JPH04293222A - 金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
金属化フィルムの製造方法Info
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- JPH04293222A JPH04293222A JP3058531A JP5853191A JPH04293222A JP H04293222 A JPH04293222 A JP H04293222A JP 3058531 A JP3058531 A JP 3058531A JP 5853191 A JP5853191 A JP 5853191A JP H04293222 A JPH04293222 A JP H04293222A
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- film
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- 239000011104 metalized film Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 39
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 39
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンデンサ用電極の厚
さ変動の抑制に有効な蒸発源装置を用いてフィルムの表
面に電極を形成する金属化フィルムの製造方法に関する
。
さ変動の抑制に有効な蒸発源装置を用いてフィルムの表
面に電極を形成する金属化フィルムの製造方法に関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空蒸着法による金属化フィルム
の製造方法においては、図８に示すような蒸発源装置２
１の上部にスリット状の開口２２を設け、内部に発生し
た蒸発金属、例えば亜鉛の蒸気をその開口部から吐出さ
せ、その上部に走行しているフィルム（誘電体）に亜鉛
を蒸着する方法が一般的に知られている。
の製造方法においては、図８に示すような蒸発源装置２
１の上部にスリット状の開口２２を設け、内部に発生し
た蒸発金属、例えば亜鉛の蒸気をその開口部から吐出さ
せ、その上部に走行しているフィルム（誘電体）に亜鉛
を蒸着する方法が一般的に知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
において、フィルムの幅方向の金属膜厚を均一化するた
めには、開口部の幅を均一に調整する必要があるが、従
来の方法では、蒸発源装置の熱影響により伸びが発生し
て開口部のスリット幅が変化し、中央部付近が狭くなる
傾向にある。このスリット状開口部の幅は５ｍｍ前後と
狭く、開口幅の変化が金属膜厚の均一性に大きく起因し
、金属膜圧のばらつきが発生した。特にフィルム幅が５
００ｍｍ以上になる場合にはこの現象が顕著に現れてい
た。
において、フィルムの幅方向の金属膜厚を均一化するた
めには、開口部の幅を均一に調整する必要があるが、従
来の方法では、蒸発源装置の熱影響により伸びが発生し
て開口部のスリット幅が変化し、中央部付近が狭くなる
傾向にある。このスリット状開口部の幅は５ｍｍ前後と
狭く、開口幅の変化が金属膜厚の均一性に大きく起因し
、金属膜圧のばらつきが発生した。特にフィルム幅が５
００ｍｍ以上になる場合にはこの現象が顕著に現れてい
た。
【０００４】本発明は、上記従来の技術における問題点
を解決するとともに、金属膜厚を精度よく制御すること
を目的とする。
を解決するとともに、金属膜厚を精度よく制御すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、溶融金属が真空中に噴出するスリット状の
開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋絡す
るマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いてフィ
ルムの片面または両面に電極を形成するものである。
に本発明は、溶融金属が真空中に噴出するスリット状の
開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋絡す
るマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いてフィ
ルムの片面または両面に電極を形成するものである。
【０００６】
【作用】上記手段により、蒸発源装置の熱膨脹による開
口幅の寸法変化が抑制され、併せて、橋絡マスクを電極
の薄手化用マスキングにも兼用することができる。
口幅の寸法変化が抑制され、併せて、橋絡マスクを電極
の薄手化用マスキングにも兼用することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【０００８】図１は蒸発源装置１の構造を示したもので
、エバポレーターチューブ２の内部にるつぼ３および蒸
発金属４を配している。エバポレーターチューブ２の外
周にはヒーター５が設けられ、幅方向に長細いスリット
状の開口部６が形成され、その開口部６の長さ方向に沿
ってその短形方向を任意の間隔で橋絡するマスク７が配
されている。エバポレーターチューブ２内の金属４はヒ
ーター５からの熱により溶融，帰化し開口部６を介して
蒸発される構造となっている。
、エバポレーターチューブ２の内部にるつぼ３および蒸
発金属４を配している。エバポレーターチューブ２の外
周にはヒーター５が設けられ、幅方向に長細いスリット
状の開口部６が形成され、その開口部６の長さ方向に沿
ってその短形方向を任意の間隔で橋絡するマスク７が配
されている。エバポレーターチューブ２内の金属４はヒ
ーター５からの熱により溶融，帰化し開口部６を介して
蒸発される構造となっている。
【０００９】図２は上記蒸発源装置１を真空蒸着機に設
置した概略正面図で、巻出し部８から出たフィルム９は
オイルマージンノズル１０を介してオイルを塗布され、
その後蒸着核形成用の蒸発源１１を通過し、本蒸発源装
置１上を通り巻取り部１２に巻取られる。
置した概略正面図で、巻出し部８から出たフィルム９は
オイルマージンノズル１０を介してオイルを塗布され、
その後蒸着核形成用の蒸発源１１を通過し、本蒸発源装
置１上を通り巻取り部１２に巻取られる。
【００１０】図３は蒸発源装置１上を通過したフィルム
９と蒸発源装置１との関係を示した図であり、図におい
て、４ａはフィルム９の片面に蒸着された蒸着金属（電
極）、１０ａは幅５ｍｍ程度のオイルマージン部であり
、マスク７の幅は２ｍｍ程度である。
９と蒸発源装置１との関係を示した図であり、図におい
て、４ａはフィルム９の片面に蒸着された蒸着金属（電
極）、１０ａは幅５ｍｍ程度のオイルマージン部であり
、マスク７の幅は２ｍｍ程度である。
【００１１】金属化フィルムの製造方法において、図８
に示すような従来の蒸発源装置２１を使用すると、その
開口部は熱影響により破線のような変形が発生し、フィ
ルム幅方向の蒸着膜厚（表面抵抗値）のばらつきは例え
ば平均膜厚９Ω／ｃｍ２の時、図４（ａ）に示すように
±３０％にも達するが、本発明による蒸着源装置１の開
口部６について試験したところ、変動は図４（ｂ）に示
すように±１０％以内と大幅に改良することができた。
に示すような従来の蒸発源装置２１を使用すると、その
開口部は熱影響により破線のような変形が発生し、フィ
ルム幅方向の蒸着膜厚（表面抵抗値）のばらつきは例え
ば平均膜厚９Ω／ｃｍ２の時、図４（ａ）に示すように
±３０％にも達するが、本発明による蒸着源装置１の開
口部６について試験したところ、変動は図４（ｂ）に示
すように±１０％以内と大幅に改良することができた。
【００１２】図５，図６はともに本発明の応用を示した
ものである。各図において、（ａ）は蒸発源装置の平面
図、（ｂ）は金属化フィルムの正面図である。一方、図
７のように蒸発源装置の開口部を広げることにより段つ
き形状の蒸着パターンが得られることが知られているが
、この方法では蒸発源装置と走行するフィルムの間の間
隙で図７（ｂ）のように段つき部が広がる欠点がある。 しかし、開口部を図５（ａ）のようなパターンにするこ
とにより極細の段つき部および薄膜部を得ることができ
る。また図６（ｂ）のように逆に蒸着膜の薄い部分を設
けることもできる。
ものである。各図において、（ａ）は蒸発源装置の平面
図、（ｂ）は金属化フィルムの正面図である。一方、図
７のように蒸発源装置の開口部を広げることにより段つ
き形状の蒸着パターンが得られることが知られているが
、この方法では蒸発源装置と走行するフィルムの間の間
隙で図７（ｂ）のように段つき部が広がる欠点がある。 しかし、開口部を図５（ａ）のようなパターンにするこ
とにより極細の段つき部および薄膜部を得ることができ
る。また図６（ｂ）のように逆に蒸着膜の薄い部分を設
けることもできる。
【００１３】なお、本発明の実施例で説明したフィルム
９はプラスチックフィルムに限らず、フィルム状の誘電
体であれば何でもよい。
９はプラスチックフィルムに限らず、フィルム状の誘電
体であれば何でもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
は、蒸発源装置から溶融金属が蒸気となって噴出するス
リット状の開口部に長さ方向に沿って任意の間隔で橋絡
するマスクを設けることにより、スリットの幅方向寸法
変化を抑制し、膜厚さの変動が減少するコンデンサ電極
ひいては特性のよい金属化フィルムを得ることができ、
また、橋絡マスクを応用して電極膜厚さを精度よく制御
することも可能である。
は、蒸発源装置から溶融金属が蒸気となって噴出するス
リット状の開口部に長さ方向に沿って任意の間隔で橋絡
するマスクを設けることにより、スリットの幅方向寸法
変化を抑制し、膜厚さの変動が減少するコンデンサ電極
ひいては特性のよい金属化フィルムを得ることができ、
また、橋絡マスクを応用して電極膜厚さを精度よく制御
することも可能である。
【図１】本発明の金属化フィルムの製造方法に使用する
蒸発源装置の斜視図
蒸発源装置の斜視図
【図２】同蒸発源装置を使用する真空蒸着機のフィルム
走行系の概略正面図
走行系の概略正面図
【図３】同蒸発源装置とその蒸発源装置によって製造さ
れた金属化フィルムとの関係を示す図
れた金属化フィルムとの関係を示す図
【図４】（ａ）従来の蒸発源装置とその蒸発源装置によ
って製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの
電極の表面抵抗値との関係を示す図 （ｂ）本発明による蒸発源装置とその蒸発源装置によっ
て製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの電
極の表面抵抗値との関係を示す図
って製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの
電極の表面抵抗値との関係を示す図 （ｂ）本発明による蒸発源装置とその蒸発源装置によっ
て製造された金属化フィルムとその金属化フィルムの電
極の表面抵抗値との関係を示す図
【図５】（ａ）本発明による蒸発源装置の他の実施例の
平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
【図６】（ａ）本発明による蒸発源装置のさらに他の実
施例の平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
施例の平面図 （ｂ）同蒸発源装置によって製造された金属化フィルム
の正面図
【図７】（ａ）従来の蒸発源装置の平面図（ｂ）同蒸発
源装置によって製造された金属化フィルムの正面図
源装置によって製造された金属化フィルムの正面図
【図８】従来の蒸発源装置の他の例の平面図
１ 蒸発源装置
３ るつぼ
４ 蒸発金属
６ スリット状の開口部
７ マスク
９ フィルム
Claims (1)
- 【請求項１】 溶融金属が真空中に噴出するスリット
状の開口部の長さ方向に沿ってスリットの短形方向を橋
絡するマスクを任意の間隔で設けた蒸発源装置を用いて
フィルムの片面または両面に電極を形成することを特徴
とする金属化フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058531A JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3058531A JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04293222A true JPH04293222A (ja) | 1992-10-16 |
| JPH0793249B2 JPH0793249B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13087017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3058531A Expired - Lifetime JPH0793249B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793249B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008542537A (ja) * | 2005-05-31 | 2008-11-27 | コラス、テクノロジー、ベスローテン、フェンノートシャップ | 基材を被覆する装置および方法 |
| WO2017018314A1 (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | シャープ株式会社 | 蒸着源、蒸着装置および蒸着膜製造方法 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3058531A patent/JPH0793249B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008542537A (ja) * | 2005-05-31 | 2008-11-27 | コラス、テクノロジー、ベスローテン、フェンノートシャップ | 基材を被覆する装置および方法 |
| WO2017018314A1 (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | シャープ株式会社 | 蒸着源、蒸着装置および蒸着膜製造方法 |
| JPWO2017018314A1 (ja) * | 2015-07-28 | 2018-04-05 | シャープ株式会社 | 蒸着源、蒸着装置および蒸着膜製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0793249B2 (ja) | 1995-10-09 |
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