JP2000194277A - 貼合装置 - Google Patents

貼合装置

Info

Publication number
JP2000194277A
JP2000194277A JP10373339A JP37333998A JP2000194277A JP 2000194277 A JP2000194277 A JP 2000194277A JP 10373339 A JP10373339 A JP 10373339A JP 37333998 A JP37333998 A JP 37333998A JP 2000194277 A JP2000194277 A JP 2000194277A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
light
display element
liquid crystal
optical element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10373339A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Suzuki
昭夫 鈴木
Takafumi Nakamura
貴文 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP10373339A priority Critical patent/JP2000194277A/ja
Publication of JP2000194277A publication Critical patent/JP2000194277A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示品位を低下することなく確実な位置決め
ができる貼合装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源55からレーザ光を照射し、マ
イクロレンズ基板4で集光させて液晶表示素子2に集光
させ、スポットを形成する。スポットの位置と液晶表示
素子2のスポットの位置とを顕微鏡64の映像を映したモ
ニタテレビジョン65で比較しながら、XY方向の位置合
わせする。モアレ用光源71により、モニタテレビジョン
74でスーパーインポーズした基準線と比較しながら、マ
イクロレンズ基板4を回転させ、回転方向を位置合わせ
する。紫外線照射装置77から紫外線を照射し、ダイクロ
イックミラー78で反射させて液晶表示素子2とマイクロ
レンズ基板4との間の未硬化の紫外線硬化樹脂を硬化さ
せ、液晶表示素子2およびマイクロレンズ基板4を貼り
合わせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示素子および光
学素子を貼り合わせた貼合装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、陰極線管(CRT)よりも小型
で軽量なフラットパネルディスプレイデバイスとして、
液晶表示装置が用いられ、大画面を表示するものとして
は透過型液晶表示装置がある。
【0003】この透過型液晶表示装置は、光源となるラ
ンプの光を液晶表示パネルに集光して入射させ、この液
晶表示パネルを透過した透過光を投射レンズによりスク
リーン上に投射して大画面サイズに画像を表示してい
る。また、液晶表示パネルは、光の強度を二次元的に変
調できるので、透過光を変調して光学系により拡大投射
して大画面サイズの投射画像が得られる。
【0004】また、近年、このような投射型液晶表示装
置を内蔵したリヤ型液晶プロジェクタが開発され、リヤ
型液晶プロジェクタは従来のCRT型のプロジェクタに
比べて、小型、軽量で、高輝度かつ安価である。
【0005】さらに、投射型液晶表示装置のカラー表示
方式としては、赤色の波長範囲となる赤色、緑色の波長
範囲となる緑色および青色の波長範囲となる青色に対応
してそれぞれ1枚ずつ液晶表示パネルを対応させ、色分
離合成をダイクロイックミラーでする3板式液晶プロジ
ェクタと、画素毎に色吸収フィルタが設けられたいわゆ
るカラーフィルタを用いた単板式液晶プロジェクタが知
られている。
【0006】そして、3板式液晶プロジェクタは、色分
離合成による効率の低下が少ないため高輝度の表示が可
能となるものの構成が複雑になり、単板式液晶プロジェ
クタは液晶表示パネルが1枚であるため低コスト化を図
ることができるものの高輝度表示できない。
【0007】そこで、構造が簡単であるとともに高輝度
表示が可能な液晶プロジェクタとして、たとえば図7お
よび図8に示す構成が知られている。
【0008】この図7および図8に示す液晶プロジェク
タは、図7に示すように、液晶表示パネル1を備え、こ
の液晶表示パネル1は液晶表示素子2を有し、1つの画
素3を形成する赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色の
画素部3R,3G,3Bが形成され、この液晶表示パネル1に
対向して光学素子としてのマイクロレンズ基板4が接着
剤にて貼り合わされ、このマイクロレンズ基板4には1
つの画素3に対応したマイクロレンズ5aが複数形成され
たマイクロレンズ群5が形成されている。
【0009】また、マイクロレンズ基板4側には白色光
の光源6が配設され、この光源6はランプ7とこのラン
プ7からの光を反射する反射鏡8およびこれらランプ7
および反射鏡8からの光を平行光にするレンズ9を有し
ている。
【0010】そして、光源6およびマイクロレンズ基板
4の間には、傾斜角度を異ならせた3つのダイクロイッ
クミラー11R ,11G ,11B が配設され、これらダイクロ
イックミラー11R ,11G ,11B では光源6からの白色光
をそれぞれ赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビー
ムに分光し、マイクロレンズ基板4に入射される。
【0011】また、液晶表示パネル1の出射側には、集
光用のフィールドレンズ12および投射レンズ13を介し
て、スクリーン14に映写されるように形成されている。
【0012】そして、光源6からの白色光を3つのダイ
クロイックミラー11R ,11G ,11Bで、赤色R、緑色G
および青色Bの3原色のビームに分光し、これら赤色
R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビームを液晶表示パ
ネル1に互いに異なる角度から入射させる。すなわち、
これら赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビームは
マイクロレンズ5aに異なる角度で入射され、このマイク
ロレンズ5aで赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビ
ームをそれぞれ画素3の対応する画素部3R,3G,3Bに集
束し、画素3を赤色R、緑色Gおよび青色Bに振り分け
ている。なお、波長により焦点距離の長さは青色B、緑
色G、赤色Rの順に長くなる。そして、この振り分けら
れた光は、フィールドレンズ12で集光され、投射レンズ
13を透過して画面に拡大投影される。
【0013】この構造により、カラーフィルタを用いな
い単板式によるカラー表示が可能になり、色分離合成に
ダイクロイックミラーを使用していることから、色分離
時の効率の低下が少なく、単板式であるために構造が簡
単でコストが安く、マイクロレンズによる集光効果で高
輝度な液晶プロジェクタとなる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
構成の単板式液晶プロジェクタの場合、マイクロレンズ
基板4のマイクロレンズ5aと液晶表示素子2の画素3と
の位置合わせが確実にできていないと、色ずれや光損失
が生ずるため、高精度の位置決めが必要になる。
【0015】そして、位置決めの際には液晶表示装置に
位置決めマークをあらかじめ形成しておき、この位置決
めマークに基づき液晶表示パネル1とマイクロレンズ基
板4との位置合わせをしている。また、一般に液晶表示
パネル1は画素3が形成されている表示部と、この表示
部の周囲の画素3を有しないいわゆる額縁部とを有して
おり、より精度の高い位置合わせをするには画素3を有
する表示部に近い位置に位置合わせマークが形成されて
いる必要がある。
【0016】ところが、表示部に位置合わせマークを形
成してしまうと表示の際に黒点あるいは白点などが現
れ、表示品位が低下してしまう問題を有している。
【0017】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、表示品位を低下することなく確実な位置決めができ
る貼合装置を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は、画素を有する
表示領域、この表示領域の周辺に形成された駆動回路領
域、および、前記表示領域および駆動回路領域の間に形
成されダミー画素の位置合わせマークを有するダミー画
素領域を有する表示素子と、この表示素子から光を集光
するレンズ群を有する光学素子とを対向させ、光学素子
のレンズ群を介して表示素子に照射して前記レンズ群に
より集光させて表示素子にスポットを形成させる第1の
光源と、前記レンズ群により表示素子面に集光されたス
ポットおよび位置合わせマークとを比較して相対位置ず
れを検出するXY位置ずれ検出手段と、前記表示素子お
よび前記光学素子により生ずるモアレ像を照明する第2
の光源と、前記モアレ像に基づき回転相対位置ずれを検
出する回転位置ずれ検出手段と、表示素子および光学素
子を貼着する貼着手段とを具備したもので、表示領域お
よび駆動回路領域の間に形成されたダミー画素領域のダ
ミー画素の位置合わせマークを用い、第1の光源から光
学素子のレンズ群を介して表示素子に照射してレンズ群
により集光させて表示素子にスポットを形成させ、XY
位置ずれ検出手段でスポットおよび位置合わせマークと
を比較してXY方向の相対位置ずれを検出し、第2の光
源で表示素子および光学素子により生ずるモアレ像を照
明し、回転位置ずれ検出手段でモアレ像に基づき回転相
対位置ずれを検出し、貼着手段で表示素子および光学素
子を貼着することにより、表示品位を低下させることな
く、確実に位置合わせする。
【0019】また、位置合わせマークは、3原色のダミ
ー画素のいずれか一つに割り当てられたもので、容易に
形成できる。
【0020】さらに、表示素子および光学素子の貼着
は、所定の波長領域で硬化する光硬化性接着剤を用い、
貼着手段は、この光硬化性接着剤が硬化する所定の波長
領域の光を発光する第3の光源を有するもので、第3の
光源から光を照射しない状態では光硬化性接着剤は硬化
しないため、第3の光源から光を照射するまでは位置合
わせのために表示素子および光学素子を相対的に移動可
能で、第3の光源から所定の波長領域の光を照射するこ
とにより、光硬化性接着剤は硬化し、表示素子および光
学素子を位置合わせした状態で貼着する。
【0021】またさらに、所定の波長領域は、紫外線
で、光硬化性接着剤は、紫外線硬化接着剤であるもの
で、紫外線により紫外線硬化接着剤が硬化されるため、
表示素子および光学素子を貼着する。
【0022】また、第1の光源および第2の光源から照
射される光は紫外線以外の光で、貼着手段は、表示素子
および光学素子とXY位置ずれ検出手段および回転位置
ずれ検出手段との間に第1の光源および第2の光源の光
は透過し、紫外線は反射するダイクロイックミラーを備
え、第3の光源は表示素子および光学素子とXY位置ず
れ検出手段および回転位置ずれ検出手段との間以外に設
けられ、第3の光源の照射光をダイクロイックミラーで
反射して紫外線硬化性接着剤に照射するもので、第1の
光源および第2の光源から光を照射しても紫外線硬化接
着剤は硬化しないため、位置合わせのために第1の光源
および第2の光源から光を照射しても表示素子と光学素
子がはり合わされないため、位置合わせに悪影響を与え
ない。
【0023】さらに、第1の光源は、光学素子を介して
表示素子に集光するスポットを調整するスポット位置調
整手段を有するもので、光学素子と表示素子との距離が
製造上の誤差などで異なっていたり、マイクロレンズの
歪みなどにより、スポットを調整可能になる。
【0024】またさらに、スポット位置調整手段は、第
1の光源の照射光の波長を可変するもので、波長を変化
させることにより焦点距離が変わるため、簡単にスポッ
トを合わせられる。
【0025】そしてまた、第1の光源は、レーザ光を照
射するもので、レーザ光のためにスポットを微小化で
き、位置調整の精度をより向上する。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態の貼
合装置を図面を参照して説明する。なお、従来例で説明
した部分には、同一符号を付して説明する。
【0027】貼合対象となる液晶プロジェクタは、液晶
表示パネル1を備え、この液晶表示パネル1は液晶表示
素子2を有し、1つの画素3を形成する赤色R、緑色G
および青色Bの3原色の画素部3R,3G,3Bが形成され、
この液晶表示パネル1に対向して光学素子としてのマイ
クロレンズ基板4が接着剤にて貼り合わされ、このマイ
クロレンズ基板4には1つの画素3に対応したマイクロ
レンズ5aが複数形成されたマイクロレンズ群5が形成さ
れている。
【0028】また、液晶表示素子2は、図3に示すマト
リクスアレイ基板21と、このマトリクスアレイ基板21に
対向する図示しない対向基板22とを有し、マトリクスア
レイ基板21および対向基板22間に液晶が挟持されてい
る。
【0029】このマトリクスアレイ基板21は、図3に示
すように、中央に表示面となる表示領域23が形成され、
この表示領域23の周囲に表示に寄与しない駆動回路領域
としての額縁領域24が形成され、これら表示領域23およ
び額縁領域24間にはダミー画素領域25が形成され、ダミ
ー画素領域25には位置決め領域26が形成されている。ま
た、額縁領域24には、走査線駆動回路27および信号線駆
動回路28が形成されている。さらに、表示領域23および
ダミー画素領域25上に対応して、マイクロレンズ基板4
が取り付けられている。
【0030】そして、表示領域23およびダミー画素領域
25は、図4に示すように形成され、表示領域23は図8に
示す3つの画素部3R,3G,3Bでとなる画素3がマトリク
ス状に配設され、これら画素3にはそれぞれ画素3を駆
動する薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)32が
対応して設けられている。また、これら薄膜トランジス
タ32は、走査線駆動回路27に接続された走査線33および
信号線駆動回路28に接続された信号線34に接続されてい
る。
【0031】さらに、ダミー画素領域25は、画素3と同
様に、マトリクス状に3原色に対応した3つのダミー画
素部35で1つのダミー画素36が形成され、そのうちの一
つのダミー画素部35には位置決めマーク37が形成され、
他の残りの2つのダミー画素部35には位置決めマーク37
が形成されたダミー画素部35とは区別を付けるため、位
置決めマーク37とは異なる形状の識別マーク38が形成さ
れている。
【0032】また、図7に示すように、マイクロレンズ
基板4側には白色光の光源6が配設され、この光源6は
ランプ7とこのランプ7からの光を反射する反射鏡8お
よびこれらランプ7および反射鏡8からの光を平行光に
するレンズ9を有している。
【0033】そして、光源6およびマイクロレンズ基板
4の間には、傾斜角度を異ならせた3つのダイクロイッ
クミラー11R ,11G ,11B が配設され、これらダイクロ
イックミラー11R ,11G ,11B では光源6からの白色光
をそれぞれ赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビー
ムに分光し、マイクロレンズ基板4に入射される。
【0034】また、液晶表示パネル1の出射側には、集
光用のフィールドレンズ12および投射レンズ13を介し
て、スクリーン14に映写されるように形成されている。
【0035】そして、光源6からの白色光を3つのダイ
クロイックミラー11R ,11G ,11Bで、赤色R、緑色G
および青色Bの3原色のビームに分光し、これら赤色
R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビームを液晶表示パ
ネル1に互いに異なる角度から入射させる。すなわち、
これら赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビームは
マイクロレンズ5aに異なる角度で入射され、このマイク
ロレンズ5aで赤色R、緑色Gおよび青色Bの3原色のビ
ームをそれぞれ画素3の対応する画素部3R,3G,3Bに集
束し、画素3を赤色R、緑色Gおよび青色Bに振り分け
ている。なお、波長により焦点距離の長さは青色B、緑
色G、赤色Rの順に長くなる。そして、この振り分けら
れた光は、フィールドレンズ12で集光され、投射レンズ
13を透過して画面に拡大投影される。
【0036】次に、液晶表示パネル1を製造する貼合装
置51について、図1および図2を参照して説明する。
【0037】この貼合装置51は、液晶表示素子2を真空
チャックを有する固定用のテーブル52を有し、このテー
ブル52には液晶表示素子2が載置固定されている。この
液晶表示素子2上には図示しない貼着用の未硬化の紫外
線硬化接着剤を介してマイクロレンズ基板4が載置され
ており、このマイクロレンズ基板4は位置調整用のマイ
クロレンズ基板ホルダ53に保持され、このマイクロレン
ズ基板ホルダ53は0.1μmピッチで移動可能なXYθ
型のアライメントステージでマイクロレンズ基板ホルダ
53を移動することができるとともに回転できる。
【0038】また、テーブル52の上方には、第1の光源
としてのレーザ光源55が配設され、このレーザ光源55か
らのレーザは、テーブル52の上方に設けられたハーフミ
ラー56およびミラー57にてマイクロレンズ基板4に照射
し、このマイクロレンズ基板4のマイクロレンズ4aで液
晶表示素子2に集光させてスポットを形成させる。そし
て、レーザ光源55は、図2に示すように、波長領域の異
なる赤色レーザ光源61R 、緑色レーザ光源61G および青
色レーザ光源61B を有しており、これらの赤色レーザ光
源61R 、緑色レーザ光源61G および青色レーザ光源61B
はミラー62により切り換え照射できる。なお、このよう
に固定波長の光を切り換え出力するものに限らず、連続
的に調整可能な光源を用いてもよい。
【0039】さらに、テーブル52の下面には、XY位置
ずれ検出手段63がそれぞれハーフミラー56およびミラー
57に対応して設けられている。このXY位置ずれ検出手
段63は、顕微鏡64,64を有し、これら顕微鏡64,64に
は、それぞれモニタテレビジョン65,65が取り付けられ
ている。
【0040】また、テーブル52の下面の液晶表示パネル
1の表示領域23の背面側には、第2の光源としてのモア
レ用光源71が設けられ、液晶表示パネル1の前面側には
回転位置ずれ検出手段72が配設され、この回転位置ずれ
検出手段72はCCDカメラ73が液晶表示パネル1の表示
領域23に対向して設けられ、このCCDカメラ73にはモ
ニタテレビジョン74が設けられている。
【0041】さらに、テーブル52の上方には、貼着手段
76が配設され、この貼着手段76はレーザ光源55と同様
に、第3の光源としての紫外線照射装置77が設けられ、
CCDカメラ73と液晶表示パネル1との間には、紫外線
照射装置77から照射される紫外線の波長400nm以下
の光を反射し、モアレ用光源71の波長400nmを超え
る光を透過させるダイクロイックミラー78が設けられて
いる。
【0042】次に、この貼合装置51の位置決め貼り合わ
せ動作について説明する。
【0043】まず、液晶表示素子2とマイクロレンズ基
板4とのXY方向の位置合わせについて説明する。
【0044】液晶表示素子2をテーブル52上に載置して
真空チャックで固定し、この液晶表示素子2上に貼着用
の未硬化の紫外線硬化接着剤を塗布した後、マイクロレ
ンズ基板4を載置する。
【0045】そして、レーザ光源55からレーザ光を照射
し、ハーフミラー56で一部のレーザ光を反射するととも
に透過し、ミラー57でレーザ光を反射し、マイクロレン
ズ基板4で集光させて液晶表示素子2に集光させ、マト
リクスアレイ基板21のダミー画素領域25の位置決めマー
ク37上にスポットを形成する。
【0046】また、マイクロレンズ4aの焦点距離のばら
つき、紫外線硬化接着剤層の厚さのばらつき、液晶表示
素子2やマイクロレンズ基板4の反りなどの原因で位置
決めマーク37上のスポットが合焦できずに不鮮明の場合
には、ミラー62を切り換えて、赤色レーザ光源61R 、緑
色レーザ光源61G および青色レーザ光源61B のいずれか
に切り換え、スポットを合焦させ鮮明にする。
【0047】そして、図6に示すようにモニタテレビジ
ョン65に映し出され、スポットの位置と液晶表示素子2
のスポットの位置とを顕微鏡64の映像を映したモニタテ
レビジョン65で比較しながら、マイクロレンズ基板ホル
ダ53でマイクロレンズ基板4をXY方向に移動させ、図
5に示すように、ダミー画素36のダミー画素部35の位置
決めマーク37の間にスポットが位置すればXY方向の位
置合わせは完了する。
【0048】次に、液晶表示素子2とマイクロレンズ基
板4との回転方向の位置合わせについて説明する。
【0049】液晶表示素子2やマイクロレンズ基板4の
XY方向の位置合わせをした状態で、モアレ用光源71に
より、液晶表示素子2の背面から照明し、液晶表示素子
2およびマイクロレンズ基板4を介した後、ダイクロイ
ックミラー78を透過し、CCDカメラ73でモアレ像を撮
像する。このCCDカメラ73で撮像されたモアレ像は、
モニタテレビジョン74でスーパーインポーズされた基準
線と比較しながら、マイクロレンズ基板ホルダ53でマイ
クロレンズ基板4を回転させ、基準線に合わせることに
より回転方向の位置合わせは完了する。なお、モアレ像
は、モアレ像の見える範囲の画素3の一部分を序々に位
置をずらしてサンプリングした像であり、マイクロレン
ズ4aに歪があってもその影響は小さい。
【0050】そして、液晶表示素子2およびマイクロレ
ンズ基板4のXY方向および回転方向の位置合わせが完
了した状態で、紫外線照射装置77から紫外線を照射し、
ダイクロイックミラー78で反射させて液晶表示素子2と
マイクロレンズ基板4との間の未硬化の紫外線硬化樹脂
を硬化させ、液晶表示素子2およびマイクロレンズ基板
4を貼り合わせる。
【0051】このように、ダイクロイックミラー78によ
り紫外線を反射するとともに、モアレ用光源71の光を透
過することにより、モアレ観察と紫外線照射のいずれを
もマイクロレンズ基板4の上方から可能となり、装置構
造を簡略化できる。
【0052】なお、上述の装置で液晶表示素子2および
マイクロレンズ基板4の位置合わせをしたところ、回転
の位置ずれは30μrad以下、X方向位置ずれは平均
0.6μm、Y方向位置ずれは平均0.5μmに納める
ことができ、高精度の位置合わせおよび貼り合わせでき
る。
【0053】
【発明の効果】本発明によれば、XY位置ずれ検出手段
でスポットおよび位置合わせマークとを比較してXY方
向の相対位置ずれを検出し、第2の光源で表示素子およ
び光学素子により生ずるモアレ像を照明し、回転位置ず
れ検出手段でモアレ像に基づき回転相対位置ずれを検出
し、貼着手段で表示素子および光学素子を貼着すること
により、表示品位を低下させることなく、確実に位置合
わせできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の貼付装置を示す説明図
である。
【図2】同上レーザ光源を拡大して示す説明図である。
【図3】同上液晶表示装置を示す説明図である。
【図4】同上マトリクスアレイ基板の表示領域およびダ
ミー画素領域を拡大して示す説明図である。
【図5】同上XY方向の位置合わせを示す説明図であ
る。
【図6】同上位置合わせマークを映した状態を示す説明
図である。
【図7】同上液晶プロジェクタを示す説明図である。
【図8】同上液晶プロジェクタの液晶表示パネルを示す
説明図である。
【符号の説明】
2 液晶表示素子 4 光学素子としてのマイクロレンズ基板 23 表示領域 24 駆動回路領域としての額縁領域 25 ダミー画素領域 55 第1の光源としてのレーザ光源 62 スポット位置調整手段としてのミラー 63 XY位置ずれ検出手段 71 第2の光源としてのモアレ用光源 72 回転位置ずれ検出手段 76 貼着手段 77 第3の光源としての紫外線照射装置 78 ダイクロイックミラー
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B29L 9:00 11:00 Fターム(参考) 2H088 EA13 FA10 FA16 FA30 HA06 HA08 HA13 HA24 HA25 HA28 2H091 FA29X FA41Z GA11 GA13 LA12 4F211 AD04 AD05 AG02 AG19 AH33 AH73 AP06 AR07 TA03 TC02 TD11 TJ14 TJ15 TJ22 TJ23 TJ29 TN45 5G435 AA17 BB12 BB17 CC09 CC12 DD02 DD05 EE33 EE37 FF03 FF07 GG01 GG04 GG08 GG28 GG46 KK03 KK05

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画素を有する表示領域、この表示領域の
    周辺に形成された駆動回路領域、および、前記表示領域
    および駆動回路領域の間に形成されダミー画素の位置合
    わせマークを有するダミー画素領域を有する表示素子
    と、この表示素子から光を集光するレンズ群を有する光
    学素子とを対向させ、光学素子のレンズ群を介して表示
    素子に照射して前記レンズ群により集光させて表示素子
    にスポットを形成させる第1の光源と、 前記レンズ群により表示素子面に集光されたスポットお
    よび位置合わせマークとを比較して相対位置ずれを検出
    するXY位置ずれ検出手段と、 前記表示素子および前記光学素子により生ずるモアレ像
    を照明する第2の光源と、 前記モアレ像に基づき回転相対位置ずれを検出する回転
    位置ずれ検出手段と、 表示素子および光学素子を貼着する貼着手段とを具備し
    たことを特徴とする貼合装置。
  2. 【請求項2】 位置合わせマークは、3原色のダミー画
    素のいずれか一つに割り当てられたことを特徴とする請
    求項1記載の貼合装置。
  3. 【請求項3】 表示素子および光学素子の貼着は、所定
    の波長領域で硬化する光硬化性接着剤を用い、 貼着手段は、この光硬化性接着剤が硬化する所定の波長
    領域の光を発光する第3の光源を有することを特徴とす
    る請求項1または2記載の貼合装置。
  4. 【請求項4】 所定の波長領域は、紫外線で、 光硬化性接着剤は、紫外線硬化接着剤であることを特徴
    とする請求項3記載の貼合装置。
  5. 【請求項5】 第1の光源および第2の光源から照射さ
    れる光は紫外線以外の光で、 貼着手段は、表示素子および光学素子とXY位置ずれ検
    出手段および回転位置ずれ検出手段との間に第1の光源
    および第2の光源の光は透過し、紫外線は反射するダイ
    クロイックミラーを備え、第3の光源は表示素子および
    光学素子とXY位置ずれ検出手段および回転位置ずれ検
    出手段との間以外に設けられ、第3の光源の照射光をダ
    イクロイックミラーで反射して紫外線硬化性接着剤に照
    射することを特徴とする請求項4記載の貼合装置。
  6. 【請求項6】 第1の光源は、光学素子を介して表示素
    子に集光するスポットを調整するスポット位置調整手段
    を有することを特徴とする請求項1ないし5いずれか記
    載の貼合装置。
  7. 【請求項7】 スポット位置調整手段は、第1の光源の
    照射光の波長を可変することを特徴とする請求項6記載
    の貼合装置。
  8. 【請求項8】 第1の光源は、レーザ光を照射すること
    を特徴とする請求項1ないし7いずれか記載の貼合装
    置。
JP10373339A 1998-12-28 1998-12-28 貼合装置 Pending JP2000194277A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10373339A JP2000194277A (ja) 1998-12-28 1998-12-28 貼合装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10373339A JP2000194277A (ja) 1998-12-28 1998-12-28 貼合装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000194277A true JP2000194277A (ja) 2000-07-14

Family

ID=18501995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10373339A Pending JP2000194277A (ja) 1998-12-28 1998-12-28 貼合装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000194277A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100615961B1 (ko) 2003-03-04 2006-08-28 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 기판의 접합 방법 및 접합 장치
KR100631989B1 (ko) * 2005-06-30 2006-10-09 삼성전기주식회사 모아레 무늬를 이용한 웨이퍼 렌즈 정렬 방법 및 이에사용되는 렌즈금형
US8416352B2 (en) 2008-06-27 2013-04-09 Nlt Technologies, Ltd. Alignment marker, display device using the same, and fabrication method thereof
CN103543554A (zh) * 2012-07-17 2014-01-29 群创光电股份有限公司 三维显示器及三维显示对位方法
CN105702169A (zh) * 2016-02-17 2016-06-22 京东方科技集团股份有限公司 对位系统及对位方法
US10481446B2 (en) 2012-11-21 2019-11-19 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal lens panel and method of manufacturing display device using the same
CN117650086A (zh) * 2024-01-29 2024-03-05 深圳市泰达智能装备有限公司 键合辅助系统及键合机

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100615961B1 (ko) 2003-03-04 2006-08-28 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 기판의 접합 방법 및 접합 장치
KR100631989B1 (ko) * 2005-06-30 2006-10-09 삼성전기주식회사 모아레 무늬를 이용한 웨이퍼 렌즈 정렬 방법 및 이에사용되는 렌즈금형
US8416352B2 (en) 2008-06-27 2013-04-09 Nlt Technologies, Ltd. Alignment marker, display device using the same, and fabrication method thereof
CN103543554A (zh) * 2012-07-17 2014-01-29 群创光电股份有限公司 三维显示器及三维显示对位方法
US10481446B2 (en) 2012-11-21 2019-11-19 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal lens panel and method of manufacturing display device using the same
CN105702169A (zh) * 2016-02-17 2016-06-22 京东方科技集团股份有限公司 对位系统及对位方法
CN117650086A (zh) * 2024-01-29 2024-03-05 深圳市泰达智能装备有限公司 键合辅助系统及键合机
CN117650086B (zh) * 2024-01-29 2024-04-05 深圳市泰达智能装备有限公司 键合辅助系统及键合机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4210070B2 (ja) マイクロレンズ基板の作製方法
JP2004117743A (ja) マイクロレンズアレイの製造方法および投影形液晶表示装置
JP3932690B2 (ja) レンズアレイ基板の製造方法
JP2000194277A (ja) 貼合装置
US20100321659A1 (en) Illumination Arrangement
JP3228896B2 (ja) 反射型lcdパネルユニット及びこれを用いた液晶プロジェクター
JP2004138821A (ja) 液晶表示素子及び表示装置並びに液晶表示素子の製造方法
JP3433127B2 (ja) 画像投射表示装置
US6603606B2 (en) System and methods for position-control of light modulation device
JPH10206813A (ja) 液晶プロジェクタおよびその駆動方法
JP2008152010A (ja) 鮮鋭化素子の製造方法
JP2702301B2 (ja) 光学素子の貼り合わせ装置
JPH11287937A (ja) 光学素子の貼り合わせ装置
JPH09114023A (ja) 投影型カラー画像表示装置
JPH1184337A (ja) 液晶装置および投写型表示装置
JP2009008889A (ja) フライアイレンズ、光学ユニットおよび表示装置
JP4622975B2 (ja) プロジェクタ
JP3716745B2 (ja) 光変調装置の位置調整装置
JP2752540B2 (ja) 光学素子の貼り合わせ装置
JPH09244266A (ja) 位置合わせ方法
JP2002148617A (ja) 液晶表示装置
JP2702300B2 (ja) 光学素子の貼り合わせ装置
JP2004017324A (ja) 2層マイクロレンズアレイおよびその製造方法
JP2006215161A (ja) プロジェクタ
JPH0353221A (ja) 投影型カラー画像表示装置