JPH04292329A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH04292329A JPH04292329A JP5698091A JP5698091A JPH04292329A JP H04292329 A JPH04292329 A JP H04292329A JP 5698091 A JP5698091 A JP 5698091A JP 5698091 A JP5698091 A JP 5698091A JP H04292329 A JPH04292329 A JP H04292329A
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- JP
- Japan
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- floating body
- motor
- floating
- stators
- axis
- Prior art date
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- Withdrawn
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空のチャンバ内に
有するウエハ等を搬送する搬送装置に係り、特にウエハ
を安定に搬送する技術に関する。
有するウエハ等を搬送する搬送装置に係り、特にウエハ
を安定に搬送する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は図６に示す如
く真空のチャンバ内に柱状の浮上体２が設けられており
、浮上体２はその端面延長状に搬送棒１を有し、浮上体
２の長手方向における３箇所には磁気軸受部３〜５が配
設されている。
く真空のチャンバ内に柱状の浮上体２が設けられており
、浮上体２はその端面延長状に搬送棒１を有し、浮上体
２の長手方向における３箇所には磁気軸受部３〜５が配
設されている。
【０００３】また、上記各磁気軸受部３〜５はベース６
上にそれぞれ設置され、かつ浮上体２を電磁石の磁力に
より非接触支持するように構成されている。
上にそれぞれ設置され、かつ浮上体２を電磁石の磁力に
より非接触支持するように構成されている。
【０００４】さらに、上記２つの磁気軸受部３，５間に
は駆動モータユニット７が設けられており、駆動モータ
ユニット７には、図７に示す如くリニアモ−タのモータ
固定子１２が１つ配設されている。この一方、浮上体２
には図示しないモータ２次導体が設けられており、モー
タ２次導体は上記モータ固定子１２に対向するように設
置されている。
は駆動モータユニット７が設けられており、駆動モータ
ユニット７には、図７に示す如くリニアモ−タのモータ
固定子１２が１つ配設されている。この一方、浮上体２
には図示しないモータ２次導体が設けられており、モー
タ２次導体は上記モータ固定子１２に対向するように設
置されている。
【０００５】すなわち、このような搬送装置は、各磁気
軸受部３〜５で浮上体２を非接触支持しておき、この状
態でモータ固定子１２を励磁すると、モータ固定子１２
が浮上体２に該浮上体の軸線方向（図６に示す矢印イの
方向）の力を与え、その方向に浮上体２及び搬送棒１が
移動し、搬送棒１がウエハＷを搬送するように構成され
ている。
軸受部３〜５で浮上体２を非接触支持しておき、この状
態でモータ固定子１２を励磁すると、モータ固定子１２
が浮上体２に該浮上体の軸線方向（図６に示す矢印イの
方向）の力を与え、その方向に浮上体２及び搬送棒１が
移動し、搬送棒１がウエハＷを搬送するように構成され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なリニアモ−タのモータ固定子１２は、浮上体２に該浮
上体の軸線方向（図６に示す矢印イの方向）の力を与え
るのみならず、そこに吸引力が生じて浮上体２を自ら吸
引する。
なリニアモ−タのモータ固定子１２は、浮上体２に該浮
上体の軸線方向（図６に示す矢印イの方向）の力を与え
るのみならず、そこに吸引力が生じて浮上体２を自ら吸
引する。
【０００７】ところが、従来は駆動モータユニット７に
単に１つのモータ固定子１２が設けられているのみであ
るため、上記のような吸引力がそのまま残り、浮上体２
がモータ固定子１２側に吸引されることは避けられず、
これにより、浮上体２に不平衡な力が加わるので、浮上
体２および搬送棒１が振動するという不具合が生じる。
単に１つのモータ固定子１２が設けられているのみであ
るため、上記のような吸引力がそのまま残り、浮上体２
がモータ固定子１２側に吸引されることは避けられず、
これにより、浮上体２に不平衡な力が加わるので、浮上
体２および搬送棒１が振動するという不具合が生じる。
【０００８】特に、上記リニアモータとしてリニアパル
スモータを用いた場合は、リニアパルスモータの吸引力
は他のリニアモータに比べて大きいので、搬送棒１の振
動がより一層増大し、ウエハＷを安定に搬送できない。
スモータを用いた場合は、リニアパルスモータの吸引力
は他のリニアモータに比べて大きいので、搬送棒１の振
動がより一層増大し、ウエハＷを安定に搬送できない。
【０００９】しかも、上記のような吸引力は、各磁気軸
受部３〜４に対して外乱となるため、磁気軸受部の制御
が難しくなる等の問題点がある。
受部３〜４に対して外乱となるため、磁気軸受部の制御
が難しくなる等の問題点がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、リニ
アモータ，リニアパルスモータ等のモータ固定子の吸引
作用を打ち消すことにあり、上記目的を達成するために
この発明は、柱状の浮上体はその端面延長状に搬送棒を
有するとともに、上記浮上体の長手方向における複数箇
所にはその浮上体を電磁石の磁力によって非接触支持す
る磁気軸受部が配設された搬送装置において、上記浮上
体の軸線を挟んで互いに対向する位置に、直線駆動用の
モータ固定子をそれぞれ配置したことを特徴とする。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、リニ
アモータ，リニアパルスモータ等のモータ固定子の吸引
作用を打ち消すことにあり、上記目的を達成するために
この発明は、柱状の浮上体はその端面延長状に搬送棒を
有するとともに、上記浮上体の長手方向における複数箇
所にはその浮上体を電磁石の磁力によって非接触支持す
る磁気軸受部が配設された搬送装置において、上記浮上
体の軸線を挟んで互いに対向する位置に、直線駆動用の
モータ固定子をそれぞれ配置したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】この発明によれば、浮上体の軸線を挟んで互い
に対向する位置に、モータ固定子をそれぞれ配置したの
で、モータ固定子に生じる吸引力が打ち消される。
に対向する位置に、モータ固定子をそれぞれ配置したの
で、モータ固定子に生じる吸引力が打ち消される。
【００１２】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて図１ないし図５を用いて詳細に説明する。
ついて図１ないし図５を用いて詳細に説明する。
【００１３】なお、従来と同一部材には同一符号を付す
。
。
【００１４】この搬送装置は、図１に示す如く真空のチ
ャンバ内に柱状の浮上体２が設けられており、浮上体２
はその端面延長状に搬送棒１を有し、浮上体２の長手方
向における３箇所には磁気軸受部３〜５が配設され、こ
れらの磁気軸受部３〜５はベース６上にそれぞれ設置さ
れている。
ャンバ内に柱状の浮上体２が設けられており、浮上体２
はその端面延長状に搬送棒１を有し、浮上体２の長手方
向における３箇所には磁気軸受部３〜５が配設され、こ
れらの磁気軸受部３〜５はベース６上にそれぞれ設置さ
れている。
【００１５】また、上記各磁気軸受部３〜５は図２に示
す如く軸線Ｖ上に２つの電磁石９，９を、軸線Ｗ上に２
つの電磁石１０，１０をそれぞれ有し、電磁石９，９は
浮上体２の外周面に対向し、かつ浮上体２を介して互い
に向い合うように設置されている。一方、電磁石１０，
１０も上記電磁石９，９と同様に浮上体２の外周面に対
向し、かつ浮上体２を介して互いに向い合うように設置
されている。
す如く軸線Ｖ上に２つの電磁石９，９を、軸線Ｗ上に２
つの電磁石１０，１０をそれぞれ有し、電磁石９，９は
浮上体２の外周面に対向し、かつ浮上体２を介して互い
に向い合うように設置されている。一方、電磁石１０，
１０も上記電磁石９，９と同様に浮上体２の外周面に対
向し、かつ浮上体２を介して互いに向い合うように設置
されている。
【００１６】さらに、上記各磁気軸受部３〜５には図示
しない２つのセンサ部が設けられており、一方のセンサ
部は軸線Ｖ上における浮上体２の浮上位置を検出し、他
方のセンサ部は軸線Ｗ上における浮上体２の浮上位置を
検出するように構成されている。
しない２つのセンサ部が設けられており、一方のセンサ
部は軸線Ｖ上における浮上体２の浮上位置を検出し、他
方のセンサ部は軸線Ｗ上における浮上体２の浮上位置を
検出するように構成されている。
【００１７】すなわち、このような各磁気軸受部３〜５
は、図示しないセンサ部が浮上体２の浮上位置を検出し
、この検出値を基に各電磁石９，１０が励磁される。 このようにして生じた磁力で浮上体２を非接触支持する
ように構成されている。
は、図示しないセンサ部が浮上体２の浮上位置を検出し
、この検出値を基に各電磁石９，１０が励磁される。 このようにして生じた磁力で浮上体２を非接触支持する
ように構成されている。
【００１８】ところで、上記２つの磁気軸受部３，５間
には駆動モータユニット１１が設けられており（図１参
照）、駆動モータユニット１１は図３に示す如くリニア
モータのモータ固定子１２を２つ有し、各モータ固定子
１２，１２は浮上体２の軸線を挟んで互いに対向する位
置に設置され、かつ鉛直方向に対して並列に設けられて
いる。
には駆動モータユニット１１が設けられており（図１参
照）、駆動モータユニット１１は図３に示す如くリニア
モータのモータ固定子１２を２つ有し、各モータ固定子
１２，１２は浮上体２の軸線を挟んで互いに対向する位
置に設置され、かつ鉛直方向に対して並列に設けられて
いる。
【００１９】なお、上記浮上体２には図示しない２つの
モータ２次導体が設けられており、これらのモータ２次
導体は上記各モータ固定子１２，１２にそれぞれ対向す
るように配設されている。
モータ２次導体が設けられており、これらのモータ２次
導体は上記各モータ固定子１２，１２にそれぞれ対向す
るように配設されている。
【００２０】また、上記のようなリニアモ−タの各モー
タ固定子１２，１２は電気的に同期するように構成され
ている。なお、その各モ−タ固定子１２，１２がリニア
パルスモ−タの構成部材である場合には、それらを図５
に示すような駆動回路に接続すれば、電気的に同期させ
ることができる。ここで、各モ−タ固定子１２，１２に
は、コントロ−ラ１３のパルス発生器１４からドライバ
１５，１５を介して所定のパルス信号が出力されるよう
に構成されている。
タ固定子１２，１２は電気的に同期するように構成され
ている。なお、その各モ−タ固定子１２，１２がリニア
パルスモ−タの構成部材である場合には、それらを図５
に示すような駆動回路に接続すれば、電気的に同期させ
ることができる。ここで、各モ−タ固定子１２，１２に
は、コントロ−ラ１３のパルス発生器１４からドライバ
１５，１５を介して所定のパルス信号が出力されるよう
に構成されている。
【００２１】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について、図１ないし図３に基づき説明する。
作について、図１ないし図３に基づき説明する。
【００２２】この搬送装置によれば、図１に示す如く例
えば予め２つの磁気軸受部３，４で浮上体２を非接触支
持しておき、その後、各モータ固定子１２，１２を励磁
すると、各モータ固定子１２が浮上体２に該浮上体の軸
線方向（図１に示す矢印イの方向）の力を与え、浮上体
２が矢印イの方向に移動し、搬送棒１がウエハＷを搬送
する。
えば予め２つの磁気軸受部３，４で浮上体２を非接触支
持しておき、その後、各モータ固定子１２，１２を励磁
すると、各モータ固定子１２が浮上体２に該浮上体の軸
線方向（図１に示す矢印イの方向）の力を与え、浮上体
２が矢印イの方向に移動し、搬送棒１がウエハＷを搬送
する。
【００２３】この際、各モータ固定子１２，１２はそこ
に吸引力が生じて浮上体２をそれぞれ吸引するものの、
これらのモータ固定子１２は浮上体２の軸線を挟んで互
いに対向する位置に設置されているため、そのような吸
引力は打ち消される。
に吸引力が生じて浮上体２をそれぞれ吸引するものの、
これらのモータ固定子１２は浮上体２の軸線を挟んで互
いに対向する位置に設置されているため、そのような吸
引力は打ち消される。
【００２４】ところで、この装置は、浮上体２の他端２
ｂが２つの磁気軸受部４，５間に位置する場合、２つの
磁気軸受部３，５で浮上体２を非接触支持する。
ｂが２つの磁気軸受部４，５間に位置する場合、２つの
磁気軸受部３，５で浮上体２を非接触支持する。
【００２５】また、この装置はベース６を回転軸１３で
回転せしめると、搬送棒１の搬送方向が３６０゜変化す
る。
回転せしめると、搬送棒１の搬送方向が３６０゜変化す
る。
【００２６】したがって、上記のような実施例にあって
は、各モータ固定子により浮上体が吸引されても、その
吸引力が打ち消されるので、吸引力による浮上体および
搬送棒の振動を防止できる。
は、各モータ固定子により浮上体が吸引されても、その
吸引力が打ち消されるので、吸引力による浮上体および
搬送棒の振動を防止できる。
【００２７】しかも、上記のような実施例によれば吸引
力が打ち消される分、各磁気軸受部に対する外乱の要因
が無くなるので、磁気軸受部の制御が容易になる。
力が打ち消される分、各磁気軸受部に対する外乱の要因
が無くなるので、磁気軸受部の制御が容易になる。
【００２８】なお、上記実施例にあっては、各モータ固
定子１２，１２を鉛直方向に対して並列に設置したが、
これに代えて図４に示す如く各モータ固定子１２，１２
を鉛直方向に対して直列に設置しても良い。
定子１２，１２を鉛直方向に対して並列に設置したが、
これに代えて図４に示す如く各モータ固定子１２，１２
を鉛直方向に対して直列に設置しても良い。
【００２９】
【発明の効果】この発明に係る搬送装置は、上記の如く
浮上体の軸線を挟んで互いに対向する位置にモータ固定
子をそれぞれ設置したため、これらのモータ固定子によ
り浮上体が吸引される場合であっても、その吸引力が打
ち消されるので、吸引力による浮上体および搬送棒の振
動を防止でき、かつウエハ等を安定に搬送できる。
浮上体の軸線を挟んで互いに対向する位置にモータ固定
子をそれぞれ設置したため、これらのモータ固定子によ
り浮上体が吸引される場合であっても、その吸引力が打
ち消されるので、吸引力による浮上体および搬送棒の振
動を防止でき、かつウエハ等を安定に搬送できる。
【００３０】しかも、このような装置では、上記の如く
吸引力が打ち消される分、各磁気軸受部に対する外乱の
要因が無くなるので、磁気軸受部の制御が容易になる。
吸引力が打ち消される分、各磁気軸受部に対する外乱の
要因が無くなるので、磁気軸受部の制御が容易になる。
【図１】この発明に係る搬送装置の外観図。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線における磁気軸受部の
説明用断面図。
説明用断面図。
【図３】図１に示すＩＩＩ −ＩＩＩ 線断面図。
【図４】この発明の別の実施例を示す断面図。
【図５】リニアパルスモータの駆動回路を示すブロック
図。
図。
【図６】従来の搬送装置の外観図。
【図７】図６に示すＶＩＩ −ＶＩＩ 線断面図。
１ 搬送棒
２ 浮上体
３〜５ 磁気軸受部
１２ モータ固定子
Claims (1)
- 【請求項１】柱状の浮上体はその端面延長状に搬送棒を
有するとともに、上記浮上体の長手方向における複数箇
所にはその浮上体を電磁石の磁力によって非接触支持す
る磁気軸受部が配設された搬送装置において、上記浮上
体の軸線を挟んで互いに対向する位置に、直線駆動用の
モータ固定子をそれぞれ配置したことを特徴とする搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5698091A JPH04292329A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5698091A JPH04292329A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04292329A true JPH04292329A (ja) | 1992-10-16 |
Family
ID=13042655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5698091A Withdrawn JPH04292329A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04292329A (ja) |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP5698091A patent/JPH04292329A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |