JPH04305622A - 光学素子の貼り合わせ装置 - Google Patents
光学素子の貼り合わせ装置Info
- Publication number
- JPH04305622A JPH04305622A JP3071208A JP7120891A JPH04305622A JP H04305622 A JPH04305622 A JP H04305622A JP 3071208 A JP3071208 A JP 3071208A JP 7120891 A JP7120891 A JP 7120891A JP H04305622 A JPH04305622 A JP H04305622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- liquid crystal
- display element
- crystal display
- optical elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 12
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005282 brightening Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N mercury xenon Chemical compound [Xe].[Hg] VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
子とマイクロレンズアレイ等の光学素子からなる一組の
光学素子を、該光学素子間の位置合わせを行った後、光
硬化型の接着剤で接着する光学素子の貼り合わせ装置に
関する。
表示素子は、直接に液晶表示素子を視覚する直視型表示
装置のみならず、最近では、該液晶表示素子に光を透過
させて画像を投影する投影型表示装置にも採用される傾
向がある。この種の投影型表示装置の一例として、プロ
ジェクションテレビ用の表示装置がある。
に使用する場合に、投影時における拡大率を向上せんと
すれば、該液晶表示素子の絵素(画素)数を増大する必
要がある。すなわち、絵素数を増大することなく拡大率
を向上せんとすれば、画面が粗くなって表示品位が低下
するからである。
と、絵素以外の部分が占める面積が相対的に大きくなり
、これに伴ってこれらの部分を覆うブラックマスクの面
積が増大し、画像表示に寄与する絵素面積が減少し、液
晶表示素子の開口率が低下する。開口率が低下すると、
液晶表示素子の表示面が暗くなり、画像品位を低下させ
ることになる。このような欠点は、アクティブマトリク
ス型液晶表示素子の場合に特に大きな問題になる。
う画像品位の低下を防止する先行技術として、特開昭6
0ー165621〜60ー165624号公報で提案さ
れたものがある。この先行技術では、液晶表示素子の一
方の面にマイクロレンズアレイを形成する。マイクロレ
ンズアレイは液晶表示素子の各絵素に対応したマイクロ
レンズを備え、従来技術ではブラックマスクで遮光され
ていた光をマイクロレンズで絵素内に集光し、これによ
り、表示面を明るくし、画像品位の低下を防止する。
球状の凸部を有する半球状マイクロレンズや基板内部に
屈折率の分布を有する平板マイクロレンズが使用され、
前者はその形状効果により、また後者は屈折率分布の効
果によりレンズとして機能する。
示素子への形成は、マイクロレンズアレイを液晶表示素
子に貼り合わして行われ、その先行技術の一例として、
本願出願人が特願平1ー187715号公報で提案した
ものがある。そこでは、紫外線硬化型接着剤を液晶表示
素子の一方の基板の全面に塗布し、塗布面にマイクロレ
ンズを押し付けると共に、紫外線を照射して紫外線硬化
型接着剤を硬化させて貼り合わせを行う。
により、上記した紫外線硬化型接着剤のような光硬化型
接着剤が好ましい。
ロレンズの基板とは材質が異なる場合があり、接着剤と
して熱硬化型樹脂を使用すると、両基板の熱膨張係数の
差によって位置ズレや剥がれを生じるおそれがある。
硬化型樹脂に比べて硬化時間がかかると共に、接着強度
が弱いという難点がある。
アレイを貼り合わせる場合には、液晶表示素子の各絵素
と、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズとを精度
よく位置合わせした後に行う必要がある。すなわち、位
置合わせ作業が前提となる。従来この種の位置合わせは
、以下のようにして行われていた。すなわち、例えば液
晶表示素子の両基板の貼り合わせでは、貼り合わせるべ
き2枚の基板の貼り合わせ面には電極パターンがそれぞ
れ形成されており、両基板の間隔(セルギャップ)を数
μm程度に設定し、位置決め用顕微鏡でそれぞれの基板
に形成したマーカーの位置が同時に該位置決め顕微鏡の
焦点深度の範囲内に入るように、両基板を相対的に微動
して位置合わせを行っていた。
示素子外周部の数カ所を瞬間接着剤で仮止めしたり、紫
外線硬化型樹脂を光ファイバ光源によって硬化して仮止
めしたりした後、全体を加熱し、液晶表示素子をシール
するための熱硬化型樹脂を本硬化して貼り合わせを行う
。
ための光源としては、ハロゲンランプが使用され、紫外
線硬化型接着剤に紫外線を照射するための光源には、上
記ハロゲンランプとは別の光源が使用される。
ような位置合わせ、貼り合わせでは以下に示すような欠
点がある。即ち、マイクロレンズが形成されている面と
液晶表示素子のパターン面が、貼り合わせの際に、該液
晶表示素子の基板1枚の厚さ分だけ隔てられているため
、それぞれの面に位置合わせ用のマーカーを形成するも
のとすると、通常の顕微鏡では両方同時にピント合わせ
をすることが不可能であり、精度のよい位置合わせを迅
速に行えない欠点がある。
するものであり、本発明の目的は、簡潔な構成で、光学
素子の位置合わせおよび貼り合わせを迅速、確実に行え
る光学素子の貼り合わせ装置を提供することである。
合わせ装置は、光硬化型接着剤を挟んで対向配置された
一組の光学素子の位置合わせを行った後、光照射によっ
て該一組の光学素子を接着する光学素子の貼り合わせ装
置において、該一組の光学素子の位置合わせのための光
を出射する位置合わせ光源と、該一組の光学素子を透過
又は反射した光を受光し、該一組の光学素子の位置ズレ
を光学的に検出する位置合わせ検出手段と、該一組の光
学素子を相対移動可能になし、該位置合わせ検出手段の
検出結果に従って該一組の光学素子の位置合わせを行う
位置合わせ機構と、該一組の光学素子の該位置合わせ光
源とは反対側に設けられ、該光硬化型接着剤の感光性波
長域の光を該光硬化型接着剤に照射する硬化用光源とを
備えてなり、そのことにより、上記目的が達成される。
液晶表示素子とマイクロレンズアレイであって、前記位
置合わせ検出手段が、前記位置合わせ光源からの光が前
記マイクロレンズアレイを通過することにより発生する
モアレ縞をモニタするモニタ手段である構成とすること
ができる。
クス型の表示素子とマイクロレンズアレイの位置合わせ
を行う際には、位置合わせ光源から非感光性波長域の光
を表示素子およびマイクロレンズアレイからなるワーク
に出射する。そして、該ワークを透過もしくは反射する
光を、例えばCCDカメラとTVモニターからなるモニ
ター手段によって観察し、生ずるモアレ縞により検査員
が両者の位置合わせ状態を把握し、位置ズレを解消する
方向に位置合わせ機構を操作する。これにより、両者が
精度よく位置合わせられる。
光源からの感光性波長域の光をワークに入射させ、ワー
クの貼り合わせ面に挟まれた光硬化性樹脂を硬化する。 これにより、表示素子とマイクロレンズアレイとの貼り
合わせが行われる。
子の貼り合わせ装置の模式図を示す。ランプ11を有す
る位置合わせ光源23からの光を短波長カットフィルタ
21を通してマトリクス型液晶表示素子42とマイクロ
レンズアレイ44を対向配置してなるワーク40に出射
し、該ワーク40を透過した光を可動式の反射ミラー1
3を介してCCDカメラ52及びモニタTV53からな
る位置合わせ検出手段50に入射させる。位置合わせ検
出手段50は、液晶表示素子42のブラックマスク49
以外の部分の開口47を通過した光によって生じるモア
レ縞を観察するために設けられている。そして、このモ
アレ縞の観察により、後述するようにしてマトリクス型
液晶表示素子42とマイクロレンズアレイ44の位置合
わせを行い、位置合わせを終了すると、反射ミラー13
を除き、硬化用光源24より感光性波長域成分を含む光
をワーク40に出射し、予めマトリクス型液晶表示素子
42とマイクロレンズアレイ44の貼り合わせ面に塗布
されている光硬化型接着剤43を硬化させて両者の貼り
合わせを行う概略構成をとる。
源は、ランプ11と、ランプ11からの光を集光する楕
円鏡12とを有している。楕円鏡12はランプ11から
の光を短波長カットフィルタ21に導く。短波長カット
フィルタ21は光硬化型接着剤43の感光する短波長域
成分をカットするので、ランプ11としては、光硬化型
接着剤43を硬化させる短波長成分および光硬化型接着
剤43を硬化させない長波長成分の双方を含む光を発す
るものを用いることができる。ランプ11として、例え
ば水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプ、キセノンランプ等を使用することが可能である。
ワーク40に出射される。ワーク40は液晶表示素子4
2とマイクロレンズアレイ44を対向配置して構成され
、液晶表示素子42とマイクロレンズアレイ44の間に
は光硬化型接着剤43が塗布されている。本実施例では
光硬化型接着剤43として、紫外線硬化型接着剤を用い
た。液晶表示素子42は多数の絵素に対応した開口47
…が形成されたブラックマスク49…を有する。マイク
ロレンズアレイ44はマトリクス型液晶表示素子42の
各絵素に対応した多数のマイクロレンズ46…を有する
。マトリクス型液晶表示素子42とマイクロレンズアレ
イ44とは、例えばモータ等の位置合わせ機構31によ
って、光硬化型接着剤43を塗布して重ね合わせられた
状態で相対移動可能に配置される。
レンズアレイ44を通過した光は、反射ミラー13で光
路を変換され、反射ミラー13の側方に設けられる位置
合わせ検出手段50に入射する。位置合わせ検出手段5
0は、CCDカメラ52と、該CCDカメラ52からの
映像信号を映像化するモニタTV53からなる。液晶表
示素子42の開口47を通過した光は、マイクロレンズ
アレイ44のマイクロレンズ46を通過することにより
、モアレ縞を生じる。液晶表示素子42とマイクロレン
ズアレイ44との位置合わせは、このモアレ縞をモニタ
しながら行われる。液晶表示素子42の絵素、即ち、開
口47と、マイクロレンズアレイ44のマイクロレンズ
46が正規の位置にある状態でマイクロレンズアレイ4
4に垂直な方向からみると、開口47を通過してきた光
を見ることになるが、その像の形状は、中央の開口47
を拡大したものとなる。この像をCCDカメラでモニタ
すれば、液晶表示素子42とマイクロレンズアレイ44
との位置を容易に合わせることができる。この時、図1
に示すように、反射ミラー13とCCDカメラとの間、
又は反射ミラー13とマイクロレンズアレイ44との間
にフィールドレンズ32を入れると、その焦点距離に応
じてモアレ縞の周期を変化させることができる。
わせ作業は、例えば、液晶表示素子42を固定配置し、
マイクロレンズアレイ44を水平面内でX−Y2軸方向
に移動できる機構からなる位置合わせ機構31を作業員
が操作して行われる。すなわち、モニタTV上に絵素の
拡大像が得られる方向に、液晶表示素子42及びマイク
ロレンズアレイ44のいずれか一方を微動し、マイクロ
レンズ46の集光スポットが絵素の開口47の中心に位
置するように操作すればよい。
紫外線硬化型接着剤を用いる場合には、図1に示すよう
に、感光性波長域である400nm以下の紫外線をカッ
トする短波長カットフィルタ21を通した光をワーク4
0に照射すればよい。また、紫外線硬化型接着剤43と
しては、ノーランド社製の商品名NOA−61、63、
65や日本ロックタイト社製の商品名363、349や
スリーボンド社製の商品名AVR−100等を選択し得
るが、本実施例ではNOA−61を使用している。
硬化型樹脂からなる接着剤を用いることができる。この
接着剤を使用する場合には、ワーク40の位置合わせ時
において、該樹脂が硬化する波長の光をカットするフィ
ルタを使用すればよく、例えば、可視光硬化型樹脂とし
てICI社製の商品名LCRを用いる場合には、可視光
硬化型樹脂を硬化させる520nm以下の波長成分をカ
ットするフィルタを使用すればよい。
が行われると、可動式の反射ミラー13を除き、硬化用
光源24から光硬化型接着剤43の感光する短波長成分
を含む光が照射され、該光硬化型接着剤43が硬化して
液晶表示素子42とマイクロレンズアレイ44の貼り合
わせが行われる。
成で、液晶表示素子42とマイクロレンズアレイと44
の位置合わせおよび貼り合わせを迅速、確実に行うこと
ができる。
。この実施例は、位置合わせ光源23及び短波長カット
フィルター21と、硬化用光源24との位置が逆である
点、及び反射ミラー13に代えてハーフミラー33が設
けられている点を除いて、前述の図1と同様である。 以下にその詳細を説明する。位置合わせ用光源23のラ
ンプ11から発光した光は、短波長カットフィルター2
1で光硬化型接着剤43の感光波長の光がカットされた
後、ハーフミラー33を透過してワーク40に入射する
。ワーク40は、前述と同様に、液晶表示素子42とマ
イクロレンズアレイ44からなり、液晶表示素子42と
マイクロレンズアレイ44との間には光硬化型接着剤4
3が塗布してある。
アレイ44を通過して液晶表示素子42のブラックマス
ク49で反射され、再びマイクロレンズ46を通過する
ことによりモアレ縞を生じる。ワーク40からの反射光
の一部はハーフミラー33によって図上右側に反射され
、該ハーフミラー33の右側に配置されるフィールドレ
ンズ32を通してCCDカメラ52に入射する。すなわ
ち、CCDカメラ52がモアレ縞を撮像する。そして、
このモアレ縞がCCDカメラ52に接続されたモニタT
V53に映像として表示される。従って、モニタTV5
3上の映像を視認すれば、ワーク40の位置合わせが行
える。本実施例では硬化用光源24からの光はブラック
マスク49によって遮られるので、光硬化型接着剤43
を十分に硬化させるには照射光量を増加させること、及
び光を散乱させてできる限りブラックマスクの裏側まで
回り込ませることが必要となる。
レンズ32を配置すると、該フィールドレンズ32の焦
点距離に応じてモアレ縞の周期を任意に変化させること
ができるので、好ましい周期を選択することにより位置
合わせ作業の容易化が図れる利点がある。この実施例に
よれば、上記実施例と同様の効果が得られる。
液晶等の特性に悪影響を及ぼし易い。従って、硬化に必
要な波長より更に短波長の光は、極力カットすることが
好ましい。
る光学素子がマトリクス型液晶表示素子とマイクロレン
ズアレイである場合について説明したが、他の光学素子
を組み合わせてなるワークについても同様に適用できる
。
源で一組の光学素子からなるワークの位置合わせを行い
、硬化用光源を用いて該一組の光学素子の貼り合わせを
行うことができる。従って、本発明によれば、簡潔な構
成で、光学素子の位置合わせおよび貼り合わせを迅速、
確実に行うことができる。
置の小型化が図れ、また、位置合わせに用いる光は平行
である必要はないので、そのことによっても装置の小型
化が図られる。
を示す構成図である。
Claims (2)
- 【請求項1】光硬化型接着剤を挟んで対向配置された一
組の光学素子の位置合わせを行った後、光照射によって
該一組の光学素子を接着する光学素子の貼り合わせ装置
において、該一組の光学素子の位置合わせのための光を
出射する位置合わせ光源と、該一組の光学素子を透過又
は反射した光を受光し、該一組の光学素子の位置ズレを
光学的に検出する位置合わせ検出手段と、該一組の光学
素子を相対移動可能になし、該位置合わせ検出手段の検
出結果に従って該一組の光学素子の位置合わせを行う位
置合わせ機構と、該一組の光学素子の該位置合わせ光源
とは反対側に設けられ、該光硬化型接着剤の感光性波長
域の光を該光硬化型接着剤に照射する硬化用光源とを備
えた光学素子の貼り合わせ装置。 - 【請求項2】前記一組の光学素子がマトリクス型液晶表
示素子とマイクロレンズアレイであって、前記位置合わ
せ検出手段が、前記位置合わせ光源からの光が前記マイ
クロレンズアレイを通過することにより発生するモアレ
縞をモニタするモニタ手段である請求項1記載の光学素
子の貼り合わせ装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3071208A JP2702300B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 光学素子の貼り合わせ装置 |
DE69222673T DE69222673T2 (de) | 1991-04-03 | 1992-04-03 | Vorrichtung zur Montage optischer Geräte |
KR1019920005686A KR960011399B1 (ko) | 1991-04-03 | 1992-04-03 | 광학 소자 조립 장치 |
EP92302944A EP0507599B1 (en) | 1991-04-03 | 1992-04-03 | Apparatus for assembling an optical device |
US08/282,419 US5554251A (en) | 1991-04-03 | 1994-07-29 | Optical device assemble apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3071208A JP2702300B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 光学素子の貼り合わせ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04305622A true JPH04305622A (ja) | 1992-10-28 |
JP2702300B2 JP2702300B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=13454034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3071208A Expired - Lifetime JP2702300B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 光学素子の貼り合わせ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2702300B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204895B1 (en) * | 1997-09-30 | 2001-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Display panel associated with light collecting plate and position adjusting method using microlenses for the display panel |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP3071208A patent/JP2702300B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204895B1 (en) * | 1997-09-30 | 2001-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Display panel associated with light collecting plate and position adjusting method using microlenses for the display panel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2702300B2 (ja) | 1998-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3296239B2 (ja) | 間隙設定機構を備えたプロキシミティ露光装置 | |
US7515337B2 (en) | Screen, manufacturing method of screen, and projector | |
KR960011399B1 (ko) | 광학 소자 조립 장치 | |
JP3198625B2 (ja) | マイクロレンズアレイ基板とその製造方法及び同基板を用いた画像表示装置 | |
CA2358685C (en) | Method of alignment between sheet materials, method of alignment, substrate assembling method and aligning apparatus | |
US20060216112A1 (en) | Optical element, optical system and methods of manufacturing the same as well as optical equipment | |
JP3975602B2 (ja) | マイクロレンズアレイ基板 | |
JP2702300B2 (ja) | 光学素子の貼り合わせ装置 | |
JPH08220548A (ja) | 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置 | |
JP2702301B2 (ja) | 光学素子の貼り合わせ装置 | |
JP2003248156A (ja) | 基板の重ね合わせ方法および光学素子 | |
JP2000194277A (ja) | 貼合装置 | |
JP3625953B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
JP2752540B2 (ja) | 光学素子の貼り合わせ装置 | |
JP3086137B2 (ja) | マイクロレンズ基板の製造方法および製造装置 | |
JPH11287937A (ja) | 光学素子の貼り合わせ装置 | |
JP4213439B2 (ja) | レンズブロック | |
JP2008152010A (ja) | 鮮鋭化素子の製造方法 | |
JPH09184910A (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置 | |
JP4319062B2 (ja) | マイクロレンズ基板の製造方法およびその利用 | |
JP2007133374A (ja) | 光学デバイスの製造装置及び製造方法 | |
KR100685145B1 (ko) | 칼라필터 결함 리페어 장치 | |
JP2000214411A (ja) | 結像ユニット、拡大ユニット、光学部品及びこれらを用いた画像表示装置 | |
JPH04290090A (ja) | 3板カメラ撮像ブロックの組立方法 | |
JPH09244266A (ja) | 位置合わせ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970911 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071003 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 14 |