JPH04293076A - ホログラム複製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ホログラム複製方法に
関し、更に詳しくいえば、情報処理装置等に用いられて
いる表面レリ−フ型ホログラムを複製する際に利用され
るホログラム複製方法に関する。

【０００２】近年、ホログラムを用いた情報処理装置が
広く使われている。ホログラムを安く、かつ大量に作製
するためには、マスタ（原盤）から複製することが必須
であり、屈折率変調型、及び表面レリ−フ型のホログラ
ムについて、研究が盛んに行われている。

【０００３】

【従来の技術】図４は、従来のホログラム複製方法を示
した図、図５は、従来のホログラム複製方法における電
鋳むら説明図である。

【０００４】図中、１は基板、２はレジスト、３はマス
タ、４はＮｉ膜、５はＮｉ層、６は裏打ち板、７はスタ
ンパ、８は複製基板、９は２Ｐ（フォトポリマ）である
。

【０００５】従来、表面レリ−フ型ホログラムを複製す
るには、図４に示した（Ａ）〜（Ｆ）の各工程により複
製していた。以下、各工程について説明する。

【０００６】（Ａ）　　ホログラフィック干渉により、
表面レリ−フ型のマスタホログラム（原盤）３を作製す
る。この場合、レジスト２を塗布した基板１に、ホログ
ラフィック露光により、転写するパタ−ンを作製する。

【０００７】（Ｂ）　　次に、マスタ３のホログラムパ
タ−ン上に、スパッタによってＮｉ膜４を形成する。

【０００８】（Ｃ）　　前記Ｎｉ膜４を電極として、電
鋳を行い、Ｎｉ層５を形成する。

【０００９】（Ｄ）　　レジスト２を除去して、裏打ち
板（Ａｌ板）６に裏打ち（裏打ち板に接着）して、スタ
ンパ７を作製する。

【００１０】（Ｅ）　　スタンパ７に２Ｐ（フォトポリ
マ）９を滴下し、複製基板８を被せて紫外線照射を行い
２Ｐ９を硬化させる。

【００１１】（Ｆ）　　スタンパ７と２Ｐ９とを剥離す
れば、ホログラムの複製ができる。

【００１２】ホログラムの複製は、上記の各工程により
行われるが、（Ｃ）の電鋳工程で形成されたＮｉ層は、
例えば図５のように形成される。

【００１３】すなわち、電鋳を行う時、電極の位置、治
具の形状、遮蔽板の位置や形状等により、Ｎｉの膜厚が
半径方向に分布を持つ。

【００１４】図５では、Ｎｉ層５が半径方向に薄くなる
場合を示してあるが、別の分布となることもある。いず
れにしても、Ｎｉ層５の表面が平らにならず、電鋳むら
が発生する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のも
のにおいては、次のような課題があった。 （１）　　スタンパを作製する際、電鋳を行う工程にお
いて、電極の位置や治具の形状等により、Ｎｉ層に電鋳
むらが発生する。

【００１６】（２）　　電鋳むらのあるＮｉ層上に、裏
打ち板を接着すると、接着層の不均一化や、スタンパ表
面の反りが現れ、複製パタ−ンに所望の特性が得られな
い。

【００１７】本発明は、このような従来の課題を解決し
、スタンパを作製する際、電鋳むらがあっても、これを
補正し、常に裏打ち板の表面と平行に、マスタホログラ
ムの表面が形成できるようにすることを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理図で
あり、図中、図４と同符号は同一のものを示す。また、
１０は透明基板、１１は紫外線硬化樹脂、１３は接着層
、１４は補正型、１５は接着層、５Ａは電鋳層、５Ｂは
電鋳面、４Ａは金属膜を示す。

【００１９】本発明は、上記の課題を解決するため、次
のように構成したものである。 （１）　　ホログラフィック干渉により作製した、表面
レリ−フ型のマスタホログラム（原盤）を電鋳した後、
裏打ち板６に接着して、スタンパ７を作製し、該スタン
パ７を用いて、ホログラムの複製を行うホログラム複製
方法において、スタンパ７を作製する際、裏打ち板６の
表面と平行に、マスタホログラムの表面を形成させる工
程を設けた。

【００２０】（２）　　上記構成（１）の、裏打ち板６
の表面と平行に、マスタホログラムの表面を形成させる
工程において、裏打ち板６と同じ平面精度の透明基板１
０と、電鋳によって形成された電鋳面５Ｂとの間に、紫
外線硬化樹脂１１を挟んで硬化させ、硬化した紫外線硬
化樹脂１１に、裏打ち板６を接着して、補正型１４を作
製し、この補正型１４を用いてスタンパ７を作製するよ
うにした。

【００２１】（３）　　上記構成（２）の、裏打ち板６
の表面と平行に、マスタホログラムの表面を形成させる
工程において、補正型１４の紫外線硬化樹脂１１に、マ
スタホログラム上に形成した電鋳面５Ｂを接着してスタ
ンパ７を作製するようにした。

【００２２】

【作用】上記構成に基づく本発明の作用を、図１を参照
しながら説明する。基板１にレジスト２を塗布し、その
上に金属膜４Ａを形成する。次に、この金属膜４Ａを電
極として電鋳を行い、電鋳層５Ａを形成する。

【００２３】続いて、電鋳層５Ａの表面、すなわち電鋳
面５Ｂと透明基板１０との間に、紫外線硬化樹脂１１を
挟み、紫外線照により、硬化させる。

【００２４】硬化したら、透明基板１０を剥離し、その
部分に、接着層１３を設けて、裏打ち板６を接着する。 その後、レジスト２を除去して、補正型１４を作製する
。

【００２５】また別の工程により、マスタホログラムを
作製し、その上に電鋳を行って電鋳層５Ａを形成してお
き、この電鋳層５Ａの電鋳面５Ｂと、上記補正型１４と
の間に接着層１５を設けて、両者を接着する。

【００２６】その後、マスタホログラムを剥離して、ス
タンパ７を作製する。以後、このスタンパ７を用いて、
ホログラムの複製を行う。

【００２７】このようにすれば、例え電鋳むらがあって
も、補正型１４によって補正できるから、常に、裏打ち
板６の表面と平行に、マスタホログラムの表面が形成で
きる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 （第１実施例の説明）図２〜図３は、本発明の１実施例
におけるホログラム複製方法を示した図であり、図２は
補正型作製工程を示した図、図３はスタンパ作製工程を
示した図である。図中、図１、図４と同符号は同一のも
のを示す。

【００２９】この実施例は、ホログラフィック干渉によ
り作製した表面レリ−フ型のマスタホログラム（原盤）
からスタンパを作製し、このスタンパを用いてホログラ
ムの複製を行う方法であり、以下、図２、図３に基づい
て説明する。

【００３０】上記ホログラム複製方法の内、補正型作製
工程は図２の（Ａ）〜（Ｆ）の工程から成り、スタンパ
作製工程は、図３の（Ｇ）〜（Ｊ）の工程から成る。

【００３１】（補正型作製工程） （Ａ）　　基板１上にレジスト２を塗布する。この場合
、ホログラムの形成は問わない（ホログラムパタ−ンを
形成しても、しなくても、どちらでもよい）。

【００３２】（Ｂ）　　次に、上記レジスト２上に、蒸
着またはスパッタにより、Ｎｉ層（金属層）４を形成し
、このＮｉ層を電極として電鋳を行い、電鋳層、例えば
Ｎｉ層５を形成する。

【００３３】（Ｃ）　　前記Ｎｉ層５上に、紫外線硬化
樹脂（例えばフォトポリマ）１１を滴下し、その上から
透明基板１０を被せて紫外線（ＵＶ）を照射して硬化さ
せる。透明基板１０としては、例えばガラス板やプラス
チック板を用いる。この場合、透明基板１０は、裏打ち
板の平面精度と同じ精度の板を用いる。

【００３４】（Ｄ）　　紫外線硬化後、透明基板１０を
剥離する。

【００３５】（Ｅ）　　透明基板１０を剥離した部分に
接着層１３を設け、裏打ち板６を接着する。この裏打ち
板６としては、例えばＡｌ板を用いる。

【００３６】（Ｆ）　　次にレジスト２を除去し、基板
１も取り除けば、補正型１４が作製できる。この補正型
１４では、紫外線硬化樹脂１１の、裏打ち板６と反対側
の面が補正面となる。

【００３７】このようにして、スタンパを作製する際の
補正型が作製できる。

【００３８】（スタンパ作製工程） （Ｇ）　　上記工程で作製した補正型１４を用意する。

【００３９】（Ｈ）　　上記工程とは別に、ホログラフ
ィック干渉により作製したマスタホログラム（原盤）上
に電鋳を行う。この電鋳により、電鋳層（例えばＮｉ層
５）を形成する。

【００４０】（Ｉ）　　工程（Ｇ）で用意した補正型１
４と、工程（Ｈ）で作製した電鋳層の電鋳面５Ｂとの間
に接着層１５を設けて、両者を接着する。

【００４１】（Ｊ）　　基板１とレジスト２を剥離して
、スタンパ７を作製する。

【００４２】上記の（Ｇ）〜（Ｊ）の工程でスタンパ７
が作製できる。このスタンパでは、電鋳むらがあっても
、補正型１４により補正できるから、裏打ち板６と、マ
スタホログラムの表面は、常に平行に形成できる。

【００４３】以後、上記のスタンパ７を用いて、ホログ
ラムの複製を行う。

【００４４】（他の実施例）以上実施例について説明し
たが、本発明は次のようにしても実施可能である。 （１）　　紫外線硬化樹脂１１を、紫外線以外で硬化す
る他の樹脂で置きかえることも可能である。

【００４５】（２）　　接着剤１３、１５は、樹脂系接
着剤、あるいは他の接着剤など、任意の接着剤が使用可
能である。ただし、その接着強度は、他の部分を剥離す
る際、影響がないようにする必要がある。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。 （１）　　補正型を用いてスタンパを作製するので、例
え電鋳むら（例えば反り）のある電鋳面であっても、常
に裏打ち板の表面と平行に、マスタホログラムの表面を
形成させたスタンパを作製することができる。

【００４７】（２）　　補正型を用いて作製したスタン
パにより、ホログラムの複製を行えば、複製したホログ
ラムパタ−ンは、常に所望の特性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理図である。

【図２】本発明の１実施例におけるホログラム複製方法
（補正型作製工程）を示した図である。

【図３】本発明の１実施例におけるホログラム複製方法
（スタンパ作製工程）を示した図である。

【図４】従来のホログラム複製方法を示した図である。

【図５】従来のホログラム複製方法における電鋳むら説
明図である。

【符号の説明】

４Ａ　　金属膜 ５Ａ　　電鋳層 ５Ｂ　　電鋳面 １０　　透明基板 １１　　紫外線硬化樹脂 １３，１５　　接着層 １４　　補正型

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ホログラフィック干渉により作製した
   、表面レリ−フ型のマスタホログラム（原盤）を電鋳し
   た後、裏打ち板（６）に接着してスタンパ（７）を作製
   し、該スタンパ（７）を用いて、ホログラムの複製を行
   うホログラム複製方法において、スタンパ（７）を作製
   する際、裏打ち板（６）の表面と平行に、マスタホログ
   ラムの表面を形成させる工程を設けたことを特徴とする
   ホログラム複製方法。
2. 【請求項２】　　上記裏打ち板（６）の表面と平行に、
   マスタホログラムの表面を形成させる工程において、裏
   打ち板（６）と同じ平面精度の透明基板（１０）と、上
   記電鋳によって形成された電鋳面（５Ｂ）との間に、紫
   外線硬化樹脂（１１）を挟んで硬化させ、硬化した紫外
   線硬化樹脂（１１）に、裏打ち板（６）を接着して、補
   正型（１４）を作製し、前記補正型（１４）を用いて、
   スタンパ（７）を作製することを特徴とした請求項１記
   載のホログラム複製方法。
3. 【請求項３】　　上記裏打ち板（６）の表面と平行に、
   マスタホログラムの表面を形成させる工程において、上
   記補正型（１４）の紫外線硬化樹脂（１１）に、マスタ
   ホログラム上に形成した電鋳面（５Ｂ）を接着して、ス
   タンパ（７）を作製することを特徴とした請求項２記載
   のホログラム複製方法。