JP2752540B2

JP2752540B2 - 光学素子の貼り合わせ装置

Info

Publication number: JP2752540B2
Application number: JP3285132A
Authority: JP
Inventors: 浩中西; 浩浜田; 文明船田
Original assignee: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas CSIC
Current assignee: Consejo Superior de Investigaciones Cientificas CSIC
Priority date: 1991-10-30
Filing date: 1991-10-30
Publication date: 1998-05-18
Anticipated expiration: 2013-05-18
Also published as: TW205101B; JPH05127173A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、マトリクス型
液晶表示素子とマイクロレンズアレイの組み合わせから
なる一組の光学素子を、該光学素子の位置合わせを行っ
た後、光硬化型の接着剤で接着する光学素子の貼り合わ
せ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】２枚の基板間に液晶を封入してなる液晶
表示素子は、直接に液晶表示素子を視覚する直視型表示
装置のみならず、最近では、該液晶表示素子に光を透過
させて画像を投影する投影型表示装置にも採用される傾
向がある。この種の投影型表示装置の一例として、プロ
ジェクションテレビ用の表示装置がある。

【０００３】ところで、液晶表示素子を投影型表示装置
に使用する場合に、投影時における拡大率を向上せんと
すれば、該液晶表示素子の絵素（画素）数を増大する必
要がある。すなわち、絵素数を増大することなく拡大率
を向上せんとすれば、画面が粗くなって表示品位が低下
するからである。

【０００４】しかるに、液晶表示素子の絵素数を増やす
と、特にアクティブマトリクス型液晶表示素子では、絵
素以外の部分が占める面積が相対的に大きくなり、これ
に伴ってこれらの部分を覆うブラックマトリクスの面積
の比率が増大する。ブラックマトリクスの面積の比率が
増大すると、画像表示に寄与する絵素面積が減少し、液
晶表示素子の開口率が低下する。開口率が低下すると、
液晶表示素子の表示面が暗くなり、画像品位を低下させ
ることになる。このような欠点は、アクティブマトリク
ス型液晶表示素子の場合に特に大きな問題になる。

【０００５】上記した液晶表示素子の開口率の低下に伴
う画像品位の低下を防止する先行技術として、特開昭60
ー165621〜60ー165624号公報で提案されたものがある。こ
の先行技術では、液晶表示素子の一方の面にマイクロレ
ンズアレイを形成する。マイクロレンズアレイは液晶表
示素子の各絵素に対応したマイクロレンズを備え、従来
技術ではブラックマトリクスで遮光されていた光をマイ
クロレンズで絵素内に集光させることが可能となり、こ
れにより表示面を明るくし、画像品位の低下を防止でき
る。

【０００６】この種のマイクロレンズとしては、表面に
半球状の凸部を有する半球状マイクロレンズや基板内部
に屈折率の分布を有する平板マイクロレンズがある。前
者はその形状効果により、また、後者は屈折率分布の効
果によりレンズとして機能する。

【０００７】ところで、マイクロレンズアレイの液晶表
示素子への形成は、マイクロレンズアレイを液晶表示素
子に貼り合わして行われ、その先行技術の一例として、
本願出願人が特願平1ー187715号公報で提案したものがあ
る。そこでは、紫外線硬化型接着剤を液晶表示素子の一
方の基板の全面に塗布し、塗布面にマイクロレンズを押
し付けると共に、紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤
を硬化させて貼り合わせを行う。

【０００８】ここで、接着剤としては、以下に示す理由
により、上記した紫外線硬化型接着剤のような光硬化型
接着剤が好ましい。

【０００９】液晶表示素子に用いられる基板とマイク
ロレンズの基板とは材質が異なる場合があり、接着剤と
して熱硬化型樹脂を使用すると、両基板の熱膨張係数の
差によって位置ズレや剥がれを生じるおそれがある。

【００１０】常温硬化型樹脂では、光硬化型樹脂や熱
硬化型樹脂に比べて硬化時間がかかると共に、接着強度
が弱いという難点がある。

【００１１】ところで、液晶表示素子とマイクロレンズ
アレイを貼り合わせる場合には、液晶表示素子の各絵素
と、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズとを精度
よく位置合わせした後に行う必要がある。すなわち、位
置合わせ作業が前提となる。従来この種の位置合わせ
は、以下のような方法により行われていた。その一つの
方法としては、例えば液晶表示素子の両基板の貼り合わ
せに用いる方法を適用する。なお、基板の貼り合わせに
用いる方法は、貼り合わせるべき２枚の基板の貼り合わ
せ面には電極パターンがそれぞれ形成されており、両基
板の間隔（セルギャップ）を数μｍ程度に設定し、位置
決め用顕微鏡でそれぞれの基板に形成したマーカーの位
置が同時に該位置決め顕微鏡の焦点深度の範囲内に入る
ように、両基板を相対的に微動して位置合わせを行って
いる。

【００１２】他の方法としては、本願出願人が提案した
方法がある（特願平３−２００７３号）。この方法は、
非感光性波長域の光を平行光化してマトリクス型液晶表
示素子およびマイクロレンズアレイからなるワークに出
射し、該ワークを透過した光をマトリクス型液晶表示素
子の画面としてスクリーンに拡大投影し、投影像により
検査員が両者の位置合わせ状態を把握し、位置ズレを解
消する方向に位置合わせ機構を操作してスクリーン上に
映った画面が最も明るくなるようにすることで、両者を
精度よく位置合わせを行う方法である。

【００１３】このよううな方法により、位置合わせが終
了すると、液晶表示素子外周部の数カ所を瞬間接着剤で
仮止めしたり、紫外線硬化型樹脂に光を部分的に照射し
て硬化させることにより仮止めしたりした後、全体を加
熱し、液晶表示素子をシールするための熱硬化型樹脂を
本硬化して貼り合わせを行う。

【００１４】なお、位置合わせ用にマーカーを使用する
場合、マーカーを照明するための光源としてはハロゲン
ランプが使用され、紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射
するための光源には、上記ハロゲンランプとは別の光源
が使用される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような位置合わせ、貼り合わせでは以下に示すような欠
点がある。即ち、マーカーを使用して位置合わせを行う
場合、マイクロレンズが形成されている面と液晶表示素
子のパターン面が、貼り合わせの際に、該液晶表示素子
の基板１枚の厚さ分だけ隔てられているため、それぞれ
の面に位置合わせ用のマーカーを形成するものとする
と、通常の顕微鏡では両方同時にピント合わせをするこ
とが不可能であり、精度のよい位置合わせを迅速に行え
ない欠点がある。一方、スクリーンに拡大投影した投影
像に基づいて、スクリーン上に映った画面が最も明るく
なるように調節して位置合わせを行う場合には、最も良
好な状態の認識が人によって余りにも異なるため、貼り
合わせ精度や再現性に欠けるという問題があった。

【００１６】本発明はこのような従来技術の欠点を解決
するものであり、簡潔な構成で、光学素子同士の位置合
わせおよび貼り合わせを容易に、かつ正確に行える光学
素子の貼り合わせ装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の光学素子の貼り
合わせ装置は、対向配置された一組の光学素子の各々が
１次元または２次元的周期構造を有し、該一組の光学素
子を位置合わせした後、該一組の光学素子を接着する光
学素子の貼り合わせ装置において、感光性波長域をカッ
トするカットフィルタをシャッタとして備え、該シャッ
タが閉状態の時に非感光性波長域の光を出射し、該シャ
ッタが開状態の時に感光性波長域と非感光性波長域双方
の光を出射する光源装置と、該光源装置からの出射光を
一組の光学素子へ与え、該一組の光学素子を透過した光
により一組の光学素子の周期構造に応じたモアレ縞を、
これに備わったスクリーンに形成させるモアレ縞形成手
段と、該一組の光学素子の各々を相対移動可能になし、
該スクリーン上のモアレ縞の位置に基づいて該一組の光
学素子の位置合わせを行う位置合わせ機構とを備え、位
置合わせ後の該一組の光学素子の間に光硬化型接着剤を
予め又はその後供給し、該光硬化型接着剤に該光源装置
より感光性波長域の光を照射して該一組の光学素子の接
着を行う構成としてあるので、そのことにより上記目的
達成することができる。

【００１８】また、前記モアレ縞形成手段は、一組の光
学素子へ入力させるときの光の照明条件を切換える切換
手段を有し、その光の状態によりモアレ縞を発生させる
構成とすることができる。

【００１９】また、前記切換手段は、前記モアレ縞形成
手段が一組の光学素子へ与える光の光路上に設けられ、
該光路に沿って一組の光学素子に対し接離方向に移動す
るレンズで構成できる。

【００２０】また、前記切換手段は、前記モアレ縞形成
手段が一組の光学素子へ与える光の光路上の位置と、光
路を避けた位置とにわたって移動可能に設けられたレン
ズを備えた構成、又は拡散板を備えた構成にしてもよ
い。その拡散板は、マイクロレンズアレイを使用しても
よい。

【００２１】また、前記光源装置は、感光性波長域の光
と非感光性波長域の光とを発する光源を別に有し、それ
ぞれの光をダイクロイックミラーにより合成する構成と
してもよい。

【００２２】

【作用】本発明にあっては、モアレ縞形成手段に備わっ
たレンズ等の切換手段により一対の光学素子に入射する
光の状態を、例えば平行光、収束光又は発散光とするに
よって、モアレ縞をスクリーン上に発生させることがで
きる。このモアレ縞を観察しつつ、一対の光学素子の一
方を他方に対して動かし、モアレ縞の位置を予め決定し
てある所定の位置に一致させると、一対の光学素子の位
置合わせを行うことができる。その後、一対の光学素子
の間に供給された光硬化形接着剤を光により硬化させる
と貼り合わせが完了する。

【００２３】

【実施例】本発明の実施例について以下に説明する。

【００２４】実施例１図１は本発明の一実施例にかかる光学素子の貼り合わせ
装置を示しており、図２は貼り合わされたワークを示
す。ランプ１１から発光される光をシャッタ２０を通し
てフィールドレンズ１６に導き、次いで、該フィールド
レンズ１６を透過した光をマトリクス型液晶表示素子４
２とマイクロレンズアレイ４４を対向配置してなるワー
ク４０に出射し、該ワーク４０を透過した光を投影レン
ズ１７および反射鏡１８を介してマトリクス型液晶表示
素子４２の画像としてスクリーン１９上に拡大して投影
する。そして、この投影像を利用して、後述するように
してマトリクス型液晶表示素子４２とマイクロレンズア
レイ４４の位置合わせを行い、位置合わせを終了する
と、ランプ１１より感光性波長域成分を含む光をワーク
４０に出射し、予めマトリクス型液晶表示素子４２とマ
イクロレンズアレイ４４の貼り合わせ面に塗布されてい
る紫外線硬化型接着剤４３を硬化して両者の貼り合わせ
を行う概略構成をとる。

【００２５】以下各部の詳細を説明する。ランプ１１に
は、ランプ１１から発光される光を集光する楕円鏡１２
が並設される。楕円鏡１２は集光した光を反射鏡１３を
介してインテグレータ１４に導き、ここで焦点を結ぶよ
うになっている。ランプ１１としては、紫外線硬化型接
着剤４３を硬化させる短波長成分および紫外線硬化型接
着剤４３を硬化させない長波長成分の双方を含む光りを
発光する水銀ランプを採用する。ランプ１１として、他
に水銀キセノンランプやメタルハライドランプを使用す
ることも可能であり、貼り合わせのための接着剤として
可視光硬化型接着剤を使用する場合は、キセノンランプ
が好適である。なお、ランプ１１としては、位置合わせ
用と貼り合わせ用に別のランプを使用し、各ランプから
の光をダイクロイックミラーにより合成する構成として
もよい。

【００２６】加えて、反射鏡１３とインテグレータ１４
との間には、短波長カットフィルタ２１が配置される。
短波長カットフィルタ２１はこれに連結されるロータリ
ーソレノイド２２とで光学的なシャッタ２０を構成し、
ロータリーソレノイド２２で短波長カットフィルタ２１
の位置を所定位置に切り換えると、これがシャッタ２０
の閉状態として機能し、この時、ランプ１１からの光の
短波長成分をカットし、長波長成分のみの光を透過させ
る。一方、短波長カットフィルタ２１を他の位置に切り
換えると、シャッタ開状態になり、この時は、短波長成
分および長波長成分の双方を含む光を透過させる。

【００２７】インテグレータ１４の出側近傍には反射鏡
１５が配置されており、反射鏡１５で反射された光の光
路には、フィールドレンズ１６が前記光路に沿った方向
へ移動可能な状態で設けられている。フィールドレンズ
１６の移動は図示しない公知の移動手段にて行われ、こ
の移動によりフィールドレンズ１６は入射光を、収束状
態と発散状態とにわたる範囲（平行光の状態を含む）で
変換できる。フィールドレンズ１６を透過した光は、貼
り合わせ対象であるワーク４０に向けて出射される。

【００２８】ワーク４０は、図２に示すように２枚の基
板４１、４１の間に多数の絵素に対応した開口４７…が
形成されたブラックマスク４９…を有する液晶表示素子
４２と、マトリクス型液晶表示素子４２の各絵素に対応
した多数のマイクロレンズ４６…を有するマイクロレン
ズアレイ４４を対向配置してなり、両者の間に、光硬化
型樹脂からなる接着剤の一例として紫外線硬化型接着剤
４３が予め塗布されている。マトリクス型液晶表示素子
４２とマイクロレンズアレイ４４は紫外線硬化型接着剤
４３を塗布して重ね合わせられた状態で相対移動可能に
配置される。

【００２９】さて、該ワーク４０を透過した光は、投影
レンズ１７に導かれて収束され、投影レンズ１７を透過
した光は、反射鏡１８で光路を変換され、該反射鏡１８
の側方に設けられるスクリーン１９上に拡大されて投影
される。この投影された光のうち、マイクロレンズアレ
イ４４を通って液晶表示素子４２の開口４７を透過した
光部分にモアレ縞を生じる。ここで、モアレ縞は、液晶
表示素子４２の開口４７を通過しマイクロレンズ４６に
より収束された光で画面の中央付近が形成され、画面の
周辺部がブラックマトリクス４９により光が遮断される
ことで発生し、画面全体として画素が拡大されたように
見えるものである。

【００３０】上記モアレ縞は、前述したようにフィール
ドレンズ１６を前記光路に沿った方向へ移動させ、入射
光を収束状態と発散状態とにわたる範囲で変換すること
により、スクリーン１９上に発生させることができる。
例えば液晶表示素子４２における開口４７の周期構造
と、マイクロレンズアレイ４４におけるマイクロレンズ
４６の周期構造との周期が異なっている場合には、入射
光を平行光とするとよい。また、前記周期が等しい場合
は、入射光を収束光とするとよい。

【００３１】そして、発生したモアレ縞がスクリーン１
９上の所定位置に対してズレていれば、マトリクス型液
晶表示素子４２とマイクロレンズアレイ４４との位置ズ
レを検出できる。上記所定位置は、例えばマトリクス型
液晶表示素子４２とマイクロレンズアレイ４４とを正確
に位置合わせしたワーク４０を予め作製しておき、この
ワーク４０を使用して前もってスクリーン１９上に検出
しておくことにより定まる。また、計算等によっても定
めることができる。なお、モアレ縞の発生は、上記フィ
ールドレンズ１６に代えて、コリメーターレンズを使用
し、このコリメーターレンズの入射側又は出射側の光路
Ａに、凸レンズと凹レンズの何れか一方を選択して出し
入れできる構成としてもよい。

【００３２】したがって、上述した位置ズレ検出に基づ
き、所定位置にモアレ縞が位置している状態とすること
により、ワーク４０の位置合わせ作業を行うことができ
る。この位置合わせ作業は、例えば一方を固定配置し、
他方を水平面内でＸ−Ｙ−θの３軸方向に移動できる機
構からなるワーク微動機構を作業員が操作して行われ
る。

【００３３】さて、上述のように光硬化型樹脂からなる
接着剤として、紫外線硬化型接着剤４３を使用する場合
は、図２に示すように、感光性波長域である400ｎｍ以
下の紫外線をカットするフィルタ４５（図１のフィルタ
２１に相当する。）を通して平行光をワーク４０に照射
すればよい。また、紫外線硬化型接着剤４３としては、
ノーランド社製の商品名NOA-61、63、65や日本ロックタ
イト社製の商品名363、349やスリーボンド社製の商品名
AVR-100等を選択し得るが、本実施例ではNOA-61を使用
している。

【００３４】光硬化型樹脂からなる接着剤としては、他
に可視光硬化型樹脂からなる接着剤を用いることができ
る。この接着剤を使用する場合には、ワーク４０の位置
合わせ時において、該樹脂が硬化する波長の光をカット
するフィルタを使用すればよく、可視光硬化型樹脂とし
てICI社製の商品名LCRを用いる時は、可視光硬化型樹脂
を硬化させる520nm以下の波長成分をカットするフィル
タを使用すればよい。

【００３５】光硬化型接着剤として紫外線硬化型接着剤
を用いる場合、光源として紫外領域と可視領域の両方を
発光する水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハラ
イドランプ等を用いると、短波長カットフィルターで切
り替えることで位置合わせ用光源と硬化用光源を共用す
ることもできる。位置合わせ用光源を専用にするなら、
キセノンランプを使用しても良い。可視光硬化型接着剤
を用いる場合は、位置合わせ用光源は接着剤が硬化しな
い長波長領域を発光することが必要であり、前述の光源
に加えキセノンランプ等も用いられる。この場合も位置
合わせ、硬化の共用が可能である。

【００３６】上記のようにしてワーク４０の位置合わせ
が行われると、フィルタ４５を取り外す。すなわち、シ
ャッタ２０を開状態に切換え、ランプ１１から発光され
る光の短波長成分および長波長成分の双方を通過させ
る。これにより、短波長成分を含む光が紫外線硬化型接
着剤４３に照射され、該紫外線硬化型接着剤４３が硬化
してワーク４０の貼り合わせが行われる。

【００３７】上記実施例によれば、同一の光源（ランプ
１１）で、ワーク４０の位置合わせと貼り合わせが行え
るので、装置全体の小形化およびコストダウンを図る上
で都合のよいものになる。

【００３８】ワーク４０の位置合わせは以下の位置合わ
せ検出手段５０によっても行うことができる。図１に示
すように、この位置合わせ検出手段５０は、ワーク４０
を透過した光を集光する左右一対の対物レンズ５１、５
１と、該対物レンズ５１、５１を通してワーク４０を撮
像する一対のＣＣＤカメラ５２、５２および該ＣＣＤカ
メラ５２、５２からの撮像信号を所定の信号処理を行っ
て、絵素を拡大した映像を表示するモニタＴＶ５３、５
３とを有してなる。

【００３９】この位置合わせ検出手段５０による場合
は、モニタＴＶ５３、５３の映像を作業員が視認してワ
ーク４０の位置ズレを把握し、前記ワーク微動機構を操
作して位置合わせを行う。また、この位置合わせ検出手
段５０により、位置合わせを行う場合は、θ方向（対物
レンズ５１の光軸と該光軸に対して傾いて入射する平行
光がなす角度）の回転を防止するために、対物レンズ５
１およびＣＣＤカメラ５２をそれぞれ複数配置するか、
或は、これらを一体としてワーク４０のＸ−Ｙ２軸方向
に移動させ、ワーク４０の４隅をモニタできるようにす
ればよい。

【００４０】この位置合わせ検出手段５０による場合も
上記実施例と同様の効果を奏することができるが、図１
に示すように、この位置合わせ検出手段５０と上記した
スクリーン１９に投影像を拡大投影する手段を併用する
ことにしてもよい。このような実施例によれば、より一
層確実なワーク４０の位置合わせが行える。

【００４１】実施例２図３は本発明の他の実施例を示している。この実施例に
おいては、フィールドレンズ１６とワーク４０との間に
拡散板２４が配設されている。拡散板２４は、フィール
ドレンズ１６からの出射光を拡散光に変換してワーク４
０に入射させるためのものであり、フィールドレンズ１
６を経た光の光路Ａに、光路Ａを横切る方向から図示し
ない手段にて出し入れされる。

【００４２】この実施例におけるワーク４０の位置合わ
せは、フィールドレンズ１６をモアレ縞の発生する位置
に固定し、拡散板２４を光路Ａに出し入れすることによ
り前記モアレ縞の発生状態を制御し、ワーク４０の位置
合わせを行うものである。つまり、この実施例による場
合は、上述した機能を有する拡散板２４を備えているの
で、スクリーン１９上に投影された像の明るさを明るく
することができ、より正確な位置合わせが可能となる。

【００４３】上記拡散板２４としては、一般的に用いら
れるスリガラス以外に、“レモンスキン”と呼ばれる不
規則な凹凸形状を表面に形成したガラス製の拡散板、或
はマイクロレンズアレイが好適である。なお、レモンス
キンやマイクロレンズアレイを用いる場合は、スリガラ
スを用いた場合よりも、位置合わせ時にスクリーン１９
上に投影された像の明るさを、より明るくすることがで
きる利点がある。

【００４４】上記各実施例では、ワークを構成する光学
素子がマトリクス型液晶表示素子とマイクロレンズアレ
イである場合について説明したが、本発明は他の光学素
子を組み合わせてなるワークについても同様に適用でき
る。

【００４５】

【発明の効果】以上の本発明によれば、一対の光学素子
の位置合わせをモアレ縞により行うことができるので、
従来のマーカーや明度に基づいて位置合わせを行う場合
に比べて、位置合わせ及び貼り合わせをより容易にかつ
正確にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学素子の貼り合わせ装置の一実施例
を示す構成図。

【図２】液晶表示素子とマイクロレンズアレイとを示す
断面図。

【図３】本発明の他の実施例を示す構成図。

【符号の説明】

１１光源１６フィールドレンズ１９スクリーン２０シャッタ２１短波長カットフィルタ２３絞り２４拡散板４０ワーク４２マトリクス型液晶表示素子４３紫外線硬化型接着剤４４マイクロレンズアレイ４６マイクロレンズ４７開口４９ブラックマスク５０位置合わせ検出手段

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G02F 1/1339 505 G02B 27/60

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】対向配置された一組の光学素子の各々が１
次元または２次元的周期構造を有し、該一組の光学素子
を位置合わせした後、該一組の光学素子を接着する光学
素子の貼り合わせ装置において、感光性波長域をカットするカットフィルタをシャッタと
して備え、該シャッタが閉状態の時に非感光性波長域の
光を出射し、該シャッタが開状態の時に感光性波長域と
非感光性波長域双方の光を出射する光源装置と、該光源装置からの出射光を一組の光学素子へ与え、該一
組の光学素子を透過した光により一組の光学素子の周期
構造に応じたモアレ縞を、これに備わったスクリーンに
形成させるモアレ縞形成手段と、該一組の光学素子の各々を相対移動可能になし、該スク
リーン上のモアレ縞の位置に基づいて該一組の光学素子
の位置合わせを行う位置合わせ機構とを備え、位置合わ
せ後の該一組の光学素子の間に光硬化型接着剤を予め又
はその後供給し、該光硬化型接着剤に該光源装置より感
光性波長域の光を照射して該一組の光学素子の接着を行
う光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項２】前記モアレ縞形成手段が一組の光学素子へ
入力させるときの光の照明条件を切換える切換手段を有
し、その光の状態によりモアレ縞を発生させる請求項１
記載の光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項３】前記切換手段は、前記モアレ縞形成手段が
一組の光学素子へ与える光の光路上に設けられ、該光路
に沿って一組の光学素子に対し接離方向に移動するレン
ズからなる請求項２記載の光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項４】前記切換手段が、前記モアレ縞形成手段が
一組の光学素子へ与える光の光路上の位置と、光路を避
けた位置とにわたって移動可能に設けられたレンズを備
えた請求項２記載の光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項５】前記切換手段が、前記モアレ縞形成手段が
一組の光学素子へ与える光の光路上の位置と、光路を避
けた位置とにわたって移動可能に設けられた拡散板から
なる請求項２記載の光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項６】前記拡散板がマイクロレンズアレイで構成
されている請求項５記載の光学素子の貼り合わせ装置。
【請求項７】前記光源装置は、感光性波長域の光と非感
光性波長域の光とを発する光源を別に有し、それぞれの
光をダイクロイックミラーにより合成する構成とした請
求項１、２、３、４、５又は６記載の光学素子の貼り合
わせ装置。