JP3047257B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP3047257B2 JP3047257B2 JP16714391A JP16714391A JP3047257B2 JP 3047257 B2 JP3047257 B2 JP 3047257B2 JP 16714391 A JP16714391 A JP 16714391A JP 16714391 A JP16714391 A JP 16714391A JP 3047257 B2 JP3047257 B2 JP 3047257B2
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は真空のチャンバ内に有
するウエハ等を搬送する搬送装置に関する。
するウエハ等を搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の搬送装置は図４に示す如
く筒状隔壁１を有し、この隔壁１は一端が真空のチャン
バ内２に開口され、他端が蓋３により密閉されている。
く筒状隔壁１を有し、この隔壁１は一端が真空のチャン
バ内２に開口され、他端が蓋３により密閉されている。
【０００３】また、上記隔壁１の内周部には搬送棒４を
有する浮上体５が設けられている一方、隔壁１の外周部
には駆動部６が移動可能に取り付けられており、駆動部
６はベース７上に設置されたボールネジ機構８により、
隔壁１の外周部に沿って往復移動するように構成されて
いる。
有する浮上体５が設けられている一方、隔壁１の外周部
には駆動部６が移動可能に取り付けられており、駆動部
６はベース７上に設置されたボールネジ機構８により、
隔壁１の外周部に沿って往復移動するように構成されて
いる。
【０００４】さらに、上記駆動部６の内部には２組の磁
気軸受部９，９が配設されており、各磁気軸受部９，９
は複数の電磁石１０，１０…及び図示しないセンサ部を
それぞれ有し、センサ部は浮上体５の浮上位置を検出す
る。電磁石１０，１０…はセンサ部から出力される検出
値を基に励磁され、かつその磁力が隔壁１を介して浮上
体５に作用するよう構成されている。このようにして、
各磁気軸受部９，９は磁力により浮上体４を２点支持梁
の如く支持している。
気軸受部９，９が配設されており、各磁気軸受部９，９
は複数の電磁石１０，１０…及び図示しないセンサ部を
それぞれ有し、センサ部は浮上体５の浮上位置を検出す
る。電磁石１０，１０…はセンサ部から出力される検出
値を基に励磁され、かつその磁力が隔壁１を介して浮上
体５に作用するよう構成されている。このようにして、
各磁気軸受部９，９は磁力により浮上体４を２点支持梁
の如く支持している。
【０００５】ところで、上記のような搬送装置は、予め
各磁気軸受部９，９で浮上体４を支持しておき、その
後、ボールネジ機構８を駆動することにより、駆動部６
を隔壁１の外周部に沿って往復移動させると、この動き
に追従して浮上体５が往復移動する。これにより、浮上
体５の搬送棒４がウエハＷを搬送するように構成されて
いる。
各磁気軸受部９，９で浮上体４を支持しておき、その
後、ボールネジ機構８を駆動することにより、駆動部６
を隔壁１の外周部に沿って往復移動させると、この動き
に追従して浮上体５が往復移動する。これにより、浮上
体５の搬送棒４がウエハＷを搬送するように構成されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く１つの駆動
部６に２組の磁気軸受部９，９が設けられているため、
駆動部６が大型化することは避けられず、これにより駆
動部６を移動せしめるボールネジ機構８も大型化するの
で、装置をコンパクトに構成することができない。しか
も、従来の装置はボールネジ機構８等を有するので、装
置の構造が複雑になる。
うな従来の搬送装置にあっては、上記の如く１つの駆動
部６に２組の磁気軸受部９，９が設けられているため、
駆動部６が大型化することは避けられず、これにより駆
動部６を移動せしめるボールネジ機構８も大型化するの
で、装置をコンパクトに構成することができない。しか
も、従来の装置はボールネジ機構８等を有するので、装
置の構造が複雑になる。
【０００７】また、従来の装置は２組の磁気軸受部９，
９で浮上体８を支持しているものの、例えば必要に応じ
て搬送棒４を水平に回転させる際、浮上体８の両端側を
支持できないので、搬送棒４が外乱を受け易くウエハ等
を水平方向の安定に搬送できなかった。
９で浮上体８を支持しているものの、例えば必要に応じ
て搬送棒４を水平に回転させる際、浮上体８の両端側を
支持できないので、搬送棒４が外乱を受け易くウエハ等
を水平方向の安定に搬送できなかった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、搬送
棒を有する浮上体のみを移動させることにより、コンパ
クトで簡単な構造の搬送装置を提供することにあり、上
記目的を達成するために、この発明は搬送棒を有する浮
上体の両端側に位置し、かつ上記浮上体の外周面を磁力
により支持する一対の第１磁気軸受部と、上記一対の第
１磁気軸受部間に設けられ、かつ上記浮上体の外周面を
磁力により支持する第２磁気軸受部と、上記一対の第１
磁気軸受部の一方側から他方側へ向かって上記浮上体を
直接に往復移動させる非接触駆動モータ部と、上記一対
の第１磁気軸受部及び第２磁気軸受部に個別に接続され
た複数のコントローラ部および上記一対の第１磁気軸受
部及び第２磁気軸受部に設けられ、上記浮上体の移動位
置を検出するセンサ部からなるシステムコントローラ部
とを具備し、 上記システムコントローラ部は、上記セン
サ部により検出される上記浮上体の移動位置に応じて、
上記一対の第１磁気軸受部及び第２磁気軸受部のうちか
ら駆動する磁気軸受部を任意に選択し、上記コントロー
ラ部は上記選択された磁気軸受部の電磁石を励磁するこ
とを特徴とする。
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、搬送
棒を有する浮上体のみを移動させることにより、コンパ
クトで簡単な構造の搬送装置を提供することにあり、上
記目的を達成するために、この発明は搬送棒を有する浮
上体の両端側に位置し、かつ上記浮上体の外周面を磁力
により支持する一対の第１磁気軸受部と、上記一対の第
１磁気軸受部間に設けられ、かつ上記浮上体の外周面を
磁力により支持する第２磁気軸受部と、上記一対の第１
磁気軸受部の一方側から他方側へ向かって上記浮上体を
直接に往復移動させる非接触駆動モータ部と、上記一対
の第１磁気軸受部及び第２磁気軸受部に個別に接続され
た複数のコントローラ部および上記一対の第１磁気軸受
部及び第２磁気軸受部に設けられ、上記浮上体の移動位
置を検出するセンサ部からなるシステムコントローラ部
とを具備し、 上記システムコントローラ部は、上記セン
サ部により検出される上記浮上体の移動位置に応じて、
上記一対の第１磁気軸受部及び第２磁気軸受部のうちか
ら駆動する磁気軸受部を任意に選択し、上記コントロー
ラ部は上記選択された磁気軸受部の電磁石を励磁するこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】この発明によれば、非接触駆動モータ部が一対
の第１磁気軸受部の一方側から他方側へ向かって浮上体
を直接に往復移動せしめる一方、システムコントローラ
部が浮上体の移動位置に応じて一対の第１磁気軸受部と
第２磁気軸受部とのうちから駆動する磁気軸受部を任意
に選択する。
の第１磁気軸受部の一方側から他方側へ向かって浮上体
を直接に往復移動せしめる一方、システムコントローラ
部が浮上体の移動位置に応じて一対の第１磁気軸受部と
第２磁気軸受部とのうちから駆動する磁気軸受部を任意
に選択する。
【００１０】
【実施例】以下、この発明に係る搬送装置の一実施例に
ついて図１ないし図３を用いて詳細に説明する。
ついて図１ないし図３を用いて詳細に説明する。
【００１１】この搬送装置は図１に示す如く、真空のチ
ャンバ内に搬送棒２０を有する浮上体２１を備え、浮上
体２１の両端２１ａ，２１ｂ側には一対の第１磁気軸受
部２２，２２が配設されており、一対の第１磁気軸受部
２２，２２間には２つの第２磁気軸受部２３，２３が設
けられている。
ャンバ内に搬送棒２０を有する浮上体２１を備え、浮上
体２１の両端２１ａ，２１ｂ側には一対の第１磁気軸受
部２２，２２が配設されており、一対の第１磁気軸受部
２２，２２間には２つの第２磁気軸受部２３，２３が設
けられている。
【００１２】各第２磁気軸受部２３，２３は図２に示す
如く軸線Ｖ上に２つの電磁石２４，２４を、軸線Ｗ上に
２つの電磁石２５，２５をそれぞれ有し、電磁石２４，
２４は浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むように設けら
れ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するように設置
されている。電磁石２５，２５は上記電磁石２４，２４
と同様に浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むように設け
られ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するように設
置されている。
如く軸線Ｖ上に２つの電磁石２４，２４を、軸線Ｗ上に
２つの電磁石２５，２５をそれぞれ有し、電磁石２４，
２４は浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むように設けら
れ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するように設置
されている。電磁石２５，２５は上記電磁石２４，２４
と同様に浮上体２１の外周面にそれぞれ臨むように設け
られ、かつ浮上体２１を介して互いに対向するように設
置されている。
【００１３】また、上記各第２磁気軸受部２３，２３
は、図示しない２つのセンサ部をそれぞれ有し、一方の
センサ部は軸線Ｖ上における浮上体２１の浮上位置を検
出するように、他方のセンサ部は軸線Ｗ上における浮上
体２１の浮上位置を検出するように構成されている。
は、図示しない２つのセンサ部をそれぞれ有し、一方の
センサ部は軸線Ｖ上における浮上体２１の浮上位置を検
出するように、他方のセンサ部は軸線Ｗ上における浮上
体２１の浮上位置を検出するように構成されている。
【００１４】なお、上記各第１磁気軸受部２２，２２は
上記第２磁気軸受部２５と同様に軸線Ｖ上に２つの電磁
石２４，２４を、軸線Ｗ上に２つの電磁石２５，２５を
それぞれ有し（図２参照）、図示しない２つのセンサ部
を具備するように構成されている。
上記第２磁気軸受部２５と同様に軸線Ｖ上に２つの電磁
石２４，２４を、軸線Ｗ上に２つの電磁石２５，２５を
それぞれ有し（図２参照）、図示しない２つのセンサ部
を具備するように構成されている。
【００１５】さらに、上記のような第１磁気軸受部２
２，２２及び第２磁気軸受部２３，２３は、各コントロ
ーラ部２６〜２９にそれぞれ接続されており、各コント
ローラ部２６〜２９は、図示しない２つのセンサ部から
出力される検出値を基に各電磁石２４，２５（図２参
照）を励磁するようにそれぞれ構成されている。
２，２２及び第２磁気軸受部２３，２３は、各コントロ
ーラ部２６〜２９にそれぞれ接続されており、各コント
ローラ部２６〜２９は、図示しない２つのセンサ部から
出力される検出値を基に各電磁石２４，２５（図２参
照）を励磁するようにそれぞれ構成されている。
【００１６】すなわち、このような第１磁気軸受部２
２，２２及び第２磁気軸受部２３，２３は、上記のよう
な励磁により、磁力が浮上体２１の外周面に直接に作用
し、かつその磁力で浮上体２１の外周面を支持するよう
構成されている。
２，２２及び第２磁気軸受部２３，２３は、上記のよう
な励磁により、磁力が浮上体２１の外周面に直接に作用
し、かつその磁力で浮上体２１の外周面を支持するよう
構成されている。
【００１７】また、浮上体２１は例えばリニアモータ等
の非接触駆動モ―タ部により移動せしめられるが、その
リニアモータはリニアモータコイル３０及び図示しない
モータ２次導体とから構成されるもので、リニアモータ
コイル３０は第１磁気軸受部２２と第２磁気軸受部２３
との間に設置され、図示しないモータ２次導体は浮上体
２１の外周面に設けられ、かつリニアモータコイル３０
に対面するように配設されている。
の非接触駆動モ―タ部により移動せしめられるが、その
リニアモータはリニアモータコイル３０及び図示しない
モータ２次導体とから構成されるもので、リニアモータ
コイル３０は第１磁気軸受部２２と第２磁気軸受部２３
との間に設置され、図示しないモータ２次導体は浮上体
２１の外周面に設けられ、かつリニアモータコイル３０
に対面するように配設されている。
【００１８】すなわち、上記のようなリニアモータは、
リニアモータコイル３０をモータドライバ３０ａで励磁
することにより、一対の第１磁気軸受部２２，２２の一
方側から他方側へ向かって、浮上体２１を直接に往復移
動せしめるように構成されている。
リニアモータコイル３０をモータドライバ３０ａで励磁
することにより、一対の第１磁気軸受部２２，２２の一
方側から他方側へ向かって、浮上体２１を直接に往復移
動せしめるように構成されている。
【００１９】さらに、この搬送装置ではシステムコント
ローラ部３１が設けられており、このシステムコントロ
ーラ部３０は、その浮上体２１の移動位置に応じて、上
記一対の第１磁気軸受部２２，２２と２つの第２磁気軸
受部２３，２３とのうちから磁気軸受部を任意に選択
し、かつその選択された磁気軸受部を駆動するように構
成されている。
ローラ部３１が設けられており、このシステムコントロ
ーラ部３０は、その浮上体２１の移動位置に応じて、上
記一対の第１磁気軸受部２２，２２と２つの第２磁気軸
受部２３，２３とのうちから磁気軸受部を任意に選択
し、かつその選択された磁気軸受部を駆動するように構
成されている。
【００２０】この際、磁気軸受部は２つ以上選択される
が、この装置では、選択の仕方により磁気軸受部の間隔
が異なるので、搬送棒２０を含む浮上体２１の固有振動
数が変化するため、何等補償を行わないと浮上体２１を
常時安定に支持できない。
が、この装置では、選択の仕方により磁気軸受部の間隔
が異なるので、搬送棒２０を含む浮上体２１の固有振動
数が変化するため、何等補償を行わないと浮上体２１を
常時安定に支持できない。
【００２１】そこで、上記システムコントローラ部３１
は、浮上体２１の移動位置を基に上記コントローラ部２
６〜２９を補償して、浮上体２１を常時安定に支持する
ように構成されている。
は、浮上体２１の移動位置を基に上記コントローラ部２
６〜２９を補償して、浮上体２１を常時安定に支持する
ように構成されている。
【００２２】なお、浮上体２１の移動位置は、上記モー
タドライバ３０ａ側より位置信号Ｓとしてシステムコン
トローラ部３１に出力される。
タドライバ３０ａ側より位置信号Ｓとしてシステムコン
トローラ部３１に出力される。
【００２３】次に、上記の如く構成された搬送装置の動
作について図１及び図３を用いて説明する。
作について図１及び図３を用いて説明する。
【００２４】この搬送装置によれば図１に示す如く、例
えば予め各第１磁気軸受部２２，２２で浮上体２１の外
周面を支持しておき、その後、モータドライバ３０ａで
リニアモータコイル３０を励磁する。これにより、浮上
体２１が一対の第１磁気軸受部２２，２２の一方側から
他方側へ向かって往復移動する。その結果、浮上体２１
の搬送棒２０がウエハＷを搬送する。
えば予め各第１磁気軸受部２２，２２で浮上体２１の外
周面を支持しておき、その後、モータドライバ３０ａで
リニアモータコイル３０を励磁する。これにより、浮上
体２１が一対の第１磁気軸受部２２，２２の一方側から
他方側へ向かって往復移動する。その結果、浮上体２１
の搬送棒２０がウエハＷを搬送する。
【００２５】また、浮上体２１が図中左側に移動する途
中において、例えば図３（ａ）に示すような移動位置で
は、システムコントローラ部３１が一対の第１磁気軸受
部２２，２２のうち左側と、２つの第２磁気軸受部２
３，２３のうち右側との２つを選択する。図３（ｂ）に
示すような移動位置では、システムコントローラ部３１
が一対の第１磁気軸受部２２，２２のうち左側と、２つ
の第２磁気軸受部２３，２３のうち左側とを選択する。
そして、このように選択された２つの磁気軸受部で浮上
体が支持されかつ移動する。
中において、例えば図３（ａ）に示すような移動位置で
は、システムコントローラ部３１が一対の第１磁気軸受
部２２，２２のうち左側と、２つの第２磁気軸受部２
３，２３のうち右側との２つを選択する。図３（ｂ）に
示すような移動位置では、システムコントローラ部３１
が一対の第１磁気軸受部２２，２２のうち左側と、２つ
の第２磁気軸受部２３，２３のうち左側とを選択する。
そして、このように選択された２つの磁気軸受部で浮上
体が支持されかつ移動する。
【００２６】一方、この装置では、例えば必要に応じて
搬送棒２０を水平方向に回転させる際、各第１磁気軸受
部２２，２２で浮上体２１を支持できる位置まで（図１
参照）、浮上体２１が移動し、かつシステムコントロー
ラ部３１が各第１磁気軸受部２２，２２を選択する。そ
して、このように選択された各第１磁気軸受部２２，２
２により浮上体２１の両端２１ａ，２１ｂ側を支持した
上で、装置全体を水平方向に回転させる。
搬送棒２０を水平方向に回転させる際、各第１磁気軸受
部２２，２２で浮上体２１を支持できる位置まで（図１
参照）、浮上体２１が移動し、かつシステムコントロー
ラ部３１が各第１磁気軸受部２２，２２を選択する。そ
して、このように選択された各第１磁気軸受部２２，２
２により浮上体２１の両端２１ａ，２１ｂ側を支持した
上で、装置全体を水平方向に回転させる。
【００２７】したがって、上記のような実施例によれ
ば、非接触駆動モータ部が一対の第１磁気軸受部の一方
側から他方側へ向かって浮上体を直接に往復移動させる
一方、その移動の際、システムコントローラ部が浮上体
の移動位置に応じて、第１及び第２磁気軸受部のうちか
ら駆動する磁気軸受部を任意に選択するので、選択され
た磁気軸受部で浮上体が支持されながら移動するのみで
あるため、装置をコンパクトに構成できるとともに装置
の構造が簡単になる。
ば、非接触駆動モータ部が一対の第１磁気軸受部の一方
側から他方側へ向かって浮上体を直接に往復移動させる
一方、その移動の際、システムコントローラ部が浮上体
の移動位置に応じて、第１及び第２磁気軸受部のうちか
ら駆動する磁気軸受部を任意に選択するので、選択され
た磁気軸受部で浮上体が支持されながら移動するのみで
あるため、装置をコンパクトに構成できるとともに装置
の構造が簡単になる。
【００２８】また、この実施例では、搬送棒を図１に示
した位置（右端）へ移動した後に水平方向に回転させる
際、一対の第１磁気軸受部で浮上体の両端側を支持した
上で、装置全体を水平方向に回転させるため、搬送棒が
外乱を受け難く、ウエハ等を水平方向へ安定に搬送でき
る。
した位置（右端）へ移動した後に水平方向に回転させる
際、一対の第１磁気軸受部で浮上体の両端側を支持した
上で、装置全体を水平方向に回転させるため、搬送棒が
外乱を受け難く、ウエハ等を水平方向へ安定に搬送でき
る。
【００２９】なお、上記実施例にあっては、一対の第１
磁気軸受部間に２つの第２磁気軸受部を設けたが、これ
に限定されることはなく、第２磁気軸受部は１つまたは
３つ以上設けても良いことは勿論である。
磁気軸受部間に２つの第２磁気軸受部を設けたが、これ
に限定されることはなく、第２磁気軸受部は１つまたは
３つ以上設けても良いことは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】この発明に係る搬送装置は、上記の如く
非接触駆動モータ部が一対の第１磁気軸受部の一方側か
ら他方側へ向かって浮上体を直接に往復移動せしめる一
方、その移動の際、システムコントローラ部が浮上体の
移動位置に応じて、第１及び第２磁気軸受部のうちから
駆動する磁気軸受部を任意に選択するように構成したの
で、選択された磁気軸受部で浮上体が支持されながら移
動するのみであるため、装置をコンパクトに構成できる
とともに装置の構造が簡単になる。
非接触駆動モータ部が一対の第１磁気軸受部の一方側か
ら他方側へ向かって浮上体を直接に往復移動せしめる一
方、その移動の際、システムコントローラ部が浮上体の
移動位置に応じて、第１及び第２磁気軸受部のうちから
駆動する磁気軸受部を任意に選択するように構成したの
で、選択された磁気軸受部で浮上体が支持されながら移
動するのみであるため、装置をコンパクトに構成できる
とともに装置の構造が簡単になる。
【００３１】また、この装置では、搬送棒を両端の磁気
軸受で支持したうえで搬送棒を回転させたとき、搬送棒
は両端で支持されているので、搬送棒が外乱を受け難
く、ウエハ等を水平方向へ安定に搬送できる。
軸受で支持したうえで搬送棒を回転させたとき、搬送棒
は両端で支持されているので、搬送棒が外乱を受け難
く、ウエハ等を水平方向へ安定に搬送できる。
【図１】この発明に係る搬送装置の要部説明図。
【図２】図１に示すII−II線断面図。
【図３】本搬送装置の動作を説明する説明図
【図４】従来の搬送装置の説明用断面図。
２０ 搬送棒 ２１ 浮上体 ２２ 第１磁気軸受部 ２３ 第２磁気軸受部 ２８ リニアモータコイル
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−202204（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−262006（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−277004（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−36703（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−32306（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B60L 13/03 - 13/10 H02P 5/00 H02P 7/00
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送棒を有する浮上体の両端側に位置
し、かつ上記浮上体の外周面を磁力により支持する一対
の第１磁気軸受部と、 上記一対の第１磁気軸受部間に設けられ、かつ上記浮上
体の外周面を磁力により支持する第２磁気軸受部と、 上記一対の第１磁気軸受部の一方側から他方側へ向かっ
て上記浮上体を往復移動させる非接触駆動モータ部と、上記一対の第１磁気軸受部及び第２磁気軸受部に個別に
接続された複数のコントローラ部および上記一対の第１
磁気軸受部及び第２磁気軸受部に設けられ、上記浮上体
の移動位置を検出するセンサ部からなる システムコント
ローラ部とを具備し、 上記システムコントローラ部は、上記センサ部により検
出される上記浮上体の移動位置に応じて、上記一対の第
１磁気軸受部及び第２磁気軸受部のうちから駆動する磁
気軸受部を任意に選択し、上記コントローラ部は上記選
択された磁気軸受部の電磁石を励磁する ことを特徴とす
る搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16714391A JP3047257B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16714391A JP3047257B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0522808A JPH0522808A (ja) | 1993-01-29 |
| JP3047257B2 true JP3047257B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=15844223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16714391A Expired - Fee Related JP3047257B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3047257B2 (ja) |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP16714391A patent/JP3047257B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0522808A (ja) | 1993-01-29 |
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Legal Events
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