JPH04325900A - パルスモータ駆動回路 - Google Patents
パルスモータ駆動回路Info
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- JPH04325900A JPH04325900A JP9511191A JP9511191A JPH04325900A JP H04325900 A JPH04325900 A JP H04325900A JP 9511191 A JP9511191 A JP 9511191A JP 9511191 A JP9511191 A JP 9511191A JP H04325900 A JPH04325900 A JP H04325900A
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- JP
- Japan
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- pulse motor
- pulse
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- circuit
- pulses
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Stepping Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスモータ駆動回路
、特に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）やエレクトロマイク
ロプローブアナライザ（ＥＰＭＡ）等の表面分析装置の
試料ステージをパルスモータを用いて手動で位置設定す
る場合に使用するパルスモータ駆動回路に関する。
、特に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）やエレクトロマイク
ロプローブアナライザ（ＥＰＭＡ）等の表面分析装置の
試料ステージをパルスモータを用いて手動で位置設定す
る場合に使用するパルスモータ駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面分析装置では、試料面に電子ビーム
やＸ線を照射し、試料の電子ビームやＸ線照射点から放
射されるＸ線、二次電子、光電子などを分析装置で分析
することにより、試料面に含まれる元素の定性、定量分
析を行う。このような分析装置で、試料面を移動させて
分析を行う場合、試料の置かれている試料ステージのＸ
、Ｙ、Ｚ軸方向移動台をパルスモータで駆動することに
より、電子ビームやＸ線を照射する位置を調整している
。また、試料を傾ける必要がある場合には、θ、φ軸方
向の移動装置をパルスモータで駆動して角度調整を行っ
ている。
やＸ線を照射し、試料の電子ビームやＸ線照射点から放
射されるＸ線、二次電子、光電子などを分析装置で分析
することにより、試料面に含まれる元素の定性、定量分
析を行う。このような分析装置で、試料面を移動させて
分析を行う場合、試料の置かれている試料ステージのＸ
、Ｙ、Ｚ軸方向移動台をパルスモータで駆動することに
より、電子ビームやＸ線を照射する位置を調整している
。また、試料を傾ける必要がある場合には、θ、φ軸方
向の移動装置をパルスモータで駆動して角度調整を行っ
ている。
【０００３】このような試料ステージ駆動機構に使用す
るパルスモータ駆動回路としては、従来、第３図に示す
ようなパルスモータ駆動回路を使用している。
るパルスモータ駆動回路としては、従来、第３図に示す
ようなパルスモータ駆動回路を使用している。
【０００４】このパルスモータ駆動回路を用いて試料を
移動させる方法を説明すると、手動設定用つまみ２１を
回転させると、エンコーダ２２から周期が同じで位相が
ずれた二つの基本パルス信号が回転量・方向判別回路２
３に入力される。回転量・方向判別回路２３は二つの基
本パルス信号の位相を判別することにより、回転方向判
別信号を出力端子Ｄから出力するとともに、つまみの回
転量に応じた数のパルス信号を出力端子Ｖから出力して
パルスモータドライバ２４に入力する。これにより、パ
ルスモータ２５が三軸方向移動台２６を駆動し、試料ス
テージ２７が例えば、Ｘ軸方向に移動される。一方、回
転量・方向判別回路２３からの回転方向判別信号及びパ
ルス信号は可逆カウンタ２８にも入力され、つまみ２１
の回転方向に応じて回転量・方向判別回路２３からのパ
ルス信号が加算または減算され、この可逆カウンタの出
力が位置表示器２９に入力されて試料ステージの位置が
表示される。
移動させる方法を説明すると、手動設定用つまみ２１を
回転させると、エンコーダ２２から周期が同じで位相が
ずれた二つの基本パルス信号が回転量・方向判別回路２
３に入力される。回転量・方向判別回路２３は二つの基
本パルス信号の位相を判別することにより、回転方向判
別信号を出力端子Ｄから出力するとともに、つまみの回
転量に応じた数のパルス信号を出力端子Ｖから出力して
パルスモータドライバ２４に入力する。これにより、パ
ルスモータ２５が三軸方向移動台２６を駆動し、試料ス
テージ２７が例えば、Ｘ軸方向に移動される。一方、回
転量・方向判別回路２３からの回転方向判別信号及びパ
ルス信号は可逆カウンタ２８にも入力され、つまみ２１
の回転方向に応じて回転量・方向判別回路２３からのパ
ルス信号が加算または減算され、この可逆カウンタの出
力が位置表示器２９に入力されて試料ステージの位置が
表示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、通常パルス
モータは負荷とのかねあいで起動できる最大の周波数（
自起動周波数）が決められており、これより高い周波数
のパルスで駆動した場合、モータが脱調してしまう可能
性がある。したがって、手動でエンコーダを回してパル
スモータ駆動用のパルスを発生する場合に、素早くつま
みを回転させると、自起動周波数より高い周波数のパル
スが発生してしまい、パルスモータが脱調して、カウン
タで計数されるパルスの数とパルスモータの回転量とが
一致しなくなる。このため、位置表示器に表示された値
と実際の試料位置にずれが生じるという問題があった。 この場合、１回転当たりの出力パルス数の低いエンコー
ダを使用することにより、いくら早く回してもパルスモ
ータが脱調しないようにすることはできるが、このよう
にすると、通常のスピードでつまみを回した場合、所定
の位置に試料ステージをなかなか移動できないという問
題が生じていた。
モータは負荷とのかねあいで起動できる最大の周波数（
自起動周波数）が決められており、これより高い周波数
のパルスで駆動した場合、モータが脱調してしまう可能
性がある。したがって、手動でエンコーダを回してパル
スモータ駆動用のパルスを発生する場合に、素早くつま
みを回転させると、自起動周波数より高い周波数のパル
スが発生してしまい、パルスモータが脱調して、カウン
タで計数されるパルスの数とパルスモータの回転量とが
一致しなくなる。このため、位置表示器に表示された値
と実際の試料位置にずれが生じるという問題があった。 この場合、１回転当たりの出力パルス数の低いエンコー
ダを使用することにより、いくら早く回してもパルスモ
ータが脱調しないようにすることはできるが、このよう
にすると、通常のスピードでつまみを回した場合、所定
の位置に試料ステージをなかなか移動できないという問
題が生じていた。
【０００６】本発明はこのような問題点を解決するため
に、創案されたものであり、パルスモータが脱調するこ
となく、パルスモータを迅速に駆動することができるパ
ルスモータ駆動回路を提供することを目的とする。
に、創案されたものであり、パルスモータが脱調するこ
となく、パルスモータを迅速に駆動することができるパ
ルスモータ駆動回路を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、手動設定用つまみを有するエンコーダと、
エンコーダからのつまみの回転量に応じた数のパルスが
入力されるパルスモータドライバとを備えたパルスモー
タ駆動回路において、パルスモータドライバに入力され
るパルスの周期を一定値以下に制限するパルス変換回路
を設けたことを特徴とする。
に本発明は、手動設定用つまみを有するエンコーダと、
エンコーダからのつまみの回転量に応じた数のパルスが
入力されるパルスモータドライバとを備えたパルスモー
タ駆動回路において、パルスモータドライバに入力され
るパルスの周期を一定値以下に制限するパルス変換回路
を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記の構成によれば、手動設定用つまみを回転
すると、エンコーダからつまみの回転量に応じた数のパ
ルスが出力される。この出力パルスの周波数がパルス変
換回路に設定された一定値以下の場合にはそのままパル
ス変換回路を通過し、パルスモータドライバに入力され
てパルスモータが駆動される。一方、エンコーダからの
出力パルスの周波数がパルス変換回路に設定された一定
値以上の場合には、パルス変換回路でパルスモータを駆
動できる最大の周波数以下の周波数を有するパルスに変
換されてパルスモータドライバに入力される。したがっ
て、パルスモータが脱調することなく、パルスモータを
駆動できる最大周波数に近い周波数でパルスモータを駆
動することができるので、試料ステージを所定の位置に
迅速に移動することができる。
すると、エンコーダからつまみの回転量に応じた数のパ
ルスが出力される。この出力パルスの周波数がパルス変
換回路に設定された一定値以下の場合にはそのままパル
ス変換回路を通過し、パルスモータドライバに入力され
てパルスモータが駆動される。一方、エンコーダからの
出力パルスの周波数がパルス変換回路に設定された一定
値以上の場合には、パルス変換回路でパルスモータを駆
動できる最大の周波数以下の周波数を有するパルスに変
換されてパルスモータドライバに入力される。したがっ
て、パルスモータが脱調することなく、パルスモータを
駆動できる最大周波数に近い周波数でパルスモータを駆
動することができるので、試料ステージを所定の位置に
迅速に移動することができる。
【０００９】
【実施例】本発明のパルスモータ駆動回路を用いた試料
ステージ移動機構の一実施例を図１を用いて説明する。 図１において、１は手動設定用つまみ、２はエンコーダ
、３は回転量・方向判別回路、４はゲ−ト回路、５はモ
ノステーブルマルチバイブレータ、６はノット回路、７
は波形整形回路、８はパルスモータドライバ、９はパル
スモータ、１０は三軸方向移動台、１１は試料ステージ
、１２は可逆カウンタ、１３は位置表示器である。
ステージ移動機構の一実施例を図１を用いて説明する。 図１において、１は手動設定用つまみ、２はエンコーダ
、３は回転量・方向判別回路、４はゲ−ト回路、５はモ
ノステーブルマルチバイブレータ、６はノット回路、７
は波形整形回路、８はパルスモータドライバ、９はパル
スモータ、１０は三軸方向移動台、１１は試料ステージ
、１２は可逆カウンタ、１３は位置表示器である。
【００１０】この試料ステージ移動機構の使用方法を図
２の各部の出力波形図を用いて説明する。なお、図２に
おいて、（ａ）は判別回路３からの回転量に応じたパル
ス信号、（ｂ）はモノステーブルマルチバイブレータ５
の出力パルス、（ｃ）は波形整形回路７の出力パルスで
ある。手動設定用つまみ１を回転すると、エンコーダ２
から周期が同じで位相がずれた二つの基本パルス信号が
回転量・方向判別回路３に入力される。回転量・方向判
別回路３は二つの基本パルス信号の位相を判別すること
により、回転方向判別信号を出力端子Ｄから出力すると
ともに、図２（ａ）に示すようにつまみ１の回転量に応
じた数のパルス信号を出力端子Ｖから出力する。このパ
ルス信号はゲート回路４を介してモノステーブルマルチ
バイブレータ５に入力され、モノステーブルマルチバイ
ブレータ５からは図２（ｂ）に示すように、パルスモー
タを起動できる最大の周波数（自起動周波数）に対応す
る周期Ｔ０ より若干大きいパルス幅Ｔを有するパルス
が、パルス信号に同期して出力される。この出力パルス
はノット回路６を介してゲート回路４に入力されている
ので、回転量・方向判別回路３から周期Ｔより周期の小
さいパルスが入力された場合には、ゲート回路４を通過
せず、パルス幅Ｔの時間経過後ゲート回路４に入力され
たパルスのみがモノステーブルマルチバイブレータ５に
入力される。そして、モノステーブルマルチバイブレー
タ５の出力は波形整形回路７に入力されて、短いパルス
幅のパルスに変換された後、パルスモータドライバ８に
入力され、パルスモータ９によって三軸方向移動台１０
が駆動されるので、試料ステージ１１が例えば、Ｘ方向
に移動し、試料の位置が変更される。
２の各部の出力波形図を用いて説明する。なお、図２に
おいて、（ａ）は判別回路３からの回転量に応じたパル
ス信号、（ｂ）はモノステーブルマルチバイブレータ５
の出力パルス、（ｃ）は波形整形回路７の出力パルスで
ある。手動設定用つまみ１を回転すると、エンコーダ２
から周期が同じで位相がずれた二つの基本パルス信号が
回転量・方向判別回路３に入力される。回転量・方向判
別回路３は二つの基本パルス信号の位相を判別すること
により、回転方向判別信号を出力端子Ｄから出力すると
ともに、図２（ａ）に示すようにつまみ１の回転量に応
じた数のパルス信号を出力端子Ｖから出力する。このパ
ルス信号はゲート回路４を介してモノステーブルマルチ
バイブレータ５に入力され、モノステーブルマルチバイ
ブレータ５からは図２（ｂ）に示すように、パルスモー
タを起動できる最大の周波数（自起動周波数）に対応す
る周期Ｔ０ より若干大きいパルス幅Ｔを有するパルス
が、パルス信号に同期して出力される。この出力パルス
はノット回路６を介してゲート回路４に入力されている
ので、回転量・方向判別回路３から周期Ｔより周期の小
さいパルスが入力された場合には、ゲート回路４を通過
せず、パルス幅Ｔの時間経過後ゲート回路４に入力され
たパルスのみがモノステーブルマルチバイブレータ５に
入力される。そして、モノステーブルマルチバイブレー
タ５の出力は波形整形回路７に入力されて、短いパルス
幅のパルスに変換された後、パルスモータドライバ８に
入力され、パルスモータ９によって三軸方向移動台１０
が駆動されるので、試料ステージ１１が例えば、Ｘ方向
に移動し、試料の位置が変更される。
【００１１】一方、回転量・方向判別回路３からの回転
方向判別信号と波形整形回路７の出力パルスは可逆カウ
ンタ１２にも入力され、つまみ１の回転方向に応じて波
形整形回路７の出力パルスが加算または減算され、この
可逆カウンタ１２の出力が位置表示器１３に入力されて
試料ステージの位置が表示される。これにより、パルス
モータには自起動周波数よりも大きい周波数を有するパ
ルスは入力されず、位置表示器に表示される試料位置と
パルスモータの回転量とが完全に一致する。
方向判別信号と波形整形回路７の出力パルスは可逆カウ
ンタ１２にも入力され、つまみ１の回転方向に応じて波
形整形回路７の出力パルスが加算または減算され、この
可逆カウンタ１２の出力が位置表示器１３に入力されて
試料ステージの位置が表示される。これにより、パルス
モータには自起動周波数よりも大きい周波数を有するパ
ルスは入力されず、位置表示器に表示される試料位置と
パルスモータの回転量とが完全に一致する。
【００１２】なお、上記実施例では、ゲ−ト回路、モノ
ステーブルマルチバイブレータ、ノット回路及び波形整
形回路を用いてパルス変換回路を構成した例を説明した
が、他の回路、例えば、非再トリガ型のモノステーブル
マルチバイブレータと波形整形回路を用いてパルス変換
回路を構成することもできる。また、上記実施例では、
エンコーダの出力を回転量・方向判別回路に入力する場
合について説明したが、正方向、逆方向のパルスを発生
するタイプの回転信号処理回路を用い、正、逆方向のそ
れぞれのパルス経路に各々パルス変換回路を設けること
もできる。
ステーブルマルチバイブレータ、ノット回路及び波形整
形回路を用いてパルス変換回路を構成した例を説明した
が、他の回路、例えば、非再トリガ型のモノステーブル
マルチバイブレータと波形整形回路を用いてパルス変換
回路を構成することもできる。また、上記実施例では、
エンコーダの出力を回転量・方向判別回路に入力する場
合について説明したが、正方向、逆方向のパルスを発生
するタイプの回転信号処理回路を用い、正、逆方向のそ
れぞれのパルス経路に各々パルス変換回路を設けること
もできる。
【００１３】また、上記実施例では、本発明のパルスモ
ータ駆動回路を試料ステージ移動機構に適用した場合を
説明したが、本発明のパルスモータ駆動回路は手動でパ
ルスを発生してパルスモータを駆動するあらゆる機構に
適用することができる。
ータ駆動回路を試料ステージ移動機構に適用した場合を
説明したが、本発明のパルスモータ駆動回路は手動でパ
ルスを発生してパルスモータを駆動するあらゆる機構に
適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、パルスモータにはパルスモータを起動できる最大の
周波数よりも大きい周波数を有するパルスが入力されな
いので、パルスモータが脱調することがなく、位置表示
器のカウンタに入力されるパルス数とパルスモータの回
転量とを完全に一致させることができる。また、パルス
モータが脱調する恐れがないので、１回転当たりの出力
パルス数の大きいエンコーダを使用することができ、パ
ルスモータを駆動できる最大の周波数でパルスモータを
駆動することができるので、試料ステージを所定の位置
に迅速に移動することができる。
で、パルスモータにはパルスモータを起動できる最大の
周波数よりも大きい周波数を有するパルスが入力されな
いので、パルスモータが脱調することがなく、位置表示
器のカウンタに入力されるパルス数とパルスモータの回
転量とを完全に一致させることができる。また、パルス
モータが脱調する恐れがないので、１回転当たりの出力
パルス数の大きいエンコーダを使用することができ、パ
ルスモータを駆動できる最大の周波数でパルスモータを
駆動することができるので、試料ステージを所定の位置
に迅速に移動することができる。
【図１】本発明のパルスモータ駆動回路を用いた試料ス
テージ移動機構の一実施例を示す図である。
テージ移動機構の一実施例を示す図である。
【図２】図１のパルスモータ駆動回路の各部の出力波形
を示す図である。
を示す図である。
【図３】従来のパルスモータ駆動回路を用いた試料ステ
ージ移動機構を示す図である。
ージ移動機構を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 手動設定用つまみを有するエンコーダ
と、このエンコーダの出力が入力され、出力パルスの周
期を一定値以下に制限するパルス変換回路と、このパル
ス変換回路の出力が入力されるパルスモータドライバと
を備えたことを特徴とするパルスモータ駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511191A JPH04325900A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | パルスモータ駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9511191A JPH04325900A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | パルスモータ駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325900A true JPH04325900A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14128745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9511191A Pending JPH04325900A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | パルスモータ駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325900A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010050556A1 (de) | 2009-11-06 | 2011-06-30 | Tdk Corp. | Hexagonales Bariumtitanatpulver, Erzeugungsverfahren hierfür, dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente |
| DE102011083194A1 (de) | 2010-09-27 | 2012-03-29 | Tdk Corporation | Bariumtitanatpulver vom hexagonalen Typ, Erzeugungsverfahren hierfür, dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP9511191A patent/JPH04325900A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010050556A1 (de) | 2009-11-06 | 2011-06-30 | Tdk Corp. | Hexagonales Bariumtitanatpulver, Erzeugungsverfahren hierfür, dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente |
| DE102011083194A1 (de) | 2010-09-27 | 2012-03-29 | Tdk Corporation | Bariumtitanatpulver vom hexagonalen Typ, Erzeugungsverfahren hierfür, dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente |
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