JPS58151011A - コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 - Google Patents
コンデンサ用金属化フイルムの製造方法Info
- Publication number
- JPS58151011A JPS58151011A JP3338982A JP3338982A JPS58151011A JP S58151011 A JPS58151011 A JP S58151011A JP 3338982 A JP3338982 A JP 3338982A JP 3338982 A JP3338982 A JP 3338982A JP S58151011 A JPS58151011 A JP S58151011A
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- oil
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はコンデンサ用金属化フィルムの製造における非
蒸着部分の形成方法に関するものである。
蒸着部分の形成方法に関するものである。
絶縁フィルムへの金属層の付着は、一般的には真空蒸着
により亜鉛またはアルミニウムを付着することにより行
われる。このような金属化フィルムにおいては、金属化
さ゛れた面は正確に規定された寸法を有さなければなら
ない。まだ、金属化フィルム上に金属化されない非蒸着
部分を残しておくことは、コンデンサの短絡防止のだめ
必要である。
により亜鉛またはアルミニウムを付着することにより行
われる。このような金属化フィルムにおいては、金属化
さ゛れた面は正確に規定された寸法を有さなければなら
ない。まだ、金属化フィルム上に金属化されない非蒸着
部分を残しておくことは、コンデンサの短絡防止のだめ
必要である。
しかしながら、この非蒸着部分はコンデンサの静電容量
に全く寄与しない部分であシ、いわゆるロスになる部分
である。従って、コンデンサを小型化するためには、よ
り狭くかつ精度の良い非蒸着部分の形成方法を開発する
必要がある。
に全く寄与しない部分であシ、いわゆるロスになる部分
である。従って、コンデンサを小型化するためには、よ
り狭くかつ精度の良い非蒸着部分の形成方法を開発する
必要がある。
この非蒸着部分の形成は、蒸着工程中において、連続進
行する基板上に、金属蒸着を実施するとともに、必要部
分に非蒸着部分を作りつつ、蒸着工程を進行さ止る必要
性が存在する。従って、このような必要性に対しては、
非蒸着部分として必要部分をテープで覆うテープマスク
方式および前記必要部分に油を付着させるオイルマスク
方式が公知である。
行する基板上に、金属蒸着を実施するとともに、必要部
分に非蒸着部分を作りつつ、蒸着工程を進行さ止る必要
性が存在する。従って、このような必要性に対しては、
非蒸着部分として必要部分をテープで覆うテープマスク
方式および前記必要部分に油を付着させるオイルマスク
方式が公知である。
しかし、テープマスク方式においては、必要部分を覆う
ように耐熱テープを移動し、必要部分への蒸着金属を前
記耐熱テープに付着させてフィルムに非蒸着部分を形成
する方式であシ、このため耐熱テープの幅は機械的強度
に耐゛えられるように一般的には１１ＩＩＩ以上必要と
し、しかもテープが移動しているため、非蒸着部分の寸
慇精度も±０・６ｏ程度であり、テープマスク方式での
１ＷＩｎ以下の極細幅の非蒸着部分の形成は困難である
。
ように耐熱テープを移動し、必要部分への蒸着金属を前
記耐熱テープに付着させてフィルムに非蒸着部分を形成
する方式であシ、このため耐熱テープの幅は機械的強度
に耐゛えられるように一般的には１１ＩＩＩ以上必要と
し、しかもテープが移動しているため、非蒸着部分の寸
慇精度も±０・６ｏ程度であり、テープマスク方式での
１ＷＩｎ以下の極細幅の非蒸着部分の形成は困難である
。
一方、オイルマスク方式は、フィルムにアルミニウム蒸
着する直前に非蒸着部分を必要とする箇所に油蒸発器の
ノズルから噴出させた絶縁油を付着させ、そしてフィル
ムを油蒸発器に対して相対的に移動させることにより絶
縁油付着帯を形成し、そして局部的に核または膜の形成
を油で阻止するものである。この蒸着金属の核形成を阻
止する油は蒸着中、真空蒸着機内で大部分が蒸発してし
まうのが一般的であり、この原理を応用して得られる最
小幅は約１ｆｉである。また、周辺部のずれ（蒸着ボケ
）は、３００μｍ程度である。
着する直前に非蒸着部分を必要とする箇所に油蒸発器の
ノズルから噴出させた絶縁油を付着させ、そしてフィル
ムを油蒸発器に対して相対的に移動させることにより絶
縁油付着帯を形成し、そして局部的に核または膜の形成
を油で阻止するものである。この蒸着金属の核形成を阻
止する油は蒸着中、真空蒸着機内で大部分が蒸発してし
まうのが一般的であり、この原理を応用して得られる最
小幅は約１ｆｉである。また、周辺部のずれ（蒸着ボケ
）は、３００μｍ程度である。
本発明はこのオイルマスク方式において、非蒸着部分の
幅をＯ−０５〜１馳の極細幅に形成可能な方法を提供す
るものであり、従来のように蒸着金属の核形成を阻止す
る油を、金属蒸着時に多量蒸発させることなく、金属蒸
着厚みより厚く付着させ、かつ再蒸発を抑えることによ
り、極細幅の非蒸着部分を形成するものである。以下、
本発明の内容を具体的な実施例を用いて説明する。
幅をＯ−０５〜１馳の極細幅に形成可能な方法を提供す
るものであり、従来のように蒸着金属の核形成を阻止す
る油を、金属蒸着時に多量蒸発させることなく、金属蒸
着厚みより厚く付着させ、かつ再蒸発を抑えることによ
り、極細幅の非蒸着部分を形成するものである。以下、
本発明の内容を具体的な実施例を用いて説明する。
厚さ３・６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
上に、第１図に示す真空蒸着機を用いてアルミニウムを
４００人の厚さに真空蒸着した。この時、ポリエチレン
テレフタレートフィルム１は巻出軸２から巻出されると
ともに、ローラーを介して順次送給されている。そして
、油蒸発器３のノズルから噴出する油を６００人の厚さ
で付着させた後、クーリングキャン４でフィルムと付着
油を冷却させ、その後さらにクーリングキャン５により
裏面より冷却しながら金属蒸発器６から蒸発してくるア
ルミニウムを蒸着している。この蒸着後のフィルムは巻
取軸７に巻取られる。
上に、第１図に示す真空蒸着機を用いてアルミニウムを
４００人の厚さに真空蒸着した。この時、ポリエチレン
テレフタレートフィルム１は巻出軸２から巻出されると
ともに、ローラーを介して順次送給されている。そして
、油蒸発器３のノズルから噴出する油を６００人の厚さ
で付着させた後、クーリングキャン４でフィルムと付着
油を冷却させ、その後さらにクーリングキャン５により
裏面より冷却しながら金属蒸発器６から蒸発してくるア
ルミニウムを蒸着している。この蒸着後のフィルムは巻
取軸７に巻取られる。
第２図に巻取軸７に巻取られる前の本発明によって蒸着
した金属化フィルムの一部を示しており、１はポリエチ
レンテレフタレート、８はそのポリエチレンテレフタレ
ートフィルム１ 上に蒸Ｍさｈたアルミニウム、９は非
蒸着部分、１ｏは残留油である。
した金属化フィルムの一部を示しており、１はポリエチ
レンテレフタレート、８はそのポリエチレンテレフタレ
ートフィルム１ 上に蒸Ｍさｈたアルミニウム、９は非
蒸着部分、１ｏは残留油である。
第３図、第４図、第５図に非蒸着部分９の拡大図を示し
ており、第３図は従来の蒸着のようにクーリングキャン
４，５で冷却せずに蒸着し、油の再蒸発量が厚みにして
１００Å以上となるものである。この時、蒸着後の残留
油の厚みが０〜５０人程度となると蒸着ボケ寸報ムはさ
らに大きくなる。従って、この蒸着ボケは再蒸発量を減
少させ、かつ蒸着後の残留油を適当な厚み以上残すこと
が必要である。この再蒸発量と蒸着ボケ寸法五の関係を
実験にて確認した結果を第６図に示している。
ており、第３図は従来の蒸着のようにクーリングキャン
４，５で冷却せずに蒸着し、油の再蒸発量が厚みにして
１００Å以上となるものである。この時、蒸着後の残留
油の厚みが０〜５０人程度となると蒸着ボケ寸報ムはさ
らに大きくなる。従って、この蒸着ボケは再蒸発量を減
少させ、かつ蒸着後の残留油を適当な厚み以上残すこと
が必要である。この再蒸発量と蒸着ボケ寸法五の関係を
実験にて確認した結果を第６図に示している。
第６図に示すように、油の再蒸発量が多くなると、蒸着
部分エンヂの蒸着ボケが大きくなシ、１００Å以下に抑
えることが好ましい。これは再蒸発した油蒸気により、
金属蒸気が阻止され非蒸着部分周辺への金属付着厚みが
減少するためである。
部分エンヂの蒸着ボケが大きくなシ、１００Å以下に抑
えることが好ましい。これは再蒸発した油蒸気により、
金属蒸気が阻止され非蒸着部分周辺への金属付着厚みが
減少するためである。
さらに、残留油厚みと蒸着金属厚みの関係にっいて調べ
てみると第７図に示す通りとなった。残留油の厚みを４
００人で一定とし、蒸着金属の厚みを変化させたところ
、４００Å以上になると蒸着ボケ８寸法が増加した。こ
の原因を調べてみると、第４図に示すように残留油の厚
みより蒸着金属の厚みが厚い場合、残留油膜上へ蒸着金
属がせり出していることが判明した。
てみると第７図に示す通りとなった。残留油の厚みを４
００人で一定とし、蒸着金属の厚みを変化させたところ
、４００Å以上になると蒸着ボケ８寸法が増加した。こ
の原因を調べてみると、第４図に示すように残留油の厚
みより蒸着金属の厚みが厚い場合、残留油膜上へ蒸着金
属がせり出していることが判明した。
以上のことから残留油の厚みは蒸着金属の厚みより厚く
すれば、非蒸着部分エッチの蒸着ボケが解消される。
すれば、非蒸着部分エッチの蒸着ボケが解消される。
第６図は本発明によるもので、誘電体としてのポリエチ
レンテレフタレートフィルムＩＫ油ｉ発器のノズルより
噴出された油を６００人の厚みに付着させている。なお
、油蒸発器３のノズルよりフィルムに均一の厚みの油を
付着させるためには、フィルムを油蒸発器３のノズルに
接触させた方が良い。また、クーリングキャン４，６に
よりフィルムを冷却しアルミニウムを蒸着する時、クー
リングキャン４，５の温度はできるだけ低い方が好まし
い。実験では一２０℃で行った。アルミニウムの蒸着厚
みを４００人で蒸着したところ、蒸着後の残留油の厚み
は５６０Ａであシ、油の再蒸発量は４０人であった。
レンテレフタレートフィルムＩＫ油ｉ発器のノズルより
噴出された油を６００人の厚みに付着させている。なお
、油蒸発器３のノズルよりフィルムに均一の厚みの油を
付着させるためには、フィルムを油蒸発器３のノズルに
接触させた方が良い。また、クーリングキャン４，６に
よりフィルムを冷却しアルミニウムを蒸着する時、クー
リングキャン４，５の温度はできるだけ低い方が好まし
い。実験では一２０℃で行った。アルミニウムの蒸着厚
みを４００人で蒸着したところ、蒸着後の残留油の厚み
は５６０Ａであシ、油の再蒸発量は４０人であった。
以上述べたように本発明によれば、フィルムに油蒸発器
のノス諏しを接触させて油を付着させ、金属蒸着時、油
の再蒸発量を１００Å以下に抑え、かつ蒸着後の残留油
の厚みを蒸着金属の厚みより厚くすることにより、０・
０５路 の極細幅の非蒸着部分の形成が可能とな９、非
蒸着部分の静電容量の損失が大幅に減少し、この結果コ
ンデンサの大幅な小型化が可能となるという工業的価値
の大なるものである。
のノス諏しを接触させて油を付着させ、金属蒸着時、油
の再蒸発量を１００Å以下に抑え、かつ蒸着後の残留油
の厚みを蒸着金属の厚みより厚くすることにより、０・
０５路 の極細幅の非蒸着部分の形成が可能とな９、非
蒸着部分の静電容量の損失が大幅に減少し、この結果コ
ンデンサの大幅な小型化が可能となるという工業的価値
の大なるものである。
第１図は本発明の方法に用いるオイルマスク式の真空蒸
着機の概略図、第２図は本発明の方法により得られる金
属化フィルムの断面図、第３図〜第５図はそれぞれ油の
再蒸発量の異なる金属化フィルムの非蒸着部分を示す拡
大断面図、第６図は本発明の方法における油再蒸発厚と
蒸着ボケとの関係を示す関係図、第７図は本発明の方法
における残留油厚と蒸着ボケとの関係を示す関係図であ
る。 １・・・・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム、
８・・・・・アルミニウム、９・・・・・・非蒸着部分
、１０・・・・・・残留油。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ス 第２因 ８ ｔ。 ！ ■ 第 ３Ｗ４ 第４図 第Ｓ＠
着機の概略図、第２図は本発明の方法により得られる金
属化フィルムの断面図、第３図〜第５図はそれぞれ油の
再蒸発量の異なる金属化フィルムの非蒸着部分を示す拡
大断面図、第６図は本発明の方法における油再蒸発厚と
蒸着ボケとの関係を示す関係図、第７図は本発明の方法
における残留油厚と蒸着ボケとの関係を示す関係図であ
る。 １・・・・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム、
８・・・・・アルミニウム、９・・・・・・非蒸着部分
、１０・・・・・・残留油。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ス 第２因 ８ ｔ。 ！ ■ 第 ３Ｗ４ 第４図 第Ｓ＠
Claims (1)
- （１）オイルマスク方式により非蒸着部分を形成して金
属化フィルムを製造する際に、フィルム上の製造方法。 ＠）金属蒸着後に残留する油の厚みを蒸着した金属の厚
み以上としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載のコンデンサ用金属化フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3338982A JPS58151011A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3338982A JPS58151011A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58151011A true JPS58151011A (ja) | 1983-09-08 |
Family
ID=12385230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3338982A Pending JPS58151011A (ja) | 1982-03-02 | 1982-03-02 | コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58151011A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0499164A (ja) * | 1990-08-03 | 1992-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | オイルマスク用蒸発器 |
-
1982
- 1982-03-02 JP JP3338982A patent/JPS58151011A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0499164A (ja) * | 1990-08-03 | 1992-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | オイルマスク用蒸発器 |
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