JPH04293800A - 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 - Google Patents
電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法Info
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- JPH04293800A JPH04293800A JP7829491A JP7829491A JPH04293800A JP H04293800 A JPH04293800 A JP H04293800A JP 7829491 A JP7829491 A JP 7829491A JP 7829491 A JP7829491 A JP 7829491A JP H04293800 A JPH04293800 A JP H04293800A
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は素材であるアルミニウム
箔を交流によって電解エッチングして電解コンデンサ用
のアルミニウム箔を製造する方法に関する。
箔を交流によって電解エッチングして電解コンデンサ用
のアルミニウム箔を製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】コンデンサ用アルミニウム箔の表面積の
増大方法として、従来から塩素イオンを含有する電解液
中で、素材であるアルミニウム箔を対向した2枚の電極
間に配置し、この電極間に正弦波形の交流を通電し、所
定の時間のエッチングを行っていた(図4参照)。この
方法は、直流エッチングに比べ密なエッチ層を持つため
、低圧用コンデンサに供せられているが、コンデンサの
より一層の小型化に寄与するには不充分である。これに
対する改善例ととして7〜20Hzの三角波を用いるこ
とが提案されているが、(特開昭62−113416号
)(図5参照)改善効果は充分ではない。
増大方法として、従来から塩素イオンを含有する電解液
中で、素材であるアルミニウム箔を対向した2枚の電極
間に配置し、この電極間に正弦波形の交流を通電し、所
定の時間のエッチングを行っていた(図4参照)。この
方法は、直流エッチングに比べ密なエッチ層を持つため
、低圧用コンデンサに供せられているが、コンデンサの
より一層の小型化に寄与するには不充分である。これに
対する改善例ととして7〜20Hzの三角波を用いるこ
とが提案されているが、(特開昭62−113416号
)(図5参照)改善効果は充分ではない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電解液中で
通電する交流波形を変えて、一層効果のあるエッチング
方法を提供しようとするものである。
通電する交流波形を変えて、一層効果のあるエッチング
方法を提供しようとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、 (1)塩素イオンを含む電解液中の対向した2枚の電極
間に配置したアルミニウム箔を交流エッチングする方法
において、電流波形が下記条件を満足する三角波形であ
る電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 i)アノード及びカソード半周期の電流の最大値が、半
周期の50%より前に存在し、 ii)最大値に達した後は、極性転換点で電流がゼロに
なるまで直線的に減少する。 (2)電流の最大値がアノード及びカソード半周期開始
点に存在する上記(1)項記載の電解コンデンサ用アル
ミニウム箔のエッチング方法である。本発明の上記方法
を図面を参照して具体的に説明すると、図1に示すよう
に、交流電源4 に接続され、電解液 3中に置かれた
対向電極 1の間に素材であるアルミニウム箔 2を置
き、電極 1に交流を通じてアルミニウム箔をエッチン
グするものである。本発明はこの対向電極 1に供給す
る交流電流の波形を特定したもので、その波形を第2図
で具体的に示すと、横軸で示すアノード及びカソード半
周期(t0)の50%より前(t)に縦軸に示す電流の
最大値が存在し、最大値から後は直線的に極性転換点で
電流がゼロになるまで減少するものである。このtが0
になった状態が請求項(2)の条件に相当し、図2中点
線で示したとおりである。
の本発明の構成は、 (1)塩素イオンを含む電解液中の対向した2枚の電極
間に配置したアルミニウム箔を交流エッチングする方法
において、電流波形が下記条件を満足する三角波形であ
る電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 i)アノード及びカソード半周期の電流の最大値が、半
周期の50%より前に存在し、 ii)最大値に達した後は、極性転換点で電流がゼロに
なるまで直線的に減少する。 (2)電流の最大値がアノード及びカソード半周期開始
点に存在する上記(1)項記載の電解コンデンサ用アル
ミニウム箔のエッチング方法である。本発明の上記方法
を図面を参照して具体的に説明すると、図1に示すよう
に、交流電源4 に接続され、電解液 3中に置かれた
対向電極 1の間に素材であるアルミニウム箔 2を置
き、電極 1に交流を通じてアルミニウム箔をエッチン
グするものである。本発明はこの対向電極 1に供給す
る交流電流の波形を特定したもので、その波形を第2図
で具体的に示すと、横軸で示すアノード及びカソード半
周期(t0)の50%より前(t)に縦軸に示す電流の
最大値が存在し、最大値から後は直線的に極性転換点で
電流がゼロになるまで減少するものである。このtが0
になった状態が請求項(2)の条件に相当し、図2中点
線で示したとおりである。
【0005】
【作用】ある一つのピットの形成は、時系列的にピット
核の発生と、その後に引き続く成長過程に分けられる。 これらはアノード半周期に生起されるので電流ピークが
アノード半周期の初期に位置すればするほど、ピット発
生数が多いと考えられる。従って、電流ピークが初期に
ある場合のピット発生数(n1)は、後期にある場合の
それ(n2)より大きい。一方、立方体であるピットの
辺りの長さは、周期当たりの電気量が同一であるところ
から溶解量が等しく、前者のそれ(s1)はピット発生
数がより多い結果、後者のそれ(s2)より小さくなる
。そのため、下記の数式からも導かれるように、単位サ
イクルで発生するピット壁面の総面積(An)は前者(
Al)の方が後者(A2)より大きくなる。つまり、電
流ピークが初期にあればあるほど静電容量が増加するの
であろう。 s13・n1=s23・n2 A1−A2=6・(s12・n1−s22・n2)
=6・s12・n1(2/3){n1(1/3)−n2
(1/3)}>0(∵n1>n2) 以下実施例によって本発明を具体的に説明する
核の発生と、その後に引き続く成長過程に分けられる。 これらはアノード半周期に生起されるので電流ピークが
アノード半周期の初期に位置すればするほど、ピット発
生数が多いと考えられる。従って、電流ピークが初期に
ある場合のピット発生数(n1)は、後期にある場合の
それ(n2)より大きい。一方、立方体であるピットの
辺りの長さは、周期当たりの電気量が同一であるところ
から溶解量が等しく、前者のそれ(s1)はピット発生
数がより多い結果、後者のそれ(s2)より小さくなる
。そのため、下記の数式からも導かれるように、単位サ
イクルで発生するピット壁面の総面積(An)は前者(
Al)の方が後者(A2)より大きくなる。つまり、電
流ピークが初期にあればあるほど静電容量が増加するの
であろう。 s13・n1=s23・n2 A1−A2=6・(s12・n1−s22・n2)
=6・s12・n1(2/3){n1(1/3)−n2
(1/3)}>0(∵n1>n2) 以下実施例によって本発明を具体的に説明する
【000
6】
6】
【実施例】各試験例とも電流波形のみを変えて、その他
の条件は下記のとおりの共通の条件で行った。共通の条
件 素材アルミニウム箔:99.99%、軟質電解液の組成
:1.3N HCl−0.3M AlCl3温度:40
℃ 平均電流密度:0.3A/cm2 周波数:20Hz アノード通電量:90c/cm2 エッチングをした箔を60℃の15%アジピン酸アンモ
ニウム系水溶液中で20Vの電圧を30分間印加して化
成した箔の静電容量を測定し、基準として正弦波でエッ
チングした試料の静電容量を100とし、それに対する
各試験例とその波形を下記の表に示し、その結果を図3
に示す。
の条件は下記のとおりの共通の条件で行った。共通の条
件 素材アルミニウム箔:99.99%、軟質電解液の組成
:1.3N HCl−0.3M AlCl3温度:40
℃ 平均電流密度:0.3A/cm2 周波数:20Hz アノード通電量:90c/cm2 エッチングをした箔を60℃の15%アジピン酸アンモ
ニウム系水溶液中で20Vの電圧を30分間印加して化
成した箔の静電容量を測定し、基準として正弦波でエッ
チングした試料の静電容量を100とし、それに対する
各試験例とその波形を下記の表に示し、その結果を図3
に示す。
【0007】
【表】
【0008】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法でエ
ッチングをすると静電容量が優れたアルミニウム箔をつ
くることができる。
ッチングをすると静電容量が優れたアルミニウム箔をつ
くることができる。
【図1】本発明の方法を実施するための装置の模式図、
【図2】本発明の電流波形を説明するためのグラフ、
【
図3】実施例の各試験で作製した試料の静電容量と電流
の波形との関係を示すグラフ、
図3】実施例の各試験で作製した試料の静電容量と電流
の波形との関係を示すグラフ、
【図4】
【図5】従来例の電流波形(それぞれ、正弦波と三角波
)を示すグラフである。
)を示すグラフである。
1…対向電極
2…アルミニウム箔
3…電解液
4…交流電源
Claims (2)
- 【請求項1】 塩素イオンを含む電解液中の対向した
2枚の電極間に配置したアルミニウム箔を交流エッチン
グする方法において、電流波形が下記条件を満足する三
角波形であることを特徴とする電解コンデンサ用アルミ
ニウム箔のエッチング方法。 i)アノード及びカソード半周期の電流の最大値が、半
周期の50%より前に存在し、 ii)最大値に達した後は、極性転換点で電流がゼロに
なるまで直線的に減少する。 - 【請求項2】 電流の最大値がアノード及びカソード
半周期開始点に存在することを特徴とする請求項(1)
記載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7829491A JPH04293800A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7829491A JPH04293800A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04293800A true JPH04293800A (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=13657917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7829491A Pending JPH04293800A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04293800A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51142441A (en) * | 1975-06-04 | 1976-12-08 | Fujitsu Ltd | Method of producing porous anodic elements of aluminum |
JPS6033398A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電解処理方法 |
JPS6221079A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Koichi Yoshida | フラツト形探針のテストヘツド |
JPS62113416A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | エルナ−株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
JPS6398116A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | 長井電子工業協同組合 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP7829491A patent/JPH04293800A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51142441A (en) * | 1975-06-04 | 1976-12-08 | Fujitsu Ltd | Method of producing porous anodic elements of aluminum |
JPS6033398A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電解処理方法 |
JPS6221079A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Koichi Yoshida | フラツト形探針のテストヘツド |
JPS62113416A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | エルナ−株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
JPS6398116A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | 長井電子工業協同組合 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエツチング方法 |
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