JPH04325461A - 自己潤滑性を有する複合セラミックス及びその製法 - Google Patents
自己潤滑性を有する複合セラミックス及びその製法Info
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- JPH04325461A JPH04325461A JP3096712A JP9671291A JPH04325461A JP H04325461 A JPH04325461 A JP H04325461A JP 3096712 A JP3096712 A JP 3096712A JP 9671291 A JP9671291 A JP 9671291A JP H04325461 A JPH04325461 A JP H04325461A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自己潤滑性をもち、か
つ、高強度を持ち、熱衝撃性，耐摩耗性に優れたセラミ
ックスの製造方法に関する。
つ、高強度を持ち、熱衝撃性，耐摩耗性に優れたセラミ
ックスの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素反応焼結セラミックスや炭化珪
素反応焼結セラミックスは焼結前後の寸法変化が小さく
、焼結後の加工コストを低減できるため、多くの研究開
発が行なわれている。
素反応焼結セラミックスは焼結前後の寸法変化が小さく
、焼結後の加工コストを低減できるため、多くの研究開
発が行なわれている。
【０００３】このうち、熱衝撃性，耐摩耗性の向上を目
的とした開発は、ＢＮ粉末の優れた耐熱衝撃性に着目し
、Ｓｉ粉末に、ＢＮ粉末を混合し、この混合粉末より作
製した成形物をＮ２ 中で焼成する方法が知られている
（特開昭５７−６７０８０号公報）。
的とした開発は、ＢＮ粉末の優れた耐熱衝撃性に着目し
、Ｓｉ粉末に、ＢＮ粉末を混合し、この混合粉末より作
製した成形物をＮ２ 中で焼成する方法が知られている
（特開昭５７−６７０８０号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来技術では、
その機械的強度は、曲げ強度にして、最大でも２００Ｍ
Ｐａ程度と低い値しか得られていない（特開昭５７−６
７０８０ 号，特開昭５９−１５２２６９号公報）。
その機械的強度は、曲げ強度にして、最大でも２００Ｍ
Ｐａ程度と低い値しか得られていない（特開昭５７−６
７０８０ 号，特開昭５９−１５２２６９号公報）。
【０００５】そこで、本発明者は、熱衝撃性，耐摩耗性
に優れ、自己潤滑性をもつ反応焼結セラミックスの強度
の向上を目的に研究開発を行った。
に優れ、自己潤滑性をもつ反応焼結セラミックスの強度
の向上を目的に研究開発を行った。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、炭化硼素粒
子と珪素粒子の混合粉末を成形した成形体を窒素を含む
雰囲気中で加熱することにより、炭化硼素の窒化により
生じた窒化硼素及び炭化硼素の窒化過程で生じる炭素、
及び前記炭素と珪素より生じた炭化珪素を珪素の窒化に
より生じた窒化珪素粒子中に整合性良く存在させ、かつ
、この窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィス
カで結合させることにより、自己潤滑性をもつセラミッ
クスの強度の向上を図れることを見出した。
子と珪素粒子の混合粉末を成形した成形体を窒素を含む
雰囲気中で加熱することにより、炭化硼素の窒化により
生じた窒化硼素及び炭化硼素の窒化過程で生じる炭素、
及び前記炭素と珪素より生じた炭化珪素を珪素の窒化に
より生じた窒化珪素粒子中に整合性良く存在させ、かつ
、この窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィス
カで結合させることにより、自己潤滑性をもつセラミッ
クスの強度の向上を図れることを見出した。
【０００７】本発明品では、その加熱条件により、窒化
硼素，炭化珪素，炭素がその中に存在する窒化珪素粒子
が窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合されている
構造をもっているもの、窒化硼素，炭素，炭化珪素，窒
化珪素がその中に存在する珪素粒子が窒化珪素の粒子及
び／又はウィスカで結合されている構造をもっているも
の、及び二つの構造が混在している構造をもつものの三
種類の複合セラミックスが得られる。また、窒化硼素，
炭化珪素，炭素，窒化珪素の他に炭化硼素が存在してい
るものを得ることも出来る。本発明品は、窒化硼素がそ
の中に板状の窒化硼素を含んでいるため、靭性の向上も
併せて図ることも出来る。
硼素，炭化珪素，炭素がその中に存在する窒化珪素粒子
が窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合されている
構造をもっているもの、窒化硼素，炭素，炭化珪素，窒
化珪素がその中に存在する珪素粒子が窒化珪素の粒子及
び／又はウィスカで結合されている構造をもっているも
の、及び二つの構造が混在している構造をもつものの三
種類の複合セラミックスが得られる。また、窒化硼素，
炭化珪素，炭素，窒化珪素の他に炭化硼素が存在してい
るものを得ることも出来る。本発明品は、窒化硼素がそ
の中に板状の窒化硼素を含んでいるため、靭性の向上も
併せて図ることも出来る。
【０００８】また、加熱条件によっては、炭化珪素，窒
化硼素，炭素，窒化珪素及びこれらがその中に存在する
窒化珪素粒子及び珪素粒子の少なくとも一種類以上が単
結晶である構造をもつセラミックスを得ることも出来る
。
化硼素，炭素，窒化珪素及びこれらがその中に存在する
窒化珪素粒子及び珪素粒子の少なくとも一種類以上が単
結晶である構造をもつセラミックスを得ることも出来る
。
【０００９】本発明品中の窒化硼素は、その製造条件に
より、等方性の乱層構造をもつ窒化硼素，アモルファス
状の乱相構造をもつ窒化硼素，部分的に六方晶窒化硼素
になりかけている乱層構造をもつ窒化硼素及び六方晶窒
化硼素のいずれか一種類のみの状態又はいずれか二種類
以上が混合した状態で存在する。
より、等方性の乱層構造をもつ窒化硼素，アモルファス
状の乱相構造をもつ窒化硼素，部分的に六方晶窒化硼素
になりかけている乱層構造をもつ窒化硼素及び六方晶窒
化硼素のいずれか一種類のみの状態又はいずれか二種類
以上が混合した状態で存在する。
【００１０】ここで、炭化硼素の他に、Ａｌ，Ｔｉ，Ｚ
ｒ，Ｃｒなどの窒化物，炭化物，酸窒化物，炭窒化物な
どを原料に添加して焼結体の構成相とすることもできる
。
ｒ，Ｃｒなどの窒化物，炭化物，酸窒化物，炭窒化物な
どを原料に添加して焼結体の構成相とすることもできる
。
【００１１】また、ＴｉＮ，ＺｒＮなどの導電性材を添
加して同じくこれを焼結体の構成相とすることにより、
導電性をもった複合セラミックスを得ることもできる。
加して同じくこれを焼結体の構成相とすることにより、
導電性をもった複合セラミックスを得ることもできる。
【００１２】原料としては、珪素粉末及び炭化硼素粒子
を用いる。ここで、炭化硼素は市販のものをそのまま使
用できる。また、ミルなどにより粉砕した丸みをおびた
粒子を使用しても良い。この原料粉に、例えば、ポリビ
ニールブチラールやポリエチレン等の有機高分子化合物
，シリコンイミド化合物やポリシラン化合物などの有機
Ｓｉ高分子化合物，熱可塑性樹脂，可塑剤，安定剤，潤
滑剤などの補助剤を混合後、射出成形，プレス成形，ラ
バープレス成形，押出し成形，鋳込み成形，金型粉末成
形など形状と要求特性に応じて成形方法を選択して成形
体とする。ここで、補助剤の他に、焼結助剤を混合した
ものを使用することもできる。
を用いる。ここで、炭化硼素は市販のものをそのまま使
用できる。また、ミルなどにより粉砕した丸みをおびた
粒子を使用しても良い。この原料粉に、例えば、ポリビ
ニールブチラールやポリエチレン等の有機高分子化合物
，シリコンイミド化合物やポリシラン化合物などの有機
Ｓｉ高分子化合物，熱可塑性樹脂，可塑剤，安定剤，潤
滑剤などの補助剤を混合後、射出成形，プレス成形，ラ
バープレス成形，押出し成形，鋳込み成形，金型粉末成
形など形状と要求特性に応じて成形方法を選択して成形
体とする。ここで、補助剤の他に、焼結助剤を混合した
ものを使用することもできる。
【００１３】成形体の相対密度は、６０％以上とするの
が好ましい。
が好ましい。
【００１４】この成形体は成形用助剤として用いた有機
高分子化合物，熱可塑性樹脂，可塑剤，安定剤，潤滑剤
などの補助剤が分解昇華する温度まで加熱する。成形体
は、窒素ガス、又は、窒素ガスにＣＯガスなどの炭化性
ガス及び必要に応じてアンモニア，水素，アルゴン，ヘ
リウムなどを混合した雰囲気下で珪素の融点以下の温度
まで段階的に加熱して焼結体とする。ここで、珪素の融
点以下の温度で加熱後、さらに、珪素の融点以上の温度
まで昇温する二段階加熱により焼結体を作製することも
できる。また、珪素の融点以下の温度で加熱して後、さ
らに、気孔中にポリカルボシランなど加熱後に窒化珪素
や炭化珪素に変化する樹脂を含侵後、再度加熱すること
もできる。
高分子化合物，熱可塑性樹脂，可塑剤，安定剤，潤滑剤
などの補助剤が分解昇華する温度まで加熱する。成形体
は、窒素ガス、又は、窒素ガスにＣＯガスなどの炭化性
ガス及び必要に応じてアンモニア，水素，アルゴン，ヘ
リウムなどを混合した雰囲気下で珪素の融点以下の温度
まで段階的に加熱して焼結体とする。ここで、珪素の融
点以下の温度で加熱後、さらに、珪素の融点以上の温度
まで昇温する二段階加熱により焼結体を作製することも
できる。また、珪素の融点以下の温度で加熱して後、さ
らに、気孔中にポリカルボシランなど加熱後に窒化珪素
や炭化珪素に変化する樹脂を含侵後、再度加熱すること
もできる。
【００１５】焼結体の相対密度は、７０％以上とするの
が好ましい。ここで、成形体を、窒素にＣＯガスなどの
炭化性ガス及び必要に応じてアンモニア，水素，アルゴ
ン，ヘリウムなどを混合した雰囲気下で加熱することに
より、窒化硼素の生成量を制御することができる。
が好ましい。ここで、成形体を、窒素にＣＯガスなどの
炭化性ガス及び必要に応じてアンモニア，水素，アルゴ
ン，ヘリウムなどを混合した雰囲気下で加熱することに
より、窒化硼素の生成量を制御することができる。
【００１６】本発明の炭化硼素の配合比は５ｖｏｌ％〜
５０ｖｏｌ％とするのが好ましい。なぜなら、炭化硼素
の量が５ｖｏｌ％ より少ないと、窒化硼素が十分な量
生成せず、熱衝撃性が低下するためである。また、５０
ｖｏｌ％ より多くなると、窒化珪素での結合が困難に
なり、強度が低下するためである。
５０ｖｏｌ％とするのが好ましい。なぜなら、炭化硼素
の量が５ｖｏｌ％ より少ないと、窒化硼素が十分な量
生成せず、熱衝撃性が低下するためである。また、５０
ｖｏｌ％ より多くなると、窒化珪素での結合が困難に
なり、強度が低下するためである。
【００１７】本発明で原料粉末としての炭化硼素の平均
粒径は２００μｍ以下とするのが好ましい。２００μｍ
より大きな粗粒が存在すると、成形助剤との混合が難し
く、成形時に成形助剤と粗粒粉が分離しやすく成形困難
となり、ひいては強度低下につながるためである。
粒径は２００μｍ以下とするのが好ましい。２００μｍ
より大きな粗粒が存在すると、成形助剤との混合が難し
く、成形時に成形助剤と粗粒粉が分離しやすく成形困難
となり、ひいては強度低下につながるためである。
【００１８】本発明において原料粉末としての珪素粒子
の平均粒径は５０μｍ以下とするのが好ましい。５０μ
ｍよりも大きくなると窒化及び炭化時間が長くなる。ま
た、５０μｍ以下では珪素の分散が良好なので、成形体
の相対密度が向上する。
の平均粒径は５０μｍ以下とするのが好ましい。５０μ
ｍよりも大きくなると窒化及び炭化時間が長くなる。ま
た、５０μｍ以下では珪素の分散が良好なので、成形体
の相対密度が向上する。
【００１９】本発明の反応焼結体は、焼結時の寸法変化
率が極めて少ないので、複雑形状のものでも、特に、二
次加工することなく作成できる。
率が極めて少ないので、複雑形状のものでも、特に、二
次加工することなく作成できる。
【００２０】
【作用】本発明は、自己潤滑性をもつセラミックスに係
るものである。珪素粉末中に炭化硼素粒子を混合，成形
後、窒素を含む雰囲気中で珪素の融点以下の温度で焼成
することにより、窒化珪素粒子中に窒化硼素，炭素，炭
化珪素を存在させ、この窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子
及び／又はウィスカで結合させることにより、自己潤滑
性をもつ反応焼結セラミックスの強度を高めることが出
来る。
るものである。珪素粉末中に炭化硼素粒子を混合，成形
後、窒素を含む雰囲気中で珪素の融点以下の温度で焼成
することにより、窒化珪素粒子中に窒化硼素，炭素，炭
化珪素を存在させ、この窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子
及び／又はウィスカで結合させることにより、自己潤滑
性をもつ反応焼結セラミックスの強度を高めることが出
来る。
【００２１】
【実施例】以下、本発明について、実施例により更に具
体的に説明する。
体的に説明する。
【００２２】〈実施例１〉平均粒径１．５μｍ の炭化
硼素粒子１０重量部、平均粒径０．８μｍ の珪素粉末
９０重量部に熱可塑性樹脂を９重量部添加，混合し、射
出成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去
した後、Ｎ２ ガス中で各金属粉末の融点以下の温度ま
で段階的に長時間かけて加熱処理し、窒化硼素，炭素，
炭化珪素がその中に存在する窒化珪素粒子及び／又は窒
化硼素，炭素，炭化珪素，窒化珪素がその中に存在する
珪素粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合し
た反応焼結セラミックを得た。この時の成形体から焼結
体への寸法変化率は０．２％ 以下と小さく寸法精度に
優れたものが得られた。焼結体の気孔率は１３％，気孔
径１７μｍ以下，熱衝撃値は６８０℃，曲げ強度は３８
０ＭＰａであった。
硼素粒子１０重量部、平均粒径０．８μｍ の珪素粉末
９０重量部に熱可塑性樹脂を９重量部添加，混合し、射
出成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去
した後、Ｎ２ ガス中で各金属粉末の融点以下の温度ま
で段階的に長時間かけて加熱処理し、窒化硼素，炭素，
炭化珪素がその中に存在する窒化珪素粒子及び／又は窒
化硼素，炭素，炭化珪素，窒化珪素がその中に存在する
珪素粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合し
た反応焼結セラミックを得た。この時の成形体から焼結
体への寸法変化率は０．２％ 以下と小さく寸法精度に
優れたものが得られた。焼結体の気孔率は１３％，気孔
径１７μｍ以下，熱衝撃値は６８０℃，曲げ強度は３８
０ＭＰａであった。
【００２３】表１に従来品の特性値を示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】これらと比較しても、本発明品が高い強度
をもっていることが判る。
をもっていることが判る。
【００２６】〈実施例２〉実施例１と同様にして、珪素
粉末と炭化硼素の配合比を変えた場合の曲げ強度を図１
に示す。これより、本発明品の曲げ強度は炭化硼素量の
増加に伴って低下していることが判る。
粉末と炭化硼素の配合比を変えた場合の曲げ強度を図１
に示す。これより、本発明品の曲げ強度は炭化硼素量の
増加に伴って低下していることが判る。
【００２７】〈実施例３〉実施例１と同様にして、珪素
粉末と炭化硼素の平均粒径を変えた場合の曲げ強度を図
２，図３に示す。これより、本発明品の曲げ強度は珪素
粉末と炭化硼素の平均粒径が大きくなるに伴って低下し
ていることが判る。
粉末と炭化硼素の平均粒径を変えた場合の曲げ強度を図
２，図３に示す。これより、本発明品の曲げ強度は珪素
粉末と炭化硼素の平均粒径が大きくなるに伴って低下し
ていることが判る。
【００２８】〈実施例４〉平均粒径２．５μｍ の炭化
硼素粒子２０重量部，平均粒径９μｍの炭化珪素粒子２
０重量部，平均粒径０．８μｍ の珪素粉末６０重量部
に熱可塑性樹脂を１０重量部添加，混合し、射出成形に
より成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去した後、
Ｎ２＋ＣＯ ガス中各金属の融点以下の温度まで段階的
に長時間かけて加熱処理し、窒化硼素，炭素，炭化硼素
，炭化珪素がその中に存在する窒化珪素粒子及び窒化硼
素，炭素，炭化硼素，炭化珪素がその中に存在する珪素
粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合した反
応焼結セラミックを得た。この時の成形体から焼結体へ
の寸法変化率は０．３％ 以下と小さく寸法精度に優れ
たものが得られた。焼結体の気孔率は１１％，気孔径１
４μｍ以下，熱衝撃値は７２０℃，曲げ強度は４３０Ｍ
Ｐａであった。
硼素粒子２０重量部，平均粒径９μｍの炭化珪素粒子２
０重量部，平均粒径０．８μｍ の珪素粉末６０重量部
に熱可塑性樹脂を１０重量部添加，混合し、射出成形に
より成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去した後、
Ｎ２＋ＣＯ ガス中各金属の融点以下の温度まで段階的
に長時間かけて加熱処理し、窒化硼素，炭素，炭化硼素
，炭化珪素がその中に存在する窒化珪素粒子及び窒化硼
素，炭素，炭化硼素，炭化珪素がその中に存在する珪素
粒子を窒化珪素の粒子及び／又はウィスカで結合した反
応焼結セラミックを得た。この時の成形体から焼結体へ
の寸法変化率は０．３％ 以下と小さく寸法精度に優れ
たものが得られた。焼結体の気孔率は１１％，気孔径１
４μｍ以下，熱衝撃値は７２０℃，曲げ強度は４３０Ｍ
Ｐａであった。
【００２９】〈実施例５〉平均粒径１．５μｍ の炭化
硼素粒子１０重量部，平均粒径０．８μｍ の珪素粉末
９０重量部に熱可塑性樹脂を１０重量部添加，混合し、
金型粉末成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分
を除去した後、Ｎ２ ガス中で所定の温度まで段階的に
加熱処理し、仮焼体を得た。この仮焼体中にポリカルボ
シランを含浸後、各金属粉末の融点以下の温度まで再度
加熱を行なった。この含浸，加熱の処理を焼結体の相対
密度が８０％以上になるまで繰り返し、窒化硼素，炭化
珪素がその中に存在する窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子
及び／又はウィスカで結合した反応焼結セラミックを得
た。この時の成形体から焼結体への寸法変化率は０．８
％ 以下と小さく寸法精度に優れたものが得られた。焼
結体の気孔率は８％，気孔径１１μｍ以下，熱衝撃値は
６３０℃，曲げ強度は４７０ＭＰａであった。
硼素粒子１０重量部，平均粒径０．８μｍ の珪素粉末
９０重量部に熱可塑性樹脂を１０重量部添加，混合し、
金型粉末成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分
を除去した後、Ｎ２ ガス中で所定の温度まで段階的に
加熱処理し、仮焼体を得た。この仮焼体中にポリカルボ
シランを含浸後、各金属粉末の融点以下の温度まで再度
加熱を行なった。この含浸，加熱の処理を焼結体の相対
密度が８０％以上になるまで繰り返し、窒化硼素，炭化
珪素がその中に存在する窒化珪素粒子を窒化珪素の粒子
及び／又はウィスカで結合した反応焼結セラミックを得
た。この時の成形体から焼結体への寸法変化率は０．８
％ 以下と小さく寸法精度に優れたものが得られた。焼
結体の気孔率は８％，気孔径１１μｍ以下，熱衝撃値は
６３０℃，曲げ強度は４７０ＭＰａであった。
【００３０】〈実施例６〉平均粒径２．４μｍ の炭化
硼素粒子２０重量部，平均粒径１．２μｍ の珪素粉末
６０重量部，平均粒径３．２μｍ の窒化珪素粉末２０
重量部に焼結助剤及び熱可塑性樹脂を９重量部添加，混
合し、金型成形により成形体を作製した。成形体は樹脂
分を除去した後、まず、Ｎ２ ガス中で珪素粉末の融点
以下の温度まで段階的に長時間かけて加熱処理し、その
後、最高１８００℃まで加熱して窒化硼素，炭素，炭化
珪素がその中に存在する窒化珪素を窒化珪素の粒子及び
／又はウィスカで結合した複合セラミックを得た。焼結
体の気孔率は６％，気孔径１０μｍ以下，熱衝撃値は７
３０℃，曲げ強度は６７０ＭＰａであった。
硼素粒子２０重量部，平均粒径１．２μｍ の珪素粉末
６０重量部，平均粒径３．２μｍ の窒化珪素粉末２０
重量部に焼結助剤及び熱可塑性樹脂を９重量部添加，混
合し、金型成形により成形体を作製した。成形体は樹脂
分を除去した後、まず、Ｎ２ ガス中で珪素粉末の融点
以下の温度まで段階的に長時間かけて加熱処理し、その
後、最高１８００℃まで加熱して窒化硼素，炭素，炭化
珪素がその中に存在する窒化珪素を窒化珪素の粒子及び
／又はウィスカで結合した複合セラミックを得た。焼結
体の気孔率は６％，気孔径１０μｍ以下，熱衝撃値は７
３０℃，曲げ強度は６７０ＭＰａであった。
【００３１】〈実施例７〉平均粒径３．１μｍ の炭化
硼素粒子２０重量部，平均粒径１．８μｍ の珪素粉末
６０重量部，平均粒径６．２μｍ の窒化チタン粉末２
０重量部に熱可塑性樹脂を９重量部添加，混合し、金型
成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去し
た後、Ｎ２ガス中で珪素粉末の融点以下の温度まで段階
的に長時間かけて加熱処理し、導電性をもった複合セラ
ミックを得た。このセラミックスの固有抵抗は３×１０
−４Ω・ｃｍ，焼結体の気孔率は１３％，気孔径１６μ
ｍ以下，熱衝撃値は７３０℃，曲げ強度は６７０ＭＰａ
であった。
硼素粒子２０重量部，平均粒径１．８μｍ の珪素粉末
６０重量部，平均粒径６．２μｍ の窒化チタン粉末２
０重量部に熱可塑性樹脂を９重量部添加，混合し、金型
成形により成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去し
た後、Ｎ２ガス中で珪素粉末の融点以下の温度まで段階
的に長時間かけて加熱処理し、導電性をもった複合セラ
ミックを得た。このセラミックスの固有抵抗は３×１０
−４Ω・ｃｍ，焼結体の気孔率は１３％，気孔径１６μ
ｍ以下，熱衝撃値は７３０℃，曲げ強度は６７０ＭＰａ
であった。
【００３２】
【発明の効果】本発明により、自己潤滑性をもつセラミ
ックスの強度を大幅に改善することができる。
ックスの強度を大幅に改善することができる。
【図１】図１は炭化硼素の配合比を変えた場合の曲げ強
度の特性図。
度の特性図。
【図２】図２は原料の珪素粉末の平均粒径を変えた場合
の曲げ強度の特性図。
の曲げ強度の特性図。
【図３】図３は原料の炭化硼素の平均粒径を変えた場合
の曲げ強度の特性図。
の曲げ強度の特性図。
Claims (5)
- 【請求項１】窒化珪素粒子中に窒化硼素，炭化珪素，炭
素が存在し、前記窒化珪素粒子が窒化珪素の粒子及び／
又はウィスカで結合されていることを特徴とする窒化硼
素分散複合セラミックス。 - 【請求項２】珪素粒子中に窒化硼素，炭化珪素，炭素及
び窒化珪素が存在し、前記珪素粒子が前記窒化珪素の粒
子及び／又はウィスカで結合されていることを特徴とす
る窒化硼素分散複合セラミックス。 - 【請求項３】炭化硼素粒子と珪素粒子の混合粉末を成形
した成形体を窒素を含む雰囲気中で加熱することにより
、炭化硼素の窒化により生じた窒化硼素と、前記炭化硼
素の窒化に伴って生じる炭素と、前記炭素と前記珪素粒
子より生じた炭化珪素が珪素粒子の窒化により生じた窒
化珪素の粒子中に存在し、この窒化珪素が、窒化珪素の
粒子及び／又はウィスカで結合されている構造をもつこ
とを特徴とする窒化硼素分散複合セラミックスの製造方
法。 - 【請求項４】炭化硼素粒子と珪素粒子の混合粉末を成形
した成形体を窒素を含む雰囲気中で加熱することにより
、炭化硼素の窒化により生じた窒化硼素と、前記炭化硼
素の窒化に伴って生じる炭素と、前記炭素と前記珪素粒
子より生じた炭化珪素が珪素粒子中に存在し、前記珪素
粒子が、窒化珪素の粒子及び又はウィスカにて結合され
ている構造をもつことを特徴とする窒化硼素分散複合セ
ラミックスの製造方法。 - 【請求項５】請求項３または４において、前記炭化硼素
の配合比が５ｖｏｌ％から５０ｖｏｌ％である複合セラ
ミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096712A JPH04325461A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 自己潤滑性を有する複合セラミックス及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096712A JPH04325461A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 自己潤滑性を有する複合セラミックス及びその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325461A true JPH04325461A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14172363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3096712A Pending JPH04325461A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 自己潤滑性を有する複合セラミックス及びその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325461A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694500A1 (en) | 1994-06-30 | 1996-01-31 | Nkk Corporation | Boron nitride-containing material and method thereof |
| JP2006169015A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 窒化ホウ素分散複合セラミックス及びその製造方法 |
| US8003557B2 (en) | 2008-06-13 | 2011-08-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Volume-change resistant silicon oxy-nitride or silicon oxy-nitride and silicon nitride bonded silicon carbide refractory |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3096712A patent/JPH04325461A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694500A1 (en) | 1994-06-30 | 1996-01-31 | Nkk Corporation | Boron nitride-containing material and method thereof |
| US5633214A (en) * | 1994-06-30 | 1997-05-27 | Nkk Corporation | Boron nitride-containing material and method thereof |
| US5908795A (en) * | 1994-06-30 | 1999-06-01 | Nkk Corporation | Boron nitride containing material |
| JP2006169015A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 窒化ホウ素分散複合セラミックス及びその製造方法 |
| US8003557B2 (en) | 2008-06-13 | 2011-08-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Volume-change resistant silicon oxy-nitride or silicon oxy-nitride and silicon nitride bonded silicon carbide refractory |
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