JPH0594924A - 段付蒸着フイルムの製造方法 - Google Patents
段付蒸着フイルムの製造方法Info
- Publication number
- JPH0594924A JPH0594924A JP25514991A JP25514991A JPH0594924A JP H0594924 A JPH0594924 A JP H0594924A JP 25514991 A JP25514991 A JP 25514991A JP 25514991 A JP25514991 A JP 25514991A JP H0594924 A JPH0594924 A JP H0594924A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition film
- low resistance
- stepped
- stepped vapor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 メタリコンと接触する部分の低抵抗値のばら
つきを小さくする段付蒸着フィルムの製造方法の提供を
目的とする。 【構成】 固定マスク６の低抵抗部３を形成する開口部
１の中央部を両端部より狭くすることにより厚さの均一
な低抵抗部３が形成され、メタリコン１７と接触する部
分４の低抵抗値のばらつきが小さくなる。
つきを小さくする段付蒸着フィルムの製造方法の提供を
目的とする。 【構成】 固定マスク６の低抵抗部３を形成する開口部
１の中央部を両端部より狭くすることにより厚さの均一
な低抵抗部３が形成され、メタリコン１７と接触する部
分４の低抵抗値のばらつきが小さくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は段付蒸着フィルムコンデ
ンサなどに用いる段付蒸着フィルムの製造方法に関す
る。
ンサなどに用いる段付蒸着フィルムの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、段付蒸着フィルムコンデンサに用
いる段付蒸着フィルムは、図４に示すように蒸発源から
噴出した蒸発金属９を高抵抗を形成する狭い開口部１０
と低抵抗を形成する広い開口部１１を有する固定マスク
１２によって遮蔽し、クーリングキャン１３上のフィル
ム１４に付着する蒸発金属量を調整することにより形成
されている蒸着膜１５と、オイルにより蒸発金属を付着
しないようにしたマージン１６からなる広幅の蒸着フィ
ルムを所定の幅にスリットすることにより形成されてい
た。
いる段付蒸着フィルムは、図４に示すように蒸発源から
噴出した蒸発金属９を高抵抗を形成する狭い開口部１０
と低抵抗を形成する広い開口部１１を有する固定マスク
１２によって遮蔽し、クーリングキャン１３上のフィル
ム１４に付着する蒸発金属量を調整することにより形成
されている蒸着膜１５と、オイルにより蒸発金属を付着
しないようにしたマージン１６からなる広幅の蒸着フィ
ルムを所定の幅にスリットすることにより形成されてい
た。
【０００３】図５（Ａ）は従来例のマスクの形状を示
し、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のマスクにより形成される
広幅の段付蒸着フィルムの断面図を示す。図５（Ｃ）は
図５（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリ
ットし巻回積層されてなる段付蒸着フィルムコンデンサ
の断面図を示す。
し、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のマスクにより形成される
広幅の段付蒸着フィルムの断面図を示す。図５（Ｃ）は
図５（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリ
ットし巻回積層されてなる段付蒸着フィルムコンデンサ
の断面図を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成で形成された段付蒸着フィルムは蒸発金属が拡散して
いるため図５（Ｂ）に示すような山状の抵抗値分布とな
っており、所定の幅でスリットした場合山状の中央部で
スリットすることは非常に難しく、実際には蒸着時の熱
収縮やフィルム走行時の蛇行などによる寸法変化のため
にスリットする場所が変化し、図５（Ｃ）に示すような
電極引き出し時にメタリコン１７と接触する部分１８の
抵抗値がばらつくという課題を有していた。
成で形成された段付蒸着フィルムは蒸発金属が拡散して
いるため図５（Ｂ）に示すような山状の抵抗値分布とな
っており、所定の幅でスリットした場合山状の中央部で
スリットすることは非常に難しく、実際には蒸着時の熱
収縮やフィルム走行時の蛇行などによる寸法変化のため
にスリットする場所が変化し、図５（Ｃ）に示すような
電極引き出し時にメタリコン１７と接触する部分１８の
抵抗値がばらつくという課題を有していた。
【０００５】本発明は、上記課題を解決し、メタリコン
と接触する部分の低抵抗値のばらつきを小さくする段付
蒸着フィルムの製造方法の提供を目的とする。
と接触する部分の低抵抗値のばらつきを小さくする段付
蒸着フィルムの製造方法の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の段付蒸着フィルムの製造方法は、低抵抗部
を形成するマスク開口部の中央部を両端部より狭くした
固定マスクを用いる。
めに本発明の段付蒸着フィルムの製造方法は、低抵抗部
を形成するマスク開口部の中央部を両端部より狭くした
固定マスクを用いる。
【０００７】
【作用】上記の構成によれば、低抵抗部を形成するマス
ク開口部の中央部が両端部より狭くなっているため、フ
ィルムの中央部に付着する蒸発金属が規制されて厚さの
均一な低抵抗部が形成される。
ク開口部の中央部が両端部より狭くなっているため、フ
ィルムの中央部に付着する蒸発金属が規制されて厚さの
均一な低抵抗部が形成される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００９】図１（Ａ）は本実施例のマスクの形状を示
す。図１（Ｂ）は図１（Ａ）のマスクにより形成された
広幅の段付蒸着フィルムの断面図を示す。図１（Ｃ）は
上記広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻
回積層されてなる段付蒸着フィルムコンデンサの断面図
を示す。
す。図１（Ｂ）は図１（Ａ）のマスクにより形成された
広幅の段付蒸着フィルムの断面図を示す。図１（Ｃ）は
上記広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻
回積層されてなる段付蒸着フィルムコンデンサの断面図
を示す。
【００１０】図１（Ａ）のマスクの低抵抗部を形成する
開口部１から噴出した蒸発金属は両端部を中心に拡散す
るため、図１（Ｂ）に示すように開口部の外側２では徐
々に蒸発金属の付着量が少なくなり、開口部の中央部３
では両端部からの拡散した蒸発金属と中央部からの蒸発
金属が付着し開口部と同一幅の均一な低抵抗部が形成さ
れる。以上のように形成された広幅の段付蒸着フィルム
を所定の幅にスリットし巻回積層してなる段付蒸着フィ
ルムコンデンサは図１（Ｃ）に示されるようなメタリコ
ン１７と接触する部分４の抵抗値が均一なものとなる。
開口部１から噴出した蒸発金属は両端部を中心に拡散す
るため、図１（Ｂ）に示すように開口部の外側２では徐
々に蒸発金属の付着量が少なくなり、開口部の中央部３
では両端部からの拡散した蒸発金属と中央部からの蒸発
金属が付着し開口部と同一幅の均一な低抵抗部が形成さ
れる。以上のように形成された広幅の段付蒸着フィルム
を所定の幅にスリットし巻回積層してなる段付蒸着フィ
ルムコンデンサは図１（Ｃ）に示されるようなメタリコ
ン１７と接触する部分４の抵抗値が均一なものとなる。
【００１１】なお、本実施例は図１（Ａ）のマスクを用
いたが、図２（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すような低抵
抗部を形成するマスク開口部の中央部を両端部より狭く
した固定マスク６を用いても同様の効果が得られる。
いたが、図２（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すような低抵
抗部を形成するマスク開口部の中央部を両端部より狭く
した固定マスク６を用いても同様の効果が得られる。
【００１２】また、本実施例は蒸発源より固定マスクを
離して使用したが、図３に示すように固定マスク６を蒸
発源８に直接取り付けてノズルとして使用しても同様の
効果が得られる。
離して使用したが、図３に示すように固定マスク６を蒸
発源８に直接取り付けてノズルとして使用しても同様の
効果が得られる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明の製造方法によれば
蒸着膜に厚さの均一な低抵抗部が形成されるのでメタリ
コンと接触する部分の抵抗値のばらつきが小さくなり、
したがってコンデンサに用いる金属化フィルムに適用し
てその工業的価値は大である。
蒸着膜に厚さの均一な低抵抗部が形成されるのでメタリ
コンと接触する部分の抵抗値のばらつきが小さくなり、
したがってコンデンサに用いる金属化フィルムに適用し
てその工業的価値は大である。
【図１】（Ａ）は本発明の実施例における固定マスクの
上面図 （Ｂ）は本発明の実施例における広幅の段付蒸着フィル
ムの断面図 （Ｃ）は本発明の実施例における段付蒸着フィルムコン
デンサの断面図
上面図 （Ｂ）は本発明の実施例における広幅の段付蒸着フィル
ムの断面図 （Ｃ）は本発明の実施例における段付蒸着フィルムコン
デンサの断面図
【図２】（Ａ）は本発明の他の実施例における固定マス
クの上面図 （Ｂ）はさらに他の実施例の固定マスクの上面図 （Ｃ）はさらに別の実施例の固定マスクの上面図
クの上面図 （Ｂ）はさらに他の実施例の固定マスクの上面図 （Ｃ）はさらに別の実施例の固定マスクの上面図
【図３】本発明の実施例における段付蒸着フィルムの製
造方法を説明するための斜視図
造方法を説明するための斜視図
【図４】従来の段付蒸着フィルムの製造方法を説明する
ための傾斜図
ための傾斜図
【図５】（Ａ）は従来例における固定マスクの上面図 （Ｂ）は従来例における広幅の段付蒸着フィルムの断面
図 （Ｃ）は従来例における段付蒸着フィルムコンデンサの
断面図
図 （Ｃ）は従来例における段付蒸着フィルムコンデンサの
断面図
【符号の説明】 １ マスク開口部 ３ 低抵抗部 ６ 固定マスク １４ フィルム
Claims (1)
- 【請求項１】フィルム上の蒸着膜に高抵抗部と低抵抗部
を固定マスクを用いて形成する段付蒸着フィルムの製造
方法において前記低抵抗部を形成する開口部の中央部を
両端部より狭くした固定マスクを用いることを特徴とす
る段付蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25514991A JP2697407B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 段付蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25514991A JP2697407B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 段付蒸着フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594924A true JPH0594924A (ja) | 1993-04-16 |
| JP2697407B2 JP2697407B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=17274761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25514991A Expired - Fee Related JP2697407B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 段付蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2697407B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453906A (en) * | 1993-10-21 | 1995-09-26 | Philips Electronics North America Corporation | Metallized film series section capacitor with improved oxidation resistance |
| EP0813213A1 (en) * | 1996-06-10 | 1997-12-17 | Aerovox Incorporated | Electrode patterning in metallized film capacitors |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25514991A patent/JP2697407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5453906A (en) * | 1993-10-21 | 1995-09-26 | Philips Electronics North America Corporation | Metallized film series section capacitor with improved oxidation resistance |
| EP0813213A1 (en) * | 1996-06-10 | 1997-12-17 | Aerovox Incorporated | Electrode patterning in metallized film capacitors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2697407B2 (ja) | 1998-01-14 |
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