JPH04310645A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH04310645A JPH04310645A JP7484291A JP7484291A JPH04310645A JP H04310645 A JPH04310645 A JP H04310645A JP 7484291 A JP7484291 A JP 7484291A JP 7484291 A JP7484291 A JP 7484291A JP H04310645 A JPH04310645 A JP H04310645A
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気記録媒体に係り、
特にレーザ光の強度変調のみでオーバーライトが可能な
光磁気記録媒体に関する。
特にレーザ光の強度変調のみでオーバーライトが可能な
光磁気記録媒体に関する。
【0002】近年、光磁気記録のデータ転送速度を向上
させるために、基板上にキュリー点と保磁力の温度に対
する勾配が相互に異なる記録層と補助層の二層構造の光
磁気記録媒体を積層形成し、この二層構造の光磁気記録
媒体に光変調したレーザ光を照射することで、光磁気デ
ィスクが一回転する間に光磁気記録の消去と記録の両方
を同時に行い得るオーバーライト方式が開発されている
。
させるために、基板上にキュリー点と保磁力の温度に対
する勾配が相互に異なる記録層と補助層の二層構造の光
磁気記録媒体を積層形成し、この二層構造の光磁気記録
媒体に光変調したレーザ光を照射することで、光磁気デ
ィスクが一回転する間に光磁気記録の消去と記録の両方
を同時に行い得るオーバーライト方式が開発されている
。
【0003】このようなオーバーライト方式は種々の方
式が提案され、例えば特開昭62−175948 号に
は、記録層と補助層を用いた二層膜のオーバーライト方
法が提案されている。この方法はキュリー温度と保磁力
の関係が、図10(b) の曲線10−1に示すような
関係を有する記録層と、キュリー温度と保磁力の関係が
、図10(b) の曲線10−2に示すような補助層の
ように、互いにキュリー点と保磁力の温度に対する勾配
の異なる曲線を有する補助層と記録層の二層の光磁気記
録媒体を用いる。
式が提案され、例えば特開昭62−175948 号に
は、記録層と補助層を用いた二層膜のオーバーライト方
法が提案されている。この方法はキュリー温度と保磁力
の関係が、図10(b) の曲線10−1に示すような
関係を有する記録層と、キュリー温度と保磁力の関係が
、図10(b) の曲線10−2に示すような補助層の
ように、互いにキュリー点と保磁力の温度に対する勾配
の異なる曲線を有する補助層と記録層の二層の光磁気記
録媒体を用いる。
【0004】そして図10(b) の曲線10−1に示
すように、室温Tで記録層の保磁力Hc1は、曲線10
−2に示す補助層の保磁力Hc2より大で、該記録層の
キューリ温度TC1は補助層のキューリ温度TC2より
低い光磁気記録媒体を用いている。
すように、室温Tで記録層の保磁力Hc1は、曲線10
−2に示す補助層の保磁力Hc2より大で、該記録層の
キューリ温度TC1は補助層のキューリ温度TC2より
低い光磁気記録媒体を用いている。
【0005】そして記録に先立って補助層の磁気モーメ
ントの向きを一方向に揃えておき、記録しようとする信
号に対応して記録層のキュリー温度TC1以上で、かつ
補助層の磁化反転の生じない温度に加熱する第1の加熱
状態と、該第1の加熱状態よりも加熱温度が高く、補助
層の磁化を反転させるのに充分な第2の加熱状態とで、
記録層と補助層の光磁気記録媒体を、レーザ光の照射で
加熱した後、各々の加熱状態から冷却することで2値情
報を記録している。
ントの向きを一方向に揃えておき、記録しようとする信
号に対応して記録層のキュリー温度TC1以上で、かつ
補助層の磁化反転の生じない温度に加熱する第1の加熱
状態と、該第1の加熱状態よりも加熱温度が高く、補助
層の磁化を反転させるのに充分な第2の加熱状態とで、
記録層と補助層の光磁気記録媒体を、レーザ光の照射で
加熱した後、各々の加熱状態から冷却することで2値情
報を記録している。
【0006】そしてこの方法では、図10(a) に示
すように記録の際に用いる記録磁石61の他に、前記補
助層の磁気モーメントの向きを一方向に揃えるための初
期化磁石62が設置されている。
すように記録の際に用いる記録磁石61の他に、前記補
助層の磁気モーメントの向きを一方向に揃えるための初
期化磁石62が設置されている。
【0007】なお、図で63は光磁気記録媒体を形成し
た光磁気ディスク、64は記録、再生に用いるレーザ光
源である。
た光磁気ディスク、64は記録、再生に用いるレーザ光
源である。
【0008】
【従来の技術】然し、このようなオーバーライト方法に
於いては、補助層を初期化するために必要な初期化磁石
の初期化磁場が、3.5 〜5KOeの大きい磁場を必
要とし、そのため大型の永久磁石を必要とし、装置が大
型になる欠点がある。
於いては、補助層を初期化するために必要な初期化磁石
の初期化磁場が、3.5 〜5KOeの大きい磁場を必
要とし、そのため大型の永久磁石を必要とし、装置が大
型になる欠点がある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】そのため、従来より補
助層の光磁気記録媒体に用いられている重希土類金属元
素− 遷移金属元素の非晶質合金のテルビウム・鉄・コ
バルト(TbFeCo)、テルビウム・ジスプロシウム
・鉄・コバルト(TbDyFeCo)、ガドリニウム・
ジスプロシウム・鉄・コバルト(GdDyFeCo)、
ジスプロシウム・鉄・コバルト(DyFeCo)等に於
いて、重希土類金属元素の含有割合を遷移金属元素の含
有割合よりも大となるようにして、つまり希土類金属リ
ッチ(REリッチ)の合金にすることで、室温に於ける
補助層の光磁気記録媒体の保磁力を低下させて初期化磁
石の小型化を図っている。
助層の光磁気記録媒体に用いられている重希土類金属元
素− 遷移金属元素の非晶質合金のテルビウム・鉄・コ
バルト(TbFeCo)、テルビウム・ジスプロシウム
・鉄・コバルト(TbDyFeCo)、ガドリニウム・
ジスプロシウム・鉄・コバルト(GdDyFeCo)、
ジスプロシウム・鉄・コバルト(DyFeCo)等に於
いて、重希土類金属元素の含有割合を遷移金属元素の含
有割合よりも大となるようにして、つまり希土類金属リ
ッチ(REリッチ)の合金にすることで、室温に於ける
補助層の光磁気記録媒体の保磁力を低下させて初期化磁
石の小型化を図っている。
【0010】然し、このような方法を採っても、図11
に示すように保磁力と磁場の飽和点との関係を示す、光
磁気記録媒体のカーループは、保磁力(Hc ) を示
す横軸方向に沿って裾を引いて延びる傾向があり、磁場
が完全に飽和する磁場の飽和点Hc−satが保磁力の
低下に伴って低下せず、そのために磁場の大きい初期化
用の永久磁石を必要とする不都合を生じる。
に示すように保磁力と磁場の飽和点との関係を示す、光
磁気記録媒体のカーループは、保磁力(Hc ) を示
す横軸方向に沿って裾を引いて延びる傾向があり、磁場
が完全に飽和する磁場の飽和点Hc−satが保磁力の
低下に伴って低下せず、そのために磁場の大きい初期化
用の永久磁石を必要とする不都合を生じる。
【0011】図12にこのような従来の重希土類−遷移
金属合金のGdDyFeCoを補助層として用いた光磁
気記録媒体に於ける保磁力Hc と、カー回転角の関係
を示すカーループ曲線を示す。図で横軸は保磁力Hc
を示し、縦軸はカー回転角( 度) を示す。図示する
ようにカーループが、保磁力を示す横軸方向に沿って裾
を引いて延びる傾向があり、磁場が完全に飽和する、磁
場の飽和点Hc−sat (KOe) の値は横軸方向
に沿って延び、そのため所定の値に収斂しない。
金属合金のGdDyFeCoを補助層として用いた光磁
気記録媒体に於ける保磁力Hc と、カー回転角の関係
を示すカーループ曲線を示す。図で横軸は保磁力Hc
を示し、縦軸はカー回転角( 度) を示す。図示する
ようにカーループが、保磁力を示す横軸方向に沿って裾
を引いて延びる傾向があり、磁場が完全に飽和する、磁
場の飽和点Hc−sat (KOe) の値は横軸方向
に沿って延び、そのため所定の値に収斂しない。
【0012】また図13に従来の重希土類−遷移金属合
金のGdDyFeCoを補助層として用いた光磁気記録
媒体に於ける保磁力Hc と、磁場の飽和点Hc −s
atとの関係を示す。図で横軸は保磁力Hc (KOe
) を示し、縦軸は磁場の飽和点Hc −satを示す
。
金のGdDyFeCoを補助層として用いた光磁気記録
媒体に於ける保磁力Hc と、磁場の飽和点Hc −s
atとの関係を示す。図で横軸は保磁力Hc (KOe
) を示し、縦軸は磁場の飽和点Hc −satを示す
。
【0013】また図14に従来の重希土類−遷移金属合
金のTbDyFeCoの補助層に於ける保磁力Hc と
磁場の飽和点Hc −satとの関係図を示す。図で横
軸は保磁力Hc (KOe )を示し、縦軸は磁場の飽
和点Hc −sat(KOe) を示す。
金のTbDyFeCoの補助層に於ける保磁力Hc と
磁場の飽和点Hc −satとの関係図を示す。図で横
軸は保磁力Hc (KOe )を示し、縦軸は磁場の飽
和点Hc −sat(KOe) を示す。
【0014】図13および図14に示すように、従来の
重希土類−遷移金属合金を補助層材料として用いた光磁
気記録媒体に於いては、保磁力Hc を低下させても、
磁場の飽和点Hc −satの値は、横軸の保磁力Hc
方向に沿って延びて飽和するようになり、減少しない
ことが判る。
重希土類−遷移金属合金を補助層材料として用いた光磁
気記録媒体に於いては、保磁力Hc を低下させても、
磁場の飽和点Hc −satの値は、横軸の保磁力Hc
方向に沿って延びて飽和するようになり、減少しない
ことが判る。
【0015】本発明は上記した欠点を除去し、前記した
磁場の飽和点Hc −satを低下することが可能な補
助層材料を用いることで、初期化磁場を低く保った状態
で、オーバーライトが可能な光磁気記録媒体の提供を目
的とする。
磁場の飽和点Hc −satを低下することが可能な補
助層材料を用いることで、初期化磁場を低く保った状態
で、オーバーライトが可能な光磁気記録媒体の提供を目
的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、基板上に垂直磁気異方性を有する光磁気記録媒体を
記録層、および補助層として二層構造に設け、オーバー
ライト可能な光磁気記録媒体に於いて、前記補助層に軽
希土類金属元素−重希土類金属元素−遷移金属元素の合
金薄膜を用い、前記軽希土類金属元素としてイットリウ
ム(Y) 、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プ
ラセオジウム(Pr)、ネオジウム(Nd)、サマリウ
ム(Sm)およびユウロピウム(Eu)のうちの少なく
とも1個以上の元素を含んで成ることを特徴とする。
は、基板上に垂直磁気異方性を有する光磁気記録媒体を
記録層、および補助層として二層構造に設け、オーバー
ライト可能な光磁気記録媒体に於いて、前記補助層に軽
希土類金属元素−重希土類金属元素−遷移金属元素の合
金薄膜を用い、前記軽希土類金属元素としてイットリウ
ム(Y) 、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プ
ラセオジウム(Pr)、ネオジウム(Nd)、サマリウ
ム(Sm)およびユウロピウム(Eu)のうちの少なく
とも1個以上の元素を含んで成ることを特徴とする。
【0017】また上記した補助層がNdDyFeCoの
合金薄膜であることを特徴とする。更に前記した補助層
のNdDyFeCoの合金薄膜が、Ndx Dyy (
Fe100−zCoz )100−X−yで表示され、
前記x ≧1.5 原子%、y ≧25原子%、z ≧
27原子%の範囲であることを特徴とする。
合金薄膜であることを特徴とする。更に前記した補助層
のNdDyFeCoの合金薄膜が、Ndx Dyy (
Fe100−zCoz )100−X−yで表示され、
前記x ≧1.5 原子%、y ≧25原子%、z ≧
27原子%の範囲であることを特徴とする。
【0018】
【作用】本発明者等は、従来より補助層の光磁気記録媒
体として用いているTbDyFeCoや、GdDyFe
Co等の重希土類金属元素・遷移金属元素の合金薄膜の
代わりに、イットリウム(Y) 、ランタン(La)、
セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、ネオジウ
ム(Nd)、サマリウム(Sm)およびユウロピウム(
Eu)のような軽希土類金属元素のうちの少なくとも1
個以上の元素を含んだ軽希土類金属元素と重希土類金属
元素と遷移金属元素よりなる例えばNdDyFeCoの
ような合金薄膜を用いると、従来の重希土類金属元素・
遷移金属元素の合金薄膜のように保磁力の低下に伴って
磁場の飽和点の値が低下せずに所定の値に飽和する現象
が無くなり、保磁力の低下に伴って磁場の飽和点の値も
低下するようになることを実験的に見出した。
体として用いているTbDyFeCoや、GdDyFe
Co等の重希土類金属元素・遷移金属元素の合金薄膜の
代わりに、イットリウム(Y) 、ランタン(La)、
セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、ネオジウ
ム(Nd)、サマリウム(Sm)およびユウロピウム(
Eu)のような軽希土類金属元素のうちの少なくとも1
個以上の元素を含んだ軽希土類金属元素と重希土類金属
元素と遷移金属元素よりなる例えばNdDyFeCoの
ような合金薄膜を用いると、従来の重希土類金属元素・
遷移金属元素の合金薄膜のように保磁力の低下に伴って
磁場の飽和点の値が低下せずに所定の値に飽和する現象
が無くなり、保磁力の低下に伴って磁場の飽和点の値も
低下するようになることを実験的に見出した。
【0019】また、この中で特に補助層としてNdDy
FeCoの合金薄膜を用い、このNdDyFeCoの合
金薄膜をNdx Dyy (Fe100−zCoz )
100−X−yで表示し、前記x ≧1.5 原子%、
y ≧25原子%、z ≧27原子%の範囲の組成にす
ると、上記した保磁力の低下に伴って磁場の飽和点の値
が低下せず、所定の値に飽和する現象が無くなることが
顕著と成ることを、実験的に確認した。
FeCoの合金薄膜を用い、このNdDyFeCoの合
金薄膜をNdx Dyy (Fe100−zCoz )
100−X−yで表示し、前記x ≧1.5 原子%、
y ≧25原子%、z ≧27原子%の範囲の組成にす
ると、上記した保磁力の低下に伴って磁場の飽和点の値
が低下せず、所定の値に飽和する現象が無くなることが
顕著と成ることを、実験的に確認した。
【0020】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例につき詳
細に説明する。第1実施例として図1に示すように、ガ
ラス製の基板1上にテルビウム−二酸化珪素(Tb−S
iO2) よりなる下部保護層2を設け、その上にテル
ビウム・鉄・コバルト(TbFeCo)より成る記録層
3を設け、その上に本発明のNdDyFeCoの非晶質
合金薄膜より成る補助層4を設け、更にその上にテルビ
ウム−二酸化珪素(Tb−SiO2)よりなる上部保護
層5を設けた構造を採っている。
細に説明する。第1実施例として図1に示すように、ガ
ラス製の基板1上にテルビウム−二酸化珪素(Tb−S
iO2) よりなる下部保護層2を設け、その上にテル
ビウム・鉄・コバルト(TbFeCo)より成る記録層
3を設け、その上に本発明のNdDyFeCoの非晶質
合金薄膜より成る補助層4を設け、更にその上にテルビ
ウム−二酸化珪素(Tb−SiO2)よりなる上部保護
層5を設けた構造を採っている。
【0021】図3に本発明の第1実施例の補助層の材料
として用いるネオジウム・ジスプロシウム・鉄・コバル
ト(NdDyFeCo)の非晶質合金薄膜のカーループ
を示す。また図4に本発明の補助層の材料として用いる
NdDyFeCoの非晶質合金薄膜の保磁力Hc (K
Oe) と、磁場の飽和点Hc −sat(KOe)
の関係を示す。図4に示すように保磁力Hc が低下す
ると、それに連れて磁場の飽和点Hc −satも直線
的に低下しており、従来のように磁場の飽和点Hc −
satが所定の値に飽和する現象が除去される。
として用いるネオジウム・ジスプロシウム・鉄・コバル
ト(NdDyFeCo)の非晶質合金薄膜のカーループ
を示す。また図4に本発明の補助層の材料として用いる
NdDyFeCoの非晶質合金薄膜の保磁力Hc (K
Oe) と、磁場の飽和点Hc −sat(KOe)
の関係を示す。図4に示すように保磁力Hc が低下す
ると、それに連れて磁場の飽和点Hc −satも直線
的に低下しており、従来のように磁場の飽和点Hc −
satが所定の値に飽和する現象が除去される。
【0022】また図5に本発明の第2実施例の補助層の
材料として本発明のプラセオジウム・ジスプロシウム・
鉄・コバルト(PrDyFeCo)の非晶質合金薄膜の
保磁力Hc (KOe) と、磁場の飽和点Hc −s
at(KOe) の関係を示す。 図5に示すように保磁力Hc が低下すると、それに連
れて磁場の飽和点Hc −satも直線関係で低下して
おり、従来のように磁場の飽和点Hc −satが飽和
する現象が除去される。
材料として本発明のプラセオジウム・ジスプロシウム・
鉄・コバルト(PrDyFeCo)の非晶質合金薄膜の
保磁力Hc (KOe) と、磁場の飽和点Hc −s
at(KOe) の関係を示す。 図5に示すように保磁力Hc が低下すると、それに連
れて磁場の飽和点Hc −satも直線関係で低下して
おり、従来のように磁場の飽和点Hc −satが飽和
する現象が除去される。
【0023】また図6に示すように本発明の第3実施例
の補助層の材料として、サマリウム・ジスプロシウム・
鉄・コバルト(SmDyFeCo)の非晶質合金薄膜の
保磁力Hc (KOe) と、磁場の飽和点Hc −s
at(KOe) の関係を示す。 図4に示すように保磁力Hc が低下すると、それに連
れて磁場の飽和点Hc −satも直線関係で低下して
おり、従来のように磁場の飽和点Hc −satが低下
しない現象が除去される。
の補助層の材料として、サマリウム・ジスプロシウム・
鉄・コバルト(SmDyFeCo)の非晶質合金薄膜の
保磁力Hc (KOe) と、磁場の飽和点Hc −s
at(KOe) の関係を示す。 図4に示すように保磁力Hc が低下すると、それに連
れて磁場の飽和点Hc −satも直線関係で低下して
おり、従来のように磁場の飽和点Hc −satが低下
しない現象が除去される。
【0024】また図7に前記した本発明の補助層材料と
して用いるNdDyFeCoの非晶質合金薄膜に於いて
、このNdDyFeCoをNdx Dyy (Fe65
Co35)100−x−y として表示した場合のDy
の含有量(y原子%) 、およびNdの含有量(x原子
%) に対する磁場の飽和点Hc −satの関係図を
示す。
して用いるNdDyFeCoの非晶質合金薄膜に於いて
、このNdDyFeCoをNdx Dyy (Fe65
Co35)100−x−y として表示した場合のDy
の含有量(y原子%) 、およびNdの含有量(x原子
%) に対する磁場の飽和点Hc −satの関係図を
示す。
【0025】図で縦軸は磁場の飽和点Hc −satを
示し、横軸は前記NdDyFeCoをNdx Dyy
(Fe65Co35)100−x−y として表示した
場合の、x=1.5 原子%とした時のy の値( 原
子%) 、x =3 原子%とした場合のy の値(
原子%) を示している。
示し、横軸は前記NdDyFeCoをNdx Dyy
(Fe65Co35)100−x−y として表示した
場合の、x=1.5 原子%とした時のy の値( 原
子%) 、x =3 原子%とした場合のy の値(
原子%) を示している。
【0026】図の曲線a に示すようにNd量が1.5
原子%以下の含有量であると、Dyの含有量を増加さ
せても、磁場の飽和点Hc−satの低下は見られず、
所定の値に飽和する現象が見られる。
原子%以下の含有量であると、Dyの含有量を増加さ
せても、磁場の飽和点Hc−satの低下は見られず、
所定の値に飽和する現象が見られる。
【0027】従ってNd量が1.5 原子%以下の含有
量では、磁場の飽和点Hc −satを低下させる効果
は見られない。またNd量が1.5 原子%以上、例え
ば3原子%であると、曲線bに示すように、Dyの増加
に伴ってHc−sat は低下していく。従って、Hc
−sat を3KOeと見積もると、Dyの含有量は2
5原子%以上が望ましい。
量では、磁場の飽和点Hc −satを低下させる効果
は見られない。またNd量が1.5 原子%以上、例え
ば3原子%であると、曲線bに示すように、Dyの増加
に伴ってHc−sat は低下していく。従って、Hc
−sat を3KOeと見積もると、Dyの含有量は2
5原子%以上が望ましい。
【0028】この理由は、記録層の磁化に用いられてい
る永久磁石は4 〜5KOeの永久磁石が用いられてお
り、補助層の初期化用磁石としては3KOe程度の永久
磁石が好ましいので、補助層に用いる光磁気記録媒体の
Hc−sat は、3KOe以下が望ましい。従ってD
yの含有量は図7 の曲線b より25原子%以上が望
ましい。
る永久磁石は4 〜5KOeの永久磁石が用いられてお
り、補助層の初期化用磁石としては3KOe程度の永久
磁石が好ましいので、補助層に用いる光磁気記録媒体の
Hc−sat は、3KOe以下が望ましい。従ってD
yの含有量は図7 の曲線b より25原子%以上が望
ましい。
【0029】また補助層のキュリー温度Tc2は記録層
のキュリー温度Tc1より高く保つ必要があるので、こ
の補助層のキュリー温度Tc2は200 ℃以上とする
。Coの含有量が大になるとキュリー温度が大になる傾
向があるので、このCoの量を所定の値に決定する必要
がある。上記したように補助層のキュリー温度Tc2を
200 ℃に保つ条件で、Dyを固定にして、NdとC
oの量を変化させて補助層のキュリー温度が200 ℃
になるNdx Dyy (Fe100−zCoz )1
00−x−yに於けるx 、およびy の値の実験の結
果を図8に示す。
のキュリー温度Tc1より高く保つ必要があるので、こ
の補助層のキュリー温度Tc2は200 ℃以上とする
。Coの含有量が大になるとキュリー温度が大になる傾
向があるので、このCoの量を所定の値に決定する必要
がある。上記したように補助層のキュリー温度Tc2を
200 ℃に保つ条件で、Dyを固定にして、NdとC
oの量を変化させて補助層のキュリー温度が200 ℃
になるNdx Dyy (Fe100−zCoz )1
00−x−yに於けるx 、およびy の値の実験の結
果を図8に示す。
【0030】図の曲線a はDyが25原子%の場合で
、曲線b はDyが27原子%の場合である。図の曲線
a に示すように、例えばNd量が1.5 原子%で、
Dyが25原子%であるとCo量は27%が望ましい。
、曲線b はDyが27原子%の場合である。図の曲線
a に示すように、例えばNd量が1.5 原子%で、
Dyが25原子%であるとCo量は27%が望ましい。
【0031】また曲線b に示すように、例えばNdが
1.5 原子%で、Dyが27原子%であると、Co量
は34原子%が望ましい。前記した図7よりNdの含有
量(x) は1.5 原子%以上で、Dyの含有量(y
) は25原子%以上となることが望ましいと述べてお
り、この図8に述べたことを総合すると、オーバーライ
ト可能な光磁気記録媒体の補助層として、NdDyFe
Coを用いる場合、前記した補助層の初期化用磁石の保
磁力が3KOe程度以下、該補助層のキューリ温度が2
00 ℃以上の場合に於ける条件に於いて、Nd量は1
.5 原子%以上、Dy量は25原子%以上、Co量は
27原子%以上に保つと良い。
1.5 原子%で、Dyが27原子%であると、Co量
は34原子%が望ましい。前記した図7よりNdの含有
量(x) は1.5 原子%以上で、Dyの含有量(y
) は25原子%以上となることが望ましいと述べてお
り、この図8に述べたことを総合すると、オーバーライ
ト可能な光磁気記録媒体の補助層として、NdDyFe
Coを用いる場合、前記した補助層の初期化用磁石の保
磁力が3KOe程度以下、該補助層のキューリ温度が2
00 ℃以上の場合に於ける条件に於いて、Nd量は1
.5 原子%以上、Dy量は25原子%以上、Co量は
27原子%以上に保つと良い。
【0032】このような本発明の光磁気記録媒体の製造
方法に付いて述べると、図1 および図2 に示すよう
に、表面にグルーブを設けたガラス基板を基板1 とし
て用い、該基板をRFマグネトロンスパッタリング装置
の高真空の容器11内に設置し、該容器内を一旦、5
×10−5Pa以下の真空度に成る迄排気する。
方法に付いて述べると、図1 および図2 に示すよう
に、表面にグルーブを設けたガラス基板を基板1 とし
て用い、該基板をRFマグネトロンスパッタリング装置
の高真空の容器11内に設置し、該容器内を一旦、5
×10−5Pa以下の真空度に成る迄排気する。
【0033】次いで該容器11内にガス導入管12より
アルゴンガスを導入し、該スパッタガス圧を0.2Pa
に保持しながら、Tb− SiO2の保護層形成用タ
ーゲット13をスパッタして基板上にTb−SiO2の
下部保護層2 を90nmの厚さに形成する。
アルゴンガスを導入し、該スパッタガス圧を0.2Pa
に保持しながら、Tb− SiO2の保護層形成用タ
ーゲット13をスパッタして基板上にTb−SiO2の
下部保護層2 を90nmの厚さに形成する。
【0034】次いで、一旦、アルゴンガスの供給を停止
して、容器11内を5 ×10−5Pa迄、排気管14
に連なる排気ポンプ(図示せず) で 排気した後、
再びアルゴンガスを容器11内に導入し、ガス圧を0.
5Pa に保持してTbFeCo合金の記録層形成用タ
ーゲット15をスパッタして、TbFeCoの記録層3
を50nmの厚さに形成する。
して、容器11内を5 ×10−5Pa迄、排気管14
に連なる排気ポンプ(図示せず) で 排気した後、
再びアルゴンガスを容器11内に導入し、ガス圧を0.
5Pa に保持してTbFeCo合金の記録層形成用タ
ーゲット15をスパッタして、TbFeCoの記録層3
を50nmの厚さに形成する。
【0035】次いで容器11内の真空状態を保持したま
ま、アルゴンガス圧力を0.5Pa に保持した状態で
、NdDyFeCoの補助層形成用ターゲット16をス
パッタして、170nm の厚さの補助層4 を形成す
る。
ま、アルゴンガス圧力を0.5Pa に保持した状態で
、NdDyFeCoの補助層形成用ターゲット16をス
パッタして、170nm の厚さの補助層4 を形成す
る。
【0036】次いで、一旦アルゴンガスの供給を停止し
、容器11内を5×10−5Pa以下の真空度に成る迄
排気した後、更にアルゴンガスを導入して、スパッタガ
ス圧を0.2Paに保ってTb− SiO2よりなる保
護層形成用ターゲット13をスパッタして上部保護層5
を90nmの厚さに形成する。
、容器11内を5×10−5Pa以下の真空度に成る迄
排気した後、更にアルゴンガスを導入して、スパッタガ
ス圧を0.2Paに保ってTb− SiO2よりなる保
護層形成用ターゲット13をスパッタして上部保護層5
を90nmの厚さに形成する。
【0037】このようにして形成した本発明の光磁気記
録媒体の特性を表1に示す。
録媒体の特性を表1に示す。
【0038】
【表1】
【0039】本発明の比較例として記録層に重希土類金
属元素−遷移金属元素合金の薄膜のTbFeCo、補助
層に重希土類金属元素− 遷移金属元素合金のTbDy
FeCoを用いた従来のオーバーライト可能な光磁気記
録媒体の諸性質を表2に示す。
属元素−遷移金属元素合金の薄膜のTbFeCo、補助
層に重希土類金属元素− 遷移金属元素合金のTbDy
FeCoを用いた従来のオーバーライト可能な光磁気記
録媒体の諸性質を表2に示す。
【0040】
【表2】
【0041】表1と表2を比較すると、従来の光磁気記
録媒体は保磁力Hc、および磁場の飽和点Hc −sa
tの値が本発明の光磁気記録媒体に比して大きいことが
判る。 以上のようにして形成した本発明の光磁気記録媒体を1
0m/sec の一定速度で回転させ、記録パワーとし
てのHighパワー(PH ) を10mW、消去パワ
ーとしてのLowパワー(PL ) を5mW とし、
読み出しパワー(Pr) を1mW としてオーバーラ
イトを行った。
録媒体は保磁力Hc、および磁場の飽和点Hc −sa
tの値が本発明の光磁気記録媒体に比して大きいことが
判る。 以上のようにして形成した本発明の光磁気記録媒体を1
0m/sec の一定速度で回転させ、記録パワーとし
てのHighパワー(PH ) を10mW、消去パワ
ーとしてのLowパワー(PL ) を5mW とし、
読み出しパワー(Pr) を1mW としてオーバーラ
イトを行った。
【0042】書き込み磁場(HW ) は350 Oe
、初期化磁場(Hini ) は4KOeである。そ
して旧情報の書き込み周波数は、3.8MHz( マー
ク長1.3 μm)、オーバーライトの書き込み周波数
は6.2MHz( マーク長0.8 μm)である。
、初期化磁場(Hini ) は4KOeである。そ
して旧情報の書き込み周波数は、3.8MHz( マー
ク長1.3 μm)、オーバーライトの書き込み周波数
は6.2MHz( マーク長0.8 μm)である。
【0043】以上の条件でオーバーライトを行った結果
、信号品質は51dBであり、高い信号品質が確認され
た。図9(a)に本発明の光磁気記録媒体の初期化磁場
(Hini ) に対するオーバーライト特性と消去特
性を示す。 図の曲線21はオーバーライト特性曲線、図の曲線22
は消去特性曲線を示す。この実験に用いたオーバーライ
ト特性、および消去特性の実験手順に付いて表3にまと
めて示す。
、信号品質は51dBであり、高い信号品質が確認され
た。図9(a)に本発明の光磁気記録媒体の初期化磁場
(Hini ) に対するオーバーライト特性と消去特
性を示す。 図の曲線21はオーバーライト特性曲線、図の曲線22
は消去特性曲線を示す。この実験に用いたオーバーライ
ト特性、および消去特性の実験手順に付いて表3にまと
めて示す。
【0044】
【表3】
【0045】また本発明の比較例として、表2に示した
従来の光磁気記録媒体を10m/sec の一定の回転
速度で回転させ、Highパワー(PH ) を11m
W、消去パワーとしてのLowパワー(PL ) を6
mW とし、読み出しパワー(Pr ) を1mW と
してオーバーライトを行った。
従来の光磁気記録媒体を10m/sec の一定の回転
速度で回転させ、Highパワー(PH ) を11m
W、消去パワーとしてのLowパワー(PL ) を6
mW とし、読み出しパワー(Pr ) を1mW と
してオーバーライトを行った。
【0046】書き込み磁場(HW ) は350 Oe
、初期化磁場(Hini ) は5KOeである。そ
して旧情報の書き込み周波数は、3.8MHz( マー
ク長1.3 μm)、オーバーライトの書き込み周波数
は6.2MHz( マーク長0.8 μm)である。
、初期化磁場(Hini ) は5KOeである。そ
して旧情報の書き込み周波数は、3.8MHz( マー
ク長1.3 μm)、オーバーライトの書き込み周波数
は6.2MHz( マーク長0.8 μm)である。
【0047】以上の条件でオーバーライトを行った結果
、信号品質は48dBであり、本発明の光磁気記録媒体
に比較して信号品質の低下が確認された。
、信号品質は48dBであり、本発明の光磁気記録媒体
に比較して信号品質の低下が確認された。
【0048】
【表4】
【0049】図9(b)に従来の光磁気記録媒体の初期
化磁場に対するオーバーライト特性と消去特性を示す。 図の曲線23はオーバーライト特性曲線、図の曲線24
は消去特性曲線を示す。この実験に用いた光磁気記録媒
体のオーバーライト特性、および消去特性の実験の手順
に付いて表4にまとめて示す。
化磁場に対するオーバーライト特性と消去特性を示す。 図の曲線23はオーバーライト特性曲線、図の曲線24
は消去特性曲線を示す。この実験に用いた光磁気記録媒
体のオーバーライト特性、および消去特性の実験の手順
に付いて表4にまとめて示す。
【0050】図9(b)示すように従来の光磁気記録媒
体を補助層に用いた場合の初期化磁場は3.5KOeで
あり、図9(a)に示す本発明の光磁気記録媒体を補助
層に用いた場合の初期化磁場の1.5KOeの値に比し
て高いことが判る。
体を補助層に用いた場合の初期化磁場は3.5KOeで
あり、図9(a)に示す本発明の光磁気記録媒体を補助
層に用いた場合の初期化磁場の1.5KOeの値に比し
て高いことが判る。
【0051】
【発明の効果】以上述べたように、軽希土類− 重希土
類− 遷移金属系の光磁気記録媒体を用いると、磁場の
飽和点Hc −satの値が低くでき、補助層の初期化
磁場の大きさが小さくて済むオーバーライト可能な光磁
気記録媒体が得られる。特にNdDyFeCoの材料を
補助層に用いることにより、初期化磁場が小さく、オー
バーライト後の信号品質も良好な光磁気記録媒体が得ら
れる効果があり、高品質、高性能な光磁気記録媒体が得
られる効果がある。
類− 遷移金属系の光磁気記録媒体を用いると、磁場の
飽和点Hc −satの値が低くでき、補助層の初期化
磁場の大きさが小さくて済むオーバーライト可能な光磁
気記録媒体が得られる。特にNdDyFeCoの材料を
補助層に用いることにより、初期化磁場が小さく、オー
バーライト後の信号品質も良好な光磁気記録媒体が得ら
れる効果があり、高品質、高性能な光磁気記録媒体が得
られる効果がある。
【図1】 本発明の光磁気記録媒体の断面図である。
【図2】 本発明の光磁気記録媒体の形成に用いる装
置の説明図である。
置の説明図である。
【図3】 本発明の光磁気記録媒体のカーループの曲
線図である。
線図である。
【図4】 本発明の光磁気記録媒体のNdDyFeC
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
【図5】 本発明の光磁気記録媒体のPrDyFeC
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
【図6】 本発明の光磁気記録媒体のSmDyFeC
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
oの保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
【図7】 本発明のNdx Dyy (Fe65Co
35)100−x−y の光磁気記録媒体のDy、およ
びNdの含有量( 原子%) と磁場の飽和点との関係
図である。
35)100−x−y の光磁気記録媒体のDy、およ
びNdの含有量( 原子%) と磁場の飽和点との関係
図である。
【図8】 本発明のNdx Dyy (Fe100−
zCoz)100−x−yの光磁気記録媒体の補助層の
キュリー温度を200 ℃とし、Dyの含有量(y原子
%) を一定とした時のNdの含有量(x原子%) と
Coの含有量(z原子%) との関係図である。
zCoz)100−x−yの光磁気記録媒体の補助層の
キュリー温度を200 ℃とし、Dyの含有量(y原子
%) を一定とした時のNdの含有量(x原子%) と
Coの含有量(z原子%) との関係図である。
【図9】 本発明の光磁気記録媒体と従来の光磁気記
録媒体に於けるオーバーライト特性と、消去特性の比較
図である。
録媒体に於けるオーバーライト特性と、消去特性の比較
図である。
【図10】 オーバーライトを実施する装置の説明図
である。
である。
【図11】 保磁力と磁場の飽和点の関係図である。
【図12】 従来の光磁気記録媒体のGdDyFeC
oのカーループ曲線図である。
oのカーループ曲線図である。
【図13】 従来の光磁気記録媒体のGdDyFeC
oの保磁力と磁場の飽和点との関係図である。
oの保磁力と磁場の飽和点との関係図である。
【図14】 従来の光磁気記録媒体のTbDyFeC
oの保磁力と磁場の飽和点との関係図である。
oの保磁力と磁場の飽和点との関係図である。
1 基板
2 下部保護層
3 記録層
4 補助層
5 上部保護層
11 容器
12 ガス導入管
13 保護層形成用ターゲット
14 排気管
15 記録層形成用ターゲット
16 補助層形成用ターゲット
21,23 オーバーライト特性曲線22,24
消去特性曲線
消去特性曲線
Claims (3)
- 【請求項1】 基板(1) 上に垂直磁気異方性を有
する光磁気記録媒体を記録層(3) 、および補助層(
4) として二層に設けたオーバーライト可能な光磁気
記録媒体に於いて、前記補助層(4) に軽希土類金属
元素−重希土類金属元素−遷移金属元素の合金薄膜を用
い、前記軽希土類金属元素としてイットリウム(Y)
、ランタン(La)、セリウム(Ce)、プラセオジウ
ム(Pr)、ネオジウム(Nd)、サマリウム(Sm)
およびユウロピウム(Eu)のうちの少なくとも1個以
上の元素を含んで成ることを特徴とする光磁気記録媒体
。 - 【請求項2】 請求項1記載の補助層(4) がネオ
ジウム(Nd)・ジスプロシウム(Dy)・鉄(Fe)
・コバルト(Co)の合金薄膜であることを特徴とする
光磁気記録媒体。 - 【請求項3】 請求項2記載の補助層がNdx Dy
y (Fe100−zCoz )100−y−xで表さ
れ、前記x、yおよびzの値がそれぞれ、x≧1.5
原子%、y≧25原子%、z≧27原子%の範囲である
ことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7484291A JPH04310645A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7484291A JPH04310645A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04310645A true JPH04310645A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13558988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7484291A Withdrawn JPH04310645A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04310645A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993010530A1 (en) * | 1991-11-22 | 1993-05-27 | Seiko Epson Corporation | Magnetooptical recording media |
-
1991
- 1991-04-08 JP JP7484291A patent/JPH04310645A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993010530A1 (en) * | 1991-11-22 | 1993-05-27 | Seiko Epson Corporation | Magnetooptical recording media |
US5648161A (en) * | 1991-11-22 | 1997-07-15 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical recording medium having large kerr rotational angle in short wavelength range |
US5792571A (en) * | 1991-11-22 | 1998-08-11 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical recording medium having large kerr rotational angle in short wavelength range |
US5843570A (en) * | 1991-11-22 | 1998-12-01 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical recording medium having large kerr rotational angle in short wavelength range |
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