JPH04160351A - ガンマ又はｘ線によるテスト対象物検査装置 - Google Patents

ガンマ又はｘ線によるテスト対象物検査装置

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JPH04160351A
JPH04160351A JP3000218A JP21891A JPH04160351A JP H04160351 A JPH04160351 A JP H04160351A JP 3000218 A JP3000218 A JP 3000218A JP 21891 A JP21891 A JP 21891A JP H04160351 A JPH04160351 A JP H04160351A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
［０００１］
【産業上の利用分野】
本発明はテスト対象物に向けられる少なくとも一つの１
次Ｘ線ペンシルビームを発生する１次Ｘ線源と、テスト
対象物と検出器との間に配置される少なくとも一つのス
リットダイアフラムとからなり、ガンマ又はＸ線により
テスト対象物を検査し、テスト対象物に１次ビームによ
り発生した２次Ｘ線（コンプトン効果）を少なくとも一
つの検出器に向ける装置に係る。 ［０００２］
【従来の技術】 この種の装置は欧州特許明細書第１８４２４７号で公知
であり、高品質部品、例えば航空宇宙産業に用いられる
部品の非破壊検査に用いられる。 ［０００３］ テスト対象物の物質を貫通するペンシル型１次Ｘ線ビー
ムの強度は吸収及び散乱により変化する。１次放射エネ
ルギーが大きくなるにつれ、コンプトン散乱は大きくな
り、その散乱は１次放射線の通路上の物質の各点から実
質的に球状に伝搬する。従ってコンプトン散乱の強度は
全ての角方向に実質的に等しい。軽金属プラスチック、
積層又はセラミックのような侵れた物質は有利に試、験
されうる［０００４］ １次の放射線方向に対して後方散乱される２次放射線の
物質が適切な検出器により検出される時、特に簡単なテ
スト用装置が得られる。次に、検出器は１次Ｘ線源と同
じテスト対象物側に配置される。 ［０００５］ スリットダイアフラムはピンホールカメラと同じように
動作する。検出器に関する空間のその位置は１次ビーム
、路に位置するテスト対象物のその点から決められ、散
乱放射線は検出器に至る。テスト対象物の３次元領域は
検査装置に対するテスト対象物の変位又はその逆により
検査されうる。 ［０００６］ 複数の検出器のアレーが用いられる場合、所定の奥行範
囲で１次Ｘ線ビームの方向に互いに続くテスト対象物の
点はテスト対象物又は検査装置の置換なしに走査されう
る。更に、１次Ｘ線ビームは、例えば欧州特許明細書第
１８４２４７号に記載のような適切なたわみ装置により
ビーム方向に直角にシフトされ、これによりテスト対象
物の面は検査装置の複雑な変位なしに走査されうる。 ［０００７］ テスト対象物及び検査装置間の所定の空間関係に対し、
測定されうる奥行範囲はスリットダイアフラム及び検出
器の位置間の幾何方向関係により予め決められる。 ［０００８］
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、検出器によりカバーされるテスト対象
物の奥行範囲がテスト対象物又は検査装置の位置を変え
ることなしに変えられうるような上記種類の装置を構成
することである。 ［０００９］
【課題を解決するための手段】
この目的は、検出器に関するスリットダイアフラムの位
置が調整装置により変更されうろことにより達せられる
。 ［００１０］ 本発明によりスリットダイアフラム又は検出器からなる
検査装置の小さい部品だけを調整するだけでよい。これ
は高精度で簡単に実現されうる。スリットダイアフラム
の位置を変更することは特に簡単である。 ［００１１］ スリットダイアフラムの相対位置はテスト対象奥行を予
め決め、それからの２次放射は検出器により検出される
。複数の検出器のアレーが用いられる時、スリットダイ
アフラムの位置はまたは検出器によりカバーされる位置
の間の距離に影響する。従って、検出器のアレー、即ち
個々の関連した測定点間の距離による解像度のみが変化
する場合、スリットダイアフラムはスリットを貫通する
２次放射の中心軸に対応する座標方向に望ましくは変位
される。しかし、個々の点がその空間を変えずに１次ビ
ームの方向に共にシフトされうる場合、変位の座標方向
は散乱放射の中心軸に関して望ましくは傾けられるべき
である。その場合には、座標方向が２次Ｘ線の中心軸に
並行に延在することで通常は十分であり；これは構造的
に単純な方法で達成される。この単純な解決策により、
検出された個々の点間の空間はただ無意味に変えられう
る。 ［００１２］ 検出された点の空間と同様奥行の位置が変えられる場合
、スリットダイアフラム又は検出器は２つの座標方向に
変位可能であるべきである。 ［００１３］ スリットダイアフラム又は検出器がマニピュレータによ
り少なくとも一つの座標方向に変位可能である時に、容
易に取扱える検査装置が得られる。所望の解決策により
、マニピュレータは電動モータにより駆動されうる。そ
の場合には、調整操作は任意の位置の制御ディスク上で
始められる。 ［００１４］ マニピュレータの電動モータがプログラム可能な制御回
路を介して制御される時、所定の領域に位置した測定点
は自動的に走査されうる。個々の点に対する測定値は全
体の映像を形成するよう蓄積されうる。 ［００１５］
【実施例】
本発明は添付図面を参照して詳細に説明される。 ［００１６］ 任意の公知の型のＸ線源（図示せず）から放射するＸ線
１は、測定ヘッド５のチャンネル４を介してスリット２
から放射した後ペンシルビーム３としてテスト対象物４
を貫通する。テスト対象物を通るその通路の全ての点に
おいて、散乱放射は全ての角方向に分散し、該放射の強
度は物質の種類に存る。 ［００１７］ スリットダイアフラム８，９は２次放射線を所定の点か
ら測定ヘッド５に固定的に配置された検出器アレー６及
び７へ伝送する。これらの検出器アレーのそれぞれは、
例えば１次ビーム３の方向に互いに重なって配置される
。５つの個々の検出器からなり、これにより検出器アレ
ー６又は７は夫々奥行領域１０又は奥行領域１１の５つ
の点をカバーする。 ［００１８］ ２つの検出器アレー６及び７により覆われた点は一般的
に同一でなく、例えばそれらは互いに交互にづれな状態
になる。原則的に単一検出器からなる単一検出アレーは
本発明による装置を満足する。しかし、複数の検出器は
並行測定の同時実行により測定時間を削減するのに有利
である。これは、走査さるべき多数の測定点及び雑音抑
圧に必要な測定時間がテスト対象物の検査用に対する実
質的測定期間になるからである。 ［００１９］ スリットダイアフラム８及び９は各ダイアフラム部材１
６及び１７の各スリットリム１２．１３及び１４．１５
間に形成される。これらのダイアフラム部材は夫々マニ
ピュレータ１８及び１９により夫々スピンドル２０．２
１及び２２，２３を介して各両側矢印２４及び２５の方
向に独立的に調整自在である。 ［００２０］ 右側ダイアフラム部材１６がきわめて低い位置にある時
、左側ダイアフラム部材１７は持ち上った位置に上げら
れる。従って、検出器アレー７に至る２次極限放射２６
及び２７は検出器アレー６に至る２次の極限放射２８及
び２９間の奥行領域１０より高い奥行領域１１を画成す
る。 ［００２１］ マニピュレータ１８及び１９は夫々制御回路３０及び３
１により制御される電動モータ（図示せず）により駆動
される。制御回路は、測定点が自動的にシーケンスで異
なる奥行領域に順次カバーされるようプログラムされて
もよい。測定データが蓄積され、表示スクリーン上に最
後に表示される。 ［００２２］ 料量＋４−１６０３５１　（７） たわみ装置（欧州特許明細書第１８４２４７号参照）が
１次ビーム（簡略化の為図示されない）（欧州゛特許第
１８４２４７号参照）の為に設けられている時、テスト
対象物４の平面領域が撮像されうる。測定ヘッドが第３
の座標方向に所定の範囲に亘って付加的に変位自在であ
る時、テスト対象物４の３次元部分が映像されうる。 ［００２３］ 検査によりカバーされた奥行範囲の望ましい変更は、ス
リットダイアフラムが矢印２４又は１次ビーム３の方向
にのみ調整自在である時、既に可能である。その場合は
、調整機構の特に簡単な構成が得られ、ここでダイアフ
ラム部材１６及び１７は一つの構造ユニットとして共に
変位されうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明によるテスト対象物の非破壊検査用装置の測定ヘ
ッドの断面図である。
【符号の説明】
Ｉ　Ｘ線 ２　スリット ３　ペンシルビーム ４　テスト対象物 ５　測定ヘッド ６．７　検出器アレー ８．９　スリットダイアフラム １０．１１　　奥行領域 １２．１３，１４．１５　　スリットリム１６．１７　
　ダイアフラム部材 １８．１９　　マニピュレータ ２０．２１，２２，２３　　スピンドル２４．２５　　
矢印 ２６．２７，２８．２９　　極限放射 ３０．３１−　制御回路
【書類名】
図面
【図１】

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】テスト対象物（４）に向けられる少なくと
    も一つの１次Ｘ線ペンシルビーム（３）を発生する１次
    Ｘ線源と、テスト対象物（４）と検出器（６、７）との
    間に配置される少なくとも一つのスリットダイアフラム
    （８、９）とからなり、ガンマ又はＸ線によりテスト対
    象物（４）を検査し、テスト対象物（４）に１次ビーム
    （３）により発生した散乱Ｘ線（２６、２７、２８、２
    ９）を少なくとも一つの検出器（６、７）に向ける装置
    であって、検出器（６、７）に対するスリットダイアフ
    ラム（８、９）の位置が調整装置（１８、１９）により
    変更されうることを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】スリットダイアフラム（８、９）の位置が
    変更されうることを特徴とする請求項１の装置。
  3. 【請求項３】検出器（６、７）の位置が変更されうるこ
    とを特徴とする請求項１の装置。
  4. 【請求項４】スリット
    ダイアフラム（８、９）又は検出器（６、７）が単一座
    標方向に変位されうることを特徴とする請求項１乃至３
    のうちいずれか一項の装置。
  5. 【請求項５】座標方向が２次Ｘ線（２６、２７又は２８
    、２９）の中心軸に関して傾くことを特徴とする請求項
    ４の装置。
  6. 【請求項６】座標方向が散乱Ｘ線（２６、２７又は２８
    、２９）の中心軸に本質的に並行に延在することを特徴
    とする請求項４の装置。
  7. 【請求項７】スリットダイアフラム（８、９）又は検出
    器（６、７）は２つの座標方向に変位可能であることを
    特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項の装置。
  8. 【請求項８】スリットダイアフラム（８、９）又は検出
    器（６、７）はマニピュレータ（１８、１９）により少
    なくとも一つの座標方向に変位できることを特徴とする
    請求項１乃至７のうちいずれか一項の装置。
  9. 【請求項９】マニピュレータ（１８、１９）は電動モー
    タにより駆動されうることを特徴とする請求項８の装置
    。
  10. 【請求項１０】マニピュレータ（１８、１９）の電動モ
    ータはプログラム可能な制御回路（３０、３１）により
    制御されうることを特徴とする請求項９の装置。
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