JPH04335147A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH04335147A JPH04335147A JP3107397A JP10739791A JPH04335147A JP H04335147 A JPH04335147 A JP H04335147A JP 3107397 A JP3107397 A JP 3107397A JP 10739791 A JP10739791 A JP 10739791A JP H04335147 A JPH04335147 A JP H04335147A
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- Japan
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- rotation
- direct drive
- drive motor
- ray
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線回折装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線回折装置のゴニオメータは、
モータとウォーム減速機構とを組み合わせることにより
、試料がθ回転すると、これに伴ってＸ線検出器が２θ
で倍角回転されるようになっており、たとえば、高角度
側から低角度側に試料とＸ線検出器とをθ−２θの関係
を保って一定速度で連続走査しながらＸ線検出器の検出
パルスを計測し、あるいは、一定ステップ角度で走査し
て所定の積分時間内で得られる検出パルスを計測して、
Ｘ線回折データを得ている。
モータとウォーム減速機構とを組み合わせることにより
、試料がθ回転すると、これに伴ってＸ線検出器が２θ
で倍角回転されるようになっており、たとえば、高角度
側から低角度側に試料とＸ線検出器とをθ−２θの関係
を保って一定速度で連続走査しながらＸ線検出器の検出
パルスを計測し、あるいは、一定ステップ角度で走査し
て所定の積分時間内で得られる検出パルスを計測して、
Ｘ線回折データを得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来装置のゴニオメー
タは、上述したような分散形であって、回折Ｘ線を測定
するには所定の角度範囲にわたって試料とＸ線検出器と
を走査する必要があり、しかも、ウォーム減速機構など
を組み込んでいるため、高速駆動には自と限界がある。 このため、角度走査に比較的長い時間を要する。
タは、上述したような分散形であって、回折Ｘ線を測定
するには所定の角度範囲にわたって試料とＸ線検出器と
を走査する必要があり、しかも、ウォーム減速機構など
を組み込んでいるため、高速駆動には自と限界がある。 このため、角度走査に比較的長い時間を要する。
【０００４】一方、測定対象となる試料は、Ｘ線照射に
より経時的に変質することがあり、また、試料を積極的
に加熱や加圧してその変化を調べたい場合がある。
より経時的に変質することがあり、また、試料を積極的
に加熱や加圧してその変化を調べたい場合がある。
【０００５】ところが、従来のような分散方式では、走
査時間がかかるために、短時間の内に材質などが経時変
化するような試料を測定することは困難である。
査時間がかかるために、短時間の内に材質などが経時変
化するような試料を測定することは困難である。
【０００６】これを解消するため、所定の角度範囲にわ
たって位置敏感形比例係数管（ＰＳＰＣ）を設けて回折
Ｘ線を非分散で測定するようにしたものがあるが、角度
分解能が悪く、また、原理上、微少角度域の回折Ｘ線の
検出にしか適用できないなどの問題がある。
たって位置敏感形比例係数管（ＰＳＰＣ）を設けて回折
Ｘ線を非分散で測定するようにしたものがあるが、角度
分解能が悪く、また、原理上、微少角度域の回折Ｘ線の
検出にしか適用できないなどの問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、試料とＸ線検
出器とを高速度で、しかも、角度再現性を高く保って走
査できるようにして、見掛け上、非分散の回折Ｘ線の測
定結果が得られるようにし、時間的に変化するような試
料についての測定も可能にするものである。
を解決するためになされたものであって、試料とＸ線検
出器とを高速度で、しかも、角度再現性を高く保って走
査できるようにして、見掛け上、非分散の回折Ｘ線の測
定結果が得られるようにし、時間的に変化するような試
料についての測定も可能にするものである。
【０００８】そのため、本発明のＸ線回折装置では、ゴ
ニオメータは、θ回転部と２θ回転部とを有し、θ回転
部は、θ回転用ダイレクトドライブモータを備え、この
θ回転用ダイレクトドライブモータに試料ホルダが直結
されてなり、また、２θ回転部は、２θ回転用ダイレク
トドライブモータを備え、この２θ回転用ダイレクトド
ライブモータにＸ線検出器が取り付けられて構成される
一方、θ回転用ダイレクトドライブモータと２θ回転用
ダイレクトドライブモータとを互いに連動して駆動制御
する制御部と、Ｘ線検出器が一定のサンプリングピッチ
角だけ走査されるたびに、そのＸ線検出器からの検出パ
ルスを計測するＸ線計測用メモリとを含む。
ニオメータは、θ回転部と２θ回転部とを有し、θ回転
部は、θ回転用ダイレクトドライブモータを備え、この
θ回転用ダイレクトドライブモータに試料ホルダが直結
されてなり、また、２θ回転部は、２θ回転用ダイレク
トドライブモータを備え、この２θ回転用ダイレクトド
ライブモータにＸ線検出器が取り付けられて構成される
一方、θ回転用ダイレクトドライブモータと２θ回転用
ダイレクトドライブモータとを互いに連動して駆動制御
する制御部と、Ｘ線検出器が一定のサンプリングピッチ
角だけ走査されるたびに、そのＸ線検出器からの検出パ
ルスを計測するＸ線計測用メモリとを含む。
【０００９】
【作用】上記構成において、制御部によりゴニオメータ
のθ回転用ダイレクトドライブモータと２θ回転用ダイ
レクトドライブモータとが互いに連動して駆動制御され
ることにより、θ回転部の試料ホルダにセットされた試
料と２θ回転部に設けられたＸ線検出器とがそれぞれ所
定の角度範囲内で高速に往復動される。そして、Ｘ線検
出器が所定の角度範囲内において、一定のサンプリング
ピッチ角だけ走査されるたびに、そのＸ線検出器の検出
パルスがＸ線計測用メモリに積算される。
のθ回転用ダイレクトドライブモータと２θ回転用ダイ
レクトドライブモータとが互いに連動して駆動制御され
ることにより、θ回転部の試料ホルダにセットされた試
料と２θ回転部に設けられたＸ線検出器とがそれぞれ所
定の角度範囲内で高速に往復動される。そして、Ｘ線検
出器が所定の角度範囲内において、一定のサンプリング
ピッチ角だけ走査されるたびに、そのＸ線検出器の検出
パルスがＸ線計測用メモリに積算される。
【００１０】これにより、所定の角度範囲において、あ
たかも非分散で試料からの回折Ｘ線が測定されることに
なる。
たかも非分散で試料からの回折Ｘ線が測定されることに
なる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の実施例に係るＸ線回折装置の
構成図、図２は同装置の正面図である。
構成図、図２は同装置の正面図である。
【００１２】これらの図において、１はＸ線回折装置の
全体を示し、２はＸ線管球、３はゴニオメータである。
全体を示し、２はＸ線管球、３はゴニオメータである。
【００１３】このゴニオメータ３は、ゴニオメータ円の
中心位置において回転されるθ回転部４とゴニオメータ
円に沿って回転される２θ回転部６とを有する。
中心位置において回転されるθ回転部４とゴニオメータ
円に沿って回転される２θ回転部６とを有する。
【００１４】θ回転部４は、θ回転ダイレクトドライブ
モータ８を備え、このθ回転用ダイレクトドライブモー
タ８の回転枠１０に試料ｓをセットする試料ホルダ１２
が直結されてなる。
モータ８を備え、このθ回転用ダイレクトドライブモー
タ８の回転枠１０に試料ｓをセットする試料ホルダ１２
が直結されてなる。
【００１５】一方、２θ回転部６は、２θ回転用ダイレ
クトドライブモータ１４を備え、この２θ回転用ダイレ
クトドライブモータ１４の回転枠１６に検出器保持台１
８が取り付けられ、この検出器保持台１８上に、ソーラ
スリット２０、検出スリット２２およびＸ線検出器２４
が順次固定されている。
クトドライブモータ１４を備え、この２θ回転用ダイレ
クトドライブモータ１４の回転枠１６に検出器保持台１
８が取り付けられ、この検出器保持台１８上に、ソーラ
スリット２０、検出スリット２２およびＸ線検出器２４
が順次固定されている。
【００１６】２６はＸ線管球２と試料ｓとの間に配置さ
れた発散スリットである。
れた発散スリットである。
【００１７】２８はＣＰＵなどで構成される制御部で、
この制御部２８は、試料ホルダ１２とＸ線検出器２４と
がそれぞれ所定の角度範囲にわたってθ回転用ダイレク
トドライブモータ８と２θ回転用ダイレクトドライブモ
ータ１４とが互いにθ−２θの関係を保ちながら往復動
するように駆動制御するとともに、後述のＸ線計測用メ
モリ３０の計測動作を制御する。
この制御部２８は、試料ホルダ１２とＸ線検出器２４と
がそれぞれ所定の角度範囲にわたってθ回転用ダイレク
トドライブモータ８と２θ回転用ダイレクトドライブモ
ータ１４とが互いにθ−２θの関係を保ちながら往復動
するように駆動制御するとともに、後述のＸ線計測用メ
モリ３０の計測動作を制御する。
【００１８】３０は２θダイレクトドライブモータ１４
によりＸ線検出器２４が一定のサンプリングピッチ角だ
け走査されるたびに、そのＸ線検出器２４の検出パルス
を入力して計測するＸ線計測用メモリで、本例ではｎ個
のチャンネル群で構成されている。
によりＸ線検出器２４が一定のサンプリングピッチ角だ
け走査されるたびに、そのＸ線検出器２４の検出パルス
を入力して計測するＸ線計測用メモリで、本例ではｎ個
のチャンネル群で構成されている。
【００１９】次に、上記構成のＸ線回折装置の作用を、
図３を参照して説明する。
図３を参照して説明する。
【００２０】制御部２８は、θ回転用と２θ回転用の各
ダイレクトドライブモータ８，１４が互いにθ−２θの
関係を保ちながら往復動するように駆動する。これによ
り、試料ホルダ１２にセットされた試料ｓは、最初は、
低角度θ１から高角度θ２まで回転される。また、Ｘ線
検出器２４は、試料ｓの回転に応じて、２θ１から２θ
２までの所定の角度範囲αにわたって高速（たとえば、
１５００°／ｓｅｃ）で走査される。
ダイレクトドライブモータ８，１４が互いにθ−２θの
関係を保ちながら往復動するように駆動する。これによ
り、試料ホルダ１２にセットされた試料ｓは、最初は、
低角度θ１から高角度θ２まで回転される。また、Ｘ線
検出器２４は、試料ｓの回転に応じて、２θ１から２θ
２までの所定の角度範囲αにわたって高速（たとえば、
１５００°／ｓｅｃ）で走査される。
【００２１】Ｘ線管球２からのＸ線は、発散スリット２
６を通って試料ｓで回折され、その回折Ｘ線がソーラス
リット２０、検出スリット２２を通ってＸ線検出器２４
で検出される。
６を通って試料ｓで回折され、その回折Ｘ線がソーラス
リット２０、検出スリット２２を通ってＸ線検出器２４
で検出される。
【００２２】この回折Ｘ線の検出において、２θダイレ
クトドライブモータ１４によりＸ線検出器２４が一定の
サンプリングピッチ角２Δだけ走査されるたびに、制御
部２８は、そのＸ線検出器２４の検出パルスをＸ線計測
用メモリ３０の各チャンネル１〜ｎに個別に取り込んで
積算する。
クトドライブモータ１４によりＸ線検出器２４が一定の
サンプリングピッチ角２Δだけ走査されるたびに、制御
部２８は、そのＸ線検出器２４の検出パルスをＸ線計測
用メモリ３０の各チャンネル１〜ｎに個別に取り込んで
積算する。
【００２３】こうして、Ｘ線検出器２４が高角度２θ２
まで走査されると、次に、制御部２８は、各ダイレクト
ドライブモータ８，１４をいずれも逆転させて、試料ｓ
を高角度θ２から低角度θ１に回転させ、Ｘ線検出器２
４も高角度２θ２から低角度２θ１に向けて高速に走査
し、その走査の過程で、上記と同様に一定のサンプリン
グピッチ角２Δごとに、Ｘ線検出器２４の検出パルスを
Ｘ線計測用メモリ３０の各チャンネル１〜ｎに個別に取
り込んで積算する。
まで走査されると、次に、制御部２８は、各ダイレクト
ドライブモータ８，１４をいずれも逆転させて、試料ｓ
を高角度θ２から低角度θ１に回転させ、Ｘ線検出器２
４も高角度２θ２から低角度２θ１に向けて高速に走査
し、その走査の過程で、上記と同様に一定のサンプリン
グピッチ角２Δごとに、Ｘ線検出器２４の検出パルスを
Ｘ線計測用メモリ３０の各チャンネル１〜ｎに個別に取
り込んで積算する。
【００２４】こうして、ゴニオメータ３を所定の角度範
囲にわたって往復動させながらサンプリングピッチ２Δ
ごとに検出パルスを計測することにより、検出パルスの
数え落としが少なくなるとともに、見掛け上、所定の角
度範囲αにおいて、非分散で試料ｓからの回折Ｘ線を測
定したことになる。たとえば、角度範囲αが１°の場合
には、１５００回／ｓｅｃの駆動が可能であり、１５０
０ｃｐｓまで数え落としなく計数することができる。
囲にわたって往復動させながらサンプリングピッチ２Δ
ごとに検出パルスを計測することにより、検出パルスの
数え落としが少なくなるとともに、見掛け上、所定の角
度範囲αにおいて、非分散で試料ｓからの回折Ｘ線を測
定したことになる。たとえば、角度範囲αが１°の場合
には、１５００回／ｓｅｃの駆動が可能であり、１５０
０ｃｐｓまで数え落としなく計数することができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、試料とＸ線検出器とを
高速度で走査でき、しかも、ＤＤモータにはバックラッ
シュが無いので角度再現性が高く、このため、高角度側
から低角度側への走査による測定と、その逆に低角度側
から高角度側への走査による測定とを交互に繰り返して
行うことができる。したがって、短時間で材質が変化す
るような試料についての回折Ｘ線の測定も可能となる。
高速度で走査でき、しかも、ＤＤモータにはバックラッ
シュが無いので角度再現性が高く、このため、高角度側
から低角度側への走査による測定と、その逆に低角度側
から高角度側への走査による測定とを交互に繰り返して
行うことができる。したがって、短時間で材質が変化す
るような試料についての回折Ｘ線の測定も可能となる。
【図１】本発明の実施例に係るＸ線回折装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例に係るＸ線回折装置の正面図で
ある。
ある。
【図３】本発明のＸ線回折装置の動作説明に供する図で
ある。
ある。
１…Ｘ線回折装置、２…Ｘ線管球、３…ゴニオメータ、
４…θ回転部、６…２θ回転部、８…θ回転用ダイレク
トドライブモータ、１２…試料ホルダ、１４…２θ回転
用ダイレクトドライブモータ、２４…Ｘ線検出器、２８
…制御部、３０…Ｘ線計測用メモリ。
４…θ回転部、６…２θ回転部、８…θ回転用ダイレク
トドライブモータ、１２…試料ホルダ、１４…２θ回転
用ダイレクトドライブモータ、２４…Ｘ線検出器、２８
…制御部、３０…Ｘ線計測用メモリ。
Claims (1)
- 【請求項１】 ゴニオメータ（３）はθ回転部（４）
と２θ回転部（６）とを有し、前記θ回転部（４）は、
θ回転用ダイレクトドライブモータ（８）を備え、この
θ回転用ダイレクトドライブモータ（８）に試料ホルダ
（１２）が直結されてなり、また、前記２θ回転部（６
）は、２θ回転用ダイレクトドライブモータ（１４）を
備え、この２θ回転用ダイレクトドライブモータ（１４
）にＸ線検出器（２４）が取り付けられて構成される一
方、前記θ回転用ダイレクトドライブモータ（８）と２
θ回転用ダイレクトドライブモータ（１４）とを互いに
連動して駆動制御する制御部（２８）と、前記Ｘ線検出
器（２４）が一定のサンプリングピッチ角だけ走査され
るたびに、そのＸ線検出器（２４）からの検出パルスを
計測するＸ線計測用メモリ（３０）と、を含むことを特
徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107397A JPH04335147A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107397A JPH04335147A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Ｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04335147A true JPH04335147A (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=14458111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3107397A Pending JPH04335147A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04335147A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010203842A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Rigaku Corp | Ｘ線分析装置 |
| ITVI20100207A1 (it) * | 2010-07-27 | 2012-01-28 | Fond Bruno Kessler | Diffrattometro a raggi x perfezionato e procedimento di montaggio del suddetto diffrattometro a raggi x perfezionato |
| US11457882B2 (en) | 2018-12-26 | 2022-10-04 | Makoto Shizukuishi | Imaging apparatus and driving method thereof |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP3107397A patent/JPH04335147A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010203842A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Rigaku Corp | Ｘ線分析装置 |
| ITVI20100207A1 (it) * | 2010-07-27 | 2012-01-28 | Fond Bruno Kessler | Diffrattometro a raggi x perfezionato e procedimento di montaggio del suddetto diffrattometro a raggi x perfezionato |
| WO2012013668A1 (en) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | Fondazione Bruno Kessler | Improved x-ray diffractometer and method of installing said improved x-ray diffractometer. |
| US11457882B2 (en) | 2018-12-26 | 2022-10-04 | Makoto Shizukuishi | Imaging apparatus and driving method thereof |
| US11723613B2 (en) | 2018-12-26 | 2023-08-15 | Makoto Shizukuishi | Imaging apparatus and driving method thereof |
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