JPH04293800A - 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 - Google Patents

電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法

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JPH04293800A
JPH04293800A JP7829491A JP7829491A JPH04293800A JP H04293800 A JPH04293800 A JP H04293800A JP 7829491 A JP7829491 A JP 7829491A JP 7829491 A JP7829491 A JP 7829491A JP H04293800 A JPH04293800 A JP H04293800A
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JP
Japan
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current
aluminum foil
etching
waveform
maximum value
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Pending
Application number
JP7829491A
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English (en)
Inventor
Yoshiaki Watanabe
吉章 渡辺
Atsushi Hibino
淳 日比野
Mitsuhiro Tamaoki
充宏 玉置
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Sumitomo Light Metal Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Light Metal Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は素材であるアルミニウム
箔を交流によって電解エッチングして電解コンデンサ用
のアルミニウム箔を製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】コンデンサ用アルミニウム箔の表面積の
増大方法として、従来から塩素イオンを含有する電解液
中で、素材であるアルミニウム箔を対向した2枚の電極
間に配置し、この電極間に正弦波形の交流を通電し、所
定の時間のエッチングを行っていた(図4参照)。この
方法は、直流エッチングに比べ密なエッチ層を持つため
、低圧用コンデンサに供せられているが、コンデンサの
より一層の小型化に寄与するには不充分である。これに
対する改善例ととして7〜20Hzの三角波を用いるこ
とが提案されているが、(特開昭62−113416号
)(図5参照)改善効果は充分ではない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電解液中で
通電する交流波形を変えて、一層効果のあるエッチング
方法を提供しようとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、 (1)塩素イオンを含む電解液中の対向した2枚の電極
間に配置したアルミニウム箔を交流エッチングする方法
において、電流波形が下記条件を満足する三角波形であ
る電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 i)アノード及びカソード半周期の電流の最大値が、半
周期の50%より前に存在し、 ii)最大値に達した後は、極性転換点で電流がゼロに
なるまで直線的に減少する。 (2)電流の最大値がアノード及びカソード半周期開始
点に存在する上記(1)項記載の電解コンデンサ用アル
ミニウム箔のエッチング方法である。本発明の上記方法
を図面を参照して具体的に説明すると、図1に示すよう
に、交流電源4 に接続され、電解液 3中に置かれた
対向電極 1の間に素材であるアルミニウム箔 2を置
き、電極 1に交流を通じてアルミニウム箔をエッチン
グするものである。本発明はこの対向電極 1に供給す
る交流電流の波形を特定したもので、その波形を第2図
で具体的に示すと、横軸で示すアノード及びカソード半
周期(t0)の50%より前(t)に縦軸に示す電流の
最大値が存在し、最大値から後は直線的に極性転換点で
電流がゼロになるまで減少するものである。このtが0
になった状態が請求項(2)の条件に相当し、図2中点
線で示したとおりである。
【0005】
【作用】ある一つのピットの形成は、時系列的にピット
核の発生と、その後に引き続く成長過程に分けられる。 これらはアノード半周期に生起されるので電流ピークが
アノード半周期の初期に位置すればするほど、ピット発
生数が多いと考えられる。従って、電流ピークが初期に
ある場合のピット発生数(n1)は、後期にある場合の
それ(n2)より大きい。一方、立方体であるピットの
辺りの長さは、周期当たりの電気量が同一であるところ
から溶解量が等しく、前者のそれ(s1)はピット発生
数がより多い結果、後者のそれ(s2)より小さくなる
。そのため、下記の数式からも導かれるように、単位サ
イクルで発生するピット壁面の総面積(An)は前者(
Al)の方が後者(A2)より大きくなる。つまり、電
流ピークが初期にあればあるほど静電容量が増加するの
であろう。   s13・n1=s23・n2   A1−A2=6・(s12・n1−s22・n2)
=6・s12・n1(2/3){n1(1/3)−n2
(1/3)}>0(∵n1>n2) 以下実施例によって本発明を具体的に説明する
【000
6】
【実施例】各試験例とも電流波形のみを変えて、その他
の条件は下記のとおりの共通の条件で行った。共通の条
件 素材アルミニウム箔:99.99%、軟質電解液の組成
:1.3N HCl−0.3M AlCl3温度:40
℃ 平均電流密度:0.3A/cm2 周波数:20Hz アノード通電量:90c/cm2 エッチングをした箔を60℃の15%アジピン酸アンモ
ニウム系水溶液中で20Vの電圧を30分間印加して化
成した箔の静電容量を測定し、基準として正弦波でエッ
チングした試料の静電容量を100とし、それに対する
各試験例とその波形を下記の表に示し、その結果を図3
に示す。
【0007】
【表】
【0008】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法でエ
ッチングをすると静電容量が優れたアルミニウム箔をつ
くることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方法を実施するための装置の模式図、
【図2】本発明の電流波形を説明するためのグラフ、

図3】実施例の各試験で作製した試料の静電容量と電流
の波形との関係を示すグラフ、
【図4】
【図5】従来例の電流波形(それぞれ、正弦波と三角波
)を示すグラフである。
【符号の説明】
1…対向電極 2…アルミニウム箔 3…電解液 4…交流電源

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  塩素イオンを含む電解液中の対向した
    2枚の電極間に配置したアルミニウム箔を交流エッチン
    グする方法において、電流波形が下記条件を満足する三
    角波形であることを特徴とする電解コンデンサ用アルミ
    ニウム箔のエッチング方法。 i)アノード及びカソード半周期の電流の最大値が、半
    周期の50%より前に存在し、 ii)最大値に達した後は、極性転換点で電流がゼロに
    なるまで直線的に減少する。
  2. 【請求項2】  電流の最大値がアノード及びカソード
    半周期開始点に存在することを特徴とする請求項(1)
    記載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方
    法。
JP7829491A 1991-03-19 1991-03-19 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 Pending JPH04293800A (ja)

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51142441A (en) * 1975-06-04 1976-12-08 Fujitsu Ltd Method of producing porous anodic elements of aluminum
JPS6033398A (ja) * 1983-08-04 1985-02-20 Fuji Photo Film Co Ltd 電解処理方法
JPS6221079A (ja) * 1985-07-19 1987-01-29 Koichi Yoshida フラツト形探針のテストヘツド
JPS62113416A (ja) * 1985-11-13 1987-05-25 エルナ−株式会社 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法
JPS6398116A (ja) * 1986-10-14 1988-04-28 長井電子工業協同組合 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法

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