JPH04324924A - 電子ビーム露光装置用カセット - Google Patents

電子ビーム露光装置用カセット

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Publication number
JPH04324924A
JPH04324924A JP3094604A JP9460491A JPH04324924A JP H04324924 A JPH04324924 A JP H04324924A JP 3094604 A JP3094604 A JP 3094604A JP 9460491 A JP9460491 A JP 9460491A JP H04324924 A JPH04324924 A JP H04324924A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
cassette
electron beam
stopper
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3094604A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Hosaka
公司 保坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3094604A priority Critical patent/JPH04324924A/ja
Publication of JPH04324924A publication Critical patent/JPH04324924A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子ビーム露光装置用カ
セットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子ビーム露光装置用カセットは
、図３（ａ）の平面図に示すように数個のツイスト型導
通ピン１をマスク２の端面のテーパー部に接触させるこ
とにより、マスク２とカセット４との導通を取っていた
。
【０００３】マスク２の拡大断面図である図３（ｂ）に
示すように、石英基板１２の上にクロム膜１１があり、
その上に酸化クロム膜１０がある。導通を取らないで電
子ビームをマスク２に照射すると、マスク全体がチャー
ジアップして負電荷を帯びた電子ビームと相互作用して
、電子ビームの軌道が、ドリフト（ずれること）し、位
置精度が落ちてしまう。
【０００４】もう１つの導通を取る方法としては、図４
（ａ）の平面図に示すように、数個のワイヤ型導通ピン
１３を使う方法がある。
【０００５】その拡大断面図である図４（ｂ）に示すよ
うに、この導通ピン１３の先端は鋭利になっていてマス
ク２をカセット４に挿入するとマスク２の上層である酸
化クロム膜１０を貫通してクロム膜１１まで達する。
【０００６】この状態になって始めて導通が取れるよう
になる。この方法が最も多く用いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ツイスト型導通ピンを
用いた電子ビーム露光装置用カセットでは、図３（ａ）
に示すようにツイスト型導通ピン１をマスク２に強く当
てているので、マスク２の導通ピン１近傍にストレスが
生じる。そのため導通ピン１の押す方向にマスク２がず
れるという問題がある。例えば図３（ａ）のツイスト型
導通ピン１を用いてマスク露光を実施すると、露光中に
マスク２が１μｍ移動することがある。
【０００８】ワイヤ型導通ピンを用いた電子ビーム露光
装置用カセットでは、図４（ａ）に示すようにカセット
にマスクをセットする都度、導通ピン１３先端が酸化ク
ロム膜１０に当ってこすれる。そのため導通ピン１３先
端が鈍化し、先端がクロム膜１１まで達しなくなって導
通が取れなくなるという問題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の電子ビーム露光
装置用カセットは、マスクの対向する２辺に同数個のス
プリングで支えられた導通クランクを備えている。
【００１０】
【実施例】本発明の第１の実施例について、図１（ａ）
の平面図とその断面図である図１（ｂ）とを参照して説
明する。
【００１１】マスク２は右側から切込み９に向ってカセ
ット４に挿入される。切込み９はカセット４をホルダー
（図示せず）で引っ掛けて運ぶための鍵穴に相当するも
のである。
【００１２】導通を確実に取るため、ツイスト型導通ピ
ン１をマスク２に強く押し当てるので、右向きのストレ
スがかる。そこで力学的バランスを取るためにスプリン
グ型導通クランク３でマスク２の端面（垂直面およびテ
ーパー面）を押さえる。その導通クランク３はスプリン
グ５の復元力によりマスク２に押し付けられる。
【００１３】しかしその復元力はマスク２をカセット４
の挿入するときに障害になるので、ステージ８上にスト
ッパ６を設けた。さらにそのストッパ６は溝７により左
右方向への移動が可能となっている。
【００１４】つぎに本発明の第２の実施例について、図
２の平面図を参照して説明する。
【００１５】本実施例は第１の実施例のツイスト型導通
ピン１の代りにスプリング型導通クランク３を用いたも
のである。
【００１６】マスク２は右側から切り込み９に向って挿
入する。つぎにストッパ６を溝７に沿ってマスク２の反
対方向にずらすことによって、ストッパ６よって止めら
れていたスプリング型導通クランク３が開放され、マス
ク２の上下の両端面を挟み込む。
【００１７】マスク２を取り外す場合はスプリング型導
通クランク３を引き下げ、ストッパ６で止めることによ
りマスク２が開放されて取り外すことができる。
【００１８】本実施例では導通を取っているのが総てス
プリング型導通クランク３である。マスク２に対して完
全に対称となるので第１の実施例よりも力学的、電気的
バランスが優れている。
【００１９】
【発明の効果】電子ビーム露光装置用カセットの対向す
る２辺に同数個の導通ユニットを設けることにより、力
学的バランスを取ることができ、良好な導通状態を維持
してマスク露光の際のマスクの移動を防ぐことができる
。
【００２０】導通レベルも数ｋΩと従来のワイヤ型より
も良く、ツイスト型と同等以上である。マスクの移動は
０となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図および断面
図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す平面図である。
【図３】従来技術による電子ビーム露光装置用カセット
の平面図および断面図である。
【図４】従来技術による電子ビーム露光装置用カセット
の平面図および断面図である。
【符号の説明】
１　　　　ツイスト型導通ピン ２　　　　マスク ３　　　　スプリング型導通クランク ４　　　　カセット ５　　　　スプリング ６　　　　ストッパ ７　　　　溝 ８　　　　ステージ ９　　　　切込み １０　　　　酸化クロム １１　　　　クロム膜 １２　　　　石英基板 １３　　　　ワイヤ型導通ピン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】マスクの対向する２辺に同数個の導通ユニ
    ットを備えた電子ビーム露光装置用カセット。
JP3094604A 1991-04-25 1991-04-25 電子ビーム露光装置用カセット Pending JPH04324924A (ja)

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JP3094604A JPH04324924A (ja) 1991-04-25 1991-04-25 電子ビーム露光装置用カセット

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JPH04324924A true JPH04324924A (ja) 1992-11-13

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ID=14114858

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JP3094604A Pending JPH04324924A (ja) 1991-04-25 1991-04-25 電子ビーム露光装置用カセット

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JP (1) JPH04324924A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9389027B2 (en) 2013-12-11 2016-07-12 Korea Institute Of Energy Research Plate-type heat exchanger reactor and method for producing the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9389027B2 (en) 2013-12-11 2016-07-12 Korea Institute Of Energy Research Plate-type heat exchanger reactor and method for producing the same

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