179819A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Toppan Printing Co Ltd 透明ガスバリア性フィルムの製造方法
JP2012052154A (ja) * 2010-08-31 2012-03-15 Toppan Printing Co Ltd 蒸着用材料とガスバリア性蒸着フィルム
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